JPS6255342U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6255342U JPS6255342U JP14881085U JP14881085U JPS6255342U JP S6255342 U JPS6255342 U JP S6255342U JP 14881085 U JP14881085 U JP 14881085U JP 14881085 U JP14881085 U JP 14881085U JP S6255342 U JPS6255342 U JP S6255342U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge port
- lower nozzle
- nozzle
- guide means
- model registration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 2
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図はその拡大図、第３図は従来装置の断面図で
ある。図中、１は上部ノズル、２，４は吐出口、
３は下部ノズル、９はウエハ、１１は弾性リング
、１２は取付プレート、１３，１４はビニールパ
イプ、１５はガイド手段である。なお、各図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
２図はその拡大図、第３図は従来装置の断面図で
ある。図中、１は上部ノズル、２，４は吐出口、
３は下部ノズル、９はウエハ、１１は弾性リング
、１２は取付プレート、１３，１４はビニールパ
イプ、１５はガイド手段である。なお、各図中同
一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 垂直配置され、下方にエアーを吐出す第１
の吐出口を有する上部ノズル、この上部ノズルと
同軸上で垂直配置され、上記第１の吐出口と離間
して対向する第２の吐出口を有する下部ノズル、
及びこの下部ノズルの上端に支持され、上部が上
記下部ノズルの上端よりも上位に位置し、ウエハ
を上記第１の吐出口と上記第２の吐出口間に案内
し得るガイド手段を備えたエアブロア装置。 (2) 上記ガイド手段は垂直配置された弾性リン
グと、上記下部ノズル外周に嵌入されるプレート
と、上記下部ノズルに嵌合され上記プレートを上
下方向から挾持するビニールパイプからなること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
のエアブロア装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14881085U JPS6255342U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14881085U JPS6255342U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255342U true JPS6255342U (ja) | 1987-04-06 |
Family
ID=31063427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14881085U Pending JPS6255342U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6255342U (ja) |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP14881085U patent/JPS6255342U/ja active Pending
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