JPS6276247A - Scanning type electron microscope - Google Patents
Scanning type electron microscopeInfo
- Publication number
- JPS6276247A JPS6276247A JP21877285A JP21877285A JPS6276247A JP S6276247 A JPS6276247 A JP S6276247A JP 21877285 A JP21877285 A JP 21877285A JP 21877285 A JP21877285 A JP 21877285A JP S6276247 A JPS6276247 A JP S6276247A
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- scanning
- magnification
- setting
- crt
- sample
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、走査型電子顕微鏡における電子像の位置1倍
率設定方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A. Field of Industrial Application The present invention relates to a method for setting the position and magnification of an electron image in a scanning electron microscope.
口、従来の技術
走査型電子顕微鏡で試料を観察する場合、低倍率で試料
面の広い範囲を観察して、観察点を選定し、その選定点
を拡大して見るようにしている。Conventional technology When observing a sample using a scanning electron microscope, a wide range of the sample surface is observed at low magnification, an observation point is selected, and the selected point is enlarged and viewed.
この時、観察用CRTの画面が一定なので、見たい場所
を観察用CRTの中心になるように試料を移動させて倍
率を上げないと、見たい場所が観察用CRTの画面から
はずれる。又、見たい場所を観察用CRTの中心になる
ように位置させても、次に倍率を上げた時、観察用CR
Tの画面において見たい範囲の端の部分が、画面外に出
てしまったり、見たい場所の一部しか映らなかったりし
て、再度倍率を設定し直さなければならない事が多かっ
た。At this time, since the screen of the observation CRT is fixed, unless the sample is moved so that the desired place is at the center of the observation CRT and the magnification is increased, the desired place will be off the observation CRT screen. Also, even if you position the place you want to view at the center of the observation CRT, the next time you increase the magnification, the observation CRT
There were many cases where the edge of the area I wanted to see on the T's screen went off the screen, or only a part of the area I wanted to see was visible, and I had to set the magnification again.
ハ0発明が解決しようとする問題点
走査型電子顕微鏡で試料を観察する場合、見たい場所が
観察用CRTの画面の中心に来るように試料をセットし
てから、拡大しなければならないし、倍率も観察したい
領域の広さとは関係なく指定されるために、倍率を上げ
たとき見たい領域が画面一杯になるように倍率を設定す
る操作は面倒であった。本発明はこの操作性の改善を目
的とする。C0 Problems to be Solved by the Invention When observing a sample with a scanning electron microscope, the sample must be set so that the desired location is in the center of the observation CRT screen, and then magnified. Since the magnification is specified regardless of the size of the area to be observed, it is troublesome to set the magnification so that the area to be viewed fills the screen when the magnification is increased. The present invention aims to improve this operability.
二1問題点解決のための手段
本発明は、観察用CRT表示画面に試料の観察域を指定
するウィンドフレームを映出させ、このウィンドフレー
ムの中心位置、観察域の設定と連動させて走査型電子顕
微鏡の試料側の走査ビームの走査範囲の中心位置、振れ
幅を自由に設定する電気的制御部を設定した。21. Means for Solving Problems The present invention projects a wind frame for specifying the observation area of the sample on the observation CRT display screen, and scans the center position of the window frame in conjunction with the setting of the observation area. An electrical control unit was set up to freely set the center position and amplitude of the scanning range of the scanning beam on the sample side of the electron microscope.
ホ1作用
本発明は、観察用CRT表示画面にウィンドフレームを
映出させ、このウィンドフレームの中心位置、観察域の
設定と連動させて、走査型電子顕微鏡の試料側の走査ビ
ームの中心位置、振れ幅を自由に設定する電気的制御部
を設置したので目視により走査型電子顕微鏡における観
察位置2倍率の設定ができ、走査型電子顕微鏡の操作性
が向上する。E1 Effect The present invention projects a wind frame on the observation CRT display screen, and in conjunction with the center position of this wind frame and the setting of the observation area, the center position of the scanning beam on the sample side of the scanning electron microscope, Since an electric control unit for freely setting the amplitude of vibration is installed, the observation position double magnification in the scanning electron microscope can be set visually, improving the operability of the scanning electron microscope.
へ、実施例 第1図は本発明のブロック図である。To, Example FIG. 1 is a block diagram of the present invention.
1は観察用CRT9と試料側の操作ビームのX軸、Y軸
方向の走査を制御する信号を送り出す操作信号発生器、
6はウィンドフレーム信号発生器で、高倍率に切替えた
時拡大して映出される映像の範囲を指定する枠形の映像
を観察用CRTに映出する信号を発生させ、スイッチS
3を閉じたとき、検出部11から送られる映像信号を同
信号とビデオアンプlOで合成して、観察用CRT9の
試料昭映像に白い枠として映出する。1 is an operation signal generator that sends signals to control the scanning of the observation CRT 9 and the operation beam on the sample side in the X-axis and Y-axis directions;
6 is a window frame signal generator, which generates a signal to display a frame-shaped image on the observation CRT that specifies the range of the enlarged image when the magnification is switched to high magnification;
When the CRT 9 is closed, the video signal sent from the detection section 11 is combined with the video amplifier 10 and displayed as a white frame on the sample image of the observation CRT 9.
