JPS63108249A - Surface defect inspecting device - Google Patents

Surface defect inspecting device

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Publication number
JPS63108249A
JPS63108249A JP25434686A JP25434686A JPS63108249A JP S63108249 A JPS63108249 A JP S63108249A JP 25434686 A JP25434686 A JP 25434686A JP 25434686 A JP25434686 A JP 25434686A JP S63108249 A JPS63108249 A JP S63108249A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
inspected
dark
level
dark pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP25434686A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masato Sakakibara
正人 榊原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
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Publication of JPS63108249A publication Critical patent/JPS63108249A/en
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PURPOSE:To inspect whether or not there is a defect in the surface of a body objectively, quantitatively, and automatically by detecting an image of a light- dark pattern projected on the surface to be inspected as a high-low level signal of light, and detecting an irregular signal contained in the level signal and extracting the defect part in the surface to be inspected. CONSTITUTION:An image pickup means M2 detects the image of the light-dark pattern projected on the surface to be inspected by a light-dark pattern projecting means M1 as the high-low level signal of light and a light-dark level detecting means M3 lowers the level of the detected level signal relatively by a specific quantity corresponding to the property of the surface to be inspected, thereby extracting a level signal based upon the light-dark pattern. Then, a defect part extracting means M4 detects the irregular signal contained in the level signal based upon the light-dark pattern to extract the defect part in the surface to be inspected. Thus, the defect part such as an irregularity on a body to be inspected is detected automatically and the unmanned surface inspection of the body is realized by using industrial equipment such as a robot, thereby improving operation efficiency greatly.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的 [産業上の利用分野] 本発明は、物体の表面形態等の欠陥を検査する装置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to an apparatus for inspecting defects such as surface morphology of an object.

[従来の技術] 従来より物体表面における凹凸等の有無の検査は、検査
員により視覚あるいは触覚に基づいて行なわれている。
[Prior Art] Conventionally, the presence or absence of irregularities on the surface of an object has been inspected by an inspector based on visual or tactile sense.

この検査員の視覚あるいは触覚による検査は、検査員の
主観または熟練度が介在し易く、検査の均一性に関して
問題があり、また検査に必要な手間や時間が多くかかり
能率が悪くなるといった問題がめった。これらの問題を
解決するものとして、例えば、特開昭52−90988
号に示される[物体の表面欠陥検査方法]等の発明や提
案等がなされている。これらの発明や提案等は、検査さ
れる物体表面に縞状の明暗模様等を写し出し、物体表面
に凹凸等の欠陥があれば、写し出された明暗模様等が歪
み・乱れることを利用して物体表面の欠陥検査を行なう
ものである。
This visual or tactile inspection by the inspector is likely to be influenced by the inspector's subjectivity or skill level, and there are problems with the uniformity of the inspection, and the inspection requires a lot of effort and time, which reduces efficiency. Rarely. As a solution to these problems, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-90988
Inventions and proposals have been made, such as the [Method for inspecting surface defects of objects] as shown in the issue. These inventions and proposals project a striped light-dark pattern on the surface of the object being inspected, and if there is a defect such as unevenness on the object surface, the projected light-dark pattern is distorted or disturbed. This is used to inspect the surface for defects.

[発明が解決しようとする問題点コ 上記発明や提案等は、検査される物体表面に写し出され
る明暗模様等の歪み・乱れにより物体表面の欠陥の有無
を判定することができるので、検査の均一性を向上させ
、作業の能率化を図ることができるという優れた効果を
有するものの、猶、依然として、明暗模様等の歪み・乱
れの程度を検査員が判断することによって物体表面の欠
陥の有無を判定しているので、未だに検査結果の均一性
に欠けるといった問題が残されていた。このため、この
明暗模様等の歪み・乱れを数値化し、物体表面の欠陥の
有無を定量値として判断しようとする試みもなされてい
るが、猶、上記問題を解決するには至っていない。この
結果、物体表面の欠陥検査の省力化やロボット等を用い
ての無人化は妨げられている。
[Problems to be Solved by the Invention] The above inventions and proposals can determine the presence or absence of defects on the surface of an object based on distortions and disturbances of the bright and dark patterns projected on the surface of the object to be inspected. Although it has the excellent effect of improving work efficiency and improving work efficiency, it is still necessary for inspectors to determine the presence or absence of defects on the surface of objects by determining the degree of distortion and disturbance in bright and dark patterns, etc. However, there still remained the problem that the test results lacked uniformity. For this reason, attempts have been made to quantify the distortions and disturbances of the bright and dark patterns, etc., and use quantitative values to determine the presence or absence of defects on the object surface, but the above problem has not yet been solved. As a result, labor-saving inspection for defects on the surface of objects and unmanned inspection using robots and the like are hindered.

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あり、物体表面の欠陥の有無を客観的・定量的かつ自動
的に検査することのできる表面欠陥検査装置を提供する
ことをその目的としている。
The present invention has been made to solve the above problems, and its purpose is to provide a surface defect inspection device that can objectively, quantitatively, and automatically inspect the presence or absence of defects on the surface of an object. It is said that

1肌り璽メ [問題点を解決するための手段] 本発明の表面欠陥検査装置は、次のように構成されてい
る。即ち、第1図にその基本構成を例示する如く、 本発明の表面欠陥検査装置は、 予め定められた明暗模様を被検査表面に写し出す明暗模
様投影手段(Ml)と、 該明暗模様投影手段(Ml)により上記被検査表面に写
し出された上記明暗模様の像を光の強弱レベル信号とし
て検出する撮像手段(M2)と、該wL像手段(M2)
により検出された上記レベル信号のレベルを、上記被検
査表面の性質に対応した所定レベル分相対的に低下させ
て明暗模様によるレベル信号を取り出す明暗レベル検出
手段(M3)と、 該明暗レベル検出手段(M3)により取り出された上記
明暗模様によるレベル信号に含まれる不規則信号を検出
して上記被検査表面の欠陥部を抽出する欠陥部抽出手段
(M4)と、 を備えて構成されている。
1. Texture [Means for solving the problem] The surface defect inspection device of the present invention is configured as follows. That is, as the basic configuration is illustrated in FIG. 1, the surface defect inspection apparatus of the present invention includes: a bright and dark pattern projection means (Ml) that projects a predetermined bright and dark pattern on the surface to be inspected; an imaging means (M2) for detecting the image of the light and dark pattern projected on the surface to be inspected by Ml) as a light intensity level signal; and the wL imaging means (M2).
a light-dark level detection means (M3) for relatively lowering the level of the level signal detected by a predetermined level corresponding to the property of the surface to be inspected to extract a level signal based on a light-dark pattern; and a defect extracting means (M4) for detecting an irregular signal included in the level signal based on the bright and dark pattern extracted by step (M3) and extracting a defect on the surface to be inspected.

