JPS63102862A - Grinding attachment for optical fiber ferrule end face - Google Patents

Grinding attachment for optical fiber ferrule end face

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JPS63102862A
JPS63102862A JP25022986A JP25022986A JPS63102862A JP S63102862 A JPS63102862 A JP S63102862A JP 25022986 A JP25022986 A JP 25022986A JP 25022986 A JP25022986 A JP 25022986A JP S63102862 A JPS63102862 A JP S63102862A
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JP
Japan
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friction wheel
ferrule
polishing
face
spherical
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Application number
JP25022986A
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Japanese (ja)
Inventor
Junji Watanabe
純二 渡辺
Tadao Saito
忠男 斎藤
Toshiro Doi
俊郎 土肥
Kazuo Matsunaga
和夫 松永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/22Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B19/226Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make even such a work surface small in a radius of curvature polishable in a highly form accurate manner, by pressing a ferrule end face to a polishing surface, rotating a holding device, and making it perform its rocking motion, then polishing the ferrule end face into a convex spherical form. CONSTITUTION:A ferrule 1 is clamped to a ferrule holder 4 with a clamp screw 5 for retention, and an abrasive surface plate 6 is tilted so as to cause the center axis to be passed through a concave spherical center axis of a ring abrasive belt of the abrasive surface plate 6, positioning it, whereby a distance between a spherical bearing 7 and a ferrule end face 110, namely, a radius of curvature is adjusted by a slide adjusting screw 10. Nest, a driving driving friction 14 is driven clockwise or counter-clockwise an eccentric friction wheel 16 is rotated in one direction, giving rotation reversal motion and rocking motion to the ferrule 1, and the surface plate 6 is driven into rotation, thus the ferrule end faced 110 is polished at high speed. Thus, spherical polishing for even such a work surface as small in a radius curvature is performable so excellent in spherical form accuracy, besides less in eccentricity.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、光フアイバコネクタの研磨装置に関するもの
であり、更に詳述するならば、小型で高能率で高精度な
、光フアイバコネクタの端面を球面状に研磨する装置に
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a polishing device for optical fiber connectors, and more specifically, it is a compact, highly efficient, and highly accurate polishing device for polishing optical fiber connectors with a spherical shape. This relates to a device for polishing into shapes.

従来の技術 一般に、光フアイバコネクタに使用されるフェルールは
、第2図に示すように構成されている。
BACKGROUND OF THE INVENTION Generally, a ferrule used in an optical fiber connector is constructed as shown in FIG.

光フアイバコネクタのための図示のフェルール1は、中
心部に光ファイバ2を収容するための貫通孔120を有
する。フェルール1の後方部より挿入された光ファイバ
2は、フェルール1の先端面110において接着剤3に
より固持保持される。
The illustrated ferrule 1 for an optical fiber connector has a through hole 120 for accommodating the optical fiber 2 in the center. The optical fiber 2 inserted from the rear part of the ferrule 1 is firmly held at the distal end surface 110 of the ferrule 1 by the adhesive 3.

光信号を損失なく伝搬させるために、2つのフェルール
端面110を突き合せて、ファイバ端面をファイバ軸の
軸ずれなく且つ隙間なく接合する必要がある。このため
に、端面110を研磨してファイバ軸に垂直な平面にす
るか、あるいはファイバ部が頂部となる球面にし、且つ
フェルール端面とファイバ端面の間に段差のない滑らか
な状態にする必要がある。
In order to propagate an optical signal without loss, it is necessary to abut the two ferrule end faces 110 and join the fiber end faces without misalignment of the fiber axes and without any gaps. For this purpose, it is necessary to polish the end surface 110 to make it a flat surface perpendicular to the fiber axis, or to make it a spherical surface with the fiber portion at the top, and to make it smooth with no step between the ferrule end surface and the fiber end surface. .

そのようにフェルールの先端面を研磨するために、従来
、第3図に主要部を示すような光ファイバフェルール端
面研磨装置が使用されている。
In order to polish the end face of the ferrule in this manner, an optical fiber ferrule end face polishing apparatus, the main part of which is shown in FIG. 3, has conventionally been used.

図示の光ファイバの端面研磨装置は、フェルール保持具
4を備えている。フェルール保持具4には、締付はネジ
5によって少なくとも3つのフェルールが保持される。
The illustrated optical fiber end face polishing apparatus includes a ferrule holder 4. As shown in FIG. At least three ferrules are held in the ferrule holder 4 by tightening screws 5.

更に、基台(不図示)上に設置された回転研磨定盤6を
備えている。その回転研磨定盤6の研磨面と線面に垂直
に押接されたフェルール端面との間に、ノズル61から
研磨剤が供給される。
Furthermore, a rotating polishing surface plate 6 installed on a base (not shown) is provided. An abrasive is supplied from a nozzle 61 between the polishing surface of the rotary polishing surface plate 6 and the end surface of the ferrule pressed perpendicularly to the line surface.

以上のように構成される光ファイバフェルール端面研磨
装置は、次のように動作する。
The optical fiber ferrule end face polishing apparatus configured as described above operates as follows.

複数のフェルール1を締付はネジ5によってフェルール
保持具4に固定して、研磨定盤6上にフェルール端面を
押接させる。研磨剤供給ノズル61から研磨剤を供給し
ながら、図示を省略した定盤駆動手段によって研磨定盤
6を回転させる。同時に、図示を省略した保持具駆動手
段によってフェルール保持具4を自転運動または円状に
揺動運動(歳差運動)させてフェルール端面を研磨する
A plurality of ferrules 1 are fastened to a ferrule holder 4 with screws 5, and the end faces of the ferrules are pressed against a polishing surface plate 6. While supplying the abrasive from the abrasive supply nozzle 61, the polishing surface plate 6 is rotated by a surface plate driving means (not shown). At the same time, the ferrule holder 4 is rotated or circularly oscillated (precessed) by a holder driving means (not shown) to polish the ferrule end face.

