JPS6291810A - 光学系埋め込み形光センサ装置 - Google Patents
光学系埋め込み形光センサ装置Info
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- JPS6291810A JPS6291810A JP23271285A JP23271285A JPS6291810A JP S6291810 A JPS6291810 A JP S6291810A JP 23271285 A JP23271285 A JP 23271285A JP 23271285 A JP23271285 A JP 23271285A JP S6291810 A JPS6291810 A JP S6291810A
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- Japan
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- optical system
- resin
- optical fiber
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
１１−Ｊν叱ｌ外野
本発明は、光センサ装置に関するものであり、更に詳述
するならば、光ファイバジャイロのように、光学系に狂
いをもたらす外力などを受ける環境で使用される光学装
置において、そのような狂いが生じに＜＜シた光学系埋
め込み形光センサ装置に関するものである。
するならば、光ファイバジャイロのように、光学系に狂
いをもたらす外力などを受ける環境で使用される光学装
置において、そのような狂いが生じに＜＜シた光学系埋
め込み形光センサ装置に関するものである。
従来の技術
現在、様々な分野において光学的な測定装置や検出装置
が使用されている。例えば、長さ、変位、凹凸などを測
定するレーザ干渉計、オプティカルハイドロホンなどの
ような光フアイバ干渉計、光ファイバジャイロなどがあ
る。その代表的な例として光ファイバジャイロを第３図
を参照して説明する。
が使用されている。例えば、長さ、変位、凹凸などを測
定するレーザ干渉計、オプティカルハイドロホンなどの
ような光フアイバ干渉計、光ファイバジャイロなどがあ
る。その代表的な例として光ファイバジャイロを第３図
を参照して説明する。
発光素子１からの光をビームスプリッタ２により分割し
て、コイル状に多数回シングルモード光ファイバ３を巻
回した光フアイバループすなわちセンサコイル４の両端
に人力して、センサコイル４に右回り（ＣＷ）と左回り
（ＣＣＷ’）に光を伝搬させる。そのとき、センサコイ
ル４が角速度Ωで回転していると、右回り光、左回り光
に位相差△θが生じ、Δθを測定することによって角速
度Ωを検出するものである。
て、コイル状に多数回シングルモード光ファイバ３を巻
回した光フアイバループすなわちセンサコイル４の両端
に人力して、センサコイル４に右回り（ＣＷ）と左回り
（ＣＣＷ’）に光を伝搬させる。そのとき、センサコイ
ル４が角速度Ωで回転していると、右回り光、左回り光
に位相差△θが生じ、Δθを測定することによって角速
度Ωを検出するものである。
センサコイル４の中を右回りに伝搬した光及び左回りに
伝搬した光の電界の強さＥｃＷ、ＥＣｅＷは、次のよう
に表される。
伝搬した光の電界の強さＥｃＷ、ＥＣｅＷは、次のよう
に表される。
但し、Ｅ、ＳＥ、：左回り光及び右回り光の振幅ω：先
の角周波数 ｔ：時間 Δθ：サニャック効果による位相差 そのように位相差Δθが生じた左回り光と右回り光とを
ビームスプリッタ４で合成して、受光素子５に入射する
。その受光素子５の検出強度から、位相差Δθを知るこ
とができる。その位相差Δθは、次のように表すことが
できる。
の角周波数 ｔ：時間 Δθ：サニャック効果による位相差 そのように位相差Δθが生じた左回り光と右回り光とを
ビームスプリッタ４で合成して、受光素子５に入射する
。その受光素子５の検出強度から、位相差Δθを知るこ
とができる。その位相差Δθは、次のように表すことが
できる。
但し、Ｌ：センサコイルのファイバ長
ａ：センサコイルの半径
Ｃ：真空中の光速度
λ：光の波長
Ω：回転角速度
これをサニヤック効果という。