ここで、明暗模様投影手段(Ml)とは、予め定められ
た明暗模様を被検査表面に写し出す手段のことであって
、映写機等を用いて所定パターン、例えば、縞状明暗模
様等を被検査表面に写し出すよう構成すること等種々の
構成を考えることができる。尚、被検査表面に写し出さ
れる明暗模様は、被検査表面の反射によって生じる虚像
であってもよいし、あるいは単に投影された像であって
もよい。
Here, the bright and dark pattern projection means (Ml) is a means for projecting a predetermined bright and dark pattern onto the surface to be inspected. Various configurations can be considered, such as configuring it to be projected on the surface. Note that the bright and dark pattern projected on the surface to be inspected may be a virtual image generated by reflection from the surface to be inspected, or may be simply a projected image.

明暗レベル検出手段(M3)とは、撮像手段(M2)に
より検出された光の強弱レベル信号のレベルを、被検査
表面の性質に対応した所定レベル分相対的に低下させて
明暗模様によるレベル信号を取り出す手段でおって、上
記光の強弱レベル信号のレベルから被検査表面の性質に
対応した所定レベル分の値を低下させて明暗模様による
レベル信号を取り出すよう構成すること等種々の構成が
考えられる。尚、被検査表面の性質に対応した所定レベ
ル分とは、被検査表面自体が有する光のレベル信号所謂
オフセット信号のことである。
The light/dark level detection means (M3) relatively lowers the level of the light intensity level signal detected by the imaging means (M2) by a predetermined level corresponding to the properties of the surface to be inspected to produce a level signal based on a light/dark pattern. Various configurations are conceivable, such as configuring the means for extracting the light intensity level signal to reduce a value by a predetermined level corresponding to the properties of the surface to be inspected from the level of the light intensity level signal to extract a level signal based on a bright and dark pattern. It will be done. Note that the predetermined level corresponding to the properties of the surface to be inspected refers to a light level signal, a so-called offset signal, that the surface to be inspected itself has.

欠陥部抽出手段(M4)とは、明暗レベル検出手段(M
3)により取り出された上記明暗模様によるレベル信号
に含まれる不規則信号を検出して上記被検査表面の欠陥
部を抽出する手段のことであって、検出された不規則信
号を所定の方向に従って積分し、該積分された値が所定
値以上の場合に欠陥部とする構成としてもよい。尚、明
暗模様によるレベル信号に含まれる不規則信号は、検査
される物体表面に写し出された明暗模様の像が物体表面
の凹凸等の欠陥により歪み・乱れることによって生じる
信号であり、明暗模様の明部あるいは暗部のどちらにも
属しないレベルとして比較器等を用いて検出することや
、あるいは明暗模様の所定周期のレベル信号が乱れた部
分としてフィルタ回路等を用いて検出すること等が考え
られる。
The defect extracting means (M4) is a light/dark level detecting means (M4).
3) means for detecting an irregular signal included in the level signal based on the bright and dark pattern extracted by step 3) and extracting a defective portion on the surface to be inspected, the irregular signal being detected according to a predetermined direction. It may be configured such that the area is integrated and if the integrated value is greater than or equal to a predetermined value, it is determined to be a defective area. Incidentally, the irregular signal included in the level signal due to the bright and dark pattern is a signal that is generated when the image of the bright and dark pattern projected on the surface of the object being inspected is distorted or disturbed due to defects such as unevenness on the object surface. It is possible to use a comparator or the like to detect this as a level that does not belong to either the bright or dark area, or to detect it using a filter circuit or the like as a part where the level signal of a predetermined cycle of the bright and dark pattern is disturbed. .

[作用コ 上記構成を有する本発明の表面欠陥検査装置は次の如く
作用する。
[Function] The surface defect inspection apparatus of the present invention having the above-mentioned configuration functions as follows.

本発明の表面欠陥検査装置は、 明暗模様投影手段(Ml)により被検査表面に写し出さ
れた明暗模様の像を撮像手段(M2)により光の強弱レ
ベル信号として検出し、該検出されたレベル信号のレベ
ルを明暗レベル検出手段(M3)により被検査表面の性
質に対応した所定レベル分相対的に低下させて明暗模様
によるレベル信号を取り出し、この明暗模様によるレベ
ル信号に含まれる不規則信号を欠陥部抽出手段(M4)
により検出して被検査表面の欠陥部を抽出するよう働く
The surface defect inspection apparatus of the present invention detects an image of a light and dark pattern projected on the surface to be inspected by a light and dark pattern projection means (Ml) as a light intensity level signal using an imaging means (M2), and detects the detected level signal. The level is relatively lowered by a predetermined level corresponding to the properties of the surface to be inspected using the light and dark level detection means (M3), a level signal based on the light and dark pattern is extracted, and an irregular signal included in the level signal based on this light and dark pattern is detected as a defect. Part extraction means (M4)
It works to detect and extract defects on the surface to be inspected.

[実施例] 次に本発明の表面欠陥検査装置の構成を一層明らかにす
るために好適な実施例を図面と共に説明する。
[Example] Next, a preferred example will be described with reference to the drawings in order to further clarify the structure of the surface defect inspection apparatus of the present invention.

