JPS624516A - 放電加工装置 - Google Patents
放電加工装置Info
- Publication number
- JPS624516A JPS624516A JP14202285A JP14202285A JPS624516A JP S624516 A JPS624516 A JP S624516A JP 14202285 A JP14202285 A JP 14202285A JP 14202285 A JP14202285 A JP 14202285A JP S624516 A JPS624516 A JP S624516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machining
- guide
- electrode
- wire
- guide surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電極と被加工体を対向した加工間隙にパルス放
電を発生して加工する放電加工装置に関する。
電を発生して加工する放電加工装置に関する。
放電加工用の電極には加工面を所望の加工形状に成形し
た電極を用い、これを被加工体に対向して両者間に放電
を発生することにより電極加工面形状を被加工体に転写
加工することができる。この転写加工形状は電極加工面
が忠実に転写され極めて高精度に加工することができる
が、−万雷極側も放電によって加工消耗するため次第に
加工面形状が崩れ、そのまま加工を継続すると、被加工
体に転写される加工形状が崩れ、高精度の加工ができな
くなる。このため従来は、図形電極を複数個用意し、交
換して加工するようにしていたが、不経済であると共に
電極交換の位置出し操作等に時間を要し、加工能率が低
下する欠点があった。
た電極を用い、これを被加工体に対向して両者間に放電
を発生することにより電極加工面形状を被加工体に転写
加工することができる。この転写加工形状は電極加工面
が忠実に転写され極めて高精度に加工することができる
が、−万雷極側も放電によって加工消耗するため次第に
加工面形状が崩れ、そのまま加工を継続すると、被加工
体に転写される加工形状が崩れ、高精度の加工ができな
くなる。このため従来は、図形電極を複数個用意し、交
換して加工するようにしていたが、不経済であると共に
電極交換の位置出し操作等に時間を要し、加工能率が低
下する欠点があった。
又、この欠点を改善するために、本発明者は、ガイドに
ワイヤとか帯状の電極を所要形状にガイドさせ、所定速
度で移動走行させながら、実質上消耗零の電極で放電加
工することを提案した。
ワイヤとか帯状の電極を所要形状にガイドさせ、所定速
度で移動走行させながら、実質上消耗零の電極で放電加
工することを提案した。
しかしながら、この場合、電極となる部分は細いワイヤ
であるから加工面積は微小であり、大電流を流すことが
できず、加工速度を増加できなかった。又、一般に面積
効果が作用して小面積で放電加工することにより安定加
工ができない欠点があった。
であるから加工面積は微小であり、大電流を流すことが
できず、加工速度を増加できなかった。又、一般に面積
効果が作用して小面積で放電加工することにより安定加
工ができない欠点があった。
本発明はこのような点を改善するために提案されたもの
で、所望する電極の加工面を形成するためのガイドを設
け゛、このガイドのガイド面に沿って複数本のワイヤ（
帯状を含・む）電極を並列して走行移動させるワイヤ送
出回収装置を設け、前記ガイドのガイド面を並列走行移
動するワイヤ電極が形成する包絡面を加工面とする電極
と被加工体間の加工間隙にパルスを供給する加工用電源
と、前記両者に相対加工送りを与える加工送り装置とを
設けたものである。
で、所望する電極の加工面を形成するためのガイドを設
け゛、このガイドのガイド面に沿って複数本のワイヤ（
帯状を含・む）電極を並列して走行移動させるワイヤ送
出回収装置を設け、前記ガイドのガイド面を並列走行移
動するワイヤ電極が形成する包絡面を加工面とする電極
と被加工体間の加工間隙にパルスを供給する加工用電源
と、前記両者に相対加工送りを与える加工送り装置とを
