JPS63105448A - Graphic fluorescent character display tube - Google Patents

Graphic fluorescent character display tube

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Publication number
JPS63105448A
JPS63105448A JP25036386A JP25036386A JPS63105448A JP S63105448 A JPS63105448 A JP S63105448A JP 25036386 A JP25036386 A JP 25036386A JP 25036386 A JP25036386 A JP 25036386A JP S63105448 A JPS63105448 A JP S63105448A
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JP
Japan
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anode
grid
linear
thin film
linear grid
Prior art date
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Pending
Application number
JP25036386A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihisa Tsuruoka
誠久 鶴岡
Tatsuo Yamaura
辰雄 山浦
Yoshinari Okamoto
岡本 喜成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Futaba Corp
Original Assignee
Futaba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Futaba Corp filed Critical Futaba Corp
Priority to JP25036386A priority Critical patent/JPS63105448A/en
Publication of JPS63105448A publication Critical patent/JPS63105448A/en
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent a vibration of a linear grid perfectly and to prevent a lack of display and the like, even though a large size of graphic fluorescent character display tube with a linear grid is used, by forming a semiconductor membrane at least over the surface of projections of a base plate. CONSTITUTION:When a grid voltage is applied to a linear grid 6, the linear grid 6 is liable to vibrate by an electrostatic attraction between linear grids or an external shock, but since the linear grid 6 contacts projections 6 furnished between belt-formed anodes 5, the vibration can be prevented perfectly. Moreover, since a semiconductor membrane 9 is furnished on the surface of the projections 8, and the membrane 9 is connected electrically to an anode conductor 5a which is connected to a power source, the electrons flowing in the surface of the projections flow to the power source through the semiconductor membrane 9 and the anode conductors 5a. Therefore, the electron beams from a filament-formed cathode 7 are not charged up to the projections 8, and a trouble to lack a display owing to the charged-up electrons is eliminated perfectly.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、コンピュータ端末や平面形テレビ等のグラ
フィック表示装置に使用し、文字や画像を表示するグラ
フィック蛍光表示管に関し、特にグリッドが多数の細線
状で陽極上に張架配設した構造であり、この線状グリッ
ドの振動を防止することが可能で、かつ表示欠けのない
表示品位の優れたグラフィック蛍光表示管に係わるもの
である。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a graphic fluorescent display tube for displaying characters and images, which is used in graphic display devices such as computer terminals and flat-panel televisions. The present invention relates to a graphic fluorescent display tube which has a structure in which a thin wire grid is stretched over an anode, is capable of preventing vibration of the linear grid, and has excellent display quality without display defects.

〔従来技術〕[Prior art]

従来のグラフィック蛍光表示管は、蛍光体層を被着した
陽極とグリッドによってXYマトリックスを組んだ構造
が多い。そしてグリッドの形状がメツシュ状のものや細
線状のものや、透孔を設けた板状のもの等がある。
Conventional graphic fluorescent display tubes often have a structure in which an XY matrix is formed by an anode coated with a phosphor layer and a grid. The grid shape may be mesh-like, thin wire-like, or plate-like with through holes.

従来のグラフィック表示管で1m状のグリッドが複数並
行に張設した構造のものは、本出願人が出願し、実開昭
57−162692号で公開され、その基本構造が公知
になっている。
A conventional graphic display tube having a structure in which a plurality of 1 m grids are stretched in parallel was filed by the present applicant and published in Japanese Utility Model Application No. 162692/1983, and its basic structure is well known.

前記公知のグラフィック蛍光表示管の構造は、第5図に
示す一部を破断した斜視図のとおりである。
The structure of the known graphic fluorescent display tube is as shown in a partially cutaway perspective view shown in FIG.

第5図の斜視図において11はグラフィック蛍光表示管
の箱形の外囲器である。外囲器11は、ガラス板からな
る陽極基板12と、陽極基板12に対面して設けられた
背面板13と、背面板13の周囲で、前記陽極基板12
の間に設けられた側面板14をガラスソルダーによって
箱形の密閉状態に組み立て形成される。そして外囲器1
1内は、背面板13に設けられた排気管15より、外囲
器11内の気体を排気し。
In the perspective view of FIG. 5, reference numeral 11 indicates a box-shaped envelope of the graphic fluorescent display tube. The envelope 11 includes an anode substrate 12 made of a glass plate, a back plate 13 provided facing the anode substrate 12, and an anode substrate 12 around the back plate 13.
The side plates 14 provided between the two are assembled and formed into a box-shaped sealed state using glass solder. and envelope 1
1, the gas inside the envelope 11 is exhausted from an exhaust pipe 15 provided on the back plate 13.

排気管15を封止して、高真空状態に保持される。The exhaust pipe 15 is sealed and maintained in a high vacuum state.

また、第5図に示すグラフィック蛍光表示管は、発光表
示を陽極基板12を通して矢印方向から観察する前面発
光形であるために陽極基板12は透光性であることを必
要とする。陽極基板12には透明な帯状の陽極導体16
aを形成する。陽極導体の形成方法は、基板の上に透明
基ftt膜である酸化錫を混合した酸化インジウムから
なる工・T・Off[をスパッタリング法あるいは電子
ビーム蒸着法で全面に付け、フォトリソグラフィの手法
で帯状の陽極導体16aが形成され、この陽極導体16
a上に電着法や印刷法等の周知の被着法により蛍光体層
16bを被着形成する。この陽極導体16aと蛍光体層
16bにより陽極16が構成されている。陽極16の端
部は。
Further, since the graphic fluorescent display tube shown in FIG. 5 is a front-emission type in which the luminescent display is observed from the direction of the arrow through the anode substrate 12, the anode substrate 12 needs to be translucent. A transparent strip-shaped anode conductor 16 is provided on the anode substrate 12.
form a. The method for forming the anode conductor is to apply a transparent FTT film of indium oxide mixed with tin oxide to the entire surface of the substrate by sputtering or electron beam evaporation, and then apply it using photolithography. A band-shaped anode conductor 16a is formed, and this anode conductor 16
A phosphor layer 16b is deposited on the substrate a by a well-known deposition method such as an electrodeposition method or a printing method. The anode conductor 16a and the phosphor layer 16b constitute an anode 16. The end of the anode 16 is.

