JPS6265510A - 弾性波フイルタ - Google Patents
弾性波フイルタInfo
- Publication number
- JPS6265510A JPS6265510A JP20487485A JP20487485A JPS6265510A JP S6265510 A JPS6265510 A JP S6265510A JP 20487485 A JP20487485 A JP 20487485A JP 20487485 A JP20487485 A JP 20487485A JP S6265510 A JPS6265510 A JP S6265510A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric plate
- capacitor
- elastic wave
- wave filter
- thickness
- Prior art date
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
共振子の圧電板部分と、コンデンサの誘電体部分とを、
一体化用圧電板で形成した、弾性波フィルタ。
一体化用圧電板で形成した、弾性波フィルタ。
本発明は高周波伝送装置の、アンテナフィルタ。
チャネルフィルタ等に使用される、弾性波フィルタの製
法改良に係る。
法改良に係る。
一般にフィルタは、通過・阻止する対象信号以外の周波
数は、極力混入することの無い様、その周波数選択性は
急峻であり、挿入損も少ない従ってＱの高い事が望まれ
る。
数は、極力混入することの無い様、その周波数選択性は
急峻であり、挿入損も少ない従ってＱの高い事が望まれ
る。
各種フィルタの中で、水晶、リチウム等の単結晶圧電板
共振子と、コンデンサから成る弾性波フィルタは、共振
子の厚み振動の共振現象を利用し、振動子固有の周波数
に共振した入力信号を固体伝播させる為、この点特に優
れており、周波数特性も単結晶体を利用しているので、
安定していて調整の必要も無く、高周波伝送装置の小型
、軽量化に併せて、現在は１０ＭＨｚ帯まで使用されて
いるが、更に高い周波数帯域用のものが、強く要望され
ている。
共振子と、コンデンサから成る弾性波フィルタは、共振
子の厚み振動の共振現象を利用し、振動子固有の周波数
に共振した入力信号を固体伝播させる為、この点特に優
れており、周波数特性も単結晶体を利用しているので、
安定していて調整の必要も無く、高周波伝送装置の小型
、軽量化に併せて、現在は１０ＭＨｚ帯まで使用されて
いるが、更に高い周波数帯域用のものが、強く要望され
ている。
第３図は従来例の弾性波フィルタの正面図、第４図は従
来例の弾性波フィルタの断面図である。
来例の弾性波フィルタの断面図である。
第３図、第４図において、フィルタ１はプリント基板又
はセラミック基板２に、水晶、タンクル酸リチウム、ニ
オブ酸リチウム等圧電基板の薄片よりなる、圧電板３．
４の両面に金属の駆動電極５．６を設けてなる共振子７
，８、及びコンデンサ９を搭載し、回路がラダー型とな
る様配線１１〜１４で、半田付は又は導電性溶剤で共振
子とコンデンサ間を接続形成して得られる。
はセラミック基板２に、水晶、タンクル酸リチウム、ニ
オブ酸リチウム等圧電基板の薄片よりなる、圧電板３．
４の両面に金属の駆動電極５．６を設けてなる共振子７
，８、及びコンデンサ９を搭載し、回路がラダー型とな
る様配線１１〜１４で、半田付は又は導電性溶剤で共振
子とコンデンサ間を接続形成して得られる。
フィルタｌの適用周波数は、特に共振子７．８の圧電板
３．４の厚さ２１．２２によって決まり、厚さが薄い程
高い周波数に適用出来る。
３．４の厚さ２１．２２によって決まり、厚さが薄い程
高い周波数に適用出来る。
しかし、圧電板の薄片加工は酸性エツチング液により、
且つ圧電材の種別で難易はあるが、従来は高周波伝送装
置の小型、軽量化に沿って、厚さ２１、２２は１００ミ
クロン、周波数帯は２０ＭＨｚ位までであった。
且つ圧電材の種別で難易はあるが、従来は高周波伝送装
置の小型、軽量化に沿って、厚さ２１、２２は１００ミ
クロン、周波数帯は２０ＭＨｚ位までであった。
然しながら近年、小型、軽量化は更に高い周波数帯にま
で波及、進展し、１００ＭＨｚ帯で使用出来るフィルタ
用共振子の要求が高まって来た。
で波及、進展し、１００ＭＨｚ帯で使用出来るフィルタ
用共振子の要求が高まって来た。
この要求に対して、従来ある１０ＭＨｚ帯用の圧電板を
使用し、その高調波を利用する方法もあるが、その場合
は必要としない高調波の基本波がフィルタ特性を悪化さ
せる原因になる。
使用し、その高調波を利用する方法もあるが、その場合