上記した位相差Δθを表す信号を得る方法は、様々なも
のが提案されていが、その代表的なものとして位相変調
方式がある。第４図を参照して、その位相変調方式をよ
り具体的構成を説明する。
のが提案されていが、その代表的なものとして位相変調
方式がある。第４図を参照して、その位相変調方式をよ
り具体的構成を説明する。
半導体レーザのような発光素子１０からの光は、コリメ
ーターレンズ１２とビームスプリッタ１４とを介して偏
光子１６に入力され、その偏光子１６を通過した光は、
集光レンズ１８を介して、シングルモード光ファイバの
ようなモードフィルタ２０に結合され、更に、集光レン
ズ２２を介して、ビームスプリッタ２４に入力され、そ
こで２つに分けられて光ファイバ２６の両端に設けられ
た集光レンズ２８及び３０に結合される。その光ファイ
バ２６は、センサコイル３２を構成するように巻回され
た部分と、角周波数ωヨで駆動される圧電振動素子３４
に巻き付けられた部分３６に分けられている。
ーターレンズ１２とビームスプリッタ１４とを介して偏
光子１６に入力され、その偏光子１６を通過した光は、
集光レンズ１８を介して、シングルモード光ファイバの
ようなモードフィルタ２０に結合され、更に、集光レン
ズ２２を介して、ビームスプリッタ２４に入力され、そ
こで２つに分けられて光ファイバ２６の両端に設けられ
た集光レンズ２８及び３０に結合される。その光ファイ
バ２６は、センサコイル３２を構成するように巻回され
た部分と、角周波数ωヨで駆動される圧電振動素子３４
に巻き付けられた部分３６に分けられている。
かくして、光ファイバの両端に入力された光は、それぞ
れ、光ファイバのセンサコイル３２内を右回りと左回り
に伝搬し、反対側の端部より出射し、ビームスプリッタ
２４により合成されてモードフィルタ２０、偏光子１６
を介してビームスプリッタ１４によりホトダイオードの
ような受光素子３８に入射される。
れ、光ファイバのセンサコイル３２内を右回りと左回り
に伝搬し、反対側の端部より出射し、ビームスプリッタ
２４により合成されてモードフィルタ２０、偏光子１６
を介してビームスプリッタ１４によりホトダイオードの
ような受光素子３８に入射される。
このような光ファイバジャイロにおいて、光ファイバは
、圧電振動素子２６に巻き付けられた部分において、圧
電振動素子２６の伸縮に応じて光ファイバ長さが変化し
、光がセンサコイル２４を伝１般するとき、光がその部
分を伝搬するときに位相変調を受ける。
、圧電振動素子２６に巻き付けられた部分において、圧
電振動素子２６の伸縮に応じて光ファイバ長さが変化し
、光がセンサコイル２４を伝１般するとき、光がその部
分を伝搬するときに位相変調を受ける。
かくして、そのような光ファイバジャイロにおいて、受
光素子２８から得られる出力の基本波成分Ｐ（△θ、１
）は、 Ｐ（△θ、１） 一２Ｅ、ＥＬＪｌ（ξ）ｃｏｓ ｔｏｆｆｉｔ−ｓｉｎ
Δθである。かくして、位相変調方式光ファイバジャイ
ロにおいては、受光素子２８の出力を圧電振動素子の角
変調周波数ω８て同期検波すると、ｓｉｎΔθに比例し
た出力が得られ、八〇を知ることができる。
光素子２８から得られる出力の基本波成分Ｐ（△θ、１
）は、 Ｐ（△θ、１） 一２Ｅ、ＥＬＪｌ（ξ）ｃｏｓ ｔｏｆｆｉｔ−ｓｉｎ
Δθである。かくして、位相変調方式光ファイバジャイ
ロにおいては、受光素子２８の出力を圧電振動素子の角
変調周波数ω８て同期検波すると、ｓｉｎΔθに比例し
た出力が得られ、八〇を知ることができる。
発明が解決しようとする問題点
以上のような光ファイバジャイロが使用される環境は、
外部からの衝撃や振動を完全に回避することはできない
。そのため、外部からの衝撃や振動により、光学系に狂
いが生じ、光路差や光軸づれなどが生じる。そして、そ
の中で光路差が特に問題である。
外部からの衝撃や振動を完全に回避することはできない
。そのため、外部からの衝撃や振動により、光学系に狂
いが生じ、光路差や光軸づれなどが生じる。そして、そ
の中で光路差が特に問題である。
具体的に述べるならば、光ファイバジャイロが静止して
いるとき、右回り光と左回り光との光路差は、零である
はずである・。しかし、衝撃や振動などの外力が作用す
ると、集光レンズとビームスプリッタと偏光子との間に
光路方向にずれが発生したり、また、センサコイルの光
