JPS6275111A - Servo valve - Google Patents

Servo valve

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JPS6275111A
JPS6275111A JP21596485A JP21596485A JPS6275111A JP S6275111 A JPS6275111 A JP S6275111A JP 21596485 A JP21596485 A JP 21596485A JP 21596485 A JP21596485 A JP 21596485A JP S6275111 A JPS6275111 A JP S6275111A
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fixed
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nozzles
servo valve
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Katsumi Sasaki
勝美 佐々木
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Abstract

PURPOSE:To prevent the lead of fluid from a fixed nozzle effectively on a neutral stationary condition, by forming elastic reed pieces on a nozzle flapper. CONSTITUTION:A nozzle flapper 12 is provided with a pair of elastic reed pieces 24a, 24b which are formed oppositely to respective fixed nozzles 16a, 16b, carry out the opening and the closing of the nozzles, and control both the fixed nozzles 16a, 16b to be closed with a prescribed force on a neutral stationary condition. Thereby, the fixed nozzles 16a, 16b can be controlled satisfactorily to be closed by the pair of elastic reed pieces 24a, 24b on the neutral stationary condition, so that lead from the fixed nozzles 16a, 16b can be prevented effectively.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はサーボ弁、特にサーボ制御系において用いられ
るサーボ弁の改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to improvements in servo valves, particularly servo valves used in servo control systems.

[従来の技術] サーボ弁は、空圧あるいは油圧を用いて被制御部の駆動
あるいは位置決め制御を行うためのサーボループ内にお
いて、前記被駆動機構からのフィードバック信号によっ
て弁開度を任意に調節するために用いられ、各種の工作
機械その他の産業用機械、特に近年においては、各種用
途に用いられるロボットの制御弁として広範囲に用いら
れている。
[Prior Art] A servo valve arbitrarily adjusts the valve opening degree based on a feedback signal from the driven mechanism within a servo loop for driving or positioning control of a controlled part using air pressure or oil pressure. It has been widely used as a control valve for various machine tools and other industrial machines, and especially in recent years, for robots used for various purposes.

この種のサーボ弁には各種の構造が存し、種々の利用目
的に応じて使い分けられているが、これらのサーボ弁の
内代表的な機構として、ピストンシリンダ機構を有する
アクチュエータへの供給圧力を制御するために一対のノ
ズルを有し、これらのノズルから前記加圧流体の供給又
は排出を制御する機構が周知である。
This type of servo valve has various structures and is used depending on the purpose of use, but a typical mechanism of these servo valves is one that controls supply pressure to an actuator with a piston-cylinder mechanism. Mechanisms having a pair of nozzles for control and controlling the supply or discharge of the pressurized fluid from these nozzles are well known.

一般に、このようなサーボ弁は、トルクモータによりノ
ズルフラッパを0時計方向又は反時計方向に揺動制御し
このノズルフラッパを挟んで対向配置された一対の固定
ノズルを択一的に開閉制御している。
Generally, such a servo valve controls a nozzle flapper to swing clockwise or counterclockwise using a torque motor, and selectively opens and closes a pair of fixed nozzles that are arranged opposite to each other with the nozzle flapper in between.

[発明が解決しようとする問題点] 前述した従来のサーボ弁機構は、一対の固定ノズル間に
ノズルフラッパが揺動自在に設けられ、ノズルフラッパ
を一方の固定ノズル側に移動させたときに当該接触側の
固定ノズルを閉止し、他方側の固定ノズルを解放するノ
ズル開閉作用を行い、これによって、アクチュエータへ
の加圧流体の供給おるいは排出を行う。
[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional servo valve mechanism described above, a nozzle flapper is swingably provided between a pair of fixed nozzles, and when the nozzle flapper is moved to one fixed nozzle side, the contact side A nozzle opening/closing action is performed to close one fixed nozzle and open the other fixed nozzle, thereby supplying or discharging pressurized fluid to the actuator.

