JPS6251555A - Thin film defoliating device - Google Patents

Thin film defoliating device

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JPS6251555A
JPS6251555A JP19173585A JP19173585A JPS6251555A JP S6251555 A JPS6251555 A JP S6251555A JP 19173585 A JP19173585 A JP 19173585A JP 19173585 A JP19173585 A JP 19173585A JP S6251555 A JPS6251555 A JP S6251555A
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JP
Japan
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thin film
fluid
belt conveyor
protection film
film
Prior art date
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Application number
JP19173585A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumio Hamamura
濱村 文雄
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Somar Corp
Original Assignee
Somar Corp
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Publication of JPS6251555A publication Critical patent/JPS6251555A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C63/00Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/0004Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C63/0013Removing old coatings

Abstract

PURPOSE:To reduce man-hours in processing by putting a rotary brush in contact with the protection film surface on a printed circuit board transported on rollers to cause rise of a part, blowing a fluid between it and a photosensitive resin for the purpose of defoliation, and by exhausting with a belt conveyor. CONSTITUTION:Each printed circuit board fed by transport rollers 2 and control rollers 3 in the direction shown by arrow comes in contact with a rotary brush 4 provided at its periphery with a hard needle made of resin, steel, etc., and part of its protection film will rise. Fluid such as air, water, etc. is injected from a fluid blasting device 5 between the protection film and photosensitive resin layer, and the protection film is defoliated while the circuit board is transported by the control rollers 3. Along the surface of a guide member 6B the defoliated protection film is sent off by a movable belt conveyor 6C which can be approached to the guide member 6B by a fixed belt conveyor 6A and an air cylinder 6Cc, and exhausted by a pair of belts 6Db of the exhaust mechanism 6D.

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の目的 [産業上の利用分野] 、  本発明は、薄膜の剥離装置に関するものであり、
特に、基板の表面を保護するために張り付けられた保護
膜の剥離装置に適用して有効な技術に関するものである
Detailed Description of the Invention (1) Purpose of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a thin film peeling device,
In particular, the present invention relates to a technique that is effective when applied to a device for removing a protective film applied to protect the surface of a substrate.

[従来の技術] コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
[Prior Art] Printed wiring boards used in electronic devices such as computers have a predetermined pattern of wiring made of copper or the like formed on one or both sides of an insulating substrate.

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板上に設けられた導電
層上に、感光性樹脂(フォトレジスト)層とそれを保護
する透光性樹脂フィルム(保護膜)とからなる積層体を
熱圧着ラミネートする。
This type of printed wiring board can be manufactured by the following manufacturing process. First, a laminate consisting of a photosensitive resin (photoresist) layer and a transparent resin film (protective film) for protecting it is laminated by thermocompression on a conductive layer provided on an insulating substrate.

この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パター
ンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通して、感光
性樹脂層に所定時間露光する。そして、透光性樹脂フィ
ルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像して
エツチングマスクパターンを形成する。この後、前記導
電層の不必要部分をエツチングにより除去し、さらに残
存する感光性樹脂層を剥離し、所定の配線パターンを有
するプリント配線板を形成する。
Thereafter, a wiring pattern film is placed on top of the other, and the photosensitive resin layer is exposed to light for a predetermined period of time through this wiring pattern film and the translucent resin film. After peeling off the transparent resin film, the exposed photosensitive resin layer is developed to form an etching mask pattern. Thereafter, unnecessary portions of the conductive layer are removed by etching, and the remaining photosensitive resin layer is peeled off to form a printed wiring board having a predetermined wiring pattern.

[発明が解決しようとする問題点コ 前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光後現像するに際して、透光性樹脂フィルムを
剥離する工程が必要とされている。
[Problems to be Solved by the Invention] In the manufacturing process of the above-mentioned printed wiring board, a step of peeling off the light-transmitting resin film is required when developing the photosensitive resin layer after exposure.

この透光性樹脂フィルムの剥離は1人手作業に頼ってお
り、該フィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による損
傷、破壊が生じないようにするため。
Peeling of this light-transmitting resin film relies on manual labor by one person, and since the film is thin, this is to prevent damage or destruction due to uneven peeling stress.

指先の器用さ及び非常な熟練を要する。Requires manual dexterity and great skill.

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大するの
で、プリント配線板の製造工程における作業時間が長く
なるという問題点があった。
For this reason, the peeling time of the light-transmitting resin film increases, resulting in a problem that the working time in the printed wiring board manufacturing process becomes longer.

