JPS6274245U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6274245U JPS6274245U JP1985165807U JP16580785U JPS6274245U JP S6274245 U JPS6274245 U JP S6274245U JP 1985165807 U JP1985165807 U JP 1985165807U JP 16580785 U JP16580785 U JP 16580785U JP S6274245 U JPS6274245 U JP S6274245U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main surface
- light
- dimension
- chamfered
- transmitting substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
Description
第１図ないし第４図は本考案の一実施例を示す
図で、第１図は転写用マスクの断面図、第２図は
転写時の状態を示す斜視図、第３図は被転写板へ
の密着方法を説明するための断面図、第４図は密
着状態を説明するための要部断面図、第５図は本
考案の他の実施例を示す要部断面図、第６図は従
来例を示す断面図、第７図はその被転写板への密
着状態を説明するための要部断面図である。 ５……転写用マスク、６……透光性基板、７…
…遮光性パターン、８……被転写板、６１ａ，６
１ｂ……主表面、６２……側面、６３……面取り
部、６３ａ……曲面状の面取り面。
図で、第１図は転写用マスクの断面図、第２図は
転写時の状態を示す斜視図、第３図は被転写板へ
の密着方法を説明するための断面図、第４図は密
着状態を説明するための要部断面図、第５図は本
考案の他の実施例を示す要部断面図、第６図は従
来例を示す断面図、第７図はその被転写板への密
着状態を説明するための要部断面図である。 ５……転写用マスク、６……透光性基板、７…
…遮光性パターン、８……被転写板、６１ａ，６
１ｂ……主表面、６２……側面、６３……面取り
部、６３ａ……曲面状の面取り面。
Claims (1)
- 透光性基板の主表面上に露光用パターンを設け
、上記透光性基板の少なくとも上記被転写板に対
向する側の主表面と側面との間に、少なくとも主
表面に連続する部分が曲面状である面取り面を有
する面取り部を設け、かつこの面取り部の主表面
側寸法を側面側寸法よりも大きくしたことを特徴
とする転写用マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985165807U JPS6274245U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985165807U JPS6274245U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6274245U true JPS6274245U (ja) | 1987-05-12 |
Family
ID=31096184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985165807U Pending JPS6274245U (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6274245U (ja) |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP1985165807U patent/JPS6274245U/ja active Pending