しかしながら、この従来装置においては、制御信号が印
加されない中立状態においては、ノズルフラッパは両固
定ノズル間の中央位置にて両固定ノズルとは僅かな間隙
をもって静止し、この状態では、両固定ノズルはノズル
フラッパの揺動ストロークを確保するための僅かではあ
るが解放された状態を呈する。
However, in this conventional device, in a neutral state where no control signal is applied, the nozzle flapper stands still at the center position between both fixed nozzles with a small gap between the two fixed nozzles. It exhibits a slightly released state to ensure the swing stroke of .

このため、従来のサーボ弁では、このような中立静止状
態において、各固定ノズルから加圧流体がリークすると
いう問題があり、特に供給油量が制限される油圧装置で
用いられた場合などにその有効な対策が望まれていた。
For this reason, conventional servo valves have the problem of pressurized fluid leaking from each fixed nozzle in such a neutral stationary state, especially when used in hydraulic equipment where the amount of oil supplied is limited. Effective countermeasures were desired.

及団旦亘珀 本発明は、このような従来の課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は、中立静止状態において固定ノズルか
らの流体のリークを有効に防止することの可能なサーボ
弁を提供することにある。
The present invention was made in view of the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to provide a servo valve that can effectively prevent fluid leakage from a fixed nozzle in a neutral stationary state. It is about providing.

[問題点を解決するための手段] 本発明のサーボ弁は、トルクモータにより駆動されるノ
ズルフラッパを用い、フラッパ室内に対向配置された一
対の固定ノズルを開閉制御するものである。
[Means for Solving the Problems] The servo valve of the present invention uses a nozzle flapper driven by a torque motor to control opening and closing of a pair of fixed nozzles disposed opposite to each other in a flapper chamber.

そして、その特徴的事項は、前記ノズルフラッパに、各
ノズルに対向して設けられノズルの開閉を行い、かつ中
立静止状態において所定の付勢力をもって両固定ノズル
を閉成制御する一対の弾性リード片を形成したことにあ
る。
The characteristic feature is that the nozzle flapper is provided with a pair of elastic reed pieces that are provided opposite to each nozzle to open and close the nozzles, and to control the closing of both fixed nozzles with a predetermined biasing force in a neutral stationary state. It lies in the fact that it was formed.

[作用] 以上の構成とすることにより、本発明のサーボ弁は、ト
ルクモータを駆動しない中立静止状態においては、一対
の弾性リード片により両固定ノズルを良好に閉成制御す
ることができ、この結果、この状態において従来問題と
なっていた固定ノズルからのリークを有効に防止するこ
とが可能となる。
[Function] With the above configuration, the servo valve of the present invention can effectively control the closing of both fixed nozzles by the pair of elastic reed pieces in a neutral stationary state where the torque motor is not driven. As a result, in this state, it becomes possible to effectively prevent leakage from the fixed nozzle, which has been a problem in the past.

また、このようなサーボ弁において、固定ノズルを閉成
制御する場合には、トルクモータによりノズルフラッパ
を、所望側の固定ノズルに向って移動させる。これによ
り、この一方の固定ノズルと当接していた弾性リード片
は該固定ノズルから離れて所望のノズル閉成制御を達成
する。そして、このとき、他方の固定ノズル側では、中
立位置において既に固定ノズルを閉止していた弾性リー
ド片は前記ノズルフラッパの移動に伴いその撓み量を変
化するが、この状態でも依然として当該固定ノズルの閉
止状態を保ち、ノズルフラッパの移動は弾性リード片の
撓みにより吸収される。
In addition, in such a servo valve, when controlling the fixed nozzle to close, the nozzle flapper is moved by the torque motor toward the desired fixed nozzle. As a result, the elastic reed piece that was in contact with this one fixed nozzle separates from the fixed nozzle, achieving desired nozzle closing control. At this time, on the other fixed nozzle side, the elastic reed piece that had already closed the fixed nozzle at the neutral position changes its deflection amount as the nozzle flapper moves, but even in this state, the elastic reed piece that had already closed the fixed nozzle is still closed. The movement of the nozzle flapper is absorbed by the deflection of the elastic reed piece.