通常セラミックス等の硬い材料からなるフェルールを一
定形状に高能率で加工して、最終面を凹凸が最大0.0
1μm程度の鏡面に仕上げるには、加工面のグレードと
能率に応じて、荒加工研磨及び仕上げ加工研房などの2
乃至3工程の研磨が必要である。したがって、図示の加
工ヘッドと同様の回転定盤部を2乃至3箇所に備えた研
房装置が使用されている。
Ferrules made of hard materials such as ceramics are processed with high efficiency into a fixed shape, and the final surface has a maximum of 0.0 unevenness.
To finish to a mirror surface of about 1 μm, two processes such as rough polishing and finishing workshop are required depending on the grade and efficiency of the machined surface.
Up to three polishing steps are required. Therefore, a laboratory apparatus is used which is equipped with two or three rotating surface plate parts similar to the illustrated processing head.

すなわち、このような従来の光フアイバコネクタの端面
研磨装置を使用する場合、まず第1工程として、フェル
ール端面110から突出した光ファイバ2及び接着剤3
を加工してフェルール端面110に揃え、その後、超音
波洗浄槽でフェルール端面を洗浄する。次に、第2及び
第3の研房工程と、それぞれの工程後の洗浄操作を行い
、フェルールの先端面を平らな面に加工する。この間、
作業者が各工程を手作業で進める必要があり、作業能率
は極めて悪いものであった。
That is, when using such a conventional optical fiber connector end face polishing device, the first step is to polish the optical fiber 2 and adhesive 3 protruding from the ferrule end face 110.
are processed to align with the ferrule end face 110, and then the ferrule end face is cleaned in an ultrasonic cleaning tank. Next, a second and third laboratory process and a cleaning operation after each process are performed to process the tip surface of the ferrule into a flat surface. During this time,
Workers had to carry out each process manually, resulting in extremely poor work efficiency.

第4図は、フェルール端面及びファイバ端面を球面状に
研磨する光フアイバフェルール端面研磨装置の概略図を
示す。
FIG. 4 shows a schematic diagram of an optical fiber ferrule end face polishing apparatus for polishing the ferrule end face and fiber end face into a spherical shape.

図示の研房装置は、第3図の装置と構成上及び動作上極
めて類似している。構成上相違する点は、研磨定盤60
表面が所定の曲率を有する凹球面上に成形されている点
と、各フェルールの中心軸が定盤球面の中心を通るよう
にフェルール保持具が構成されている点である。また動
作上相違する点は、フェルール保持具4が、自転運動を
することなく、円状に揺動運動のみすることである。
The illustrated laboratory apparatus is very similar in construction and operation to the apparatus of FIG. The difference in configuration is the polishing surface plate 60.
The two points are that the surface is formed into a concave spherical surface having a predetermined curvature, and that the ferrule holder is configured such that the central axis of each ferrule passes through the center of the spherical surface of the surface plate. The difference in operation is that the ferrule holder 4 does not rotate, but only swings in a circular manner.

フェルール端面を球面状に研房加工する場合、まず第3
図に示した平面状定盤で粗研磨を行い、光ファイバの突
出部と接着剤を除去する。次に、そのように加工された
フェルールを取り外して、第4図に図示の球面加工用研
磨装置のフェルール保持具に装着して加工する必要があ
り、特に作業能率が悪かった。また、図示の球面定盤が
研房変形すると、修正するのに別の専用装置が必要とな
り、手間と時間が余計にかかるという問題があった。
When processing the ferrule end face into a spherical shape, first
Rough polishing is performed using the planar surface plate shown in the figure to remove the protrusion of the optical fiber and the adhesive. Next, it was necessary to remove the ferrule processed in this manner and attach it to the ferrule holder of the polishing apparatus for spherical surface processing shown in FIG. 4 for processing, which resulted in particularly poor work efficiency. Further, when the illustrated spherical surface plate deforms in the laboratory, another dedicated device is required to correct the deformation, resulting in the problem of additional effort and time.

さらに、上述のようなフェルールの保持方式ではフェル
ール自体を自転運動させていないため、加工されたフェ
ルール端面の中心対称性が低い。
Furthermore, in the above-described ferrule holding method, the ferrule itself is not rotated, so the center symmetry of the processed ferrule end face is low.

このため、コネクタ同士を突き当てて光ファイバを接続
したとき、光フアイバコア間に隙間が生じ、光の信号伝
搬損失が大きくなるという問題があった。さらに、フェ
ルール保持具は複数のコネクタの各コネクタの中心軸が
定盤球面の中心を通るように保持しているため、曲率半
径の小さな併置定盤による加工、すなわちフェルール端
面を曲率半径の小さな2球面状に加工するのは不可能で
あった。
For this reason, when the optical fibers are connected by abutting the connectors against each other, there is a problem that a gap is created between the optical fiber cores, resulting in a large optical signal propagation loss. Furthermore, since the ferrule holder holds the plurality of connectors so that the central axis of each connector passes through the center of the spherical surface of the surface plate, it is possible to process the ferrule end face using two side-by-side surface plates with a small radius of curvature. It was impossible to process it into a spherical shape.