陽極基板12と側面板14に挟持された陽極リード19
と電気的に接続している。そして陽極リードの他端は、
第5図の上下方向に延長し、外囲器11より外側に陽極
リード19を形成している。
Anode lead 19 sandwiched between anode substrate 12 and side plate 14
is electrically connected to. And the other end of the anode lead is
An anode lead 19 is formed outside the envelope 11 and extends in the vertical direction in FIG.

また、陽極16から離れた上方に、金属細線による線状
グリッド17が複数本平行に張設されている。
Further, above the anode 16, a plurality of linear grids 17 made of thin metal wires are stretched in parallel.

この線状グリッド17は、前記陽極16の配列方向に対
し直交するように配列され、陽極16と線状グリッド1
7でXYマトリックスを構成している。
This linear grid 17 is arranged perpendicularly to the arrangement direction of the anodes 16, and the anode 16 and the linear grid 1
7 constitutes an XY matrix.

さらに線状グリッド17から離れた上方にフィラメント
状陰極18が張設されている。フィラメント状陰極18
は複数本で構成され、互いに平行で一定方向(第5図の
実施例では陽極16と同一方向)に並列している。
Furthermore, a filament-shaped cathode 18 is stretched above and away from the linear grid 17. Filamentary cathode 18
are composed of a plurality of pieces, which are parallel to each other and arranged in a fixed direction (in the embodiment shown in FIG. 5, in the same direction as the anode 16).

20は、前記線状グリッド17の延長方向で基板11と
側面板14で挟持されているグリッドリードである。
A grid lead 20 is held between the substrate 11 and the side plate 14 in the direction in which the linear grid 17 extends.

21は、外囲器11の4隅近傍に配設され、フィラメン
ト状陰極18に電気的に接続しているフィラメント状陰
極18の外部端子である。
Reference numerals 21 designate external terminals of the filamentary cathode 18 that are arranged near the four corners of the envelope 11 and electrically connected to the filamentary cathode 18 .

22は、前記線状グリッド17を陽極16から一定距離
に離して張架配設するためのスペーサである。
22 is a spacer for stretching and arranging the linear grid 17 at a certain distance from the anode 16.

従来のグラフィック蛍光表示管は、前述のように構成さ
れているので次にその作用を説明する。
Since the conventional graphic fluorescent display tube is constructed as described above, its operation will be explained next.

陰極18の外部端子21に陰極電圧を印加して、フィラ
メント状陰極18より電子を放出する。放出された電子
は、線状グリッド17の隣接する2本にグリッド電圧を
正に印加すると、線状グリッドに引きつけられ、前記2
本の線状グリッドの間を通り、陽極16へ向う。陽vi
16は、前述のように線状グリッド17に対し直交する
方向に配列しているので、2本の線状グリッド17によ
って囲まれた帯状1’A極16の部分は、ドツト状の複
数の画素となる。
A cathode voltage is applied to the external terminal 21 of the cathode 18 to cause the filamentary cathode 18 to emit electrons. When a positive grid voltage is applied to two adjacent linear grids 17, the emitted electrons are attracted to the linear grids and
It passes between the linear grids of books and heads toward the anode 16. positive vi
16 are arranged in a direction perpendicular to the linear grid 17 as described above, so the portion of the strip-shaped 1'A pole 16 surrounded by the two linear grids 17 has a plurality of dot-shaped pixels. becomes.

したがって発光させる帯状陽極16へ7ノード電圧を印
加させると、前記2本の線状グリッド17によって囲ま
れた帯状陽極の部分に電子が射突し、発光表示するもの
である。
Therefore, when a 7-node voltage is applied to the band-shaped anode 16 for emitting light, electrons strike the part of the band-shaped anode surrounded by the two linear grids 17, producing a light-emitting display.

このように線状グリッド17の隣接する2本ずつにグリ
ッド電圧を時分割的に走査して印加し、このグリッド電
圧に同期して帯状陽極にアノード電圧を印加することに
よりグラフィック表示が可能となる。
Graphic display is thus possible by scanning and applying the grid voltage to two adjacent lines of the linear grid 17 in a time-sharing manner and applying the anode voltage to the strip anode in synchronization with this grid voltage. .

したがって、一画素の位置は、例えば第5図においてX
方向は、帯状陽極16の位置で決まるので固定している
が、Y方向は、帯状S極16と直交する2本の隣接した
線状グリッドの位置によって決まる。
Therefore, the position of one pixel is, for example, X in FIG.
The direction is fixed because it is determined by the position of the strip anode 16, but the Y direction is determined by the positions of two adjacent linear grids perpendicular to the strip S pole 16.

そこでさらに線状グリッド17について詳述すると、線
状グリッド17の材質は導電性を必要とするので金属細
線であり、ガラス板から構成された陽極基板12と側面
板14に挟まれ、ガラスソルダーによってFli着固足
固定ているため、ガラスとの膨張係数がほぼ等しいこと
が必要である。−例としてNiとCrとFeからなる4
26合金(42%Ni、6%Cr、残りFeがである。
Therefore, to further explain the linear grid 17 in detail, the material of the linear grid 17 is a thin metal wire because it requires conductivity. Since the Fli is fixedly fixed, it is necessary that the coefficient of expansion is almost equal to that of the glass. -For example, 4 made of Ni, Cr, and Fe.
26 alloy (42% Ni, 6% Cr, remainder Fe).

線状グリッド17の線径は、ドツト密度を上げる為に一
般に0.15〜0.3画の細線であり、その長さは外囲
器11の横幅で決まるが最近は大形表示が要求され15
0ma+を越え、200〜2501mとなっている。
The wire diameter of the linear grid 17 is generally a thin line of 0.15 to 0.3 strokes in order to increase the dot density, and its length is determined by the width of the envelope 11, but recently large displays are required. 15
It exceeds 0ma+ and is 200 to 2501m.

