JPS63106056U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63106056U JPS63106056U JP20301686U JP20301686U JPS63106056U JP S63106056 U JPS63106056 U JP S63106056U JP 20301686 U JP20301686 U JP 20301686U JP 20301686 U JP20301686 U JP 20301686U JP S63106056 U JPS63106056 U JP S63106056U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- incident
- electrodes
- charged particles
- causing
- hemispherical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の平面図、第２図は
上記実施例におけるＸ線励起型アナライザの断面
図、第３図は上記実施例における荷電粒子励起型
アナライザの断面である。 Ｓ，Ｓ′……試料、１……外半球電極、２……
内半球電極、３……入口レンズ系、４……入口ス
リツト、５……検出器、６……検出器、７……出
口スリツト、８……出口スリツト、Ｐ１，Ｐ２…
…点状入射線源、Ｋ１，Ｋ２……欠球部。
上記実施例におけるＸ線励起型アナライザの断面
図、第３図は上記実施例における荷電粒子励起型
アナライザの断面である。 Ｓ，Ｓ′……試料、１……外半球電極、２……
内半球電極、３……入口レンズ系、４……入口ス
リツト、５……検出器、６……検出器、７……出
口スリツト、８……出口スリツト、Ｐ１，Ｐ２…
…点状入射線源、Ｋ１，Ｋ２……欠球部。
Claims (1)
- 同一球心で半径の異なる２半球電極において、
Ｘ線励起により試料から放出される荷電粒子を上
記両半球電極間に入射させる手段と、同入射手段
と上記球心とを結ぶ線上で入射手段の反対側の両
電極間の下方に上記荷電粒子を検出する手段と、
上記入射手段と検出手段とを結ぶ線と交わる方向
において、荷電粒子励起により試料から放出され
る荷電粒子を上記両半球電極間に入射させる手段
と、同入射手段と上記球心とを結ぶ線上の入射手
段の反対側で両電極間の下方に上記荷電粒子を検
出する手段とを設けたことを特徴とするエネルギ
ーアナライザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20301686U JPS63106056U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20301686U JPS63106056U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106056U true JPS63106056U (ja) | 1988-07-08 |
Family
ID=31167945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20301686U Pending JPS63106056U (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63106056U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003532256A (ja) * | 2000-04-24 | 2003-10-28 | フェイ カンパニ | 走査電子顕微鏡の対物レンズを通した二次電子の捕集 |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP20301686U patent/JPS63106056U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003532256A (ja) * | 2000-04-24 | 2003-10-28 | フェイ カンパニ | 走査電子顕微鏡の対物レンズを通した二次電子の捕集 |
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