JPS628316B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS628316B2 JPS628316B2 JP13714585A JP13714585A JPS628316B2 JP S628316 B2 JPS628316 B2 JP S628316B2 JP 13714585 A JP13714585 A JP 13714585A JP 13714585 A JP13714585 A JP 13714585A JP S628316 B2 JPS628316 B2 JP S628316B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- ink supply
- nozzle
- supply path
- pressure
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
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- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
- B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
- B41J2/17563—Ink filters
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はオンデイマンド型のインクジエツト記
録ヘツドの製造方法に関する。
録ヘツドの製造方法に関する。
従来、特開昭52―49033号公報に開示されるよ
うに、インクジエツト記録ヘツド中にインク供給
路と共にフイルターを内蔵した技術が知られてい
る。上記公報に開示されているように、記録ヘツ
ド中にフイルターを内蔵する場合にはフイルター
を記録ヘツドを構成する部材と別体で形成し、後
で一体化する方法が一般的である。これはフイル
ターの入手の容易さ等から一般的な方法となつて
いる。しかるに、このような方法でインクジエツ
ト記録ヘツドを製造してみると、インクジエツト
記録ヘツドは、フイルターがインク供給路に端部
に設けられ、インク供給路の途中に圧力発生室、
インク供給路の他端に噴射ノズルが形成され、そ
れぞれが微妙な相関関係を維持しており、かつ、
各々が微細な寸法で形成されるため、製造のばら
つきによりインク供給路の径が小さいときは、イ
ンク供給路の小ささに応じた小ささのフイルター
を選択する必要が生ずる。このようにしないと、
インク供給路におけるインク圧力のバランスがく
ずれ、インクが噴射ノズルから正常に吐出しない
こととなる。
うに、インクジエツト記録ヘツド中にインク供給
路と共にフイルターを内蔵した技術が知られてい
る。上記公報に開示されているように、記録ヘツ
ド中にフイルターを内蔵する場合にはフイルター
を記録ヘツドを構成する部材と別体で形成し、後
で一体化する方法が一般的である。これはフイル
ターの入手の容易さ等から一般的な方法となつて
いる。しかるに、このような方法でインクジエツ
ト記録ヘツドを製造してみると、インクジエツト
記録ヘツドは、フイルターがインク供給路に端部
に設けられ、インク供給路の途中に圧力発生室、
インク供給路の他端に噴射ノズルが形成され、そ
れぞれが微妙な相関関係を維持しており、かつ、
各々が微細な寸法で形成されるため、製造のばら
つきによりインク供給路の径が小さいときは、イ
ンク供給路の小ささに応じた小ささのフイルター
を選択する必要が生ずる。このようにしないと、
インク供給路におけるインク圧力のバランスがく
ずれ、インクが噴射ノズルから正常に吐出しない
こととなる。
本発明はかかる問題点を解決しようとするもの
で、フイルターを内蔵したインクジエツト記録ヘ
ツドからインクを支障なく噴射させることを目的
とする。
で、フイルターを内蔵したインクジエツト記録ヘ
ツドからインクを支障なく噴射させることを目的
とする。
本発明はオンデイマンド型のインクジエツト記
録ヘツドの製造方法は、一対の基板間に複数のノ
ズルと、該それぞれのノズルに連通した圧力発生
部と、該それぞれの圧力発生部に連通しインクを
供給するインク供給路を設けるインクジエツト記
録ヘツドの製造方法において、前記一方の基板の
他方の基板と対向する面上に前記ノズル、圧力発
生部、インク供給路に対応する溝をエツチングに
より形成する際、同時に前記インク供給路に連通
するインク供給部にフイルターをエツチングで形
成し、前記他方の基板と接合することにより前記
一対の基板間に前記ノズル、圧力発生部、インク
供給路と共に前記フイルターを一体形成したこと
を特徴とする。
録ヘツドの製造方法は、一対の基板間に複数のノ
ズルと、該それぞれのノズルに連通した圧力発生
部と、該それぞれの圧力発生部に連通しインクを
供給するインク供給路を設けるインクジエツト記
録ヘツドの製造方法において、前記一方の基板の
他方の基板と対向する面上に前記ノズル、圧力発
生部、インク供給路に対応する溝をエツチングに
より形成する際、同時に前記インク供給路に連通
するインク供給部にフイルターをエツチングで形
成し、前記他方の基板と接合することにより前記
一対の基板間に前記ノズル、圧力発生部、インク
供給路と共に前記フイルターを一体形成したこと
を特徴とする。
本発明のインクジエツト記録ヘツドの製造方法
を第１図を用いて説明する。第１図は圧電素子等
を用いて圧力を発生させるオンデイマンド型のイ
ンクジエツト記録装置に供する記録ヘツドを構成
