JPS62101867U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62101867U JPS62101867U JP19314385U JP19314385U JPS62101867U JP S62101867 U JPS62101867 U JP S62101867U JP 19314385 U JP19314385 U JP 19314385U JP 19314385 U JP19314385 U JP 19314385U JP S62101867 U JPS62101867 U JP S62101867U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement signal
- etching
- maximum likelihood
- likelihood estimation
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000007476 Maximum Likelihood Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
第1図は、エツチング装置に接続されたこの考
案の一実施例に係るエツチング終了判定装置を示
すブロツク図である。第2図ないし第5図は、そ
れぞれ、計測信号の例を示す図である。 2……試料、5……計測装置、6……カルマン
・フイルター、7……判定回路。
案の一実施例に係るエツチング終了判定装置を示
すブロツク図である。第2図ないし第5図は、そ
れぞれ、計測信号の例を示す図である。 2……試料、5……計測装置、6……カルマン
・フイルター、7……判定回路。
Claims (1)
- 試料のエツチング状態を計測してそれに応じた
計測信号を出力する計測手段と、前記計測信号を
処理することによつて真の計測信号に対する最尤
推定値を求めるカルマン・フイルターと、前記最
尤推定値に基づいてエツチング終了判定を行う判
定手段とを備えることを特徴とするエツチング終
了判定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19314385U JPS62101867U (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19314385U JPS62101867U (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62101867U true JPS62101867U (ja) | 1987-06-29 |
Family
ID=31148892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19314385U Pending JPS62101867U (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62101867U (ja) |
-
1985
- 1985-12-16 JP JP19314385U patent/JPS62101867U/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS62101867U (ja) | ||
JPH0230061U (ja) | ||
JPH0178911U (ja) | ||
JPS58103361U (ja) | 導電率測定装置 | |
JPS6197736U (ja) | ||
JPS60517U (ja) | 測定器 | |
JPS63188529U (ja) | ||
JPS60120749U (ja) | 工具損傷検出装置 | |
JPS6297170U (ja) | ||
JPS6098030U (ja) | 手持ち振動測定器 | |
JPS60179910U (ja) | 表面粗さうねり形状測定機 | |
JPH0372378U (ja) | ||
JPH01180729U (ja) | ||
JPS62115133U (ja) | ||
JPS61185199U (ja) | ||
JPS603423U (ja) | 流速・流量検出装置 | |
JPS5832410U (ja) | 板幅測定装置 | |
JPS60174813U (ja) | 水深測定装置 | |
JPS5854554U (ja) | 連続型アコ−ステイツクエミツシヨン波の計測装置 | |
JPS6074017U (ja) | 複数チヤンネル計測器 | |
JPS61151446U (ja) | ||
JPS60125525U (ja) | 水深水温計測装置 | |
JPS5847904U (ja) | 電子制御装置における信号の集中計測装置 | |
JPS60135661U (ja) | 濃度分布計 | |
JPS5945563U (ja) | 遠距離渦電流探傷器 |