このように、本発明のサーボ弁は、トルクモータを駆動
しない中立静止状態では、対向配置された両固定ノズル
をリークが発生しないよう良好に閉成制御することがで
き、またトルクモータによりノズルフラッパを移動する
ことにより、従来のサーボ弁と同様再固定ノズルを択一
的に開閉制御することができる。
As described above, the servo valve of the present invention can effectively control the closing of both fixed nozzles arranged opposite each other to prevent leakage in a neutral stationary state where the torque motor is not driven, and also allows the nozzle flapper to be closed by the torque motor. By moving, the refixed nozzle can be selectively opened and closed, similar to a conventional servo valve.

[実施例] 次に本発明の好適な実施例を図面に基づき説明する。[Example] Next, preferred embodiments of the present invention will be described based on the drawings.

第1図には本発明にかかるサーボ弁の好適な実施例が示
されており、本発明のサーボ弁は、トルクモータ10に
より移動制御されるノズルフラッパ12を含み、このノ
ズルフラッパ12により、フラッパ室14内にノズルフ
ラッパ12を挟んでその移動方向に対向配置された一対
の固定ノズル16a、16bを開閉制御している。
FIG. 1 shows a preferred embodiment of the servo valve according to the present invention, and the servo valve according to the present invention includes a nozzle flapper 12 whose movement is controlled by a torque motor 10. A pair of fixed nozzles 16a and 16b, which are arranged opposite to each other in the moving direction with the nozzle flapper 12 therebetween, are controlled to open and close.

ノズルフラッパ12は、その上部が可撓曲管18に固定
され摩擦のない駆動運動可能に支持されている。駆動軸
線は、この可撓曲管18のほぼ中央部Pにあり、このP
の位置を中心としてノズルフラッパ12は時計方向もし
くは反時計方向に揺動することができる。
The upper part of the nozzle flapper 12 is fixed to the flexible tube 18 and supported for frictionless driving movement. The drive axis line is located approximately at the center P of this flexible tube 18, and this P
The nozzle flapper 12 can swing clockwise or counterclockwise around the position.

そして、可撓曲管18は、上端部が太く形成され、更に
この可撓曲管18は、その下端部が輪状の7ランジ形状
に形成され、サーボ弁本体100に図示しない取付けね
じを用いて取付は固定されている。
The flexible tube 18 has a thick upper end, and a lower end of the flexible tube 18 has an annular seven-flange shape. The installation is fixed.

また、前記トルクモータ10は、ノズルフラッパ12の
上端部に一体的に取付は固定された移動電気子20を含
み、固定子側に設けられた各励磁巻線22を励磁するこ
とにより、ノズルフラッパ12をPを中心として時計方
向もしくは反時計方向へ揺動制御する。
The torque motor 10 also includes a moving armature 20 that is integrally attached and fixed to the upper end of the nozzle flapper 12, and the nozzle flapper 12 is activated by exciting each excitation winding 22 provided on the stator side. Swing control is performed clockwise or counterclockwise around P.

本発明の特徴的事項は、このようにして揺動制御される
ノズルフラッパ12に、各固定ノズル16a、16bに
対向して設けられノズルの開閉を行い、かつ中立静止状
態で所定の付勢力をもって両固定ノズル16a、16b
を閉成制御する一対の弾性リード片24a、24bを形
成したことにある。
A characteristic feature of the present invention is that the nozzle flapper 12, which is swing-controlled in this manner, is provided opposite to each of the fixed nozzles 16a and 16b, and opens and closes the nozzles, and applies a predetermined urging force to both fixed nozzles in a neutral and stationary state. Fixed nozzles 16a, 16b
This is because a pair of elastic reed pieces 24a and 24b are formed to control closing.