発明が解決しようとする問題点 上述のように、光フアイバコネクタのフェルール端面を
精密に球面状に加工するには、数段階の研磨工程を経る
必要がある。その際、従来の研磨装置では、研磨工程を
進めるごとに手作業により研磨定盤の交換を行うため、
研磨作業の能率が非常に悪くなるという問題があった。
Problems to be Solved by the Invention As described above, in order to precisely process the ferrule end face of an optical fiber connector into a spherical shape, it is necessary to go through several polishing steps. At that time, with conventional polishing equipment, the polishing surface plate must be replaced manually each time the polishing process progresses.
There was a problem in that the efficiency of polishing work was extremely poor.

また、従来のフェルールの保持方式では、各フェルール
ヲ自転運動させていないためフェルール端面の中心対称
性が低いという問題があった。さらに、従来のフェルー
ルの保持方式では、各コネクタの中心軸が定盤球面の中
心を通るように複数のコネクタを保持しているため、曲
率半径の小さな球面状にフェルール端面を研磨加工する
ことができないという問題があった。
Further, in the conventional ferrule holding method, each ferrule is not rotated, so there is a problem in that the center symmetry of the ferrule end face is low. Furthermore, in the conventional ferrule holding method, multiple connectors are held so that the central axis of each connector passes through the center of the spherical surface of the surface plate, so it is possible to polish the ferrule end face into a spherical shape with a small radius of curvature. The problem was that I couldn't do it.

そこで、本発明は、研磨工程数を従来に比較して削減で
き、各工程における研磨時間を短縮でき、且つコネクタ
の端面の加工精度を向上する光フアイバフェルール端面
研磨装置を提供せんとするものである。
Therefore, the present invention aims to provide an optical fiber ferrule end face polishing device that can reduce the number of polishing processes compared to the conventional method, shorten the polishing time in each process, and improve the machining accuracy of the end face of the connector. be.

更に、本発明は、新規な研磨用砥石、フェルールの運動
機構及び研磨砥石の運動機構を備えた、小型で高能率で
高精度な光フアイバフェルール端面研磨装置を提供せん
とするものである。
Furthermore, the present invention aims to provide a compact, highly efficient, and highly accurate optical fiber ferrule end face polishing device that is equipped with a novel polishing grindstone, a ferrule movement mechanism, and a polishing grindstone movement mechanism.

問題点を解決するための手段 すなわち、本発明によるならば、光ファイバを挿入固定
されたフェルールの端面を球面状に研磨する装置であっ
て、研磨面を有する研磨手段と、上記フェルールの端面
を研磨面に押接するように該フェルールを保持する手段
と、該保持手段を駆動して上記フェルールをその軸を中
心に自転させ且つその軸に直角な軸を中心に揺動させる
駆動手段とを備え、上記フェルール端面を上記研磨面に
押接し、上記保持手段を自転運動及び揺動運動させて、
上記フェルールの端面を凸球面状に研磨することを特徴
とする光フアイバフェルール端面研磨装置が提供される
Means for solving the problem, that is, according to the present invention, is an apparatus for polishing the end face of a ferrule into which an optical fiber is inserted and fixed into a spherical shape, comprising: a polishing means having a polishing surface; and a polishing means having a polishing surface; A means for holding the ferrule so as to press against the polishing surface, and a driving means for driving the holding means to cause the ferrule to rotate about its axis and swing about an axis perpendicular to the axis. , pressing the ferrule end face against the polished surface and rotating and swinging the holding means;
An optical fiber ferrule end face polishing device is provided, which polishes the end face of the ferrule into a convex spherical shape.

作用 以上のように、本発明の光フアイバフェルール端面研磨
装置では、単一の光フアイバフェルールを保持し自転運
動及び揺動運動をさせてフェルール端面を研磨加工する
As described above, in the optical fiber ferrule end face polishing apparatus of the present invention, a single optical fiber ferrule is held and rotated and oscillated to polish the ferrule end face.

このように、単一の光フアイバコネクタを保持して自転
運動及び揺動運動をさせるので、球面の形状精度が高く
、球面頂点の光フアイバコア中心からの偏心を小さくす
ることができる。
In this way, since a single optical fiber connector is held and rotated and oscillated, the shape accuracy of the spherical surface is high, and the eccentricity of the spherical apex from the center of the optical fiber core can be reduced.

また、揺動運動の中心とフェルールの先端との距離を調
整することにより、フェルールの先端の研磨面の曲率半
径の設定することができ、小さな曲率半径による加工も
可能となる。
Furthermore, by adjusting the distance between the center of the rocking motion and the tip of the ferrule, the radius of curvature of the polished surface at the tip of the ferrule can be set, and processing with a small radius of curvature is also possible.

更に、上述のように、定盤とコネクタは安定した設定姿
勢をとり、定盤を高速回転させて精度よく加工すること
ができるので、粗研磨と仕上げ研磨の2つの工程で全工
程を終了することが可能となる。
Furthermore, as mentioned above, the surface plate and connector have a stable setting posture, and the surface plate can be rotated at high speed to perform accurate machining, so the entire process can be completed in two steps: rough polishing and final polishing. becomes possible.

加えて、本発明の研磨装置は、フェルール保持手段の揺
動支点を移動させて揺動半径を変化させる手段を備えて
おり、フェルール端面を異なった曲率半径の球面状に加
工する際フェルール保持具の交換を必要としない。
In addition, the polishing apparatus of the present invention is equipped with means for changing the swing radius by moving the swing fulcrum of the ferrule holding means, so that when processing the ferrule end face into a spherical shape with a different radius of curvature, the ferrule holder does not require replacement.

実施例 以下添付図面を参照して本発明の光ファイバフェルール
端面研磨装置の実施例を説明する。
Embodiments Hereinafter, embodiments of the optical fiber ferrule end face polishing apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

第1図は、本発明による光フアイバフェルール端面研磨
装置の実施例の機構概要図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment of an optical fiber ferrule end face polishing apparatus according to the present invention.