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他の
問題点と新規な特徴は1本明細書の記述及び添付図面に
よって明らかになるであろう。
The above-mentioned and other problems and novel features to be solved by the present invention will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

(2)発明の構成 [問題点を解決するための手段] 本願において開示される発明のうち1代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
(2) Structure of the Invention [Means for Solving Problems] A brief overview of one typical invention disclosed in this application is as follows.

すなわち1本発明は、基板に張り付けられている薄膜を
剥離する剥離袋、!であって、前記基板に張り付けられ
ている薄膜の一部を引き起す薄膜引起手段と、前記引き
起された薄膜と基板との間部に、流体を吹き付ける流体
吹付手段とを備えたことを特徴とするものである。
That is, one aspect of the present invention is a peeling bag for peeling off a thin film attached to a substrate! The method is characterized by comprising a thin film raising means for raising a part of the thin film attached to the substrate, and a fluid spraying means for spraying a fluid between the raised thin film and the substrate. That is.

[作用〕 本発明は、前記構成にしたことにより、一部が引き起さ
れた薄膜を、流体の吹き付けで簡単、確実にしかも瞬時
に基板から剥離することができるので、薄膜を剥離する
作業時間を著しく短縮することができる。
[Function] With the above structure, the thin film of the present invention, which is partially raised, can be easily, reliably, and instantaneously peeled off from the substrate by spraying fluid, so that the working time for peeling off the thin film can be reduced. can be significantly shortened.

[実施例] 以下、プリント配線基板の保護膜の剥離装置に適用した
本発明の一実施例について説明する。
[Example] Hereinafter, an example of the present invention applied to a peeling device for a protective film of a printed wiring board will be described.

なお、実施例の全回において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。
It should be noted that in all the examples, parts having the same functions are given the same reference numerals, and repeated explanations thereof will be omitted.

本発明の一実施例である保護膜の剥離装置の概略断面図
を第1図で示す。
FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of a protective film peeling apparatus that is an embodiment of the present invention.

保護膜の剥離装置は、第1図に示すように、薄膜引起装
置Iと薄膜剥離装置■で構成されている。
As shown in FIG. 1, the protective film peeling device is composed of a thin film lifting device I and a thin film peeling device (2).

薄膜引起装置Iは、第1図及び第2図で示すように、主
として、プリント配線基板lを搬送する搬送ローラ2.
搬送制御ローラ3及び薄膜引起部材4で構成されている
As shown in FIGS. 1 and 2, the thin film lifting device I mainly includes a transport roller 2. which transports a printed wiring board l.
It is composed of a conveyance control roller 3 and a thin film raising member 4.

前記プリント配線基板1は、絶縁性基板IAの ′両面
(又は片面)に銅等の導電層IBが形成されたものであ
る。このプリント配線基板lの導電層lB上には、感光
性樹脂yf!IICと透光性(保護)樹脂フィルムID
とからなる積層体が熱圧着ラミネー前記搬送ローラ2及
び搬送制御ローラ3は、第1図にA−A線で示される搬
送経路において、プリント配線基板lを矢印方向に搬送
するように構成されている。
The printed wiring board 1 has a conductive layer IB made of copper or the like formed on both sides (or one side) of an insulating board IA. On the conductive layer 1B of this printed wiring board 1, there is a photosensitive resin yf! IIC and translucent (protective) resin film ID
The conveyance roller 2 and the conveyance control roller 3 are configured to convey the printed wiring board l in the direction of the arrow in the conveyance path shown by line A-A in FIG. There is.

前記薄膜引起部材4は、プリント配線基板1の先端が当
接すると、第3図に示すように、透光性樹脂フィルムI
Dの一部を引き起するように構成されている。この薄膜
引起部材4は、回転体の外周部に樹脂、鋼等の複数の硬
質針で構成さ九るブラシが設けられたものである。そし
て、このブラシのそれぞれの硬質針の長さは不揃いに構
成さJしている。これは、薄膜引起部材4とプリント配
線基板1との当接に多少のバラツキが生じても、透光性
樹脂フィルムIDの一部が確実に引き起せるようにする
ためである。また、薄膜引起部材4は。
When the tip of the printed wiring board 1 comes into contact with the thin film raising member 4, as shown in FIG.
It is configured to cause a portion of D. This thin film raising member 4 is provided with a brush made of a plurality of hard needles made of resin, steel, etc. on the outer periphery of a rotating body. The lengths of the hard needles of this brush are irregular. This is to ensure that a part of the translucent resin film ID can be pulled up even if there is some variation in the contact between the thin film lifting member 4 and the printed wiring board 1. Moreover, the thin film raising member 4 is as follows.