は必要としない高調波の基本波がフィルタ特性を悪化さ
せる原因になる。
従って必要とする高い周波数、ｌｏＯＭＨｚ帯用のフィ
ルタを得る為には、基本波による共振子を使用すること
が望ましく、その為には圧電板を現状の、１１５程度に
薄くしたものが必要であり、その様な薄片加工は極めて
困難であると共に、薄片加工した圧電板に強度上の新た
な心配が有る。
ルタを得る為には、基本波による共振子を使用すること
が望ましく、その為には圧電板を現状の、１１５程度に
薄くしたものが必要であり、その様な薄片加工は極めて
困難であると共に、薄片加工した圧電板に強度上の新た
な心配が有る。
更に共振子、コンデンサ等価々の部品は小型でも、プリ
ント基板又はセラミック基板上で、フィルタ回路を形成
した場合、フィルタとしては大型になってしまうと言う
問題点がある。
ント基板又はセラミック基板上で、フィルタ回路を形成
した場合、フィルタとしては大型になってしまうと言う
問題点がある。
上記問題点は、共振子の圧電板部分と、コンデンサの誘
電体部分とを、一体化用圧電板で形成・一体化してなる
、本発明の弾性波フィルタによって解決される。
電体部分とを、一体化用圧電板で形成・一体化してなる
、本発明の弾性波フィルタによって解決される。
即ち、本発明によれば、エツチング容易な硼酸リチウム
の単結晶ボウルより、切り出した圧電板を使用して、部
分的にエツチング・薄片加工して、共振子の圧電板部分
及び、コンデンサの誘電体部分とする事によって、プリ
ント基板又はセラミック基板は使用せず、共振子とコン
デンサを一体化用圧電板で、形成・一体化出来るので、
フィルタは確実に小型、軽量化できると共に、薄片加工
されているのは、共振子とコンデンサの限られた部分で
、それ以外の圧電板の厚さは、１００〜２００ミクロン
の為、強度上の心配も無くなる。
の単結晶ボウルより、切り出した圧電板を使用して、部
分的にエツチング・薄片加工して、共振子の圧電板部分
及び、コンデンサの誘電体部分とする事によって、プリ
ント基板又はセラミック基板は使用せず、共振子とコン
デンサを一体化用圧電板で、形成・一体化出来るので、
フィルタは確実に小型、軽量化できると共に、薄片加工
されているのは、共振子とコンデンサの限られた部分で
、それ以外の圧電板の厚さは、１００〜２００ミクロン
の為、強度上の心配も無くなる。
以下図面に示す実施例により、本発明の内容を、具体的
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明の実施例の、弾性波フィルタの正面図、
第２図は本発明の実施例の、弾性波フィルタの断面図で
ある。
第２図は本発明の実施例の、弾性波フィルタの断面図で
ある。
第１．第２図と第３．第４図とで異なる点は、フィルタ
１の共振子１７．１８の圧電板とコンデンサ１９の誘電
体を、一体化用圧電板３０で形成・一体化した事である
。
１の共振子１７．１８の圧電板とコンデンサ１９の誘電
体を、一体化用圧電板３０で形成・一体化した事である
。
第１図、第２図において、フィルタ１を形成する共振子
１７．１８の圧電板及び、コンデンサ１９の誘電体部分
が十分薄片加工出来る、未エツチング部分の厚さ３４が
２００ミクロン前後の、エツチング容易な硼酸リチウム
単結晶ボールより切り出した、一体化用圧電板３０に、
共振子１７．１８の圧電板の厚さ３１．３２を酸性エツ
チング液にて、２０ミクロンに薄片加工した後、金属蒸
着膜により駆動電極５゜６を設ける。
１７．１８の圧電板及び、コンデンサ１９の誘電体部分
が十分薄片加工出来る、未エツチング部分の厚さ３４が
２００ミクロン前後の、エツチング容易な硼酸リチウム
単結晶ボールより切り出した、一体化用圧電板３０に、
共振子１７．１８の圧電板の厚さ３１．３２を酸性エツ
チング液にて、２０ミクロンに薄片加工した後、金属蒸
着膜により駆動電極５゜６を設ける。
同様に一体化用圧電板３０へ、コンデンサ１９の誘電体
に相当する部分の圧電板の厚さ３３を、コンデンサの容
量が数１０ＰＦで硼酸リチウムの誘電率が９程度の為、
１平方ｎの面積を酸性エツチング液にて数ミクロンの薄
片加工後、極板１５．１６を金属蒸着膜により設ける。
に相当する部分の圧電板の厚さ３３を、コンデンサの容
量が数１０ＰＦで硼酸リチウムの誘電率が９程度の為、
１平方ｎの面積を酸性エツチング液にて数ミクロンの薄
片加工後、極板１５．１６を金属蒸着膜により設ける。
しかる後、共振子１７．１８及びコンデンサ１９を、ラ
ダー型となるよう金属蒸着膜による配線１１〜１４で接
続すれば、３素子を一体化用圧電板３０で形成・一体化
してなる、小型、軽量にして品質の向上した弾性波フィ