次に線状グリッド17の配列ピッチ間隔は、帯状陽極1
6の幅とほぼ等しく、−例をあげれば0.3nmピッチ
で、並行に張設されている。もしこの水平方向の配列ピ
ッチ間隔が一定でないと、各画素の大きさが一定になら
ず表示品位が悪くなる。
Next, the arrangement pitch interval of the linear grid 17 is
6, and are stretched in parallel with a pitch of, for example, 0.3 nm. If the horizontal arrangement pitch interval is not constant, the size of each pixel will not be constant and the display quality will deteriorate.

また線状グリッド17と陽極16までの距離が蛍光体層
16bの発光輝度に影響することが周知であるので、陽
極16からの距離を一定にするためにスペーサ22を、
線状グリッド17の外囲器11近傍に設け。
Furthermore, it is well known that the distance between the linear grid 17 and the anode 16 affects the luminance of the phosphor layer 16b, so in order to keep the distance from the anode 16 constant, the spacer 22 is
Provided near the envelope 11 of the linear grid 17.

テンションを加えて引張り固定していた。しかし、線径
か細いためにテンションには限度があった。
It was fixed by applying tension. However, there was a limit to the tension due to the small diameter of the wire.

しかして、線状グリッド17は、外からの衝撃や、グリ
ッド電圧を印加したときに生ずる静電引力等により水平
方向に振動が生じてしまった。またグリッドと陽極間の
静電引力により振動は上下方向にも生じることもあった
。すなわち、水平方向の振動により画素の位置が変化し
て、チラ付が生じ、上下方向の振動により輝度が変化し
て、チラ付が生じるという問題点があった。
As a result, the linear grid 17 vibrates in the horizontal direction due to external shocks, electrostatic attraction generated when a grid voltage is applied, and the like. In addition, vibrations were also generated in the vertical direction due to the electrostatic attraction between the grid and the anode. That is, the horizontal vibration causes the pixel position to change, causing flicker, and the vertical vibration causes the brightness to change, causing flicker.

そこで本出願人は、特願昭60−91376号で前述の
問題点を解決する発明を出願している。その構成は、第
4図で示すように基板上に蛍光体層を被着した複数の帯
状陽極をストライプ状に配設し、前記陽極の上方で、陽
極と直交する方向に複数本張架されたフィラメント状陰
極とを内部が真空に保持された外囲器内に配設したグラ
フィック蛍光表示管において、前記基板上の陽極配列間
隙に、その表面が蛍光体層表面よりも高い位置になる複
数の凸部を配設したことを特徴とするグラフィック蛍光
表示管である。
Therefore, the present applicant has applied for an invention to solve the above-mentioned problems in Japanese Patent Application No. 60-91376. As shown in Fig. 4, a plurality of band-shaped anodes each having a phosphor layer coated on a substrate are arranged in a stripe pattern, and a plurality of anodes are strung in a direction perpendicular to the anodes above the anodes. In a graphic fluorescent display tube in which a filament-like cathode and a filament cathode are arranged in an envelope kept in a vacuum, a plurality of anodes are arranged in the anode array gap on the substrate, the surface of which is located higher than the surface of the phosphor layer. This is a graphic fluorescent display tube characterized by having a convex portion.

このように、凸部を配設し、この凸部に振動する線状グ
リッド17を接触させたので、振動は、はとんど防止さ
れた。
In this manner, since the convex portion was provided and the vibrating linear grid 17 was brought into contact with the convex portion, vibrations were almost prevented.

しかし、この凸部は、低融点ガラスを主成分とし、黒色
顔料や有機溶剤によりペースト状に混合した材料をスク
リーン印刷法で被着し、350〜500℃で焼成して固
着させて形成した。したがって凸部は絶縁性であるため
に、その表面に陰極からの電子がチャージしてしまう。
However, the convex portions were formed by applying a paste-like mixture of low-melting-point glass as a main component and black pigment and organic solvent using a screen printing method, and baking the material at 350 to 500° C. to fix the material. Therefore, since the convex portion is insulative, electrons from the cathode are charged onto the surface of the convex portion.

すると陰極からの電子の軌道が第4図に示すように反発
して曲げられ陽極の隅部に電子の射突しない部分ができ
るという表示欠は現象が生じる。そこで先願では、凸部
の高さは、チャージアップが生じても表示欠けが見立た
ない程度、すなわち陽極のピッチ間隔の1/3以下にし
ていた。そのために線状グリッドと凸部の間は離れてい
る実施例もあり、その空間内では振動が生ずるが大きな
振動はなくなりチラ付きも多少防止できた。
Then, the trajectory of the electrons from the cathode is repelled and bent as shown in FIG. 4, and a phenomenon occurs in which there is a part at the corner of the anode where the electrons do not strike. Therefore, in the prior application, the height of the convex portion was set to such a level that even if charge-up occurred, display defects were not noticeable, that is, 1/3 or less of the pitch interval of the anodes. For this reason, there are some embodiments in which the linear grid and the convex portion are separated from each other, and although vibrations occur within that space, the vibrations are not large and flicker can be prevented to some extent.

また振動を完全になくすために線状グリッドを低く張設
して凸部の上面に接触するか、または凸部に接着する実
施例もある。しかしこの実施例においても凸部表面のチ
ャージアップの問題は完全には解決できなかった。
Further, in order to completely eliminate vibrations, there are some embodiments in which a linear grid is stretched low and in contact with the upper surface of the convex part, or is bonded to the convex part. However, even in this embodiment, the problem of charge-up on the surface of the convex portion could not be completely solved.

そこで、従来のチャージアップ防止の方法として、低融
点フリットガラスを主成分とする絶縁ペースト中に酸化
チタンや酸化錫などの粒子を混入させた導電性の絶縁ペ
ーストを作成し、厚膜印刷法によって被着させた後焼成
によって導電性クロスオーバ層の形成が試みられた。
Therefore, as a conventional charge-up prevention method, a conductive insulating paste was created by mixing particles such as titanium oxide and tin oxide into an insulating paste whose main component was low-melting frit glass. Attempts have been made to form conductive crossover layers by deposition and subsequent firing.

