JPS6297170U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6297170U JPS6297170U JP19006685U JP19006685U JPS6297170U JP S6297170 U JPS6297170 U JP S6297170U JP 19006685 U JP19006685 U JP 19006685U JP 19006685 U JP19006685 U JP 19006685U JP S6297170 U JPS6297170 U JP S6297170U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- etching
- order
- calculating
- differential value
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は、エツチング装置に接続されたこの考
案の一実施例に係るエツチング終了判定装置を示
すブロツク図である。第２図は、理想的な計測信
号の一例を示す図である。第３図は、現実の計測
信号の一例を示す図である。 ２……試料、１１，１２……計測装置、２１，
２２……１階微分回路、３１，３２……２階微分
回路、４１〜４４……比較回路、５１〜５３……
アンド回路。
案の一実施例に係るエツチング終了判定装置を示
すブロツク図である。第２図は、理想的な計測信
号の一例を示す図である。第３図は、現実の計測
信号の一例を示す図である。 ２……試料、１１，１２……計測装置、２１，
２２……１階微分回路、３１，３２……２階微分
回路、４１〜４４……比較回路、５１〜５３……
アンド回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 試料のエツチング状態を互いに異なる方法で計
測してそれに応じた計測信号をそれぞれ出力する
第１および第２の計測手段と、 第１および第２の計測手段からの計測信号の１
階微分値をそれぞれ求める第１および第２の１階
微分手段並びに当該計測信号の２階微分値をそれ
ぞれ求める第１および第２の２階微分手段と、 第１および第２の１階微分手段からの１階微分
値を第１の規定値とそれぞれ比較して両者が一致
した場合にエツチング終了信号をそれぞれ出力す
る第１および第２の比較手段と、 第１および第２の２階微分手段からの２階微分
値を第２の規定値とそれぞれ比較して両者が一致
した場合にエツチング終了信号をそれぞれ出力す
る第３および第４の比較手段と、 第１および第２の比較手段からのエツチング終
了信号の論理積を求める第１の論理積手段と、 第３および第４の比較手段からのエツチング終
了信号の論理積を求める第２の論理積手段と、 第１および第２の論理積手段からの出力の論理
積を求める第３の論理積手段とを備えることを特
徴とするエツチング終了判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19006685U JPS6297170U (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19006685U JPS6297170U (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297170U true JPS6297170U (ja) | 1987-06-20 |
Family
ID=31142937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19006685U Pending JPS6297170U (ja) | 1985-12-09 | 1985-12-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6297170U (ja) |
-
1985
- 1985-12-09 JP JP19006685U patent/JPS6297170U/ja active Pending
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