透光性樹脂フィルムIDの一部を引き起した後に、第2
図に矢印Bで示すように、搬送経路から離隔するように
構成してもよい。これは、薄膜引起部材4のブラシが、
透光性樹脂フィルムIDを介して感光性樹脂MICに損
・錫、破壊を与えることを防止するためである。
After raising a part of the translucent resin film ID, the second
As shown by arrow B in the figure, it may be configured to be separated from the conveyance path. This means that the brush of the thin film raising member 4
This is to prevent damage, tin, and destruction to the photosensitive resin MIC via the transparent resin film ID.

このように、回転体にブラシを設けた簡単な構成のa膜
力起部材4を設けることにより、感光性樹脂層ICに比
べて接着力の弱い透光性樹脂フィルムIDの一部を簡単
に引き起すことができる。
In this way, by providing the a-film force-generating member 4 with a simple structure in which a brush is provided on the rotary body, it is possible to easily remove a part of the translucent resin film ID, which has weaker adhesive strength than the photosensitive resin layer IC. can be triggered.

また、プリント配線基板1の搬送経路に薄膜引起部材4
を設けたことにより、透光性樹脂フィルムIDの一部を
自動的に引き起すことができる。
Further, a thin film raising member 4 is provided on the conveyance path of the printed wiring board 1.
By providing this, a part of the translucent resin film ID can be automatically raised.

また、一部が引き起された透光性樹脂フィルムIDは、
薄膜剥離装置■に搬送される間に搬送ローラ2又は搬送
制御ローラ3で押圧されるが、熱を加えて圧着していな
いので、感光性樹脂層ICに再度接続されることはない
In addition, the partially raised translucent resin film ID is
Although it is pressed by the conveyance roller 2 or the conveyance control roller 3 while being conveyed to the thin film peeling device (2), it is not connected to the photosensitive resin layer IC again because it is not pressed by applying heat.

前記薄膜剥離装置nは、主として、第1図及び第4図の
拡大断面図で示すように、搬送ローラ2゜搬送制御ロー
ラ3.流体吹付装置5、薄膜排出装置6で構成されてい
る。
As shown in the enlarged cross-sectional views of FIGS. 1 and 4, the thin film peeling device n mainly includes a conveyance roller 2°, a conveyance control roller 3. It is composed of a fluid spray device 5 and a thin film discharge device 6.

前記流体吹付装置5は、ノズル5Aから圧力を加えた流
体、例えば、空気、不活性ガス等の気体、水等の液体が
吹出すように構成されている。この流体吹付装置5は、
搬送制御ローラ3で所定の位置に搬送されたプリント配
線基板1の引き起された透光性樹脂フィルムIDと感光
性樹脂層IC(基板)との間部に流体を直接吹き付ける
ように構成されている。
The fluid spraying device 5 is configured so that a pressurized fluid, for example, air, a gas such as an inert gas, or a liquid such as water, is sprayed from a nozzle 5A. This fluid spraying device 5 is
It is configured to directly spray the fluid between the raised transparent resin film ID and the photosensitive resin layer IC (board) of the printed wiring board 1 that has been transported to a predetermined position by the transport control roller 3. There is.

このように、一部が引き起された透光性樹脂フィルムI
Dと感光性樹脂層ICとの間部に流体吹付装置5で流体
を吹き付けることにより、感光性樹脂層ICと透光性樹
脂フィルムIDとの間に流体が吹き込まれるので、透光
性樹脂フィルムIDを簡単にしかも瞬時に剥離すること
ができる。
In this way, the partially raised translucent resin film I
By spraying fluid between D and the photosensitive resin layer IC using the fluid spraying device 5, the fluid is blown between the photosensitive resin layer IC and the translucent resin film ID, so that the translucent resin film The ID can be easily and instantly peeled off.

前記薄膜排出装置6は、固定ベルトコンベア6A、ガイ
ド部材6B、可動ベルトコンベア6C及び薄膜排出ベル
ト機構6Dで構成されている。
The thin film discharge device 6 includes a fixed belt conveyor 6A, a guide member 6B, a movable belt conveyor 6C, and a thin film discharge belt mechanism 6D.