図示の光フアイバフェルール端面研磨装置は、回転軸2
0に固定され且つ凹球面環状研磨帯を有する研磨定盤6
を備えている。回転軸20は、傾動自在に構成されてお
り、図示を省略した駆動手段に駆動され、その結果、研
磨定盤6が回転軸20を中心にして回転駆動される。
The illustrated optical fiber ferrule end face polishing device has a rotating shaft 2
A polishing surface plate 6 fixed at 0 and having a concave spherical annular polishing zone
It is equipped with The rotating shaft 20 is configured to be tiltable and is driven by a drive means (not shown), and as a result, the polishing surface plate 6 is rotationally driven around the rotating shaft 20.

装置は、光フアイバコネクタのフェルール1を保持する
フェルール保持具4を備えている。このフェルール保持
具4は、円筒状の外形を有し、内部に円筒状の貫通孔を
有しており、その円筒状貫通孔の径は、先端部すなわち
前方部で小さくなされている。光ファイバ2を収容保持
したフェルール1は、フェルール保持具4の後方部から
前方部へ貫通L 、フェルール端面110がフェルール
保持具4の前方端面よりわずかに突出した位置でフェル
ール締付はチャック24によって固定保持される。
The device includes a ferrule holder 4 that holds a ferrule 1 of an optical fiber connector. The ferrule holder 4 has a cylindrical outer shape and has a cylindrical through hole inside, and the diameter of the cylindrical through hole is made smaller at the tip, that is, at the front. The ferrule 1 that accommodates and holds the optical fiber 2 passes through the ferrule holder 4 from the rear part to the front part L, and the ferrule is tightened by the chuck 24 at a position where the ferrule end surface 110 slightly protrudes from the front end surface of the ferrule holder 4. It is held fixed.

フェルール締付ケチャック24は、フェルール保持具4
の後方端面に装着された締付はネジ5によって駆動され
てフェルール保持具4内を軸方向に変位して、フェルー
ル締付は状態とフェルール解放状態との間を移動する。
The ferrule tightening kechak 24 is attached to the ferrule holder 4
The clamp mounted on the rear end face of the ferrule is driven by the screw 5 and displaced in the axial direction within the ferrule holder 4, so that the ferrule clamp moves between the state and the ferrule released state.

フェルール保持具4は、上端部に該保持具と同軸に装着
された従動摩擦車11を備えている。該従動摩擦車11
には、押付はバネ13に付勢されたアイドラ回転輪12
が押接している。従動摩擦車11には更に、駆動用摩擦
車14が押接している。この駆動用摩擦車14の軸は、
図示していない手段により揺動自在に回転自在に支持さ
れており、同様に図示していない回転駆動手段により3
60度以上の回転角で正逆回転させられるようになされ
ている。更に、駆動用摩擦車14の軸には、もう1つの
摩擦車15が同軸に且つ駆動用摩擦車14の軸に対して
回転自在に装着されている。該摩擦車15には、偏心回
転摩擦車16が押接している。偏心回転摩擦車16の軸
は、図示を省略した駆動手段によって回転駆動される。
The ferrule holder 4 includes a driven friction wheel 11 coaxially attached to the ferrule holder at its upper end. The driven friction wheel 11
In this case, the pressing is performed by the idler rotating wheel 12 biased by the spring 13.
are pressing against each other. A driving friction wheel 14 is further pressed into contact with the driven friction wheel 11 . The shaft of this driving friction wheel 14 is
It is swingably and rotatably supported by means not shown, and the three
It is designed to be able to rotate forward and backward at a rotation angle of 60 degrees or more. Furthermore, another friction wheel 15 is coaxially mounted on the shaft of the driving friction wheel 14 and is rotatable with respect to the shaft of the driving friction wheel 14 . An eccentric rotating friction wheel 16 is pressed against the friction wheel 15 . The shaft of the eccentric rotating friction wheel 16 is rotationally driven by a driving means (not shown).

更に、フェルール保持具4は、従動摩擦車11の下方部
で球面軸受7によって、その軸方向には位置調整可能に
把持されている。該球面軸受は、球面軸受支持具8によ
って支持されている。この球面軸受支持具8は、スライ
ド軸9に沿って移動可能であり、調整ネジ10によりス
ライド軸9に沿って位置調整されるようになされている
Furthermore, the ferrule holder 4 is held by a spherical bearing 7 below the driven friction wheel 11 so that its position can be adjusted in the axial direction. The spherical bearing is supported by a spherical bearing support 8. This spherical bearing support 8 is movable along a slide shaft 9, and its position is adjusted along the slide shaft 9 by an adjustment screw 10.

また、研摩定盤6に対してフェルールを押圧するように
、球面軸受支持具8に予め偏移力を作用させる。または
、摩擦車14の周面を部分球面にして、その部分球面へ
のアイドラ回転輪12と摩擦車14との接触位置により
、フェルール保持具4を研摩定盤6の方に押し出す力が
作用するようにしてもよい。
Further, a shifting force is applied to the spherical bearing support 8 in advance so as to press the ferrule against the polishing surface plate 6. Alternatively, the circumferential surface of the friction wheel 14 is made into a partially spherical surface, and the force that pushes the ferrule holder 4 toward the polishing surface plate 6 is applied depending on the contact position of the idler rotating wheel 12 and the friction wheel 14 to the partially spherical surface. You can do it like this.

装置は、さらにフェルール端面110と研磨定盤6の凹
球面環状研磨帯との間に研磨剤を供給するノズル61を
備えている。
The apparatus further includes a nozzle 61 that supplies abrasive between the ferrule end face 110 and the concave spherical annular polishing zone of the polishing surface plate 6.