ファイバに伸びが生じるなどして、右回り光と左回り光
との光路差が生じ、零点ドリフトの原因となる。
いるとき、右回り光と左回り光との光路差は、零である
はずである・。しかし、衝撃や振動などの外力が作用す
ると、集光レンズとビームスプリッタと偏光子との間に
光路方向にずれが発生したり、また、センサコイルの光
ファイバに伸びが生じるなどして、右回り光と左回り光
との光路差が生じ、零点ドリフトの原因となる。
そして、以上のような問題は、光ファイバジャイロだけ
でなく、他の光学測定装置や光学検出装置にも同様に発
生する。
でなく、他の光学測定装置や光学検出装置にも同様に発
生する。
そこで、本発明は、上記した従来の問題を解消する光セ
ンサ装置を提供せんとするものである。
ンサ装置を提供せんとするものである。
問題点を解決するための手段
すなわち、本発明によるならば、光ファイバ及びその光
ファイバに光学的に結合される光学素子とを少なくとも
有する光センサ装置において、前記光ファイバと前記光
学素子との光学的結合部を含む光学系の隙間及び周囲に
樹脂が充填されて固化され、樹脂内に光学系が埋め込ん
だ状態にされる。
ファイバに光学的に結合される光学素子とを少なくとも
有する光センサ装置において、前記光ファイバと前記光
学素子との光学的結合部を含む光学系の隙間及び周囲に
樹脂が充填されて固化され、樹脂内に光学系が埋め込ん
だ状態にされる。
咋」
以上のような光学系埋め込み形光センサ装置においては
、光学系、特に光ファイバと他の光学素子との結合部な
どの隙間及び周囲に樹脂が充填されて固化されて、樹脂
内に光学系が埋め込まれている。従って、それら位置関
係は、その充填樹脂により完全に固定されており、外力
が作用しても、ずれなどは発生しない。
、光学系、特に光ファイバと他の光学素子との結合部な
どの隙間及び周囲に樹脂が充填されて固化されて、樹脂
内に光学系が埋め込まれている。従って、それら位置関
係は、その充填樹脂により完全に固定されており、外力
が作用しても、ずれなどは発生しない。
かくして、上記した光学系埋め込み形光センサ装置を、
振動や衝撃などの外力を受ける環境で使用しても、測定
に零点ドリフトなどが発生せず、正確な測定を実施でき
る。
振動や衝撃などの外力を受ける環境で使用しても、測定
に零点ドリフトなどが発生せず、正確な測定を実施でき
る。
本発明による光学系埋め込み形光センサ装置の実施例で
は、前記光学系は、収納ケース内に納められ、その収納
ケース内に樹脂が充填されて固化されている。また、前
記樹脂は透明樹脂である。
は、前記光学系は、収納ケース内に納められ、その収納
ケース内に樹脂が充填されて固化されている。また、前
記樹脂は透明樹脂である。
更に、本発明の好ましい実施例にあっては、光センサ装
置は、光ファイバジャイロであり、光ファイバジャイロ
のセンサコイルの上に光学系支持基板が配置され、該光
学系支持基板のセンサコイルと反対側に、発光素子から
の光をセンサコイルの両端に分岐結合するためのビーム
スプリッタ及びセンサコイルの両端から出射する光を合
成して受光米子に結合するためのビームスプリッタとが
載置され、それらビームスプリッタが収納ケースの底に
対面するように光学系支持基板とセンサコイルとが前記
収納ケースに納められ、該収納ケースとセンサコイルと
の間に前記樹脂が充填されている。
置は、光ファイバジャイロであり、光ファイバジャイロ
のセンサコイルの上に光学系支持基板が配置され、該光
学系支持基板のセンサコイルと反対側に、発光素子から
の光をセンサコイルの両端に分岐結合するためのビーム
スプリッタ及びセンサコイルの両端から出射する光を合
成して受光米子に結合するためのビームスプリッタとが
載置され、それらビームスプリッタが収納ケースの底に
対面するように光学系支持基板とセンサコイルとが前記
収納ケースに納められ、該収納ケースとセンサコイルと
の間に前記樹脂が充填されている。
実施例
第１図及び第２図は、第４図に示した位相変調方式光フ
ァイバジャイロを組み込んだ本発明による光学系埋め込
み形光センサ装置の実施例を示す概略図であり、第１図
は、一部破断頂面図であり、第２図は、断面図である。
ァイバジャイロを組み込んだ本発明による光学系埋め込
み形光センサ装置の実施例を示す概略図であり、第１図