固定ベルトコンベア6Aは、第1図、第4図及び第5図
の要部斜視図で示すように、一対のローラ6Aa、6A
a’を複数設け、各一対のローラ6Aa、6Aa’に巻
回されたベルト6Abで構成されている。この固定ベル
トコンベア6Aは、流体吹付装置I!5で剥離された透
光性樹脂フィルムlDを排出するように構成されている
The fixed belt conveyor 6A includes a pair of rollers 6Aa, 6A, as shown in the main part perspective views of FIGS. 1, 4, and 5.
A' is provided with a plurality of belts 6Ab, each of which is wound around a pair of rollers 6Aa and 6Aa'. This fixed belt conveyor 6A is a fluid spraying device I! The transparent resin film ID peeled off in step 5 is discharged.

ガイド部材6Bは、固定ベルトコンベア6A側の薄膜剥
離装置■の筐体に設けられており、そのガイド面は、ベ
ルト6Abと同一面となるように構成されている。この
ガイド部材6Bは、流体吹付装置i!5で剥離された透
光性樹脂フィルムIDを、流体吹付装置5からの間接的
な流体圧又は剥離したときに生じる静電気で付着させる
ように構成されている。
The guide member 6B is provided in the casing of the thin film peeling device (2) on the side of the fixed belt conveyor 6A, and its guide surface is configured to be flush with the belt 6Ab. This guide member 6B is connected to the fluid spraying device i! The transparent resin film ID peeled off in step 5 is attached using indirect fluid pressure from the fluid spraying device 5 or static electricity generated when the film is peeled off.

ガイド部材6Bは、剥離された透光性樹脂フィルムID
を充分に付着保持できるように、プリント配線基板1に
対して略垂直な角度θ1又はそれ以上の角度で構成する
ことが望ましい。また、ガイド部材6Bを角度θ1又は
それ以上の角度で構成することにより、透光性樹脂フィ
ルムの剥離時において、透光性樹脂フィルムID及び感
光性樹脂層ICに与える力を小さくすることができるの
で、透光性樹脂フィルムID及び感光性樹脂層ICの損
傷、破壊を防止することができる。
The guide member 6B is a peeled transparent resin film ID
It is desirable that the angle θ1 or more is substantially perpendicular to the printed wiring board 1 so that the film can be sufficiently attached and retained. Furthermore, by configuring the guide member 6B at an angle of θ1 or more, it is possible to reduce the force applied to the transparent resin film ID and the photosensitive resin layer IC when the transparent resin film is peeled off. Therefore, damage and destruction of the transparent resin film ID and the photosensitive resin layer IC can be prevented.

可動ベルトコンベア6Cは、第1図及び第4図で示すよ
うに、一対のローラ6Ca、6Ca’を複数設け、各一
対のローラ6Ca、6Ca’に巻回されたベルト6Cb
で構成されている。この可動ベルトコンベア6Cは、一
方のローラ6 Ca’f&中心にエアーシリンダ6Cc
で可動し、固定ベルトコンベア6Aのベルト6Ab又は
ガイド部材6Bに近接又は接触するように構成されてい
る。可動ベルトコンベア6Cは、流体吹付袋r115で
剥離された透光性樹脂フィルムIDをガイド部材6Bに
確実に保持するとともに、それを排出するように構成さ
れている。
As shown in FIGS. 1 and 4, the movable belt conveyor 6C includes a plurality of pairs of rollers 6Ca and 6Ca', and a belt 6Cb wound around each pair of rollers 6Ca and 6Ca'.
It consists of This movable belt conveyor 6C has one roller 6Ca'f and an air cylinder 6Cc in the center.
The belt 6Ab of the fixed belt conveyor 6A or the guide member 6B is configured to be movable in the vicinity of or in contact with the belt 6Ab of the fixed belt conveyor 6A. The movable belt conveyor 6C is configured to reliably hold the transparent resin film ID peeled off by the fluid spray bag r115 on the guide member 6B and discharge it.