7は、フレームサイズ設定用可変抵抗器で、観察用CR
T上のウィンドフレームの大きさくCRT画面サイズの
1/1〜1/20)を設定する。7 is a variable resistor for setting the frame size, and CR for observation.
The size of the wind frame on the T is set to 1/1 to 1/20 of the CRT screen size.
2は倍率制御器で走査信号を増幅する可変利得アンプで
あり、スイッチS1を閉じたとき、上記の可変抵抗器の
抵抗値よりウィンドフレームの大きさを電気的信号とし
て読取り、その電気的信号に相関させて、ウィンドフレ
ームに囲まれた試料の範囲と、試料側の走査ビームの走
査範囲が一致するように偏向コイル12の入力信号の振
幅を変換する。8は中心位置設定用可変抵抗器でウィン
ドフレームの中心位置を設定する。5はバイアス発生装
置で、スイッチS2を閉じたとき、上記の可変抵抗器8
の抵抗値を電気的信号として読取り、その電気的信号に
応じて直流バイアス電圧を発生させる。加算回路3によ
り走査信号に上記直流バイアスを加算して、偏向コイル
12に印加する。2 is a variable gain amplifier that amplifies the scanning signal with a magnification controller, and when switch S1 is closed, the size of the wind frame is read as an electrical signal from the resistance value of the variable resistor mentioned above, and the electrical signal is In correlation, the amplitude of the input signal to the deflection coil 12 is converted so that the range of the sample surrounded by the wind frame matches the scanning range of the scanning beam on the sample side. 8 is a variable resistor for setting the center position, which sets the center position of the wind frame. 5 is a bias generator, and when the switch S2 is closed, the variable resistor 8
The resistance value of the sensor is read as an electrical signal, and a DC bias voltage is generated according to the electrical signal. The DC bias is added to the scanning signal by the adding circuit 3 and applied to the deflection coil 12.
偏向コイル12に印加さ2d箪査信号には、直流バイア
スが印加されるので、試料側の走査ビームの中心位置は
電子光学系の光軸から外れ、ウィンドフレームの中心位
置に合わされる。このようにして、倍率制御器2による
走査ビームの走査範囲の調整、加算回路3による走査ビ
ームの走査範囲の中心位置の調整がなされ、試料側の走
査ビームが、偏向コイル12により偏向され、試料の指
定された範囲を走査する。試料から放射された二次放射
線が検出器11によって検出され、映像信号としてビデ
オアンプ10に送られる。同信号は、ビデオアンプ10
で増幅されて観察用CRT9の走査ビームの強弱の変調
信号となり、観察用CRTに濃淡の映像を映す。その映
像は走査信号発生器より送られる走査信号により、試料
と観察用CRTの走査と同期して走査が行われる。Since a DC bias is applied to the 2d scanning signal applied to the deflection coil 12, the center position of the scanning beam on the sample side is shifted from the optical axis of the electron optical system and is aligned with the center position of the wind frame. In this way, the scanning range of the scanning beam is adjusted by the magnification controller 2, the center position of the scanning range of the scanning beam is adjusted by the addition circuit 3, and the scanning beam on the sample side is deflected by the deflection coil 12, Scan the specified range of . Secondary radiation emitted from the sample is detected by the detector 11 and sent to the video amplifier 10 as a video signal. The same signal is the video amplifier 10
The signal is amplified to become a modulation signal of the intensity of the scanning beam of the observation CRT 9, and a grayscale image is displayed on the observation CRT. The image is scanned in synchronization with the scanning of the sample and observation CRT by a scanning signal sent from a scanning signal generator.
以上の構成で、当初まず倍率制御器に低倍率、例えば1
00倍を設定し、スイッチSL、S2開、S3閉七して
観察用CRT上に試料像を映出させ、フレームサイズ設
定用可変抵抗器7、中心位置設定用可変抵抗器8を操作
して、観察用CRT画面上に希望する位置、範囲を表示
するウィンドフレームを映出し、次にスイッチS3を開
、Sl、S2を閉じると観察用CRTからウィンドフレ
ームが消えて、今までウィンドフレーム内に映出された
試料映像が観察用CRT一杯に拡大されて映出される。With the above configuration, initially the magnification controller is set to a low magnification, for example 1.