は、一部破断頂面図であり、第２図は、断面図である。
図示の光ファイバジャイロは、収納ケース４０を有して
おり、その収納ケース４０内にセンサコイル３２を巻回
しているボビン４２が納められている。そして、そのボ
ビン４２の上には、光学系支持基板４４が配置され、そ
の光学系支持基板４４の上側には、さまざまな光学素子
が固定されている。すなわち、コリメーターレンズ１２
（不図示）と組み合わせた発光素子１０が、光学系支持
基板４４の一方の隅に固定され、その前面には、ビーム
スプリッタ１４が配置されて固定されている。なお、第
４図の偏光子１６は、本実施例では省略されている。そ
のビームスプリッタ１４の発光素子１０の正面側には、
モードフィルタをなすシングルモード光ファイバ２０の
一端に結合された集光レンズ１８が結合されている。
おり、その収納ケース４０内にセンサコイル３２を巻回
しているボビン４２が納められている。そして、そのボ
ビン４２の上には、光学系支持基板４４が配置され、そ
の光学系支持基板４４の上側には、さまざまな光学素子
が固定されている。すなわち、コリメーターレンズ１２
（不図示）と組み合わせた発光素子１０が、光学系支持
基板４４の一方の隅に固定され、その前面には、ビーム
スプリッタ１４が配置されて固定されている。なお、第
４図の偏光子１６は、本実施例では省略されている。そ
のビームスプリッタ１４の発光素子１０の正面側には、
モードフィルタをなすシングルモード光ファイバ２０の
一端に結合された集光レンズ１８が結合されている。
そして、集光レンズ１８からの光を受けるビームスプリ
ッタ１４の位置に受光素子３８が結合されて光学系支持
基板４４に固定されている。
ッタ１４の位置に受光素子３８が結合されて光学系支持
基板４４に固定されている。
更に、そのシングルモード光ファイバ２０の他端に結合
されている集光レンズ２２は、光学系支持基板４４の中
央に固定されたビームスプリッタ２４に結合されている
。このビームスプリッタ２４は、図示の例では、２つの
ビームスプリフタを組合わせて構成されている。そのよ
うなビームスプリッタ２４には、光ファイバ２６の両端
に設けられた集光レンズ２８及び３０が結合されている
。そして、その光ファイバ２６のセンサコイル３２は、
上述したようにボビン４２に巻回されている。また、圧
電振動素子３４も、光学系支持基板４４上に取りつけら
れ、光ファイバの部分３６は圧電振動素子３４に巻き付
けられている。更に、ビームスプリッタ１４と２４との
間には、スペーサ４６が配置されている。
されている集光レンズ２２は、光学系支持基板４４の中
央に固定されたビームスプリッタ２４に結合されている
。このビームスプリッタ２４は、図示の例では、２つの
ビームスプリフタを組合わせて構成されている。そのよ
うなビームスプリッタ２４には、光ファイバ２６の両端
に設けられた集光レンズ２８及び３０が結合されている
。そして、その光ファイバ２６のセンサコイル３２は、
上述したようにボビン４２に巻回されている。また、圧
電振動素子３４も、光学系支持基板４４上に取りつけら
れ、光ファイバの部分３６は圧電振動素子３４に巻き付
けられている。更に、ビームスプリッタ１４と２４との
間には、スペーサ４６が配置されている。
以上のような収納ケース４０とボビン４２との間の空間
４８には、透明樹脂を流し込んで硬化させる。
４８には、透明樹脂を流し込んで硬化させる。
例えば、その樹脂としては、紫外線硬化型接着剤か使用
できる。かくして、光学系支持基板４４上の光学素子は
、その相互の位置ずれが全く生じないように、その充填
樹脂内に埋め込まれて固定される。
できる。かくして、光学系支持基板４４上の光学素子は
、その相互の位置ずれが全く生じないように、その充填
樹脂内に埋め込まれて固定される。
なお、ボビン４２の内側空間には、光ファイバジャイロ
の電気系を搭載した電気回路基板５０が収納される。ま
た、収納ケース４０及びボビン４２の下側縁は、肉厚に
され、蓋５２がネジ５４および５６により固定される。
の電気系を搭載した電気回路基板５０が収納される。ま
た、収納ケース４０及びボビン４２の下側縁は、肉厚に
され、蓋５２がネジ５４および５６により固定される。
かくして、上記した光ファイバジャイロは、収納ケース
４０とボビン４２との間の空間４８内に位置する光学素
