JPS6294630U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6294630U JPS6294630U JP18749985U JP18749985U JPS6294630U JP S6294630 U JPS6294630 U JP S6294630U JP 18749985 U JP18749985 U JP 18749985U JP 18749985 U JP18749985 U JP 18749985U JP S6294630 U JPS6294630 U JP S6294630U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- air passage
- carrier
- outer periphery
- semiconductor material
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案を実施した水切乾燥装置の一部
切欠平面図、第２図は同装置の縦断正面図、第３
図はローターの一部切欠斜視図、第４図は従来の
水切乾燥装置を示す一部切欠正面図である。 図中、Ａ：水切乾燥装置、ａ：半導体材料、ｂ
：キヤリア、１：ローター、２：ローターケース
、３：通気路、４：排気路、５：支持部、１１：
円筒部材、１４：蓋板。
切欠平面図、第２図は同装置の縦断正面図、第３
図はローターの一部切欠斜視図、第４図は従来の
水切乾燥装置を示す一部切欠正面図である。 図中、Ａ：水切乾燥装置、ａ：半導体材料、ｂ
：キヤリア、１：ローター、２：ローターケース
、３：通気路、４：排気路、５：支持部、１１：
円筒部材、１４：蓋板。
Claims (1)
- 半導体材料が収容されたキヤリアを取付支持す
る支持部を有し且つローターケース内に設置する
ローターを備え、上記ローターケース上面中心部
の吸気口よりローター内を通過し、ローター外周
とローターケース周壁との間の排気路へ流出する
気体によつてキヤリアに収容した半導体材料を乾
燥する水切乾燥装置本体において、前記ローター
底板面の外周寄りの部分に周面を略扇形状に形成
した筒状部材を同底板円周方向へ等間隔を置いて
複数個所に設けて、ローター内の中心部から同ロ
ーター外周へ通じる通気路を形成し、該通気路内
の端部にキヤリアの支持部を設け、且つ上記各筒
状部材の上面開口部を通気路の上面部分を切欠し
た一枚の蓋板にて閉口すると共に、同各筒状部材
周面における排気路側に面する湾曲面を滑面に形
成した半導体材料の水切乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18749985U JPS6294630U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18749985U JPS6294630U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294630U true JPS6294630U (ja) | 1987-06-17 |
Family
ID=31138022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18749985U Pending JPS6294630U (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6294630U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5295166A (en) * | 1976-02-06 | 1977-08-10 | Hitachi Ltd | Wafer dryer |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP18749985U patent/JPS6294630U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5295166A (en) * | 1976-02-06 | 1977-08-10 | Hitachi Ltd | Wafer dryer |