第2図は本発明一実施例の表面欠陥検査装置の構成を示
すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

本実施例の表面欠陥検査装置は、大きくは、凹凸等の欠
陥の有無が検査される被検査物OBの表面に縞状の明暗
模様を投影する明暗模様投影手段としての明暗模様投影
装置1と、被検査物OBの表面に投影された明暗模様の
虚像を撮影しその倣形した虚像を光の強弱レベル(以下
、明度と呼ぶこともある)信号として出力する撮像手段
としてのili像装置2と、vR像装置2より出力され
る上記レベル信号から被検査物OBの表面の性質に対応
した明度を相対的に低下させた後上記明暗模様によるレ
ベル信号を取り出す明暗レベル検出手段としての明暗レ
ベル検出回路3と、明暗レベル検出回路3から出力され
る明暗模様によるレベル信号に含まれる不規則信号を検
出して被検査物08表面の欠陥部を抽出する欠陥部抽出
手段としての欠陥部抽出装置4と、から構成されている
。尚、欠陥部抽出装置4は、更に不規則信号を検出する
不規則信号検出回路5と不規器部抽出回路6とから構成
されている。
The surface defect inspection apparatus of this embodiment mainly includes a light-dark pattern projection device 1 as a light-dark pattern projection means for projecting a striped light-dark pattern onto the surface of an object to be inspected OB to be inspected for the presence or absence of defects such as irregularities. , an ili imaging device 2 as an imaging means that photographs a virtual image of a light and dark pattern projected on the surface of the object to be inspected OB and outputs the imitated virtual image as a light intensity level (hereinafter also referred to as brightness) signal. and a light/dark level detecting means for extracting a level signal based on the light/dark pattern after relatively lowering the brightness corresponding to the surface properties of the object to be inspected OB from the level signal outputted from the vR imaging device 2. A detection circuit 3 and a defect extraction device as a defect extraction means for detecting irregular signals included in a level signal based on a light-dark pattern output from the light-dark level detection circuit 3 and extracting a defect on the surface of the object to be inspected 08. It consists of 4 and. The defect extraction device 4 further includes an irregular signal detection circuit 5 for detecting irregular signals and an irregular region extraction circuit 6.

明暗模様投影装置1は、多数の等間隔のスリットを有す
る平板10と散乱光を射出する光源11とから構成され
ていて、被検査物OBの表面に所定ピッチの明暗模様(
本実施例では、明部・暗部共にその間隔1.5mmとし
ている)を写し出す。
The bright and dark pattern projecting device 1 is composed of a flat plate 10 having a large number of equally spaced slits and a light source 11 that emits scattered light, and projects a bright and dark pattern (
In this embodiment, the distance between the bright and dark areas is 1.5 mm).

尚、本実施例では、被検査物OBは光沢を有する鉄板で
市って、明暗模様は虚像として写し出される。
In this embodiment, the object to be inspected OB is made of a glossy iron plate, and the bright and dark pattern is projected as a virtual image.

撮像装置2は、撮像管(以下、TVカメラと呼ぶ)20
等とから構成されている。TVカメラ20は、被検査物
OBの表面上の虚像を撮影し、その躍彰した虚像を所定
の走査線に基づいて光の強弱レベル信号として明暗レベ
ル検出回路3の分配器30に出力する。尚、CRTディ
スプレイDP1は、TVカメラ20により倣形された像
を画面上に表示するものである。
The imaging device 2 includes an imaging tube (hereinafter referred to as a TV camera) 20
It is composed of etc. The TV camera 20 photographs a virtual image on the surface of the object to be inspected OB, and outputs the bright virtual image to the distributor 30 of the brightness level detection circuit 3 as a light intensity level signal based on a predetermined scanning line. Note that the CRT display DP1 displays an image copied by the TV camera 20 on its screen.

明暗レベル検出回路3は、分配器309重畳回路31.
バイパスフィルタ回路32等とから構成されている。重
畳回路31は、第3図に示すように、ロウパスフィルタ
回路35.比較器36.インバータ37.アナログスイ
ッチ38および39等とから構成されている。
The bright/dark level detection circuit 3 includes a distributor 309 superimposing circuit 31 .
It is composed of a bypass filter circuit 32 and the like. As shown in FIG. 3, the superimposition circuit 31 includes a low-pass filter circuit 35. Comparator 36. Inverter 37. It is composed of analog switches 38 and 39, etc.

欠陥部抽出装置4の不規則信号検出回路5は絶対値回路
50.ロウパスフィルタ回路51.比較器52および混
合器53等から構成され、不規器部抽出回路6は画像収
縮回路60および欠陥部抽出回路61等から構成されて
いる。この不規器部抽出回路6は第4図に示すように、
所謂CPLJ70、ROM71およびRAM72を中心
とし、これらと外部入力回路73および外部出力回路7
4とをバス75により相互に接続した論理演算回路とし
て構成されている。ここで、外部入力回路73には混合
器53等が接続されている。尚、CRTディスプレイD
P2は混合器53より出力されるビデオ(画像)信号を
、CRTディスプレイDP3は画像収縮回路60より出
力されるビデオ信号を、各々画像として表示するもので
ある。
The irregular signal detection circuit 5 of the defect extraction device 4 includes an absolute value circuit 50. Low pass filter circuit 51. It is comprised of a comparator 52, a mixer 53, etc., and the irregular part extraction circuit 6 is comprised of an image shrinkage circuit 60, a defect part extraction circuit 61, etc. As shown in FIG. 4, this irregular organ part extraction circuit 6 is
The so-called CPLJ 70, ROM 71 and RAM 72 are the main components, as well as an external input circuit 73 and an external output circuit 7.
4 are connected to each other by a bus 75 as a logic operation circuit. Here, the mixer 53 and the like are connected to the external input circuit 73. Furthermore, CRT display D
P2 displays the video (image) signal output from the mixer 53, and the CRT display DP3 displays the video signal output from the image shrinking circuit 60 as images.

次に本実施例の表面欠陥検査装置の作用を、第5図、第
6図および第7図のタイミングチャートを適宜用いて説
明する。これらのタイミングチャートは、搬像装置2.
明暗レベル検出回路3および欠陥部抽出装置4の各部の
出力信号を表わしたものである。
Next, the operation of the surface defect inspection apparatus of this embodiment will be explained using the timing charts of FIGS. 5, 6, and 7 as appropriate. These timing charts are for the image carrier 2.
It represents the output signals of each part of the bright/dark level detection circuit 3 and the defect extraction device 4.