このように、薄膜排出装置i!6を固定ベルトコンベア
6A、ガイド部材6B及び可動ベルトコンベア6Cで構
成することにより、流体吹付袋r115で剥離された透
光性樹脂フィルムIDをガイド部材6Bに付着させ、固
定ベルトコンベア6Aと可動ベルトコンベア6Cとで確
実に保持しながら、第4図に矢印outで示す、排出方
向に自動的に排出することができる。
In this way, the thin film ejection device i! 6 is configured with a fixed belt conveyor 6A, a guide member 6B, and a movable belt conveyor 6C, so that the transparent resin film ID peeled off with the fluid spray bag R115 is attached to the guide member 6B, and the fixed belt conveyor 6A and the movable belt While being held securely by the conveyor 6C, it can be automatically discharged in the discharge direction shown by the arrow out in FIG.

排出ベルト機構6Dは、第1図に示すように、複数のロ
ーラ6Daと一対のベルト6Dbで構成されている。こ
の排出ベルト機@6Dは、プリント配線基板1の上面側
の透光性樹脂フィルムIDを排出するように構成されて
いる。
As shown in FIG. 1, the discharge belt mechanism 6D includes a plurality of rollers 6Da and a pair of belts 6Db. This discharge belt machine @6D is configured to discharge the transparent resin film ID on the upper surface side of the printed wiring board 1.

なお、前記可動ベルトコンベア6Cは、エアーシリンダ
6Ccに代えて、電磁ソレノイドや油圧シリンダで可動
するように構成してもよい。
Note that the movable belt conveyor 6C may be configured to be moved by an electromagnetic solenoid or a hydraulic cylinder instead of the air cylinder 6Cc.

このように、プリント配線基板1の搬送経路に、薄膜引
起装置■及び薄膜剥離装置■を設けたことにより、プリ
ント配線基板lの透光性樹脂フィルムIDの一部を引き
起し、この後に流体吹付装置5で透光性樹脂フィルムI
Dを簡単にしかも瞬時に剥離し、そして、剥離された透
光性樹脂フィルムIDを確実に排出することが自動的に
行えるので1作業時間を大幅に短縮することができる。
In this way, by providing the thin film lifting device (1) and the thin film peeling device (2) on the conveyance path of the printed wiring board 1, a part of the transparent resin film ID of the printed wiring board 1 is raised, and then the fluid Spraying device 5 sprays transparent resin film I.
D can be easily and instantaneously peeled off, and the peeled transparent resin film ID can be reliably discharged automatically, so that one working time can be significantly shortened.

前記薄膜剥離装置nで透光性樹脂フィルムlDが剥離さ
れると、プリント配線基板1は、搬送制御ローラ3及び
搬送ローラ2で感光性樹脂層tCを現像する現像装置に
搬送される。
After the light-transmitting resin film 1D is peeled off by the thin film peeling device n, the printed wiring board 1 is transported to a developing device that develops the photosensitive resin layer tC using a transport control roller 3 and a transport roller 2.

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく
、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得る
ことは勿論である。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the spirit of the invention.

例えば、本発明は、前記ブラシの構成材として、鋼、樹
脂以外に透光性樹脂フィルムIDを引き起す程度の硬度
を有するものであればどのようなものであってもよい。
For example, in the present invention, the brush may be made of any material other than steel and resin as long as it has a hardness sufficient to cause the translucent resin film ID.

また、ブラシの形状は、針状のものに代えて、板状のも
のであってもよい。
Moreover, the shape of the brush may be plate-like instead of needle-like.

また、前記実施例は、ブラシで構成される薄膜引起部材
4で透光性樹脂フィルムIDの一部を引き起したが、本
発明は、粘着テープで構成される薄膜引起部材で透光性
樹脂フィルムIDの一部を引き起してもよい。
In addition, in the above embodiment, a part of the translucent resin film ID was raised using the thin film elevating member 4 made of a brush, but in the present invention, a part of the translucent resin film ID is raised using a thin film elevating member made of an adhesive tape. Part of the film ID may be triggered.

また、前記実施例は、プリント配線基板の薄膜の剥離装
置に本発明を適用した例について説明したが1本発明は
、例えば、建築材に使用される化粧板を覆う保護膜の剥
離装置に適用してもよい。
Further, in the above embodiment, an example was described in which the present invention is applied to a peeling device for a thin film of a printed wiring board, but the present invention can be applied to a peeling device for a protective film covering a decorative board used as a construction material, for example. You may.

