JPS6296843U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す全体構成図、
第２図は第１図のＡ―Ａ断面図、第３図および第
４図はそれぞれ従来のエキシマレーザの外観図で
ある。 ２０…エキシマレーザ、２１…レーザチヤンバ
ー、２２…ケース、２３…フロントミラー、２４
…リアミラー、２５…エタロン、３０…定盤、４
０…フレーム、４１，４２，４３…支持部、４４
，４５…ポール、５０…露光装置、５１…プリズ
ム、５２…縮小投影レンズ、５３…ウエーハ面。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光学系を振動発生源と独立して定盤に固定
   してなるエキシマレーザと、このエキシマレーザ
   からのエキシマレーザ光を光源とする露光手段と
   を具えた縮小投影露光装置。 (2) 前記エキシマレーザの光学系は、フロント
   ミラー、リアミラーおよび波長選択手段とからな
   る実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の縮小投
   影露光装置。 (3) 前記波長選択手段はエタロンである実用新
   案登録請求の範囲第(2)項記載の縮小投影露光装
   置。 (4) 前記振動発生源は前記エキシマレーザのレ
   ーザチヤンバーである実用新案登録請求の範囲第
   (1)項記載の縮小投影露光装置。 (5) 前記露光手段は前記定盤に固定される実用
   新案登録請求の範囲第(1)項記載の縮小投影露光
   装置。