明暗模様投影装置1により被検査物OB上に写される明
暗模様の虚像は、搬像装置2のTVカメラ20よりビデ
オ信号vD1(第5図タイミングチャート ビデオ信号
VDI)に変換されて明暗レベル検出回路3の分配器3
0に出力される。また、このビデオ信号VD1は、CR
TディスプレイDP1にも出力され、TVカメラ20に
より蹟影された画像はCRTディスプレイDPIの画面
上に再生される。TVカメラ20から出力されるビデオ
信号VD1は、被検査物OBの表面が滑らかな状態の時
には、本来明暗模様が持つ明部のハイレベルと暗部のロ
ウレベルとを規則正しい状態で有する正弦波的な信号と
なるが、凹凸等の欠陥部を有している時には、その欠陥
部により明暗模様は歪み・乱されて明部のハイレベルあ
るいは暗部のロウレベルのどちらにも属しないレベル所
謂中間明度の信号(不規則信号)を有することになる(
第5図タイミングチャート ビデオ信号VD1)。この
欠陥部により歪み・乱された中間明度部badは、第2
図に絵画的に示したようにCRTディスプレイDP1の
画面上おいても観察することができる。尚、TVカメラ
20によるビデオ信号VD1は、被検査物OB上の明暗
模様に直交するスキャン走査による映像信号で必る。従
って、第4図に示されるタイミングチャート等は時間t
をパラメータとしている。
The virtual image of the bright and dark pattern projected onto the inspection object OB by the bright and dark pattern projection device 1 is converted into a video signal vD1 (video signal VDI in the timing chart in FIG. 5) by the TV camera 20 of the image carrier 2, and the brightness level is detected. Distributor 3 of circuit 3
Output to 0. Moreover, this video signal VD1 is CR
The image is also output to the T display DP1, and the image captured by the TV camera 20 is reproduced on the screen of the CRT display DPI. When the surface of the object to be inspected OB is smooth, the video signal VD1 outputted from the TV camera 20 is a sinusoidal signal that regularly has high levels in bright areas and low levels in dark areas, which are originally the characteristics of a bright and dark pattern. However, when there are defects such as unevenness, the bright and dark pattern is distorted and disturbed by the defect, resulting in a so-called intermediate brightness signal ( Irregular signal) will have (
Fig. 5 timing chart video signal VD1). The intermediate brightness part bad, which is distorted and disturbed by this defective part, is
As illustrated pictorially in the figure, it can also be observed on the screen of the CRT display DP1. Note that the video signal VD1 from the TV camera 20 is necessarily a video signal obtained by scanning orthogonal to the bright and dark pattern on the object to be inspected OB. Therefore, the timing chart shown in FIG.
is taken as a parameter.

明暗レベル検出回路3の分配器30に入力されたビデオ
信号VD1は、ここで、画像のビデオ信号VD2と同期
信号SSとに分離される(第5図タイミングチャート 
ビデオ信号VD2.同期信号SS)。ビデオ信号VD1
の有するビデオ信号VD2は正のレベル、同期信号SS
は負のレベルなので、分配器30は整流器等を用いて簡
易に構成することができる。尚、第5図のタイミングチ
ャートに示すビデオ信号VD1は、スキャン査線による
走査線の1ラインに相当する。
The video signal VD1 input to the distributor 30 of the bright/dark level detection circuit 3 is separated into the video signal VD2 of the image and the synchronization signal SS (see timing chart in FIG. 5).
Video signal VD2. synchronization signal SS). Video signal VD1
The video signal VD2 has a positive level, and the synchronization signal SS
Since this is a negative level, the distributor 30 can be easily constructed using a rectifier or the like. The video signal VD1 shown in the timing chart of FIG. 5 corresponds to one scanning line.

分配器30から出力されるビデオ信号VD2は、重畳回
路31に入力される。この入力されたビデオ信号VD2
には、被検査物OBの表面自体が持つ明度(以下、単に
明度■Sと呼ぶ)が含まれている。この表面明度vSは
、被検査物OBの表面塗装色等により異なってくる。重
畳回路31は、ビデオ信号VD2の電圧レベルを表面明
度VSに相当する電圧分相対内に低下させる働きをする
Video signal VD2 output from distributor 30 is input to superimposition circuit 31. This input video signal VD2
includes the brightness of the surface of the object to be inspected OB (hereinafter simply referred to as brightness ■S). This surface brightness vS varies depending on the surface coating color of the object to be inspected OB. The superimposition circuit 31 functions to lower the voltage level of the video signal VD2 to within a voltage corresponding to the surface brightness VS.

以下、この重畳回路31の働きを、第6図および第7図
に示すタイミングチャートを用いて、+ < 1 >表
面塗装色が白色の場合、(ii)  表面塗装色が黒色
の場合、の各々の場合について説明する。
Hereinafter, the function of this superimposition circuit 31 will be explained using the timing charts shown in FIGS. 6 and 7, respectively: + <1> When the surface coating color is white, (ii) When the surface coating color is black. The case will be explained below.

(i)  表面塗装色が白色の場合、 第3図に示す重畳回路31の入力端子m1に入力される
ビデオ信号VD2は、被検査物08の表面塗装色が白色
の場合、全体的に高い電圧レベルの信号となる(第6図
タイミングチャート ビデオ信号VD2>。
(i) When the surface coating color is white, the video signal VD2 input to the input terminal m1 of the superimposing circuit 31 shown in FIG. (Figure 6 timing chart video signal VD2>).

重畳回路31は、このビデオ信号VD2の内明暗模様に
よるレベル信号の区間をロウパスフィルタ回路35およ
び比較器36を用いて検出する。
The superimposition circuit 31 uses a low-pass filter circuit 35 and a comparator 36 to detect the section of the level signal based on the bright and dark pattern within the video signal VD2.

即ち、所謂積分回路として構成されたロウパスフィルタ
回路35によりビデオ信号VD2をなまし、このなまし
たビデオ信号■21〈第6図タイミングチャート ビデ
オ信号■21)と予め定められた基準電圧■]とを比較
器36を用いて比較し区間信号SPIを得る(第6図タ
イミングチャート区間信号SP1 )。この区間信号S
P1がハイレベルの区間は、ビデオ信号VD2の明暗模
様の区間を示している。この区間信号SP1はアナログ
スイッチ38のゲートに入力され、インバータ37を用
いて区間信号SP1を反転させた区間信号SP2 (第
6図タイミングチャート 区間信号5P2)はアナログ
スイッチ39のゲートに入力されている。これにより、
アナログスイッチ38は区間信号SP1がハイレベルの
状態の時その入力を出力し、アナログスイッチ39は区
間信号SP1がロウレベルの状態の時その入力を出力す
る。
That is, the video signal VD2 is annealed by a low-pass filter circuit 35 configured as a so-called integral circuit, and the annealed video signal 21 (Figure 6 timing chart video signal 21) and a predetermined reference voltage 2] A comparator 36 is used to compare the period signal SPI with the period signal SPI (section signal SP1 in the timing chart of FIG. 6). This section signal S
The section where P1 is at a high level indicates the section where the video signal VD2 has a bright and dark pattern. This section signal SP1 is input to the gate of the analog switch 38, and the section signal SP2 (section signal 5P2 in the timing chart in FIG. 6) obtained by inverting the section signal SP1 using the inverter 37 is input to the gate of the analog switch 39. . This results in
The analog switch 38 outputs its input when the section signal SP1 is at a high level, and the analog switch 39 outputs its input when the section signal SP1 is at a low level.