以上のように構成される光フアイバコネクタの端面研摩
装置は、次のように動作する。
The optical fiber connector end face polishing apparatus configured as described above operates as follows.

締付はネジ5の後方からコネクタのフェルールを図示を
省略した治具で挿入し、締付はネジ5によってフェルー
ル締付はチッヤク4を押出してフェルール1を固定保持
する。研摩定盤6を傾動させて、フェルール保持具4の
中心軸が、研摩定盤6の環状研磨帯の凹球面の中心軸を
通るように定盤の位置決めをする。加工球面の曲率半径
に応じて、スライド調整ネジ10により、球面軸受支持
具8を上下移動させ、それに伴い球面軸受7をフェルー
ル保持具4に沿って移動させ、球面軸受7とフェルール
端面110との距離、すなわち揺動半径を調節する。
For tightening, the ferrule of the connector is inserted from behind the screw 5 using a jig (not shown), and for tightening the ferrule, the ferrule 4 is pushed out by the screw 5 to hold the ferrule 1 fixed. The polishing surface plate 6 is tilted to position the polishing surface plate 6 so that the central axis of the ferrule holder 4 passes through the central axis of the concave spherical surface of the annular polishing zone of the polishing surface plate 6. According to the radius of curvature of the processed spherical surface, the spherical bearing support 8 is moved up and down by the slide adjustment screw 10, and the spherical bearing 7 is accordingly moved along the ferrule holder 4, and the spherical bearing 7 and the ferrule end face 110 are Adjust the distance, that is, the swing radius.

かかる状態で、フェルール端面を定盤面に押接する。In this state, the ferrule end face is pressed against the surface plate surface.

この状態で、駆動摩擦車14の軸を正逆回転駆動し且つ
偏心回転摩擦車16を1方向に回転駆動して、フェルー
ル1に自転反転運動および揺動運動を与えながら、定盤
6を自転駆動してフェルール端面110を高速に研摩す
る。すなわち、駆動用摩擦車14の軸を自転反転駆動し
て、従動摩擦車11に自転反転運動を与える。一方、偏
心回転摩擦車16の軸を低速で回転させることにより駆
動用摩擦車14の回転軸は揺動運動する。この自転反転
運動及び揺動運動に応じて、フェルール端面110は自
転反転運動と球面軸受7を支点とした揺動運動をする。
In this state, the shaft of the drive friction wheel 14 is driven to rotate forward and backward, and the eccentric rotary friction wheel 16 is driven to rotate in one direction, giving the ferrule 1 a rotational reversal motion and a rocking motion, while rotating the surface plate 6. The ferrule end face 110 is polished at high speed. That is, the shaft of the driving friction wheel 14 is driven to rotate in reverse, giving the driven friction wheel 11 a rotationally reverse motion. On the other hand, by rotating the shaft of the eccentric rotating friction wheel 16 at a low speed, the rotating shaft of the driving friction wheel 14 undergoes a rocking motion. In response to this rotational reversal motion and swinging motion, the ferrule end face 110 performs a rotational reversal motion and a rocking motion using the spherical bearing 7 as a fulcrum.

フェルール先端部の揺動幅は、定盤の接触幅と同等とす
る。
The swing width of the ferrule tip shall be equal to the contact width of the surface plate.

一方、押付はバネ13が付勢するアイドラ回転車12は
、従動摩擦車11を駆動用摩擦車14に常に押接させて
いる。これによって、フェルール先端部が定盤面上を偏
心回転摩擦車16の動きに応じて揺動できる。すなわち
、研磨定盤6の全面に均一な軌跡を描くことができ、精
度の高い研摩が可能となる。
On the other hand, the idler rotating wheel 12, which is biased by a spring 13, always presses the driven friction wheel 11 against the driving friction wheel 14. This allows the ferrule tip to swing on the surface of the surface plate according to the movement of the eccentric rotating friction wheel 16. In other words, a uniform locus can be drawn over the entire surface of the polishing surface plate 6, allowing highly accurate polishing.

研磨定盤6として、曲率半径30mmの球面金属器に電
鋳により厚さ約50μmのメタルボンドダイヤモンド砥
石を形成したものを用い、これを15(11)乃至2(
11)Orpmで回転させた。ダイヤモンド砥石の粒径
は、2μm乃至3μm程度のものである。光ファイバを
接着固定した先端が平面状で外径が2.5mmのセラミ
ックス(アルミナ、ジルコニア等)製のフェルールを、
フェルール保持具4の先端部で固定保持した。フェルー
ル端面110と球面軸受7との間隔をスライド調整ネジ
10によって約30卸に調節し、フェルール保持具4に
約2(11)Orpmの自転反転運動(1,5回転ごと
に反転させる)を与えて1分間研磨した。この結果、セ
ラミックスフェルール端面及び光フアイバ端面ともに、
凹凸が0.2μm以下の表面あらさで曲率半径が約30
mmの加工面が得られた。
As the polishing surface plate 6, a spherical metal device with a radius of curvature of 30 mm and a metal-bonded diamond grinding wheel with a thickness of about 50 μm formed by electroforming are used.
11) Rotated at Orpm. The grain size of the diamond grindstone is approximately 2 μm to 3 μm. A ferrule made of ceramics (alumina, zirconia, etc.) with a flat tip and an outer diameter of 2.5 mm has an optical fiber fixed with adhesive.
It was fixedly held at the tip of the ferrule holder 4. The distance between the ferrule end face 110 and the spherical bearing 7 is adjusted to about 30 mm using the slide adjustment screw 10, and the ferrule holder 4 is given a rotational reversal motion of about 2 (11) orpm (reversed every 1.5 revolutions). and polished for 1 minute. As a result, both the ceramic ferrule end face and the optical fiber end face are
Surface roughness with unevenness of 0.2 μm or less and radius of curvature of approximately 30
A machined surface of mm was obtained.