しかし、導電性酸化金属粒子を絶縁ペースト中に混合す
るときに均一に前記粒子を混合するのが容易ではなかっ
た。したがって形成された導電性クロスオーバ一層のシ
ート抵抗が一定になりずらく、抵抗値の管理が容易では
なかった。
However, when mixing conductive metal oxide particles into an insulating paste, it is not easy to mix the particles uniformly. Therefore, the sheet resistance of the formed conductive crossover layer is difficult to be constant, and it is not easy to control the resistance value.

さらに、厚膜印刷法では微細なパターンはできない為に
、前記導電性粒子の混入されたペーストに感光材を加え
たペーストを作成し、厚膜印刷で全面に被着した後フォ
トリソグラフィ法の手段でパターン化を行うという厚膜
フォトリソグラフィ法に使用しても、導電性粒子が露光
条件に悪影響を及ぼし、パターン形成を困難にさせると
いう問題点を有していた。
Furthermore, since fine patterns cannot be created with thick film printing, a paste is created by adding a photosensitive material to the paste mixed with the conductive particles, and after coating the entire surface with thick film printing, photolithography is performed. Even when used in a thick-film photolithography method in which patterning is carried out using the method, the conductive particles have a problem in that the conductive particles adversely affect the exposure conditions, making pattern formation difficult.

〔本発明の目的〕[Object of the present invention]

そこで、本発明は、凸部を形成する絶縁層を低融点フリ
ットガラスを主成分とする絶縁ペーストで構成し、この
絶縁性凸部の表面に半導電性薄膜をコーテングすれば、
抵抗値を均一にできると考えられるので、線状グリッド
を使用した大形のグラフィック蛍光表示管であっても、
線状グリッドの振動を完全に防止でき、かつ表示欠は等
の起きない表示品位の優れたグラフィック蛍光表示管を
提供することを目的とするものである。
Therefore, in the present invention, if the insulating layer forming the convex part is composed of an insulating paste mainly composed of low-melting frit glass, and the surface of the insulating convex part is coated with a semiconductive thin film,
It is thought that the resistance value can be made uniform, so even if it is a large graphic fluorescent display tube using a linear grid,
It is an object of the present invention to provide a graphic fluorescent display tube which can completely prevent vibration of a linear grid and has excellent display quality without display dropouts.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

前述の目的を達成するために本発明の構成は、内部が真
空に保持された箱形の外囲器と、前記外囲器内の基板上
にストライプ状の陽極導体と陽極導体上の蛍光体層から
なる帯状陽極と、前記帯状陽極の近傍に、上面が前記蛍
光体層表面よりも高くなるように配設した凸部と、前記
帯状陽極と直交する方向に複数本張設された線状グリッ
ドと、前記線状グリッドの上方に張設されたフィラメン
ト状陰極とを有するグラフィック蛍光表示管において、
前記基板上の少なくとも凸部表面に半導電性薄膜を形成
したことを特徴とする。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention has a structure including a box-shaped envelope whose inside is kept in a vacuum, an anode conductor in a stripe shape on a substrate in the envelope, and a phosphor on the anode conductor. a strip anode consisting of a layer, a convex portion disposed near the strip anode so that its upper surface is higher than the surface of the phosphor layer, and a plurality of linear anodes stretched in a direction perpendicular to the strip anode. A graphic fluorescent display tube comprising a grid and a filamentary cathode stretched above the linear grid,
A semiconductive thin film is formed on at least the surface of the convex portion on the substrate.

〔作 用〕[For production]

本発明の蛍光表示管は、前述のように凸部表面に半導電
性薄膜を形成し、この半導電性薄膜を陽極導体と接続さ
せるか独立したリードを設けることにより接地できるの
で、凸部に電子のチャージが防止でき、チャージアップ
による陽極の表示欠は現象が防止できる作用がある。ま
た、凸部の高さを線状グリッドと凸部が常に接触する高
さとすれば上下方向の振動も水平方向の振動も完全に防
止できる作用がある。
As mentioned above, the fluorescent display tube of the present invention can be grounded by forming a semiconductive thin film on the surface of the convex part and connecting this semiconductive thin film to the anode conductor or by providing an independent lead. It has the effect of preventing electron charging and preventing the phenomenon of anode display failure due to charge-up. Further, if the height of the convex portion is set to such a height that the linear grid and the convex portion are always in contact with each other, both vertical and horizontal vibrations can be completely prevented.

〔実施例〕〔Example〕

本発明を図面に示す実施例について以下説明する。 Embodiments of the present invention illustrated in the drawings will be described below.

第1図、第2図は、実施例1を示す断面図であり、凸部
の表面にのみ半導電性薄膜を形成した例である。第3図
は、凸部と陽極導体上すなわち表示部全面に半導電性薄
膜を形成した実施例2を示す断面図である。
FIG. 1 and FIG. 2 are cross-sectional views showing Example 1, which is an example in which a semiconductive thin film was formed only on the surface of the convex portion. FIG. 3 is a cross-sectional view showing Example 2 in which a semiconductive thin film was formed on the convex portion and the anode conductor, that is, on the entire display portion.

実施例1 第1図は、本発明のグラフィック蛍光表示管(以下蛍光
表示管と略す)の断面図であり、第2図は、その一部の
拡大断面図である。
Embodiment 1 FIG. 1 is a sectional view of a graphic fluorescent display tube (hereinafter abbreviated as a fluorescent display tube) of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of a part thereof.

図中1は、蛍光表示管の外囲器であり、陽極基板2と、
陽極基板2と対面した背面板3と、その間に介在する側
面板4から箱形に構成されている。
In the figure, 1 is an envelope of a fluorescent display tube, which includes an anode substrate 2,
It has a box-like structure including a back plate 3 facing an anode substrate 2 and a side plate 4 interposed therebetween.