一方、アナログスイッチ38には上記ビデオ信号VD2
が入力され、アナログスイッチ39には設定電圧V2が
入力されている。このアナログスイッチ38および39
の出力側は、各々重畳回路31の出力端子m2に接続さ
れている。ここで、上記設定電圧V2は、上述した表面
明度VSに相当するものとして予め設定された電圧であ
る。
On the other hand, the analog switch 38 is connected to the video signal VD2.
is input, and the set voltage V2 is input to the analog switch 39. This analog switch 38 and 39
The output sides of are connected to the output terminal m2 of the superimposing circuit 31, respectively. Here, the set voltage V2 is a voltage set in advance to correspond to the surface brightness VS described above.

上記構成により、重畳回路31は、明暗模様によるレベ
ル信号を除く区間の信号に設定電圧V2を重畳させたビ
デオ信号V22(第6図タイミングチャート ビデオ信
号■22)を出力端子m2から出力する。これにより、
明暗模様によるレベル信号は設定電圧V2だけ相対的に
低下したことになる。
With the above configuration, the superimposing circuit 31 outputs from the output terminal m2 a video signal V22 (video signal 22 in the timing chart of FIG. 6) in which the set voltage V2 is superimposed on the signal in the section excluding the level signal due to the bright and dark pattern. This results in
This means that the level signal due to the bright and dark pattern is relatively lowered by the set voltage V2.

(ii)  表面塗装色が黒色の場合、この場合には、
入力端子m1に入力されるビデオ信号VD2は、表面塗
装色が白色の場合に比して全体的に低い電圧レベルの信
号となる(第7図タイミングチャート ビデオ信号VD
2>。
(ii) If the surface coating color is black, in this case,
The video signal VD2 input to the input terminal m1 is a signal with an overall lower voltage level than when the surface coating color is white (Figure 7 Timing Chart Video Signal VD2
2>.

重畳回路31は、上記mの場合と同様、このビデオ信号
VD2に基づいてロウパスフィルタ回路35.比較器3
6.インバータ37から各々ビデオ信号v231区間信
号SP3.区間信号SP4を出力しく第7図タイミング
チャート ビデオ信号V232区間信号SP3.区間信
@5P4)、アナログスイッチ38および39を用いて
ビデオ信号■24(第7図タイミングチャー1〜 ビデ
オ信号■24)を出力端子m2から出力する。
As in the case of m above, the superimposition circuit 31 uses the low-pass filter circuits 35 . Comparator 3
6. From the inverter 37, each video signal v231 section signal SP3. 7. Timing chart for outputting section signal SP4 Video signal V232 section signal SP3. Using the analog switches 38 and 39, the video signal 24 (timing chart 1 to video signal 24 in FIG. 7) is output from the output terminal m2.

上述したように、重畳回路31の入力端子m1に入力さ
れるビデオ信号VD2は、各々の場合においてレベルの
差を生じるが、出力端子m2から出力されるビデオ信号
V22.V24は各々設定電圧V2だ1ブ相対的に低下
させられる。これにより、重畳回路31から出力される
信号は、急激な立ち上がりや立ち下がりを持たない信号
とされる。
As described above, the video signal VD2 input to the input terminal m1 of the superimposition circuit 31 has a level difference in each case, but the video signal V22 . V24 is each lowered relative to the set voltage V2. Thereby, the signal output from the superimposition circuit 31 is a signal that does not have sudden rises or falls.

重畳回路31から出力されるビデオ信号V22又はV2
4は、バイパスフィルタ回路32に入力される。微分回
路として構成されたバイパスフィルタ回路32は、所謂
低周波信号を除去する。これにより、ビデオ信号V22
又はV24は、明暗模様の明部を正レベル、暗部を負の
レベルとするビデオ信号VD3に変換される。従って、
中間明度部badあるいは明暗模様の明部と暗部の境界
部はほぼ零レベルの信号となる(第5図タイミングチャ
ート ビデオ信号VD3)。この時、ビデオ信号V22
又はV24は、重畳回路31の働きによって急激な立ち
上がりや立ち下がりを持たない信号にされているため、
微分回路としてのバイパスフィルタ回路32を通過して
表面明度VS(所謂オフセット電圧)がカットされたノ
イズ信号の有しないビデオ信号VD3となる。
Video signal V22 or V2 output from the superimposition circuit 31
4 is input to the bypass filter circuit 32. The bypass filter circuit 32 configured as a differentiating circuit removes so-called low frequency signals. As a result, the video signal V22
Alternatively, V24 is converted into a video signal VD3 in which bright parts of the bright and dark pattern have a positive level and dark parts have a negative level. Therefore,
The intermediate brightness part bad or the boundary part between the bright part and the dark part of the bright and dark pattern becomes a signal of almost zero level (video signal VD3 in the timing chart of FIG. 5). At this time, video signal V22
Or, since V24 is made into a signal that does not have sudden rises or falls due to the function of the superimposition circuit 31,
The video signal VD3 passes through a bypass filter circuit 32 serving as a differentiating circuit and has the surface brightness VS (so-called offset voltage) cut off, resulting in a video signal VD3 free of noise signals.

バイパスフィルタ回路32でオフセット電圧分を取り除
かれたビデオ信号VD3は、不規則信号検出回路5の絶
対値回路50に入力される。絶対値回路50に入力され
たビデオ信号VD3の暗部等の負のレベル信号は、ここ
で正レベルの信号に変換される(第5図タイミングチャ
ート ビデオ信号VD4>。即ち、絶対値回路50に入
力されたビデオ信号VD3は、ここで全波整流されたビ
デオ信号VD4となる。
The video signal VD3 from which the offset voltage has been removed by the bypass filter circuit 32 is input to the absolute value circuit 50 of the irregular signal detection circuit 5. A negative level signal such as a dark part of the video signal VD3 inputted to the absolute value circuit 50 is converted to a positive level signal here (Fig. 5 timing chart video signal VD4>. That is, inputted to the absolute value circuit 50). The converted video signal VD3 becomes a full-wave rectified video signal VD4.