次に、研磨定盤として錫および各種樹脂よりなる球面器
を使用し、1乃至2μmのダイヤモンド粒子またはAl
2O3、SiC2、ZrO2、CaC2、Fe*O<な
どの各種酸化物微粒子懸濁液を供給しながら、上記凸球
面に粗研磨したフェルール端面を仕上げ研磨した。研磨
定盤6の回転数を30乃至1(11)rI]fTlにし
、フェルール保持具もまた30乃至1(11)rprn
で自転反転運動をさせた。この結果、光フアイバコア端
面の表面あらさが30乃至50八以下で、フェルールを
含めた全体の端面の曲率半径が約30m+nで、先端頂
点のコア中心部からの偏心が20μm以下の高精度加工
面を得た。
Next, using a spherical tool made of tin and various resins as a polishing surface plate, diamond particles of 1 to 2 μm or Al
While supplying a suspension of various oxide fine particles such as 2O3, SiC2, ZrO2, CaC2, Fe*O<, etc., the end face of the ferrule which had been roughly polished into the convex spherical surface was finally polished. The rotation speed of the polishing surface plate 6 is set to 30 to 1 (11) rI]fTl, and the ferrule holder is also set to 30 to 1 (11) rprn.
caused rotation and reversal motion. As a result, we have created a high-precision machined surface in which the surface roughness of the optical fiber core end face is 30 to 508 or less, the radius of curvature of the entire end face including the ferrule is approximately 30 m + n, and the eccentricity of the tip apex from the core center is 20 μm or less. Obtained.

以上説明したように、上記した光ファイバフェルール端
面研磨装置では、単一のフェルール1を保持して、これ
を自転反転運動及び揺動運動させて研磨する。従って、
中心対称性の優れた球面にフェルール先端を加工できる
。更に、単一のフェルールを加工するので、曲率半径の
小さな加工面も研磨可能である。
As explained above, the optical fiber ferrule end face polishing apparatus described above holds a single ferrule 1 and polishes it by rotating and rotating it. Therefore,
The tip of the ferrule can be machined into a spherical surface with excellent central symmetry. Furthermore, since a single ferrule is processed, it is possible to polish a processed surface with a small radius of curvature.

更に、フェルールの揺動の中心位置にフェルールがある
とき、フェルールの先端が研磨定盤6の環状球面研磨帯
の中央部に対して垂直に該中央部上に位置するように、
研磨定盤6を傾斜させている。かかる状態で、フェルー
ル端面を球面定盤に摺接するように揺動させたとき、フ
ェルール保持具の左右の傾き角が垂直軸に対して同じと
なり、安定した設定姿勢が可能となる。この結果、定盤
を高速に回転させてフェルール端面と加工しても精度よ
く加工できるので、従来より高能率な加工ができる。
Furthermore, when the ferrule is located at the center of the ferrule's swing, the tip of the ferrule is positioned perpendicularly to and above the center of the annular spherical polishing zone of the polishing surface plate 6;
The polishing surface plate 6 is tilted. In this state, when the ferrule end face is swung so as to come into sliding contact with the spherical surface plate, the left and right inclination angles of the ferrule holder are the same with respect to the vertical axis, and a stable setting posture is possible. As a result, even if the surface plate is rotated at high speed and the end face of the ferrule is machined, it can be machined with high accuracy, so that machining can be performed more efficiently than before.

加えて、上記した光フアイバフェルール研磨装置は、研
磨定盤6の環状球面研磨帯の中心に光フアイバフェルー
ルの揺動中心を位置させ、且つ研磨定盤6の環状球面研
磨帯の回転軸をフェルール保持具4に対して傾斜させて
いる。従って、フェルール1が揺動しても、フェルール
1は、研磨定盤6の環状球面研磨帯の研磨面に常時接触
しており、且つ、フェルール1が接触している環状球面
研磨帯部分に対して常時垂直にな関係にある。それ故、
環状球面研磨帯の研磨面が均一に摩耗し、局部的に摩耗
して変形することがない。
In addition, the above-described optical fiber ferrule polishing apparatus positions the swing center of the optical fiber ferrule at the center of the annular spherical polishing zone of the polishing surface plate 6, and the rotation axis of the annular spherical polishing zone of the polishing surface plate 6 is located at the center of the annular spherical polishing zone of the polishing surface plate 6. It is inclined with respect to the holder 4. Therefore, even if the ferrule 1 swings, the ferrule 1 is always in contact with the polishing surface of the annular spherical polishing zone of the polishing surface plate 6, and the part of the annular spherical polishing zone that the ferrule 1 is in contact with are always in a vertical relationship. Therefore,
The polishing surface of the annular spherical polishing band wears uniformly and is not locally worn and deformed.

発明の詳細 な説明したように、本発明の光フアイバフェルール端面
研磨装置では、単一のフェルールを保持して、これを自
転反転運動及び揺動運動させて研磨する。従って、曲率
半径の小さな加工面も研磨可能となり、さらに球面の形
状精度が高く球面頂点の光フアイバコア中心からの偏心
を小さくすることができる。
As described in detail, the optical fiber ferrule end face polishing apparatus of the present invention holds a single ferrule and polishes it by rotating and oscillating it. Therefore, it is possible to polish a machined surface with a small radius of curvature, and furthermore, the shape accuracy of the spherical surface is high, and the eccentricity of the apex of the spherical surface from the center of the optical fiber core can be reduced.

