JPS63109336A - サ−モパイル赤外線検出器 - Google Patents
サ−モパイル赤外線検出器Info
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- JPS63109336A JPS63109336A JP25653786A JP25653786A JPS63109336A JP S63109336 A JPS63109336 A JP S63109336A JP 25653786 A JP25653786 A JP 25653786A JP 25653786 A JP25653786 A JP 25653786A JP S63109336 A JPS63109336 A JP S63109336A
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- thermopile
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/041—Mountings in enclosures or in a particular environment
- G01J5/045—Sealings; Vacuum enclosures; Encapsulated packages; Wafer bonding structures; Getter arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、赤外線放射エネルギーを検出するサーモパ
イル赤外線検出器に関するものである。
イル赤外線検出器に関するものである。
[従来の技術]
サーモパイル素子は、微少な熱電対を多数集積してなる
検出器である。素子本体は、きわめて薄い基板に蒸着等
で形成されているため微弱な赤外線に反応することがで
きる。
検出器である。素子本体は、きわめて薄い基板に蒸着等
で形成されているため微弱な赤外線に反応することがで
きる。
たとえば、従来のサーモパイルは、第2図で示すように
、リードビン2を挿通したステム1に、窓材4を有する
キャップ3を設け、キャップ3内のり−ドビン2の先端
に、中央に開口をもつセラミック等よりなり、窓材4か
らの放射エネルギーを受光するサーモパイル素子6を設
けたヒートシンク5を取り付けている。通常、サーモパ
イル素子6は、中央が温接点部、周囲が冷接点部とされ
、温接点部に入射した放射エネルギーは熱に変換され、
冷接点部との温度差に応じて発生する熱起電力から、窓
材4から入射した赤外線放射エネルギーを検出し、被測
定対象の温度を測定する。
、リードビン2を挿通したステム1に、窓材4を有する
キャップ3を設け、キャップ3内のり−ドビン2の先端
に、中央に開口をもつセラミック等よりなり、窓材4か
らの放射エネルギーを受光するサーモパイル素子6を設
けたヒートシンク5を取り付けている。通常、サーモパ
イル素子6は、中央が温接点部、周囲が冷接点部とされ
、温接点部に入射した放射エネルギーは熱に変換され、
冷接点部との温度差に応じて発生する熱起電力から、窓
材4から入射した赤外線放射エネルギーを検出し、被測
定対象の温度を測定する。
[この発明が解決しようとする問題点]このため、キャ
ップ3、窓材4等の周辺部の熱放射に敏感で、窓材4等
とサーモパイル素子6との間で温度差があると、窓材4
等からの熱放射により測定1直に誤差を生じる。
ップ3、窓材4等の周辺部の熱放射に敏感で、窓材4等
とサーモパイル素子6との間で温度差があると、窓材4
等からの熱放射により測定1直に誤差を生じる。
つまり、サーモパイル赤外線検出器は、多くはアルミニ
ウム等の熱伝導の良好な均熱ブロックに組み込んで使用
されるが1周囲部度が変化したとき等は、過渡的に温度
分布が生じる。たとえば、周囲温度が上昇すると均熱ブ
ロックも昇温し、それにより窓材4も昇温する。そして
、サーモパイル素子6自体が昇温するまでの間、窓材4
とサーモパイル素子6との温度差により窓材4からの熱
放射エネルギーがサーモパイル素子6に入射し、測定誤
差となる。
ウム等の熱伝導の良好な均熱ブロックに組み込んで使用
されるが1周囲部度が変化したとき等は、過渡的に温度
分布が生じる。たとえば、周囲温度が上昇すると均熱ブ
ロックも昇温し、それにより窓材4も昇温する。そして
、サーモパイル素子6自体が昇温するまでの間、窓材4
とサーモパイル素子6との温度差により窓材4からの熱
放射エネルギーがサーモパイル素子6に入射し、測定誤
差となる。
また、窓材4の材質は、その用途に応じた材質とされ、
KR8−5、CaFz、Si等の他に、放射温喰計等の
ために赤外干渉フィルターも使用される。この赤外干渉
フィルターは、熱吸収が比較的大きく、熱放射も比較的
大きく、このため測定誤差、指示誤差が生じる問題点が
ある。
KR8−5、CaFz、Si等の他に、放射温喰計等の
ために赤外干渉フィルターも使用される。この赤外干渉
フィルターは、熱吸収が比較的大きく、熱放射も比較的
大きく、このため測定誤差、指示誤差が生じる問題点が
ある。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、窓材をサーモパイ
ル素子上に設け、サーモパイル素子と窓材との温度差の
影響を軽減させるようにしたサーモパイル赤外線検出器
を提供することである。
ル素子上に設け、サーモパイル素子と窓材との温度差の
影響を軽減させるようにしたサーモパイル赤外線検出器
を提供することである。
c問題点を解決するための手段]
この発明は、ヒートシンク上のサーモパイル素子に、支
持台を介して窓材を設けるようにしたサーモパイル赤外
線検出器である。
持台を介して窓材を設けるようにしたサーモパイル赤外
線検出器である。
[実施例]
第1図は、この発明の一実施例を示す構成説明図で、第
2図と同一符号は、同等の構成要素を示す。
2図と同一符号は、同等の構成要素を示す。