この外囲器1内は、高真空に保持され、陽極5、グリッ
ド6、陰極7等の電極と、凸部8が配設されている。
The inside of this envelope 1 is maintained at a high vacuum, and electrodes such as an anode 5, a grid 6, a cathode 7, and a convex portion 8 are arranged.

一般に蛍光表示管は、陽極5における発光表示を陽極基
板2を通して観察する前面発光形タイプと、陽極5にお
ける発光をグリッド6、フィラメント状陰極7を通し前
面板(第1図の背面板3に相当する)を通して観察する
タイプがある。いずれのタイプでも本発明は適用できる
が、この実施例では前面発光形タイプについて説明する
In general, fluorescent display tubes are of a front-emission type, in which the luminescent display at the anode 5 is observed through an anode substrate 2, or a front panel (corresponding to the rear panel 3 in Fig. There is a type that observes things through Although the present invention can be applied to any type, in this embodiment, a front-emission type will be explained.

前面発光形タイプにおいては、陽極基板2は、表示が見
えるように透光性を必要とする。さらに絶縁性も必要と
するので一般にガラス基板が用いられている。
In the front-emitting type, the anode substrate 2 needs to be translucent so that the display can be seen. Furthermore, since insulation is also required, a glass substrate is generally used.

陽極基板2上にはITOM膜をスパッタリングや蒸着等
で全面に被着し、フォトリソグラフィ法の手段により帯
状の陽極導体5aをピッチ間隔約0.3mm位でストラ
イプ状に形成する。この陽極導体に使用する110wt
膜は0.1〜0.2μmの厚さであり、シート抵抗が5
0Ω/口位の透明導電膜の一種である。各陽極導体5a
の端部は、従来例と同様に陽極リード(図示せず)と電
気的に接続され、各陽極導体5aごとにアノード電圧を
印加できる構造になっている。
An ITOM film is deposited over the entire surface of the anode substrate 2 by sputtering, vapor deposition, etc., and strip-shaped anode conductors 5a are formed in stripes with a pitch of about 0.3 mm by means of photolithography. 110w used for this anode conductor
The membrane is 0.1-0.2 μm thick and has a sheet resistance of 5
It is a type of transparent conductive film with a resistance of 0Ω/hole. Each anode conductor 5a
The end portion of the anode conductor 5a is electrically connected to an anode lead (not shown) as in the conventional example, so that an anode voltage can be applied to each anode conductor 5a.

次に前記帯状陽極導体5a上および帯状陽極導体と隣接
帯状陽極導体5aの間の陽極基板上、すなわち基板2上
の表示部全面に低融点ガラスを主成分とする黒色ペース
ト中に感光材を混合したペーストを全面に印刷法で被着
した後フォトリソグラフィの手法により、前記帯状陽極
導体間に帯状の凸部をストライプ状に形成する。その後
350〜550℃で10分間本焼成の工程によりペース
ト材料中の溶剤等を蒸発させて凸部8を固着させる。凸
部8の高さは、基板2より30〜50μmとする。
Next, a photosensitive material is mixed in a black paste containing low-melting glass as a main component on the anode substrate 5a and on the anode substrate between the strip anode conductor 5a and the adjacent strip anode conductor 5a, that is, on the entire display area on the substrate 2. After the paste is applied to the entire surface by a printing method, striped convex portions are formed between the strip-shaped anode conductors by a photolithography method. Thereafter, a final firing process is performed at 350 to 550° C. for 10 minutes to evaporate the solvent and the like in the paste material and fix the convex portions 8. The height of the convex portion 8 is set to be 30 to 50 μm higher than the substrate 2.

次に印刷法により凸部表面にIn、03中にSnO2を
含有しているITO9117J9を被着させる。この工
TO薄膜形成液は、有機第一錫化合物と有機インジウム
化合物を有機溶剤に溶解した粘性の少ない液体である。
Next, ITO9117J9 containing SnO2 in In,03 is deposited on the surface of the convex portion by a printing method. This TO thin film forming liquid is a low viscosity liquid in which an organic stannous compound and an organic indium compound are dissolved in an organic solvent.

この薄膜形成液をロールコータにより基板2の凸部8側
に被着させると、薄膜形成液は、凸部の表面に被着する
と共に一部は凸部8の側面8aを伝わって流れるので側
面にも被着することになる。被着後焼成炉で加熱処理を
して有機金属を熱分解してSnO,が約5%位含有して
いるIn2O、薄膜(ITO薄膜)9を形成する。しか
して、凸部側面8aに形成されたITO薄膜9の端部は
When this thin film forming liquid is applied to the convex part 8 side of the substrate 2 using a roll coater, the thin film forming liquid adheres to the surface of the convex part and a part of it flows along the side surface 8a of the convex part 8. It will also be covered. After deposition, the organic metal is thermally decomposed by heat treatment in a firing furnace to form an In2O thin film (ITO thin film) 9 containing about 5% SnO. Therefore, the end portion of the ITO thin film 9 formed on the side surface 8a of the convex portion.

陽極導体5aと接続することになる。この凸部8表面に
形成されたITO薄膜9のシート抵抗は1×106〜l
X101sΩ/口であり、半導電性を有する薄膜である
It will be connected to the anode conductor 5a. The sheet resistance of the ITO thin film 9 formed on the surface of the convex portion 8 is 1×10 6 ~l
X101sΩ/mouth, and is a thin film having semiconductivity.

凸部8の表面に半導電性を有するITO薄膜9を形成し
た基板2の陽極導体5a上に蛍光体層5bを形成する。
A phosphor layer 5b is formed on the anode conductor 5a of the substrate 2 on which a semiconductive ITO thin film 9 is formed on the surface of the convex portion 8.

蛍光体層5bの形成方法は1周知の電着方法や印刷法で
帯状の陽極導体5aの表面に被着させる。
The phosphor layer 5b is formed on the surface of the strip-shaped anode conductor 5a by a well-known electrodeposition method or printing method.