00 times, open the switches SL and S2, and close the switches S3 to display the sample image on the observation CRT, and operate the variable resistor 7 for setting the frame size and the variable resistor 8 for setting the center position. , projects a wind frame displaying the desired position and range on the observation CRT screen, then opens switch S3 and closes Sl and S2, the wind frame disappears from the observation CRT and the window frame that was previously in the window frame disappears. The displayed sample image is enlarged to fill the observation CRT and displayed.
このようにして、指定されたウィンドフレーム内の映像
が、試料を動かさずに観察用CRTの中央入力回路のラ
スタ一杯の映像に拡大されて映出される。なおそのとき
の倍率は、初期倍率を100倍とするとウィンドフレー
ムの大きさを1/NとしたときNX 100となり、ウ
ィンドフレームは1/1〜1/20の間で設定できるの
で、画面倍率は100〜2000倍となル。又、SL、
S2を開にし再度、ウィンドフレームで指定し、再度環
81.S2を閉にすれば、上記と同様にして再度の拡大
表示が可能である。このよのうにして多段階拡大が可能
であり、順次画面を拡大しなしから次第に詳細に試料上
の観察点を指定して行(ことができる。In this way, the image within the specified window frame is enlarged and displayed to fill the raster of the central input circuit of the observation CRT without moving the sample. In addition, the magnification at that time is NX 100 when the initial magnification is 100 times and the size of the wind frame is 1/N. Since the wind frame can be set between 1/1 and 1/20, the screen magnification is 100 to 2000 times more. Also, SL,
Open S2 and specify again with the wind frame, and again ring 81. If S2 is closed, enlarged display can be performed again in the same manner as above. In this way, multi-step enlargement is possible, and the screen can be enlarged one after another, starting from no enlargement, to gradually specifying observation points on the sample in detail.
第2図において44図は初期の低倍率の画面である。ウ
ィンドフレームFを、図イのように指定すれば、Fの範
囲が倍率制御器2と加算回路3により開口のようにラス
タ一杯に拡大される。又、開口においてウィンドフレー
ムF を同様に指定すると、図ハのように拡大される。In FIG. 2, FIG. 44 is an initial low magnification screen. When the wind frame F is specified as shown in Figure A, the range of F is expanded to the full raster like an aperture by the magnification controller 2 and the adder circuit 3. Also, if the wind frame F is designated in the same way at the opening, it will be enlarged as shown in Figure C.
このようにして試料を動かさずに、走査型電子顕微鏡本
体の走査ビームを設定通りに偏向させることにより、見
たい所を見たい大きさで見ることができる。In this way, by deflecting the scanning beam of the scanning electron microscope body according to the settings without moving the sample, it is possible to see the desired area and the desired size.
ト、効果
本発明は上述した方法で、従来の走査型電子顕微鏡にお
ける観察位置及び倍率の設定における煩わしさを解消し
、走査型電子顕微鏡の操作性が向上する。G. Effects The present invention uses the method described above to eliminate the troublesome setting of observation position and magnification in conventional scanning electron microscopes, and improves the operability of scanning electron microscopes.
第1図は本発明の一ブロック図、第2図は操作説明図で
ある。
代理人 弁理士 縣 浩 介
第1図
第2図FIG. 1 is a block diagram of the present invention, and FIG. 2 is an operation explanatory diagram. Agent: Hiroshi Agata, Patent Attorney Figure 1 Figure 2
Claims (1)
、そのウインドフレームの中心位置、観察域の設定が、
試料側の走査ビームの走査範囲の中心位置、振れ幅に連
動する電子的制御機構を備えた走査型電子顕微鏡。A wind frame is projected on the specimen image of the observation CRT, and the center position of the wind frame and observation area settings are
A scanning electron microscope equipped with an electronic control mechanism that is linked to the center position and amplitude of the scanning beam scanning range on the sample side.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21877285A JPS6276247A (en) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | Scanning type electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21877285A JPS6276247A (en) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | Scanning type electron microscope |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6276247A true JPS6276247A (en) | 1987-04-08 |
Family
ID=16725146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21877285A Pending JPS6276247A (en) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | Scanning type electron microscope |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6276247A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63285854A (en) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | Visual field moving apparatus for sample image |
JP2003086645A (en) * | 2001-09-13 | 2003-03-20 | Hitachi Ltd | Inspection device, inspection system and method for manufacturing semiconductor device |
JP2008226508A (en) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | Imaging magnification adjusting method, and charged particle beam device |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP21877285A patent/JPS6276247A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63285854A (en) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | Visual field moving apparatus for sample image |
JP2003086645A (en) * | 2001-09-13 | 2003-03-20 | Hitachi Ltd | Inspection device, inspection system and method for manufacturing semiconductor device |
JP2008226508A (en) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | Imaging magnification adjusting method, and charged particle beam device |
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