絶対値回路50より出力されるビデオ信号VD4は、そ
のままの形で比較器52のプラス側に入力されると共に
、ロウパスフィルタ回路51を介して比較器52のマイ
ナス側にも入力される。
The video signal VD4 outputted from the absolute value circuit 50 is input as is to the plus side of the comparator 52, and is also input to the minus side of the comparator 52 via the low-pass filter circuit 51.

ロウパスフィルタ回路51は入力されたビデオ信号VD
4に基づいて浮動しきい値信号SLを作る(第5図タイ
ミングチャート 浮動しきい値信号SL)。この浮動し
きい値信号SLは、第1図のタイミングチャートに示す
ように、ビデオ信号VD4の明部のハイレベル信号より
小さく、中間明度部badより大きい信号とされている
The low-pass filter circuit 51 receives the input video signal VD.
A floating threshold signal SL is generated based on 4 (timing chart in FIG. 5, floating threshold signal SL). As shown in the timing chart of FIG. 1, this floating threshold signal SL is a signal that is smaller than the high level signal of the bright portion of the video signal VD4 and larger than the intermediate brightness portion bad.

浮動しきい値信@SLを比較の基準値とする比較器52
は、明部をハイレベル、暗部をロウレベルとする2値信
号のビデオ信号VD5を混合器53に出力する(第5図
タイミングチャート ビデオ信号VD5)。
Comparator 52 that uses floating threshold signal @SL as a reference value for comparison
outputs a binary video signal VD5 in which bright areas are at high level and dark areas are at low level (video signal VD5 in the timing chart of FIG. 5).

ビデオ信号VD5は混合器53に入力されるが、この混
合器53には、CRTディスプレイDP2に映像出力す
るために、上述した分配器30により分離された同期信
号SSも入力され、ビデオ信号VD5は同期信号SSを
含んだビデオ信号VD6とされる(第5図タイミングチ
ャート ビデオ信号VD6)。同期信@SSを含んだビ
デオ信号VD6は、不規前部抽出回路6の画像収縮回路
60に出力される。尚、ビデオ信号VD6は、CRTデ
ィスプレイDP2にも出力されるが、CRTディスプレ
イDP2の画面上には、ビデオ信号VD6のロウレベル
信号が暗部として表示される。
The video signal VD5 is input to the mixer 53, and the synchronization signal SS separated by the above-mentioned distributor 30 is also input to the mixer 53 in order to output the image to the CRT display DP2. The video signal VD6 includes the synchronization signal SS (timing chart in FIG. 5, video signal VD6). The video signal VD6 containing the synchronization signal @SS is output to the image contraction circuit 60 of the irregular front part extraction circuit 6. Note that the video signal VD6 is also output to the CRT display DP2, and the low level signal of the video signal VD6 is displayed as a dark area on the screen of the CRT display DP2.

即ち、上述したCRTディスプレイDPIに表示された
明部と暗部との境界線と中間明度部badとが画面上に
暗部として表示されるのである。
That is, the boundary line between the bright area and the dark area and the intermediate brightness area bad displayed on the above-mentioned CRT display DPI are displayed as a dark area on the screen.

不規前部抽出回路6の画像収縮回路60に入力されるビ
デオ信号VD6は、周知のごとく、第8図に示す走査線
に従った信号でおる。つまり、中間明度部badが表わ
れる走査線rnにおいては、ビデオ信号VD6の明暗模
様となる暗部の画素数は少なく、中間明度部badの画
素数は多数である。これにより、画像収縮回路60は、
暗部となる画素数が所定数以上の場合には、暗部となる
画素を明部の画素とする所謂画像収縮作業を行なう。
As is well known, the video signal VD6 input to the image contraction circuit 60 of the irregular front part extraction circuit 6 is a signal that follows the scanning line shown in FIG. That is, in the scanning line rn where the intermediate brightness area bad appears, the number of pixels in the dark area forming the bright and dark pattern of the video signal VD6 is small, and the number of pixels in the intermediate brightness area bad is large. As a result, the image contraction circuit 60
If the number of pixels forming a dark area is equal to or greater than a predetermined number, a so-called image shrinking operation is performed in which the pixels forming a dark area are converted into pixels of a bright area.

この画像収縮作業は、明暗模様の暗部が消えるまで行な
われる(第5図タイミングチャート ビデオ信号VD7
)。ここで、CRTディスプレイDP1.DP2.DP
3の画面サイズは10100mmX100でおり、走査
線の横・縦の1ラインの画素数は各々512とされてい
る。従って、1画素の面積は約0.2X0.2mm2で
ある。また、画像収縮作業は以下のようにして行なわれ
る。
This image contraction work is performed until the dark part of the bright and dark pattern disappears (Fig. 5 timing chart video signal VD7
). Here, CRT display DP1. DP2. DP
The screen size of No. 3 is 10,100 mm x 100, and the number of pixels in each horizontal and vertical scanning line is 512. Therefore, the area of one pixel is approximately 0.2 x 0.2 mm2. Further, the image shrinking work is performed as follows.

即ち、1ラインの走査線において、暗部となる画素数が
所定数く本実施例では、2〜3画素)続いている場合の
みに1画素の暗部とし、この作業を所定間隔毎の縦縞(
暗部)が消えるまで行なうのである。
That is, in one scanning line, only when a predetermined number of dark pixels (in this example, 2 to 3 pixels) continue, is one pixel dark, and this process is performed by forming vertical stripes (
Do this until the dark part) disappears.

明暗模様の暗部が消去されたビデオ信号VD7は、欠陥
部抽出回路61に出力される。尚、このビデオ信号VD
7は、CRTディスプレイDP3にも出力され、中間明
度部(不規則部)badは画面上に表示される。この時
の中間明度部badは、画像収縮回路60により若干収
縮された画像となっている。
The video signal VD7 from which the dark portions of the bright and dark patterns have been removed is output to the defect extraction circuit 61. Furthermore, this video signal VD
7 is also output to the CRT display DP3, and the intermediate brightness portion (irregular portion) bad is displayed on the screen. At this time, the intermediate brightness portion bad is an image that has been slightly contracted by the image contraction circuit 60.

