JPS6257141U - - Google Patents

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JPS6257141U
JPS6257141U JP15014985U JP15014985U JPS6257141U JP S6257141 U JPS6257141 U JP S6257141U JP 15014985 U JP15014985 U JP 15014985U JP 15014985 U JP15014985 U JP 15014985U JP S6257141 U JPS6257141 U JP S6257141U
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JP
Japan
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chamber
test
test object
pressure value
evacuated
Prior art date
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JP15014985U
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  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示す排気系統図
、第2図は粗引に要する時間と粗引後のチヤンバ
内圧力値との関係を示す説明図である。 10……チヤンバ、17……分析管、24……
タイマー。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 予めテストガスが封入された小型の被試験体を
    小容量のチヤンバ内に収納し、当該チヤンバを真
    空排気し、この真空排気したものに前記被試験体
    のテストガスが存在するか否かを分析管でもつて
    検出することにより、当該被試験体の良否を検知
    するリークデテクタにおいて、 前記チヤンバ内に収納した被試験体の数量のば
    らつきの上限に対する負の圧力値と、下限に対す
    る負の圧力値との間の範囲を設定圧力とし、その
    圧力値までチヤンバ内を真空にさせるに要する時
    間を管理するタイマーを備えたことを特徴とする
    リークデテクタ。
JP15014985U 1985-09-30 1985-09-30 Pending JPS6257141U (ja)

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JP15014985U JPS6257141U (ja) 1985-09-30 1985-09-30

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JP15014985U JPS6257141U (ja) 1985-09-30 1985-09-30

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JPS6257141U true JPS6257141U (ja) 1987-04-09

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ID=31066025

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JP15014985U Pending JPS6257141U (ja) 1985-09-30 1985-09-30

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