この蛍光体層5bと陽極導体5aから陽極5が構成され
る。
The anode 5 is constituted by the phosphor layer 5b and the anode conductor 5a.

前記陽極5に対面した上方に線状グリッド6が陽極基板
2の両端部付近に設けられたスペーサ10の上面に接す
ることにより一定の高さに張架され側面板4と陽極基板
2に挟まれて低融点ガラスによる封竹材により固定され
ている。この線状グリッド6は、第5図の従来例と同様
に帯状の陽l4i5と直交する方向に、陽極ピッチとほ
ぼ同じ0.3amピッチで平行に張設されている。線状
グリッド6の端部は、グリッドリード6aとして外囲器
1の外側に延出している。しかして、このグリッドリー
ド6aよりグリッド電圧を各々線の状グリッドに印加で
きる構成となっている。
Above facing the anode 5, a linear grid 6 is stretched at a constant height by contacting the upper surface of the spacer 10 provided near both ends of the anode substrate 2, and is sandwiched between the side plate 4 and the anode substrate 2. It is fixed with bamboo sealing material made of low melting point glass. Similar to the conventional example shown in FIG. 5, this linear grid 6 is stretched in parallel in a direction orthogonal to the band-shaped anodes 14i5 at a pitch of 0.3 am, which is approximately the same as the anode pitch. The ends of the linear grids 6 extend outside the envelope 1 as grid leads 6a. Thus, the configuration is such that a grid voltage can be applied to each linear grid from the grid leads 6a.

前記線状グリッド6の上方には、フィラメント状陰極7
が線状グリッド6と直交する方向すなわち帯状陽極5と
同じ方向に複数本張架配設されている。
Above the linear grid 6 is a filamentary cathode 7.
A plurality of the anodes are stretched in a direction perpendicular to the linear grid 6, that is, in the same direction as the strip anodes 5.

ここで本発明の要旨である半導電性薄膜についてさらに
詳しく述べる。
Here, the semiconductive thin film, which is the gist of the present invention, will be described in more detail.

半導電性薄膜は、シート抵抗がlXl×105〜1×1
×105Ω/口の範囲である物質の薄膜であればよく、
その例としてsbドープのSnO,膜一般にネサ膜とし
て周知のものや、SnO□を混合したIn、 0.によ
る薄膜、一般にITO膜として周知のものなどがある。
The semiconductive thin film has a sheet resistance of lXl×105 to 1×1
It suffices if it is a thin film of a substance in the range of ×105Ω/mouth
Examples include sb-doped SnO film, commonly known as Nesa film, Indium mixed with SnO□, 0.0. There are thin films generally known as ITO films.

本実施例では、後者のITO膜を使用した場合を説明す
る。
In this embodiment, a case will be described in which the latter ITO film is used.

このIT○膜の形成方法には、蒸着法、スパッタリング
法、CVD法、ロールコータ法、デツピング法、印刷法
等の各種の形成方法がある。次に薄膜形成液は、一般式
In(OCOR)n (Cs Hv 02)a−n (
Rはアルキル基、n=1〜2の整数)で示す有機インジ
ウム化合物と、一般式Sn (OCOR)n (CsH
y Ox )J−nで示す有機第一錫化合物を混合する
。混合する割合は、In263およびSnO,と酸化物
に変化させた場合、混合酸化物中にIn、O,が95%
とSnO,が5%含有するように有機金属を混合する。
There are various methods for forming this IT○ film, such as vapor deposition, sputtering, CVD, roll coater, depping, and printing. Next, the thin film forming liquid has the general formula In(OCOR)n (Cs Hv 02)a-n (
R is an alkyl group, n is an integer of 1 to 2), and an organic indium compound represented by the general formula Sn (OCOR)n (CsH
An organic stannous compound represented by yOx)J-n is mixed. The mixing ratio is that when In263 and SnO are changed to oxide, In and O are 95% in the mixed oxide.
The organic metals are mixed so that they contain 5% of SnO and SnO.

一般にIn、O,が95%とSnO□が5%含有してい
るものをITO?4膜として使用しているが、さらにこ
れにZrO,を1θ%位混合するとITO薄膜の強度が
大きく1強靭性の透明導電膜が得られる。
In general, ITO is a substance containing 95% In, O, and 5% SnO□? The ITO thin film is used as a 4-layer film, but if ZrO is further added to this by about 1θ%, the strength of the ITO thin film increases and a transparent conductive film with 1-toughness can be obtained.

ZrO,含有のITO薄膜を得るには、Zrの有機化合
物を前記ITOの薄膜形成液に約10%位混合する。こ
の低溶剤としてカルボン酸とアセチルアセトンの混合液
や、濃度調整剤としてアルコールケトン類、エステル類
等の温材も必要に応じて混合して薄膜形成液を形成する
To obtain an ITO thin film containing ZrO, about 10% of an organic compound of Zr is mixed in the ITO thin film forming solution. A mixture of carboxylic acid and acetylacetone as a low solvent, and a hot material such as alcohol ketones or esters as a concentration adjusting agent are also mixed as necessary to form a thin film forming liquid.

前記薄膜形成液24は、第6図に示すような、シングル
ローラ25方式のロールコータDの受は皿23に入れ、
ガラス基板2の凸部8の配設側にITO薄膜を被着する
。なお、26は基板2を移送する移送ローラであり、2
7は浮上り防止リングである8被着後は被着面を上向き
にして加熱処理をする。
The thin film forming liquid 24 is placed in a tray 23 of a single roller 25 type roll coater D as shown in FIG.
An ITO thin film is deposited on the side of the glass substrate 2 on which the convex portions 8 are provided. Note that 26 is a transfer roller that transfers the substrate 2;
7 is a floating prevention ring. 8 After being adhered, heat treatment is performed with the adhered surface facing upward.