更に、フェルール端面を研磨面に摺接するように揺動さ
せたとき、フェルール保持具の左右の傾き角が、揺動の
中心軸に対して左右同じにすることにより、安定した研
磨姿勢が得られる。その結果、研磨として高速回転研磨
盤を使用しても、フェルール端面を精度よく加工できる
ので、従来より高能率な加工ができる。
Furthermore, when the ferrule end face is swung so that it comes into sliding contact with the polishing surface, a stable polishing posture can be obtained by making the left and right inclination angles of the ferrule holder the same with respect to the central axis of oscillation. . As a result, even if a high-speed rotating polisher is used for polishing, the end face of the ferrule can be processed with high accuracy, resulting in more efficient processing than before.

加えて、本発明の光フアイバフェルール研磨装置は、フ
ェルール保持手段の揺動支点を移動させて揺動半径を変
化させる手段を備えており、フェルール端面を異なった
曲率半径の球面状に加工する際フェルール保持具の交換
を必要としない。
In addition, the optical fiber ferrule polishing apparatus of the present invention is equipped with means for changing the swing radius by moving the swing fulcrum of the ferrule holding means, so that when processing the ferrule end face into a spherical shape with a different radius of curvature, No need to replace ferrule holder.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の光フアイバフェルール端面研磨装置
の第1の実施例の機構概要図であり、第2図は、光ファ
イバフェルール9主要部の断面構造図であり、 第3図は、従来の光ファイバフェルール端面併重装置の
主要部概要図であり、 第4図は、フェルール端面を球面状に研■する従来の光
フアイバフェルール端面研磨装置の主要部概要図である
。 (主な参照番号) 1・・フェルール、  2・・光ファイバ、3・・接着
剤、   4・・フェルール保持具、5・・締付はネジ
、 6・・研磨定盤、7・・球面軸受、  11・・従
動摩擦車、12・・アイドラ回転輪、 13・・押付はバネ、 14・・駆動用摩擦車、16・
・偏心回転摩擦車、 61・・研房剤供給ノズル、 110・・フェルール端面、 120・・フェルール貫通孔
FIG. 1 is a schematic diagram of the mechanism of the first embodiment of the optical fiber ferrule end face polishing apparatus of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional structural diagram of the main part of the optical fiber ferrule 9, and FIG. FIG. 4 is a schematic view of the main parts of a conventional optical fiber ferrule end face polishing apparatus for polishing the ferrule end face into a spherical shape. FIG. (Main reference numbers) 1. Ferrule, 2. Optical fiber, 3. Adhesive, 4. Ferrule holder, 5. Screw tightening, 6. Polishing surface plate, 7. Spherical bearing. , 11... Driven friction wheel, 12... Idler rotating wheel, 13... Spring for pressing, 14... Driving friction wheel, 16...
- Eccentric rotating friction wheel, 61... Polishing agent supply nozzle, 110... Ferrule end face, 120... Ferrule through hole