欠陥部抽出回路61では、中間明度部badの面積の大
きざが判定される。本実施例では、中間明度部badの
大きざが直径1mm程度の円に相当する大きさ以上の時
、即ち、中間明度部badの画素数が25画素以上の時
に中間明度部badを欠陥部とし、NG信号を出力する
The defective portion extraction circuit 61 determines the size of the area of the intermediate brightness portion bad. In this embodiment, when the size of the intermediate brightness part bad is equal to or larger than the size equivalent to a circle with a diameter of about 1 mm, that is, when the number of pixels in the intermediate brightness part bad is 25 or more, the intermediate brightness part bad is determined to be a defective part. , outputs an NG signal.

尚、第9図に示すフローチャートは、以上詳細に説明し
た本実施例の明暗レベル検出回路3および欠陥部抽出装
@4の行なう動作をフローチャートとして表わしたもの
である。従って、TVカメラ20によるビデオ信号VD
1を一旦デジタル画像信号に変換し、不規則部抽出回路
6以外に明暗レベル検出回路3および欠陥部抽出回路5
も論理演算回路として構成した場合には、第9図に示す
フローチャートに従って上述した処理を実現すればよい
。尚、上述した不規前部抽出回路6の動作は、第9図に
示す処理のステップ180ないし200に相当する。
Incidentally, the flowchart shown in FIG. 9 is a flowchart representing the operations performed by the brightness level detection circuit 3 and the defect extraction device @4 of the present embodiment, which have been described in detail above. Therefore, the video signal VD from the TV camera 20
1 into a digital image signal, and in addition to the irregular part extraction circuit 6, a brightness level detection circuit 3 and a defect part extraction circuit 5 are used.
If the circuit is configured as a logic operation circuit, the above-described processing may be implemented according to the flowchart shown in FIG. The operations of the irregular front portion extraction circuit 6 described above correspond to steps 180 to 200 of the process shown in FIG.

本実施例の表面欠陥検査装置によると、被検査物OB上
の凹凸等の欠陥部を、TVカメラ20がとらえた被検査
物08表面の画像に含まれる中間明度部を用いて正確か
つ自動的に検出することができる。また、画像収縮作業
により明暗模様の明部と暗部との境界に発生する中間明
度部と、欠陥による中間明度部badとを明確に区別し
て欠陥部を検出することができる。
According to the surface defect inspection apparatus of this embodiment, defects such as irregularities on the object to be inspected OB are detected accurately and automatically using the intermediate brightness portion included in the image of the surface of the object to be inspected 08 captured by the TV camera 20. can be detected. Moreover, the defective portion can be detected by clearly distinguishing between the intermediate brightness portion that occurs at the boundary between the bright and dark portions of the bright and dark pattern and the intermediate brightness portion bad due to the defect by the image shrinking operation.

これにより、ロボット等の産業機器を用いて物体の表面
検査を無人化することができ、著しく作業効率を高める
ことができるという優れた効果を有する。また、被検査
物OB上の中間明度部badの大きさは数値化すること
ができ、定量値(本実施例では25画素以上)と比較さ
れて欠陥部と判定されるので、検査結果に均一性を有し
極めて信頼性の高い検査結果を得ることができるという
効果も奏している。更に、重畳回路31の働きにより被
検査物08の表面自体が持つ明度を相対的に低下させて
検査の精度を一層高めることができるという効果を得て
いる。また、凹凸等の欠陥部を中間明度部badとして
検出することができるので、被検査物O8の表面が曲面
等の場合に、明暗の明暗模様の間隔が狭くなっても、欠
陥部により歪み・乱れる縞の面積は一定となり正確な検
査結果を得ることができるという優れた効果を有してい
る。また、本実施例においては、明暗模様の明部および
暗部の間隔を各々1.5mmとしたが、検出したい欠陥
部の大きざよりも縞間隔を狭くしていけば、欠陥部検出
の精度を向上させることができるという効果も奏する。
As a result, surface inspection of objects can be performed unmanned using industrial equipment such as robots, which has the excellent effect of significantly increasing work efficiency. In addition, the size of the intermediate brightness area bad on the object to be inspected OB can be quantified and compared with a quantitative value (in this example, 25 pixels or more) and determined to be a defective area, so the inspection results are uniform. It also has the effect of being able to obtain extremely reliable test results. Furthermore, the effect of the superimposing circuit 31 is that the brightness of the surface itself of the object to be inspected 08 is relatively reduced, thereby further increasing the accuracy of inspection. In addition, since defects such as irregularities can be detected as intermediate brightness areas bad, even when the surface of the object to be inspected O8 is a curved surface, even if the interval between the bright and dark patterns becomes narrow, the defects may cause distortion or This has the excellent effect that the area of the disturbed stripes is constant and accurate inspection results can be obtained. In addition, in this example, the interval between the bright and dark areas of the bright and dark pattern was set to 1.5 mm, but the accuracy of defect detection can be improved by making the stripe interval narrower than the size of the defect you want to detect. It also has the effect that it can be improved.

以上、本発明の表面欠陥検査装置の一実施例について詳
細に説明したが、本発明の表面欠陥検査装置は上記実施
例に回答限定されるものではなく、本発明を逸脱しない
範囲において種々の実施を行なうことができるのはもち
ろんのことである。例えば、本実施例においては、重畳
回路31に用いられる設定電圧V2として予め定められ
た一つの値を用いたが、予め被検査物08の塗装色に各
々対応した設定電圧を複数用意しておき塗装色に応じて
使い分けるよう構成することや、あるいは検査前に予め
測定した被検査物OBの明度を記憶しておきその値を用
いるよう構成すること等も考えられる。
Although one embodiment of the surface defect inspection device of the present invention has been described above in detail, the surface defect inspection device of the present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented in various ways without departing from the scope of the present invention. Of course, it is possible to do this. For example, in this embodiment, one predetermined value is used as the set voltage V2 used in the superimposing circuit 31, but a plurality of set voltages each corresponding to the paint color of the object to be inspected 08 are prepared in advance. It is also conceivable to configure it so that it is used differently depending on the paint color, or to store the brightness of the object to be inspected OB measured in advance before the inspection and use that value.