すると凸部上面に被着していた薄膜形成液は、凸部の側
面に一部流れ、凸部側面8aにも被着することになる。
Then, a part of the thin film forming liquid that had adhered to the upper surface of the convex portion flows to the side surface of the convex portion, and also adheres to the side surface 8a of the convex portion.

次に本発明の蛍光表示管の作用について説明する。Next, the operation of the fluorescent display tube of the present invention will be explained.

フィラメント状陰極7に陰極電圧が印加されると電子が
放出される。放出された電子は、隣接した線状グリッド
6に正のグリッド電圧が印加した2本の線状グリッド6
の間から陽極5へ向い、正のアノード電圧が印加した帯
状陽極5の蛍光体層5bに射突して蛍光体層5bを発光
させる。このように線状グリッド6にグリッド電圧が印
加されると線状グリッドどうしの静電引力や又は外部か
らの衝撃により線状グリッド6に振動が生じ易くなるが
、本発明の線状グリッド6は、帯状陽極5間に設けられ
た凸部8と接触しているので振動は完全に防止できる。
When a cathode voltage is applied to the filamentary cathode 7, electrons are emitted. The emitted electrons are transferred to two linear grids 6 to which a positive grid voltage is applied to adjacent linear grids 6.
The light is directed toward the anode 5 from between the two and strikes the phosphor layer 5b of the band-shaped anode 5 to which a positive anode voltage has been applied, causing the phosphor layer 5b to emit light. When a grid voltage is applied to the linear grid 6 in this way, vibrations are likely to occur in the linear grid 6 due to electrostatic attraction between the linear grids or external shocks, but the linear grid 6 of the present invention , since it is in contact with the convex portion 8 provided between the strip anodes 5, vibration can be completely prevented.

さらに凸部8の表面には半導電性薄膜9が設けられ、か
つ陽極導体5aと電気的に接続し、陽極導体5aは、電
源と接続されているので凸部表面に流入した電子は半導
電性薄膜と陽極導体を介して電源に流れる。したがって
、フィラメント状陰極からの電子が凸部8ヘチヤージア
ツプしないので第4図に示すようチャージアップした電
子による表示欠けという問題点は皆無になる。
Further, a semiconductive thin film 9 is provided on the surface of the convex portion 8 and is electrically connected to the anode conductor 5a, and since the anode conductor 5a is connected to a power source, the electrons flowing into the surface of the convex portion are semiconductive. The current flows to the power source through the conductor and the anode conductor. Therefore, since the electrons from the filamentary cathode do not jump up to the convex portion 8, the problem of display defects caused by charged-up electrons as shown in FIG. 4 is completely eliminated.

実施例2 第3図は、本発明の蛍光表示管の第2実施例拡大断面図
である。陽極基板2上に帯状の陽極導体5aと凸部8を
形成するのは、第1実施例と同様であるで説明を略す、
帯状の陽極導体5aとやはり帯状の凸部8の配設された
基板2を蒸着法やスパッタリング法、CVD法等の気相
めっき法により、陽極導体5a上および凸部8の基板2
表面すべてにITO薄膜による半導電性薄膜9を形成す
る。半導電性薄膜9の厚みは1000Å以下であり、薄
膜のシート抵抗はlXl0”〜lXl0”Ω/口の範囲
以下なら使用できるが、好ましくはlXl0”〜1×1
0uQ1口の範囲が良好な発光が得られる。
Embodiment 2 FIG. 3 is an enlarged sectional view of a second embodiment of the fluorescent display tube of the present invention. The formation of the band-shaped anode conductor 5a and the convex portion 8 on the anode substrate 2 is the same as in the first embodiment, and the explanation will be omitted.
The strip-shaped anode conductor 5a and the substrate 2 on which the strip-shaped protrusions 8 are arranged are coated on the anode conductor 5a and on the substrate 2 on the protrusions 8 by a vapor phase plating method such as vapor deposition, sputtering, or CVD.
A semiconductive thin film 9 made of an ITO thin film is formed on the entire surface. The thickness of the semiconductive thin film 9 is 1000 Å or less, and the sheet resistance of the thin film can be used if it is within the range of lXl0'' to lXl0'' Ω/mouth, but preferably lXl0'' to 1×1
Good light emission can be obtained in the range of 0uQ1.

次に陽極導体5a上に蛍光体層5bを電着法や印刷法等
の周知の被着方法で蛍光体層5bを形成する。したがっ
て、陽極5は、陽極導体5aと蛍光体層5bの間に半導
電性薄膜9が介在しているが。
Next, a phosphor layer 5b is formed on the anode conductor 5a by a well-known deposition method such as electrodeposition or printing. Therefore, in the anode 5, a semiconductive thin film 9 is interposed between the anode conductor 5a and the phosphor layer 5b.

厚みが1000Å以下なので、厚み方向の抵抗は非常に
低く、陽極導体5a上にベタに半導電性薄膜9が被着さ
れていても陽極電圧の電圧降下は微少で。
Since the thickness is 1000 Å or less, the resistance in the thickness direction is very low, and even if the semiconductive thin film 9 is completely deposited on the anode conductor 5a, the voltage drop in the anode voltage is minute.

蛍光体層の発光にはあまり影響を与えない。また凸部8
の表面に帯電した電子は、半導電性薄膜9が陽極導体5
aと接続しているので、陽極導体に流れ込むことになる
。しかして、凸部8には電子のチャージがなくなり、チ
ャージした電子により陰極からの電子の軌道を曲げるこ
とが防止でき、陽極5の一部の表示が欠けるという欠点
は皆無になる。
It does not significantly affect the light emission of the phosphor layer. Also, the convex portion 8
Electrons charged on the surface of the semiconductive thin film 9 are transferred to the anode conductor 5.
Since it is connected to a, it will flow into the anode conductor. As a result, the convex portion 8 is no longer charged with electrons, and the charged electrons can prevent the trajectory of the electrons from the cathode from being bent, thereby eliminating the drawback that the display of a part of the anode 5 is missing.

