JPS6282741U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6282741U JPS6282741U JP17464285U JP17464285U JPS6282741U JP S6282741 U JPS6282741 U JP S6282741U JP 17464285 U JP17464285 U JP 17464285U JP 17464285 U JP17464285 U JP 17464285U JP S6282741 U JPS6282741 U JP S6282741U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probes
- resistance
- diagram showing
- measuring
- light emitting
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案に係る拡がり抵抗測定器の構成
例と測定対象の半導体とを示した図、第2図は従
来例のヒータ手段を示した図、第3図〜第6図は
本考案による伝導タイプの判別動作を説明するた
めの図、第7図は本考案により得られる特性曲線
を示した図、第8図は従来の拡がり抵抗測定器に
得られる特性曲線を示した図、第9図は多層に形
成された半導体の比抵抗を2つのプローブを用い
て測定している所を示す図、第10図は第9図の
断面図、第11図は深さ方向に対して比抵抗の変
化を示した図である。 1,3……プローブ、5……発光手段、7……
電流計。
例と測定対象の半導体とを示した図、第2図は従
来例のヒータ手段を示した図、第3図〜第6図は
本考案による伝導タイプの判別動作を説明するた
めの図、第7図は本考案により得られる特性曲線
を示した図、第8図は従来の拡がり抵抗測定器に
得られる特性曲線を示した図、第9図は多層に形
成された半導体の比抵抗を2つのプローブを用い
て測定している所を示す図、第10図は第9図の
断面図、第11図は深さ方向に対して比抵抗の変
化を示した図である。 1,3……プローブ、5……発光手段、7……
電流計。
Claims (1)
- 抵抗測定用のプローブを2つと、前記一方のプ
ローブが接触する半導体部分へ光を加える発光手
段と、前記2つのプローブ間に流れる電流値とそ
の流れる方向とを検出する手段とを備えたことを
特徴とする拡がり抵抗測定器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17464285U JPS6282741U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17464285U JPS6282741U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6282741U true JPS6282741U (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=31113217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17464285U Pending JPS6282741U (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6282741U (ja) |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP17464285U patent/JPS6282741U/ja active Pending