尚、第10図に示すタイミングチャートは、本実施例に
おいて被検査物OBの表面塗装色が白色の場合に重畳回
路31を使用しない時のバイパスフィルタ回路32.絶
対値回路50およびロウパスフィルタ回路51の出力信
号(各々ビデオ信号VD3.ビデオ信号VD4および浮
動しきい値信号SL)を示すものである。このタイミン
グチャートからも分るように、被検査物OBの表面自体
の明度が高い場合、バイパスフィルタ回路32を介した
後には明暗模様によるレベル信号の始めと終わりとに高
いノイズ信号が表われ(第10図タイミングチャート 
ビデオ信@VD3)、ロウバスフィルタ回路51におい
て好適な浮動しきい値信号SLがつくれない。
Incidentally, the timing chart shown in FIG. 10 shows the bypass filter circuit 32 when the superimposing circuit 31 is not used when the surface coating color of the object to be inspected OB is white in this embodiment. The output signals of the absolute value circuit 50 and the low-pass filter circuit 51 (video signal VD3, video signal VD4 and floating threshold signal SL, respectively) are shown. As can be seen from this timing chart, when the surface of the object to be inspected OB itself has high brightness, a high noise signal appears at the beginning and end of the level signal due to the bright and dark pattern after passing through the bypass filter circuit 32 ( Figure 10 Timing chart
Video signal @VD3), a suitable floating threshold signal SL cannot be created in the low bass filter circuit 51.

発明の効果 本発明の表面欠陥検査装置によると、被検査物上の凹凸
等の欠陥部を自動的に検出することができるという優れ
た効果を有している。これにより、ロボット等の産業機
器を用いて物体の表面検査を無人化することができ、著
しく作業効率を高めることができるという優れた効果を
有する。また、被検査物上の中間明度部の大きさは数値
化することができ、定量値と比較されて欠陥部と判定さ
れるので、検査結果に均一性を有し極めて信頼性の高い
検査結果を得ることができるという効果も奏している。
Effects of the Invention According to the surface defect inspection apparatus of the present invention, it has an excellent effect of being able to automatically detect defects such as irregularities on an object to be inspected. As a result, surface inspection of objects can be performed unmanned using industrial equipment such as robots, which has the excellent effect of significantly increasing work efficiency. In addition, the size of the intermediate brightness area on the object to be inspected can be quantified and compared with the quantitative value and determined to be a defective area, so the inspection results are uniform and extremely reliable. It also has the effect of being able to obtain the following.

更に、明暗レベル検出手段を用いて撮像手段により検出
されたレベル信号から明暗模様によるレベル信号を取り
出すことができ一層検査の精度を高めることができると
いう優れた効果を有している。
Furthermore, the present invention has the excellent effect that a level signal based on a bright and dark pattern can be extracted from a level signal detected by an imaging means using a bright and dark level detection means, thereby further improving the accuracy of inspection.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の表面欠陥検査装置の基本構成を例示す
るブロック図、第2図は本発明一実施例の表面欠陥検査
装置の構成を示すブロック図、第3図はその重畳回路3
1を示す回路図、第4図は不規凹部抽出回路6の構成を
示すブロック図、第5図、第6図および第7図はその各
部の出力信号を示すタイミングチャート、第8図はその
CRTディスプレイDP2の走査線を示す説明図、第9
図はその明暗レベル検出回路3および欠陥部抽出装置4
の行なう動作を示すフローチャート、第10図は重畳回
路31を用いない場合のバイパスフィルタ回路32等の
出力信号を示すタイミングチャート、である。 1・・・明暗模様投影装置 2・・・撮像装置 3・・・明暗レベル検出回路 4・・・欠陥部抽出装置 5・・・不規則信号検出回路 5・・・不規凹部抽出回路 31・・・重畳回路 38.39・・・アナログスイッチ DPI、DP2.DP3・・・CRTディスプレイba
d・・・欠陥部
FIG. 1 is a block diagram illustrating the basic configuration of a surface defect inspection apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a block diagram illustrating the configuration of a surface defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a superimposition circuit 3 thereof.
1, FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the irregular recess extraction circuit 6, FIGS. 5, 6, and 7 are timing charts showing the output signals of each part, and FIG. Explanatory diagram showing scanning lines of CRT display DP2, No. 9
The figure shows the brightness level detection circuit 3 and defect extraction device 4.
FIG. 10 is a timing chart showing the output signals of the bypass filter circuit 32 and the like when the superimposing circuit 31 is not used. 1... Brightness pattern projection device 2... Imaging device 3... Brightness level detection circuit 4... Defect part extraction device 5... Irregular signal detection circuit 5... Irregular recessed part extraction circuit 31. ...Superimposition circuit 38.39...Analog switch DPI, DP2. DP3...CRT display ba
d...Defect part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)予め定められた明暗模様を被検査表面に写し出す
明暗模様投影手段と、 該明暗模様投影手段により上記被検査表面に写し出され
た上記明暗模様の像を光の強弱レベル信号として検出す
る撮像手段と、 該撮像手段により検出された上記レベル信号のレベルを
、上記被検査表面の性質に対応した所定レベル分相対的
に低下させて明暗模様によるレベル信号を取り出す明暗
レベル検出手段と、 該明暗レベル検出手段により取り出された上記明暗模様
によるレベル信号に含まれる不規則信号を検出して上記
被検査表面の欠陥部を抽出する欠陥部抽出手段と、 を備えて構成された表面欠陥検査装置。
(1) Light and dark pattern projection means for projecting a predetermined light and dark pattern onto the surface to be inspected; and imaging for detecting the image of the light and dark pattern projected on the surface to be inspected by the light and dark pattern projection means as a light intensity level signal. means, brightness level detection means for relatively lowering the level of the level signal detected by the imaging means by a predetermined level corresponding to the properties of the surface to be inspected to extract a level signal based on a brightness and darkness pattern; A surface defect inspection apparatus comprising: defect extracting means for detecting irregular signals included in the level signal based on the bright and dark pattern extracted by the level detecting means and extracting a defective portion of the surface to be inspected.
(2)上記明暗レベル検出手段が、 上記撮像手段により検出された上記レベル信号の内、上
記明暗模様の区間を所定の基準値と比較することにより
検出する明暗区間検出手段と、該明暗区間検出手段によ
り検出された上記明暗区間を除く上記レベル信号に所定
の設定電圧を重畳させる設定電圧重畳手段と、 を備えて構成された特許請求の範囲第1項記載の表面欠
陥検査装置。
(2) The light-dark level detection means detects the light-dark pattern by comparing the light-dark pattern of the level signal detected by the imaging means with a predetermined reference value; 2. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, further comprising set voltage superimposing means for superimposing a predetermined set voltage on the level signal excluding the bright and dark sections detected by the means.
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