する一対の基板の一方を示したものである。第１
図に示すように、記録ヘツドの一方の基板はガラ
ス等の材質によつて構成され、フオトエツチング
法により、フイルター６、及びフイルター６に連
なるインク供給路４、インク供給路４に連なる圧
力発生室３、圧力発生室３に連なる圧力伝達路
２、圧力伝達路２に連なるノズル群１に対応した
溝が基板１０と垂直方向に同時に掘られる。な
お、フイルター６とインク供給路４間にはインク
の供給準備室５を設けてもよい。ただし、基板１
０に穴をあけて形成する記録ヘツドインク流入口
７は上記フオトエツチングとは別の工程で形成す
る。図上、圧力伝達路２、インク供給路４及びフ
イルタ６の黒線は、黒線に沿つて基板１０上に溝
が形成されていることを示す。また、圧力発生室
３の円は、円の面積形状に溝が形成され、インク
の供給準備室５はその面積内全体に溝が形成され
る。インク流入口７からフイルター６に至る部分
も同様に平面全体にわたり溝が形成される。
を第１図を用いて説明する。第１図は圧電素子等
を用いて圧力を発生させるオンデイマンド型のイ
ンクジエツト記録装置に供する記録ヘツドを構成
する一対の基板の一方を示したものである。第１
図に示すように、記録ヘツドの一方の基板はガラ
ス等の材質によつて構成され、フオトエツチング
法により、フイルター６、及びフイルター６に連
なるインク供給路４、インク供給路４に連なる圧
力発生室３、圧力発生室３に連なる圧力伝達路
２、圧力伝達路２に連なるノズル群１に対応した
溝が基板１０と垂直方向に同時に掘られる。な
お、フイルター６とインク供給路４間にはインク
の供給準備室５を設けてもよい。ただし、基板１
０に穴をあけて形成する記録ヘツドインク流入口
７は上記フオトエツチングとは別の工程で形成す
る。図上、圧力伝達路２、インク供給路４及びフ
イルタ６の黒線は、黒線に沿つて基板１０上に溝
が形成されていることを示す。また、圧力発生室
３の円は、円の面積形状に溝が形成され、インク
の供給準備室５はその面積内全体に溝が形成され
る。インク流入口７からフイルター６に至る部分
も同様に平面全体にわたり溝が形成される。
従つて、フイルター６の部分のエツチングによ
る溝が深い場合にはインク供給路４、圧力発生室
３、圧力伝達路２及びノズル１の溝の深さも深く
なり、浅い場合には同時に浅くなる。
る溝が深い場合にはインク供給路４、圧力発生室
３、圧力伝達路２及びノズル１の溝の深さも深く
なり、浅い場合には同時に浅くなる。
このようにしてフイルター６とインク供給路
４、圧力発生室３、圧力伝達路２等に対応する溝
が同時にフオトエツチングによつて形成された基
板１０は、他方のガラス等の平板状の基板と、接
着、溶着等で接合されることにより、それぞれフ
イルター、インク供給路、圧力発生室、圧力伝達
路、ノズル等となる。
４、圧力発生室３、圧力伝達路２等に対応する溝
が同時にフオトエツチングによつて形成された基
板１０は、他方のガラス等の平板状の基板と、接
着、溶着等で接合されることにより、それぞれフ
イルター、インク供給路、圧力発生室、圧力伝達
路、ノズル等となる。
そして、各圧力発生室に対応した基板上には圧
電素子等の圧力発生手段を設ける。
電素子等の圧力発生手段を設ける。
こように本発明のインクジエツト記録ヘツドの
製造方法によれば、フイルタ６をエツチングによ
りノズル群１やインク供給路４や圧力発生室３と
同時に形成するため、ノズル径等の製造誤差に対
してフイルタ径は同様に変化する。インク噴射時
に圧力発生部３で発生した圧力は同時にノズル側
のみならず供給側へも伝わるが、ノズル径だけが
小さいと相対的に供給側へ圧力が逃げてしまいノ
ズル、圧力発生部、フイルタ等の微妙な関係で成
り立つている噴射条件を大きく狂わせ噴射不能等
を生ずる。
製造方法によれば、フイルタ６をエツチングによ
りノズル群１やインク供給路４や圧力発生室３と
同時に形成するため、ノズル径等の製造誤差に対
してフイルタ径は同様に変化する。インク噴射時
に圧力発生部３で発生した圧力は同時にノズル側
のみならず供給側へも伝わるが、ノズル径だけが
小さいと相対的に供給側へ圧力が逃げてしまいノ
ズル、圧力発生部、フイルタ等の微妙な関係で成
り立つている噴射条件を大きく狂わせ噴射不能等
を生ずる。
しかし、本発明の製造方法によれば、ノズル径
が小さく製造される場合ノズル側のみならず供給
側もフイルタ径が小さくなるため圧力の双方への
分配が適正なバランスに保たれ、ノズル径等の製
造誤差のばらつきが生じても噴射条件の微妙なバ
ランスが保たれ良好な噴射をおこなうことができ
る。勿論ノズル径が大きく製造される場合も同時
にエツチング製造されるフイルタの径も大きくな
り噴射圧力バランスは適正に保れ良好な噴射を行
なえことができる。つまり、ノズル径等は非常に
小さいため製造上多少大きくなつたり小さくなつ
たりすることは避けられず、そのためヘツドの微
妙な噴射特性のバランスをくずし噴射不能等を生
ずるが、本発明によれば圧力発生部のノズルと反
対側にノズル等と同時にエツチング形成されるフ
イルタを設けたため上記製造誤差が生じてもヘツ
ド全体としての噴射特性のバランスが保たれ良好
な噴射をおこなうことができる。
が小さく製造される場合ノズル側のみならず供給
側もフイルタ径が小さくなるため圧力の双方への
分配が適正なバランスに保たれ、ノズル径等の製
造誤差のばらつきが生じても噴射条件の微妙なバ
ランスが保たれ良好な噴射をおこなうことができ
る。勿論ノズル径が大きく製造される場合も同時
にエツチング製造されるフイルタの径も大きくな