図において、リードビン2を挿通したステム1に、シー
リング材8を有するキャップ3が設けられている。また
、中央開口のヒートシンク5にサーモパイル素子6を接
着し、これをキャップ3内のリードビン2の先端に取り
付けた後、サーモパイル素子6の周囲の冷接点群(部)
上に、金属やセラミック等の材質で中央開口のリング状
の支持台7を設け、その上に窓材4を接着して設ける。
リング材8を有するキャップ3が設けられている。また
、中央開口のヒートシンク5にサーモパイル素子6を接
着し、これをキャップ3内のリードビン2の先端に取り
付けた後、サーモパイル素子6の周囲の冷接点群(部)
上に、金属やセラミック等の材質で中央開口のリング状
の支持台7を設け、その上に窓材4を接着して設ける。
ここで、支持台7の厚みは薄り、従って、サーモパイル
素子6の冷接点部と窓材4とは熱的に接触状態にある。
素子6の冷接点部と窓材4とは熱的に接触状態にある。
このため、窓材4とサーモパイル素子6との温度差はな
く、外部の温度変化による測定誤差は発生しない。
く、外部の温度変化による測定誤差は発生しない。
なお、キャップ3には、シーリング材8として、[3a
F21Ca F2などの赤外透過率の高いものを接着
しておけばよい。
F21Ca F2などの赤外透過率の高いものを接着
しておけばよい。
[R明の効果]
以上述べたように、この発明は、サーモパイル素子と窓
材とを支持台を介して近接して設けているので、サーモ
パイル素子と窓材との温度差はなく、窓材からの熱放射
による測定誤差はない。また、放射率の比較的大きい窓
材を使用した場合でも、周囲温度の変化等による測定誤
差の発生を軽減できる。
材とを支持台を介して近接して設けているので、サーモ
パイル素子と窓材との温度差はなく、窓材からの熱放射
による測定誤差はない。また、放射率の比較的大きい窓
材を使用した場合でも、周囲温度の変化等による測定誤
差の発生を軽減できる。
第1図は、この発明の一実施例を示す構成説明図、第2
図は、従来例を示す説明図である。
図は、従来例を示す説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ヒートシンク上のサーモパイル素子に、支持台を介
して窓材を設けたことを特徴とするサーモパイル赤外線
検出器。 2、前記支持台は、中央開口とされたことを特徴とする
特許請求の範囲第1項記載のサーモパイル赤外線検出器
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25653786A JPS63109336A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | サ−モパイル赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25653786A JPS63109336A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | サ−モパイル赤外線検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63109336A true JPS63109336A (ja) | 1988-05-14 |
JPH0521492B2 JPH0521492B2 (ja) | 1993-03-24 |
Family
ID=17294002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25653786A Granted JPS63109336A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | サ−モパイル赤外線検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63109336A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02105129U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-21 | ||
US6830373B2 (en) * | 2002-10-07 | 2004-12-14 | Opto Tech Corporation | Temperature measurement device |
JP2010107182A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-05-13 | Panasonic Corp | 空気調和機 |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP25653786A patent/JPS63109336A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02105129U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-21 | ||
US6830373B2 (en) * | 2002-10-07 | 2004-12-14 | Opto Tech Corporation | Temperature measurement device |
JP2010107182A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-05-13 | Panasonic Corp | 空気調和機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0521492B2 (ja) | 1993-03-24 |
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