実施例において、前記弾性リード片24a及び24bは
、ノズルフラッパ12の先端部を板状とし、この板上部
を所定幅のスリット26により2枚の板に仕切ることに
より形成されている。
In the embodiment, the elastic lead pieces 24a and 24b are formed by making the tip of the nozzle flapper 12 plate-shaped and partitioning the upper part of the plate into two plates with a slit 26 of a predetermined width.

そして、この一対の弾性リード片24a及び24b部分
のノズル軸方向に沿ったフラッパ幅は、相対向する固定
ノズル16a及び16b間の幅よりも幾分大きめに設定
されてあり、従って実施例のノズルフラッパ12は、そ
の弾性リード片24a及び24bが固定ノズル12a及
び12b間に所定の付勢力をもって圧入された状態とな
る。
The flapper width of the pair of elastic lead pieces 24a and 24b along the nozzle axis direction is set to be somewhat larger than the width between the opposing fixed nozzles 16a and 16b. 12 is in a state where its elastic lead pieces 24a and 24b are press-fitted between the fixed nozzles 12a and 12b with a predetermined biasing force.

また、本実施例において固定ノズル16a及び16bが
対向配置されたフラッパ室14は、アクチュエータ32
へ連通する細長のダクト形状に形成されており、このフ
ラッパ室14と可撓曲管18との間にはフレキシブルな
仕切板30が設けられ、フラッパ室14からの流体の漏
れを防止している。
Further, in this embodiment, the flapper chamber 14 in which the fixed nozzles 16a and 16b are arranged oppositely is connected to the actuator 32.
A flexible partition plate 30 is provided between the flapper chamber 14 and the flexible pipe 18 to prevent fluid from leaking from the flapper chamber 14. .

本実施例は以上の構成からなり、次にその作用を説明す
る。
The present embodiment has the above configuration, and its operation will be explained next.

なお、実施例においては、サーボ弁の一方の固定ノズル
16aを加圧流体供給用として、他方の固定ノズル16
bを流体排出用として用いる場合を例にとり説明する。
In the embodiment, one fixed nozzle 16a of the servo valve is used for supplying pressurized fluid, and the other fixed nozzle 16a is used for supplying pressurized fluid.
The case where b is used for fluid discharge will be explained as an example.

第2図には、本実施例のサーボ弁の動作状態が示されて
おり、同図中(a>は両固定ノズル16a及び16bが
ともに閉成制御されている状態、(b)は一方の固定ノ
ズル16aのみが閉成制御されている状態、(C)は他
方の固定ノズル16bのみが閉成制御されている状態が
表されている。
FIG. 2 shows the operating state of the servo valve of this embodiment. (C) shows a state in which only the fixed nozzle 16a is controlled to close, and (C) shows a state in which only the other fixed nozzle 16b is controlled to close.

まず、トルクモータ10からノズルフラッパ12に加え
るトルクをOに制御すると、ラッパ12は、各弾性リー
ド片24a及び24bの付勢力により両固定ノズル16
a及び16bの中間に位置する中立静止状態となり、両
固定ノズル16a及び16bの開口部34a及’C)’
34bG;t、弾性リード片24a及び24bの付勢力
によりリ一りのない状態で良好に閉成制御される。
First, when the torque applied from the torque motor 10 to the nozzle flapper 12 is controlled to O, the flapper 12 moves both fixed nozzles 16 by the urging force of each elastic lead piece 24a and 24b.
a and 16b, and the openings 34a and 'C)' of both fixed nozzles 16a and 16b are in a neutral stationary state.
34bG; t, the closing is controlled satisfactorily without any distortion due to the biasing force of the elastic lead pieces 24a and 24b.

このように、両固定ノズル16a及び16bを閉成制御
した状態において、各ノズル16a及び16bからリー
クされる流体の状態を次の条件のもとて実験により確認
した。
In this manner, in a state where both fixed nozzles 16a and 16b were controlled to close, the state of the fluid leaking from each nozzle 16a and 16b was confirmed by experiment under the following conditions.