〔効 果〕〔effect〕

本発明は、以上説明したように、線状グリッドと対面す
る陽極基板上で陽極の近傍でかつ陽極より高い位置に複
数の凸部を形成し、この凸部の表面に半導電性薄膜を配
設したので次のような効果を有する。
As explained above, the present invention forms a plurality of convex portions near the anode and at a higher position than the anode on the anode substrate facing the linear grid, and a semiconductive thin film is disposed on the surface of the convex portions. This has the following effects.

(1)線状グリッドが外部からの衝撃や、陽極とグリッ
ド間または隣接するグリッド間に電圧が印加されたとき
に生ずる静電引力により線状グリッドが振動するのを凸
部に線状グリッドを接触させることにより、振動を完全
に防止することが可能となる。したがって、線状グリッ
ドと陽極が接触ショートして。線状グリッドの断線や、
陽極の焼損することが防止できるという効果を有する。
(1) The linear grid is placed on a convex part to prevent the linear grid from vibrating due to an external shock or electrostatic attraction generated when a voltage is applied between the anode and the grid or between adjacent grids. By making contact, vibration can be completely prevented. Therefore, the linear grid and anode contact and short-circuit. Disconnection of linear grid,
This has the effect of preventing the anode from burning out.

(2)  また、線状グリッドの振動が防止できるので
この振動によって起る画素の位置変動によるチラ付きや
、輝度の変化によるチラ付きも防止でき、表示品位の優
れたグラフィック表示が可能となる効果を有する。
(2) In addition, since the vibration of the linear grid can be prevented, it is also possible to prevent flickering due to fluctuations in pixel position caused by this vibration and flickering due to changes in brightness, making it possible to display graphics with excellent display quality. has.

(3)陽極に近接させて凸部を設け、この凸部の表面に
半導電性薄膜を形成したので、凸部に電子のチャージが
なくなり、帯電電子による表示欠けという欠点は皆無に
なり表示品位の優れたグラフィック蛍光表示管が提供で
きるという効果を有する。
(3) Since a convex portion is provided close to the anode and a semiconductive thin film is formed on the surface of this convex portion, there is no charge of electrons on the convex portion, and the defect of display defects due to charged electrons is completely eliminated, improving display quality. This has the effect of providing an excellent graphic fluorescent display tube.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明のグラフィック蛍光表示管の断面図、
第2図は、第1図の一部拡大断面図、第3図は1本発明
の他の実施例の一部拡大断面図、第4図は、従来のグラ
フィック蛍光表示管の電子の軌道を示す説明図、第5図
は、従来のグラフィック蛍光表示管の一部を破断した斜
視図、第6図は、シングルローラ方式のロールコータの
概略図である。 1・・・・・外囲器   2・・・・・陽極基板3・・
・・・背面板   4・・・・・側面板5・・・・・陽
 極   5a・・・陽極導体5b・・・・・蛍光体層
  6・・・線状グリッド7・・・フィラメント状陰極 8・・・・・凸 部   9・・・・・半導電性薄膜特
許出願人  双葉電子工業株式会社 ■ M  2  図 第  3  図 第  4  図
FIG. 1 is a sectional view of a graphic fluorescent display tube of the present invention;
FIG. 2 is a partially enlarged sectional view of FIG. 1, FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of another embodiment of the present invention, and FIG. 4 shows the trajectory of electrons in a conventional graphic fluorescent display tube. FIG. 5 is a partially cutaway perspective view of a conventional graphic fluorescent display tube, and FIG. 6 is a schematic diagram of a single-roller type roll coater. 1... Envelope 2... Anode substrate 3...
... Back plate 4 ... Side plate 5 ... Anode 5a ... Anode conductor 5b ... Phosphor layer 6 ... Linear grid 7 ... Filament-shaped cathode 8... Convex portion 9... Semiconductive thin film patent applicant Futaba Electronics Co., Ltd. ■ M 2 Figure 3 Figure 4

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)内部が真空に保持された箱形の外囲器と、前記外
囲器内の基板上にストライプ状の陽極導体と陽極導体上
の蛍光体層からなる帯状陽極と、前記帯状陽極の近傍に
、上面が前記蛍光体層表面によりも高くなるように配設
した凸部と、前記帯状陽極と直交する方向に複数本張設
された線状グリッドと、前記線状グリッドの上方に張設
されたフィラメント状陰極とを有するグラフィック蛍光
表示管において、前記基板上の少なくとも凸部表面に半
導電性薄膜を形成したことを特徴とするグラフィック蛍
光表示管。
(1) A box-shaped envelope whose interior is kept in a vacuum, a strip-shaped anode consisting of a striped anode conductor on a substrate in the envelope and a phosphor layer on the anode conductor, and the strip-shaped anode A convex portion disposed nearby so that its upper surface is higher than the surface of the phosphor layer, a plurality of linear grids stretched in a direction perpendicular to the strip anode, and a plurality of linear grids stretched above the linear grid. What is claimed is: 1. A graphic fluorescent display tube having a filament-like cathode provided thereon, characterized in that a semiconductive thin film is formed on at least the surface of the convex portion on the substrate.
(2)前記半導電性薄膜が凸部表面および陽極導体上に
配設された特許請求の範囲第1項記載のグラフィック蛍
光表示管。
(2) The graphic fluorescent display tube according to claim 1, wherein the semiconductive thin film is disposed on the surface of the convex portion and the anode conductor.
(3)前記半導性電極薄膜のシート抵抗が1×10^5
〜1×10^1^5Ω/ロの範囲である特許請求の範囲
第1項または第2項記載のグラフィック蛍光表示管。
(3) The sheet resistance of the semiconductor electrode thin film is 1×10^5
3. The graphic fluorescent display tube according to claim 1 or 2, wherein the resistance is in the range of 1×10^1^5 Ω/b.
JP25036386A 1986-10-20 1986-10-20 Graphic fluorescent character display tube Pending JPS63105448A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0349135A (en) * 1989-07-17 1991-03-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flat plate type display device and manufacture thereof

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0349135A (en) * 1989-07-17 1991-03-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flat plate type display device and manufacture thereof

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