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)光ファイバを挿入固定されたフェルールの端面を
球面状に研磨する装置であって、 研磨面を有する研磨手段と、上記フェルールの端面を研
磨面に押接するように該フェルールを保持する手段と、
該保持手段を駆動して上記フェルールをその軸を中心に
自転させ且つその軸に直角な軸を中心に揺動させる駆動
手段とを備え、上記フェルール端面を上記研磨面に押接
し、上記保持手段を自転運動及び揺動運動させて、上記
フェルールの端面を凸球面状に研磨することを特徴とす
る光ファイバフェルール端面研磨装置。
(1) A device for polishing the end surface of a ferrule into which an optical fiber is inserted and fixed into a spherical shape, comprising a polishing means having a polishing surface, and a means for holding the ferrule so that the end surface of the ferrule is pressed against the polishing surface. and,
driving means for driving the holding means to rotate the ferrule about its axis and swinging about an axis perpendicular to the axis; the holding means presses the ferrule end face against the polished surface; An optical fiber ferrule end face polishing apparatus characterized in that the end face of the ferrule is polished into a convex spherical shape by rotating and swinging the ferrule.
(2)上記駆動手段は、上記保持手段を自転運動させる
回転機構と、上記保持手段を揺動自在に把持する把持手
段と、上記保持手段を駆動して上記把持部分を支点とす
る揺動運動をさせる揺動機構とを具備していることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の研磨装置。
(2) The driving means includes a rotation mechanism that rotates the holding means, a gripping means that swingably grips the holding means, and a swinging movement using the gripping portion as a fulcrum by driving the holding means. The polishing apparatus according to claim 1, further comprising a swinging mechanism for causing the polishing apparatus to rotate.
(3)上記回転機構は、上記保持手段と同軸に装着され
た第1の摩擦車と、該第1の摩擦車に押接する第2の摩
擦車と、該第2の摩擦車の軸を回転駆動する手段とを具
備していることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載
の研磨装置。
(3) The rotation mechanism includes a first friction wheel mounted coaxially with the holding means, a second friction wheel that presses against the first friction wheel, and rotates the shaft of the second friction wheel. 3. The polishing apparatus according to claim 2, further comprising driving means.
(4)上記第2の摩擦車の軸は、揺動自在に支持されて
おり、上記揺動機構は、上記第2の摩擦車の軸に同軸に
回転自在に装着された第3の摩擦車と、該第3の摩擦車
と係合し且つ固定軸上に回転する偏心回転摩擦車と、該
偏心回転摩擦車を回転駆動する手段と、上記第1の摩擦
車を付勢して該第1の摩擦車と第2の摩擦車とを互いに
押接し且つ上記第3の摩擦車と上記偏心回転摩擦車を互
いに押接させる押接手段とを具備していることを特徴と
する特許請求の範囲第3項記載の研磨装置。
(4) The shaft of the second friction wheel is swingably supported, and the rocking mechanism includes a third friction wheel coaxially and rotatably mounted on the shaft of the second friction wheel. an eccentric rotating friction wheel that engages with the third friction wheel and rotates on a fixed shaft; means for rotationally driving the eccentric rotating friction wheel; The present invention is characterized in that it includes a pressing means for pressing the first friction wheel and the second friction wheel against each other and pressing the third friction wheel and the eccentric rotating friction wheel against each other. The polishing device according to scope 3.
(5)上記押接手段は、アイドラ回転輪と、該アイドラ
回転輪を付勢して上記第1の摩擦車に押接するバネ手段
とからなることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載
の研磨装置。
(5) The pressing means includes an idler rotating ring and a spring means that urges the idler rotating ring to press the idler rotating ring against the first friction wheel. polishing equipment.
(6)上記把持手段は、上記保持手段を把持する球面軸
受と、該球面軸受を支持する球面軸受支持部とを具備し
ていることを特徴とする特許請求の範囲第2項乃至第5
項のいずれか1項記載の研磨装置。
(6) Claims 2 to 5, wherein the gripping means includes a spherical bearing that grips the holding means, and a spherical bearing support section that supports the spherical bearing.
The polishing device according to any one of the above items.
(7)上記球面軸受支持部は、スライド軸と、上記球面
軸受を支持して上記スライド軸に沿って移動自在な支持
具と、該支持具を上記スライド軸に沿って駆動する調整
ネジとを具備していることを特徴とする特許請求の範囲
第6項記載の研磨装置。
(7) The spherical bearing support section includes a slide shaft, a support that supports the spherical bearing and is movable along the slide shaft, and an adjustment screw that drives the support along the slide shaft. 7. The polishing apparatus according to claim 6, further comprising:
(8)上記揺動機構は、上記保持手段と同軸に装着され
た摩擦車と、該摩擦車に押接する偏心回転摩擦車と、該
偏心回転摩擦車の軸を回転駆動する手段と、上記摩擦車
を付勢して上記偏心回転摩擦車に押接する手段とからな
ることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の研磨装
置。
(8) The swinging mechanism includes a friction wheel mounted coaxially with the holding means, an eccentric rotating friction wheel that presses against the friction wheel, means for rotationally driving the shaft of the eccentric rotating friction wheel, and 3. The polishing apparatus according to claim 2, further comprising means for urging a wheel to press the wheel against the eccentric rotating friction wheel.
(9)上記押接手段は、アイドラ回転輪と、該アイドラ
回転輪を付勢して上記摩擦車に押接するバネ手段とから
なることを特徴とする特許請求の範囲第8項記載の研磨
装置。
(9) The polishing device according to claim 8, wherein the pressing means comprises an idler rotating ring and a spring means that urges the idler rotating ring to press it against the friction wheel. .
(10)上記保持手段は、上記フェルールを把持するチ
ャックであることを特徴とする特許請求の範囲第1項か
ら第9項までのいずれか1項記載の研磨装置。
(10) The polishing apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein the holding means is a chuck that grips the ferrule.
(11)上記保持手段は、上記フェルールを把持するチ
ャックと、該チャックを回転自在に支持する支持部材と
を具備しており、上記回転機構は、上記支持部材に支持
されて上記フェルールを回転するモータであることを特
徴とする特許請求の範囲第2項から第9項までのいずれ
か1項記載の研磨装置。
(11) The holding means includes a chuck that grips the ferrule, and a support member that rotatably supports the chuck, and the rotation mechanism is supported by the support member and rotates the ferrule. A polishing device according to any one of claims 2 to 9, characterized in that the polishing device is a motor.
(12)上記研磨面は、凹球面状であることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項乃至第10項のいずれか1項記
載の研磨装置。
(12) The polishing device according to any one of claims 1 to 10, wherein the polishing surface has a concave spherical shape.
(13)上記研磨手段は、凹球面環状研磨帯を有する傾
動自在な研磨定盤と、該定盤を回転駆動する手段とから
なることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第10
項のいずれか1項記載の研磨装置。
(13) The polishing means comprises a tiltable polishing surface plate having a concave spherical annular polishing zone, and means for rotationally driving the surface plate.
The polishing device according to any one of the above items.
(14)上記駆動手段は、上記保持手段と同軸に装着さ
れた第1の摩擦車と、揺動可能な回転軸に固定されて上
記第1の摩擦車に押接する第2の摩擦車と、該第2の摩
擦車の回転軸に対して回転自在に装着された第3の摩擦
車と、固定軸を中心に回転可能であり且つ上記第3の摩
擦車と係合する偏心回転摩擦車と、上記第1の摩擦車と
第2の摩擦車の間並びに第3の摩擦車と偏心回転摩擦車
との間を摩擦係合させるようにバネ手段で付勢されて上
記第1の摩擦車を押接するアイドラ回転輪と、上記保持
手段を把持する球面軸受と、該球面軸受を支持する球面
軸受支持具とを具備していることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の研磨装置。
(14) The driving means includes a first friction wheel mounted coaxially with the holding means, and a second friction wheel fixed to a swingable rotating shaft and pressed against the first friction wheel; a third friction wheel rotatably mounted on the rotating shaft of the second friction wheel; and an eccentric rotating friction wheel rotatable about a fixed shaft and engaged with the third friction wheel. , the first friction wheel is biased by a spring means so as to cause frictional engagement between the first friction wheel and the second friction wheel and between the third friction wheel and the eccentric rotating friction wheel. 2. The polishing apparatus according to claim 1, further comprising: an idler rotating ring that presses against the holding means; a spherical bearing that grips the holding means; and a spherical bearing support that supports the spherical bearing.
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