まず、ノズルフラッパ12を5US631ばね鋼を用い
て形成し、弾性リード片24a及び24bの高ざを8m
m、フラッパ12の弾性リード辺部分のノズル軸方向に
沿った厚さを1.7mm、スリット26の幅を0.1m
mに設定する。また、各固定ノズル16a及び16bの
ノズル径、すなわち開口部34a及び34bの直径を0
.2〜0.4mm内に設定する。
First, the nozzle flapper 12 is formed using 5US631 spring steel, and the height of the elastic lead pieces 24a and 24b is set to 8 m.
m, the thickness of the elastic lead side portion of the flapper 12 along the nozzle axis direction is 1.7 mm, and the width of the slit 26 is 0.1 m.
Set to m. Also, the nozzle diameter of each fixed nozzle 16a and 16b, that is, the diameter of the openings 34a and 34b, is set to 0.
.. Set within 2 to 0.4 mm.

この条件のもとで、実施例のサーボ弁と従来のサーボ弁
とを比較したところ、本、発明によれば、閉成制御され
た両固定ノズル16a及び16bからリークする流体の
量は従来のサーボ弁に比し10分の1以下にまで低減さ
れたことが確認された。
When the servo valve of the embodiment and the conventional servo valve were compared under these conditions, it was found that according to the present invention, the amount of fluid leaking from both fixed nozzles 16a and 16b whose closing was controlled was lower than that of the conventional servo valve. It was confirmed that the reduction was reduced to one-tenth or less compared to a servo valve.

また、一方の固定ノズル12aを閉成制御する場合には
、トルクモータ10により図中反時計方向へ向けたトル
クを7ラツパ12へ与える。これにより、フラッパ12
は、図中反時計方向へ揺動する。そして、第2図(b)
に示すごとく一方の弾性リード片24aは固定ノズル1
6aから離れて該ノズル16aの閉成制御を達成し、こ
のとき、他方の固定ノズル16b側では、中立位置おい
て既に固定ノズル16bを閉止していた弾性リード片2
4bがフラッパ12の移動に伴い、その撓み量分変形す
るが、この状態でも、引続いて該固定ノズル16bを閉
成制御する。
Further, when controlling one of the fixed nozzles 12a to close, the torque motor 10 applies a torque directed counterclockwise in the figure to the seven wrapper 12. As a result, the flapper 12
swings counterclockwise in the figure. And Fig. 2(b)
As shown in FIG.
6a to achieve the closing control of the nozzle 16a, and at this time, on the other fixed nozzle 16b side, the elastic reed piece 2 which had already closed the fixed nozzle 16b in the neutral position
4b is deformed by the amount of deflection as the flapper 12 moves, but even in this state, the fixed nozzle 16b is subsequently controlled to close.

これにより、固定ノズル16aからフラッパ室14を介
してアクチュエータ32へ向は加圧流体が良好に供給さ
れることになる。
Thereby, the pressurized fluid is well supplied from the fixed nozzle 16a to the actuator 32 via the flapper chamber 14.

また他方の固定ノズル16bを閉成状態に制御する場合
には、前述とは逆にトルクモータ10により時計方向へ
向たトルクをフラッパ12に与える。
When the other fixed nozzle 16b is controlled to be closed, the torque motor 10 applies a clockwise torque to the flapper 12, contrary to the above.

これらより、第2図(C)に示すごとく、固定ノズル1
6bは閉成制御され、他の固定ノズル16aは引続いて
閉成制御される。従って、この場合には、アクチュエー
タ32へ供給された流体が、フラッパ室14.固定ノズ
ル16bを介して良好に排出されることになる。
From these, as shown in FIG. 2(C), the fixed nozzle 1
6b is controlled to close, and the other fixed nozzles 16a are subsequently controlled to close. Therefore, in this case, the fluid supplied to the actuator 32 is transferred to the flapper chamber 14. It is effectively discharged through the fixed nozzle 16b.