(3)効果 以上説明したように、本発明によれば、基板に張り付け
られている薄膜を剥離する剥m装はであって、前記基板
に張り付けられている薄膜の一部を引き起す薄膜引起手
段と、前記引き起された薄膜と基板との間部に、流体を
吹き付ける流体吹付手段とを備えたことにより、前記基
板に張り付けられた薄膜の一部を引き起し、この部分に
流体を吹き付けて、簡単にしかも瞬時に基板から薄膜を
剥離することができるので、薄膜を剥離する作業時間を
著しく短縮することができる。
(3) Effects As explained above, according to the present invention, the peeling device for peeling off the thin film attached to the substrate is a thin film peeling device for peeling off a thin film attached to the substrate. and a fluid spraying means for spraying a fluid between the raised thin film and the substrate, the part of the thin film stuck to the substrate is raised and the fluid is applied to this part. Since the thin film can be easily and instantaneously peeled off from the substrate by spraying, the working time for peeling off the thin film can be significantly shortened.

また、前記の手段に加えて前記流体吹付手段で剥離され
た薄膜を排出する薄膜排出手段を設けたことにより、流
体吹付手段で剥離された薄膜を確実に保持しながら、所
定方向に自動的に排出することができる。
In addition to the above means, by providing a thin film discharge means for discharging the thin film peeled off by the fluid spray means, the thin film peeled off by the fluid spray means can be automatically moved in a predetermined direction while reliably holding the thin film peeled off. Can be discharged.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は1本発明の一実施例である保護膜の剥離装置の
概略断面図、 第2図は、第1図の薄膜引起装置の拡大断面図、第3図
は、第2図のプリント配線基板の拡大断面図。 第4図は、第1図の薄膜剥離装置の拡大断面図、第5図
は、第4図の固定ベルトコンベア及びガイド部材の要部
斜視図である。 図中、■・・・薄膜引起装置、■・・・薄膜剥離装置。 1・・・プリント配線基板、IA・・・絶縁性基板、I
B・・・導電層、IC・・・感光性樹脂層、ID・・・
透光性樹脂フィルム(保護)、2・・・搬送ローラ、3
・・・搬送制御ローラ、4・・・薄膜引起部材、5・・
・流体吹付装置、6・・・薄膜排出袋[,6A・・・固
定ベルトコンベア、6B・・・ガイド部材、6C・・・
可動ベルトコンベア、6D・・・排出ベルト機構である
Fig. 1 is a schematic sectional view of a protective film peeling device according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an enlarged sectional view of the thin film lifting device of Fig. 1, and Fig. 3 is a printed image of Fig. 2. An enlarged sectional view of a wiring board. 4 is an enlarged cross-sectional view of the thin film peeling device shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a perspective view of essential parts of the fixed belt conveyor and guide member shown in FIG. 4. In the figure, ■... Thin film lifting device, ■... Thin film peeling device. 1...Printed wiring board, IA...Insulating board, I
B... Conductive layer, IC... Photosensitive resin layer, ID...
Transparent resin film (protection), 2...conveyance roller, 3
...Conveyance control roller, 4...Thin film raising member, 5...
・Fluid spray device, 6... Thin film discharge bag [, 6A... Fixed belt conveyor, 6B... Guide member, 6C...
Movable belt conveyor, 6D... discharge belt mechanism.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の一部
を引き起す薄膜引起手段と、該引き起された薄膜と基板
との間部に、流体を吹き付ける流体吹付手段とを備えた
ことを特徴とする薄膜の剥離装置。
(1) A peeling device for peeling off a thin film stuck to a substrate, comprising a thin film pulling means for pulling up a part of the thin film stuck to the substrate, and a space between the pulled thin film and the substrate. and a fluid spraying means for spraying fluid.
(2)前記薄膜引起手段は、ブラシで薄膜を引き起す手
段であることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の薄膜の剥離装置。
(2) The thin film peeling device according to claim 1, wherein the thin film pulling means is a means for pulling up the thin film with a brush.
(3)基板に張り付けられている薄膜を剥離する剥離装
置であって、前記基板に張り付けられている薄膜の一部
を引き起す薄膜引起手段と、前記引き起された薄膜と基
板との間部に、流体を吹き付ける流体吹付手段と、該流
体吹付手段で剥離された薄膜を排出する薄膜排出手段と
を設けたことを特徴とする薄膜の剥離装置。
(3) A peeling device for peeling off a thin film stuck to a substrate, comprising a thin film pulling means for pulling up a part of the thin film stuck to the substrate, and a space between the pulled up thin film and the substrate. A thin film peeling device characterized in that a fluid spraying means for spraying a fluid and a thin film discharge means for discharging the thin film peeled off by the fluid spraying means are provided.
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