ルタが得られる。
ダー型となるよう金属蒸着膜による配線１１〜１４で接
続すれば、３素子を一体化用圧電板３０で形成・一体化
してなる、小型、軽量にして品質の向上した弾性波フィ
ルタが得られる。
以上詳細に説明した通り、本発明によれば、共振子の圧
電板とコンデンサの誘電体に相当する圧電板で形成・一
体化したので、弾性波フィルタの小型、軽量化と、品質
向上の効果がある。
電板とコンデンサの誘電体に相当する圧電板で形成・一
体化したので、弾性波フィルタの小型、軽量化と、品質
向上の効果がある。
第１図は本発明の実施例の
弾性波フィルタの正面図、
第２図は本発明の実施例の
弾性波フィルタの断面図、
第３図は従来例の
弾性波フィルタの正面図、
第４図は従来例の
弾性波フィルタの断面図である。
図において、
１はフィルタ、
２はプリント基板又はセラミック基板、３．４は圧電板
、 ５．６は駆動電極、７、 ８．１７．１８は共振子
、 ９．１９はコンデンサ、 １０は誘電体、 １１〜１４は配線、 １５、１６は極板、 ２１は圧電板３の厚さ、 ２２は圧電板４の厚さ、 ３０は一体化用圧電板、 ３１は共振子１７の圧電板の厚さ、 ３２は共振子１８の圧電板の厚さ、 ３３はコンデンサＩ９の誘電体に相当する圧電板の厚さ
、 ３４は一体化用圧電板３ｏの 未エツチング部分の厚さを示す。
、 ５．６は駆動電極、７、 ８．１７．１８は共振子
、 ９．１９はコンデンサ、 １０は誘電体、 １１〜１４は配線、 １５、１６は極板、 ２１は圧電板３の厚さ、 ２２は圧電板４の厚さ、 ３０は一体化用圧電板、 ３１は共振子１７の圧電板の厚さ、 ３２は共振子１８の圧電板の厚さ、 ３３はコンデンサＩ９の誘電体に相当する圧電板の厚さ
、 ３４は一体化用圧電板３ｏの 未エツチング部分の厚さを示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 共振子（１７）（１８）の圧電板部分と、 コンデンサ（１９）の誘電体部分とを、 同一圧電板（３０）に形成して、なる事を特徴とする、
弾性波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20487485A JPS6265510A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 弾性波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20487485A JPS6265510A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 弾性波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265510A true JPS6265510A (ja) | 1987-03-24 |
Family
ID=16497826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20487485A Pending JPS6265510A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | 弾性波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6265510A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006074273A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動板及びこれを使用した圧電振動子の製造方法 |
| JP2009207022A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
-
1985
- 1985-09-17 JP JP20487485A patent/JPS6265510A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006074273A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動板及びこれを使用した圧電振動子の製造方法 |
| JP2009207022A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス及び音叉型圧電振動子の周波数調整方法 |
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