JPH01153359U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01153359U JPH01153359U JP5120588U JP5120588U JPH01153359U JP H01153359 U JPH01153359 U JP H01153359U JP 5120588 U JP5120588 U JP 5120588U JP 5120588 U JP5120588 U JP 5120588U JP H01153359 U JPH01153359 U JP H01153359U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stopper
- command
- pass
- block
- beam stopper
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の説明図、第２図
は従来例の説明図である。 １′…被照射体、２…ビーム、８…ビームスト
ツパ、１２…電流検出器。
は従来例の説明図である。 １′…被照射体、２…ビーム、８…ビームスト
ツパ、１２…電流検出器。
Claims (1)
- ビームが照射される被照射体の前側に配置され
て遮断指令または通過指令の指令信号により前記
ビームの遮蔽または通過の動作をするビームスト
ツパと、このビームストツパに接続されて前記ビ
ームのビーム電流を検出する電流検出器とを備え
たビームストツパの位置検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5120588U JPH01153359U (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5120588U JPH01153359U (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01153359U true JPH01153359U (ja) | 1989-10-23 |
Family
ID=31277236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5120588U Pending JPH01153359U (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01153359U (ja) |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP5120588U patent/JPH01153359U/ja active Pending