子、すなわち、発光素子１０、ビームスプリッタ１４、
シングルモード光ファイバ２０、その両端の集光レンズ
１８及び２２、ビームスブリック２４、圧電振動素子３
４及びボビン４２に巻回されている光ファイバ２６、そ
の両端の集光レンズ２８及び３０、受光素子３８が全て
、充填硬化した樹脂の中に埋め込まれている。従って、
その収納ケース４０に振動や衝撃の外力が作用しても、
その力は、樹脂で分散されまた阻止されるので、各光学
素子に伝播し難く、且つ、個々の光学素子に集中し難い
。また、たとえ伝播しても樹脂により光学素子が固定さ
れているので、その光ファイバの伸びが光学素子間の相
対的位置ずれなどが発生することはない。すなわち、そ
れら光学系の光路に変動が生じまことはない。それ故、
上述した零点ドリフトは発生しないので、それにより測
定誤差が発生することはない。
４０とボビン４２との間の空間４８内に位置する光学素
子、すなわち、発光素子１０、ビームスプリッタ１４、
シングルモード光ファイバ２０、その両端の集光レンズ
１８及び２２、ビームスブリック２４、圧電振動素子３
４及びボビン４２に巻回されている光ファイバ２６、そ
の両端の集光レンズ２８及び３０、受光素子３８が全て
、充填硬化した樹脂の中に埋め込まれている。従って、
その収納ケース４０に振動や衝撃の外力が作用しても、
その力は、樹脂で分散されまた阻止されるので、各光学
素子に伝播し難く、且つ、個々の光学素子に集中し難い
。また、たとえ伝播しても樹脂により光学素子が固定さ
れているので、その光ファイバの伸びが光学素子間の相
対的位置ずれなどが発生することはない。すなわち、そ
れら光学系の光路に変動が生じまことはない。それ故、
上述した零点ドリフトは発生しないので、それにより測
定誤差が発生することはない。
なお、上記実施例は、光学系支持基板４４をボビン４２
の上に取りつけているが、収納ケース側に固定してもよ
い。更に、上記実施例では、樹脂として紫外線硬化型の
ものを使用したが、光学素子に熱などの影響なく硬化す
るものであれば、どのような形の樹脂を使用してもよい
。また、樹脂は必ずしも透明である必要はないが、透明
樹脂を使用した場合、内部の異常を視覚的に知ることが
できる。
の上に取りつけているが、収納ケース側に固定してもよ
い。更に、上記実施例では、樹脂として紫外線硬化型の
ものを使用したが、光学素子に熱などの影響なく硬化す
るものであれば、どのような形の樹脂を使用してもよい
。また、樹脂は必ずしも透明である必要はないが、透明
樹脂を使用した場合、内部の異常を視覚的に知ることが
できる。
以上、本発明を光ファイバジャイロについテ実施した例
を説明したが、本発明は、光ファイバジャイロに限らず
、光学系の光路の変動が誤差の原因となるほかの光学測
定装置にも同様に適用できる。
を説明したが、本発明は、光ファイバジャイロに限らず
、光学系の光路の変動が誤差の原因となるほかの光学測
定装置にも同様に適用できる。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明による光学系埋
め込み形光センサ装置は、光ファイバはかの光学素子が
樹脂内に埋め込まれているので、光学素子が樹脂により
外力から保護され、光学系の光路の変動などは発生し難
い。それ故、本発明の光学系埋め込み形光センサ装置に
よれば、振動や衝撃を受けざるを得ない環境においても
安定且つ信頼性の高い測定が実施できる。
め込み形光センサ装置は、光ファイバはかの光学素子が
樹脂内に埋め込まれているので、光学素子が樹脂により
外力から保護され、光学系の光路の変動などは発生し難
い。それ故、本発明の光学系埋め込み形光センサ装置に
よれば、振動や衝撃を受けざるを得ない環境においても
安定且つ信頼性の高い測定が実施できる。
第１図は、位相変調方式光ファイバジャイロについて本
発明を実施した光学系埋め込み形光センサ装置の一部破
断頂面図、 第２図は、第１図の線■−■での断面図、第３図は、光
ファイバジャイロの原理を図解する図、 そして、第４図は、位相変調方式光ファイバジャイロの
基本構成を示す概略展開斜視図である。 〔主な参照番号〕 ■・・発光素子 ２・・ビームスプリッタ３・・光フ
ァイバ ４・・センサコイル５・・受光素子 １０・
・発光素子 １２・・コリメーターレンズ