実施例のサーボ弁においては、このような各固定ノズル
16a及び16bの閉成制御は、被制御部からの機械的
なフィードバック信号によりアナログ的に行うことも可
能であるが、アクチュエータ32の出力に脈動流が発生
しない程度に開口部34をPWM閉成制御することも可
能であり、このようにすることにより、前記アナログ制
御をする場合に比し更に精度の良い制御を行うことがで
きる。
In the servo valve of the embodiment, the closing control of each of the fixed nozzles 16a and 16b can be performed in an analog manner using a mechanical feedback signal from the controlled section; It is also possible to perform PWM closing control of the opening 34 to such an extent that pulsating flow does not occur, and by doing so, more accurate control can be performed than in the case of analog control.

[発明の効果コ 以上説明したように、本発明によれば、ノズルフラッパ
に弾性リード片を形成することにより、対向配置された
両固定ノズルを通常は所定の付勢力をもって閉成制御し
、ノズルからの流体のリークを有効に抑制することが可
能となり、またトルクモータを駆動することにより前記
各固定ノズルを択一的に閉成制御することができる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, by forming an elastic reed piece on the nozzle flapper, both fixed nozzles arranged facing each other are normally controlled to close with a predetermined urging force, and the nozzle is removed from the nozzle. It becomes possible to effectively suppress fluid leakage, and by driving the torque motor, it is possible to selectively control closing of each of the fixed nozzles.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明にかかるサーボ弁の好適な実施例を示す
説明図、 第2図は第1に示すサーボ弁の動作説明図である。 10 ・・・ トルクモータ 12 ・・・ ノズルフラッパ 14 ・・・ フラッパ室 16a、16b  ・・・ 固定ノズル24a、24b
  ・・・ 弾性リード片26 ・・・ スリット
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a preferred embodiment of the servo valve according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram of the operation of the servo valve shown in the first embodiment. 10... Torque motor 12... Nozzle flapper 14... Flapper chambers 16a, 16b... Fixed nozzles 24a, 24b
... Elastic lead piece 26 ... Slit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)トルクモータにより駆動されるノズルフラッパを
用い、フラッパ室内に対向配置された一対の固定ノズル
を開閉制御するサーボ弁において、前記ノズルフラッパ
に、各固定ノズルに対向して設けられノズルの開閉を行
い、かつ中立静止状態において所定の付勢力をもつて両
固定ノズルを閉成制御する一対の弾性リード片を形成し
たことを特徴とするサーボ弁。
(1) In a servo valve that uses a nozzle flapper driven by a torque motor to open and close a pair of fixed nozzles arranged oppositely in a flapper chamber, the nozzle flapper is provided opposite to each fixed nozzle to open and close the nozzles. , and a pair of elastic reed pieces for controlling the closing of both fixed nozzles with a predetermined biasing force in a neutral stationary state.
(2)特許請求の範囲(1)記載のサーボ弁において、 前記ノズルフラッパは、可撓曲管により揺動自在に保持
されて成ることを特徴とするサーボ弁。
(2) The servo valve according to claim (1), wherein the nozzle flapper is swingably held by a flexible tube.
JP21596485A 1985-09-27 1985-09-27 Servo valve Granted JPS6275111A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6412107A (en) * 1987-07-03 1989-01-17 Tokyo Seimitsu Sokuki Kk Servo valve
JPH0842504A (en) * 1994-03-23 1996-02-13 Moog Inc Fluid amplifier

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54151780A (en) * 1978-05-19 1979-11-29 Tokico Ltd Gas servo apparatuses

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54151780A (en) * 1978-05-19 1979-11-29 Tokico Ltd Gas servo apparatuses

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6412107A (en) * 1987-07-03 1989-01-17 Tokyo Seimitsu Sokuki Kk Servo valve
JPH0578686B2 (en) * 1987-07-03 1993-10-29 Tokyo Seimitsu Sokuki Kk Servo valve
JPH0842504A (en) * 1994-03-23 1996-02-13 Moog Inc Fluid amplifier

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