り噴射圧力バランスは適正に保れ良好な噴射を行
なえことができる。つまり、ノズル径等は非常に
小さいため製造上多少大きくなつたり小さくなつ
たりすることは避けられず、そのためヘツドの微
妙な噴射特性のバランスをくずし噴射不能等を生
ずるが、本発明によれば圧力発生部のノズルと反
対側にノズル等と同時にエツチング形成されるフ
イルタを設けたため上記製造誤差が生じてもヘツ
ド全体としての噴射特性のバランスが保たれ良好
な噴射をおこなうことができる。
また、その他付随的な効果としては、フイルタ
により圧力発生室にゴミのみならず気泡が侵入せ
ず、噴射圧力を吸収等されることなくインクの噴
射が行なわれる効果があります。また、さらに、
ヘツド本体流路とフイルタは同時に一体で形成さ
れ、なめらかなつながりの流路ができ流れの死点
をなくすことができる効果があります。流れの死
点がないためにヘツド内の気泡は簡単なパージ操
作で排出できるため、目づまりしたり印刷時又は
待機時にインク流路内に気泡が入り込みインク噴
射不能になることがない信頼性の高いヘツドを製
造できる。
により圧力発生室にゴミのみならず気泡が侵入せ
ず、噴射圧力を吸収等されることなくインクの噴
射が行なわれる効果があります。また、さらに、
ヘツド本体流路とフイルタは同時に一体で形成さ
れ、なめらかなつながりの流路ができ流れの死点
をなくすことができる効果があります。流れの死
点がないためにヘツド内の気泡は簡単なパージ操
作で排出できるため、目づまりしたり印刷時又は
待機時にインク流路内に気泡が入り込みインク噴
射不能になることがない信頼性の高いヘツドを製
造できる。
第１図は本発明のインクジエツト記録ヘツドの
製造方法の説明図である。 １……ノズル群、２……圧力伝達路、３……圧
力発生室、４……インク供給路、５……供給準備
室、６……フイルター、７……インク流入口。
製造方法の説明図である。 １……ノズル群、２……圧力伝達路、３……圧
力発生室、４……インク供給路、５……供給準備
室、６……フイルター、７……インク流入口。
Claims (1)
- １ 一対の基板間に複数のノズルと、該それぞれ
のノズルに連通した圧力発生部と、該それぞれの
圧力発生部に連通しインクを供給するインク供給
路を設けるインクジエツト記録ヘツドの製造方法
において、前記一方の基板の他方の基板と対向す
る面上に前記ノズル、圧力発生部、インク供給路
に対応する溝をエツチングにより形成する際、同
時に前記インク供給路に連通するインク供給部に
フイルターをエツチングで形成し、前記他方の基
板と接合することにより前記一対の基板間に前記
ノズル、圧力発生部、インク供給部と共に前記フ
イルターを一体形成したことを特徴とするインク
ジエツト記録ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13714585A JPS6116864A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13714585A JPS6116864A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6116864A JPS6116864A (ja) | 1986-01-24 |
| JPS628316B2 true JPS628316B2 (ja) | 1987-02-21 |
Family
ID=15191866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13714585A Granted JPS6116864A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6116864A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0514518U (ja) * | 1991-08-07 | 1993-02-26 | 株式会社荏原製作所 | 消音ユニツト挿入形消音器 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0460433U (ja) * | 1990-10-02 | 1992-05-25 | ||
| EP0500068B1 (en) * | 1991-02-20 | 1996-10-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, recording apparatus using same and method for manufacturing same |
| US5847737A (en) * | 1996-06-18 | 1998-12-08 | Kaufman; Micah Abraham | Filter for ink jet printhead |
-
1985
- 1985-06-24 JP JP13714585A patent/JPS6116864A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0514518U (ja) * | 1991-08-07 | 1993-02-26 | 株式会社荏原製作所 | 消音ユニツト挿入形消音器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6116864A (ja) | 1986-01-24 |
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