発明を実施した光学系埋め込み形光センサ装置の一部破
断頂面図、 第２図は、第１図の線■−■での断面図、第３図は、光
ファイバジャイロの原理を図解する図、 そして、第４図は、位相変調方式光ファイバジャイロの
基本構成を示す概略展開斜視図である。 〔主な参照番号〕 ■・・発光素子 ２・・ビームスプリッタ３・・光フ
ァイバ ４・・センサコイル５・・受光素子 １０・
・発光素子 １２・・コリメーターレンズ
Claims (4)
- （１）光ファイバ及び該光ファイバに光学的に結合され
る光学素子とを少なくとも有する光センサ装置において
、前記光ファイバと前記光学素子との光学的結合部を含
む光学系の隙間及び周囲に樹脂を充填して固化して、樹
脂内に光学系を埋め込んだことを特徴とする光学系埋め
込み形光センサ装置。 - （２）前記光学系は、収納ケース内に納められ、その収
納ケース内に樹脂が充填されて固化されていることを特
徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の光学系埋め込
み形光センサ装置。 - （３）前記樹脂は透明樹脂であることを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項または第（２）項記載の光学系埋
め込み形光センサ装置。 - （４）前記光センサ装置は、光ファイバジャイロであり
、光ファイバジャイロのセンサコイルの上に光学系支持
基板が配置され、該光学系支持基板のセンサコイルと反
対側に、発光素子からの光をセンサコイルの両端に分岐
結合するためのビームスプリッタ及びセンサコイルの両
端から出射する光を合成して受光素子に結合するための
ビームスプリッタとが載置され、それらビームスプリッ
タが収納ケースの底に対面するように光学系支持基板と
センサコイルとが収納ケースに納められ、該収納ケース
とセンサコイルとの間の空間に前記樹脂が充填されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項から第（
３）項までのいずれか１項記載の光学系埋め込み形光セ
ンサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23271285A JPS6291810A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 光学系埋め込み形光センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23271285A JPS6291810A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 光学系埋め込み形光センサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6291810A true JPS6291810A (ja) | 1987-04-27 |
Family
ID=16943598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23271285A Pending JPS6291810A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 光学系埋め込み形光センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6291810A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01269010A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバジヤイロ |
| JPH026712A (ja) * | 1988-06-20 | 1990-01-10 | Tokyo Keiki Co Ltd | 光ファイバージャイロ装置 |
| JPH0243613U (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-26 | ||
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