JPS63108156U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63108156U JPS63108156U JP33587U JP33587U JPS63108156U JP S63108156 U JPS63108156 U JP S63108156U JP 33587 U JP33587 U JP 33587U JP 33587 U JP33587 U JP 33587U JP S63108156 U JPS63108156 U JP S63108156U
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- JP
- Japan
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- ion
- secondary electrons
- ions
- secondary ions
- irradiating
- Prior art date
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- Granted
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987000335U JPH076609Y2 (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | 集束イオンビーム加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987000335U JPH076609Y2 (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | 集束イオンビーム加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63108156U true JPS63108156U (US07655688-20100202-C00086.png) | 1988-07-12 |
| JPH076609Y2 JPH076609Y2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=30777213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987000335U Expired - Lifetime JPH076609Y2 (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | 集束イオンビーム加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076609Y2 (US07655688-20100202-C00086.png) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009536776A (ja) * | 2005-05-11 | 2009-10-15 | イーエル‐ムル テクノロジーズ リミテッド | 二次イオン、ならびに、直接およびまたは間接二次電子のための粒子検出器 |
| JP2017224596A (ja) * | 2016-05-03 | 2017-12-21 | レインツリー サイエンティフィック インストゥルメンツ （シャンハイ） コーポレーションＲａｉｎｔｒｅｅ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ （Ｓｈａｎｇｈａｉ） Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 帯電粒子検出装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4895294A (US07655688-20100202-C00086.png) * | 1972-03-17 | 1973-12-06 |
-
1987
- 1987-01-06 JP JP1987000335U patent/JPH076609Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4895294A (US07655688-20100202-C00086.png) * | 1972-03-17 | 1973-12-06 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009536776A (ja) * | 2005-05-11 | 2009-10-15 | イーエル‐ムル テクノロジーズ リミテッド | 二次イオン、ならびに、直接およびまたは間接二次電子のための粒子検出器 |
| JP2017224596A (ja) * | 2016-05-03 | 2017-12-21 | レインツリー サイエンティフィック インストゥルメンツ （シャンハイ） コーポレーションＲａｉｎｔｒｅｅ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ （Ｓｈａｎｇｈａｉ） Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 帯電粒子検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH076609Y2 (ja) | 1995-02-15 |