設けたものである。
（実施例）
以下図面の一実施例により本発明を説明する。
１は電極の加工面を形成するためのガイドで、所要形状
のガイド面を形成し、そのガイド面に沿ってワイヤ電極
２をガイドし走行移動させる。３がワイヤを供給するリ
ール、４が引取るリール、５が供給リール３側に設けた
ブレーキ、６が引取り−ル４側の引取ローラで、両者に
よりガイド１を移動するワイヤ２が所定のテンションと
速度をもって移動する。７はガイド１、ワイヤ２、リー
ル３．４等により構成される電極を支持し上下Ｚ軸に加
工送りを与えるスピンドル、８は被加工体、９は加工テ
ーブル、１０，１１．１２は加工送りを与える駆動モー
タ、１３がＮＧ制御装置、１４が加工用電源である。
のガイド面を形成し、そのガイド面に沿ってワイヤ電極
２をガイドし走行移動させる。３がワイヤを供給するリ
ール、４が引取るリール、５が供給リール３側に設けた
ブレーキ、６が引取り−ル４側の引取ローラで、両者に
よりガイド１を移動するワイヤ２が所定のテンションと
速度をもって移動する。７はガイド１、ワイヤ２、リー
ル３．４等により構成される電極を支持し上下Ｚ軸に加
工送りを与えるスピンドル、８は被加工体、９は加工テ
ーブル、１０，１１．１２は加工送りを与える駆動モー
タ、１３がＮＧ制御装置、１４が加工用電源である。
第２図はガイド１及びそのガイド面を移動するワイヤ電
極２の一部拡大側断面図で、ガイドＪのガイド面１ａに
複数のワイヤ電極２を並列してガイドし、この並べられ
たワイヤ２の包絡面が所望する電極加工面を形成し、被
加工体と対向して加工する。尚、１５はガイド１の両端
をワイヤ２が脱落しないように保持する側板である。又
、図のようにガイド１にはガイド面に開口してワイヤ相
互間から加工液を供給する加工液噴流孔が設けられ、ガ
イド自体の冷却、これに接するワイヤの冷却に効果があ
り、断線を防止する。第３図は直径の太いワイヤ２１を
用い、ガイドするワイヤ電極数を少なくした例で、この
場合、ガイド１のガイド面１ｂに各ワイヤ２１が嵌合す
る溝を形成しである。
極２の一部拡大側断面図で、ガイドＪのガイド面１ａに
複数のワイヤ電極２を並列してガイドし、この並べられ
たワイヤ２の包絡面が所望する電極加工面を形成し、被
加工体と対向して加工する。尚、１５はガイド１の両端
をワイヤ２が脱落しないように保持する側板である。又
、図のようにガイド１にはガイド面に開口してワイヤ相
互間から加工液を供給する加工液噴流孔が設けられ、ガ
イド自体の冷却、これに接するワイヤの冷却に効果があ
り、断線を防止する。第３図は直径の太いワイヤ２１を
用い、ガイドするワイヤ電極数を少なくした例で、この
場合、ガイド１のガイド面１ｂに各ワイヤ２１が嵌合す
る溝を形成しである。
以上の第２図及び第３図のようにガイド面に並列して移
動する各ワイヤ２，２１は第１図のリール３の軸方向に
分巻されたチーズから供給され、ガイ゛ド１を移動して
他のり−ル４に巻取られる。所望加工形状によってガイ
ド面形状を異ならせ、所望加工面形状に対応して並列移
動する各ワイヤの線径を異ならしめてもよい。しかして
ガイド１のガイド面を並列走行移動する各ワイヤ電極２
の包絡面を加工面とした電極を被加工体８に対向せしめ
、モータ１２を駆動して対向Ｚ軸の送りを与え、微小間
隙を維持し、加工用電源１４からパルスを加え放電を繰
返して加工する。加工はＮＧ制御装置１３によって加工
間隙の電圧、電流等を信号として加工送り制御され、Ｚ
軸方向の送りにより加工をし、又、２方向の所定の加工
が完了して後、或いはＺ輸送りと交互に若しくは同時に
直交する平面のＸ軸、Ｙ軸方向にモータ １Ｇ、１１を
駆動して加工送りを与えて加工する等任意に加工を行な
うことができる。
動する各ワイヤ２，２１は第１図のリール３の軸方向に
分巻されたチーズから供給され、ガイ゛ド１を移動して
他のり−ル４に巻取られる。所望加工形状によってガイ
ド面形状を異ならせ、所望加工面形状に対応して並列移
動する各ワイヤの線径を異ならしめてもよい。しかして
ガイド１のガイド面を並列走行移動する各ワイヤ電極２
の包絡面を加工面とした電極を被加工体８に対向せしめ
、モータ１２を駆動して対向Ｚ軸の送りを与え、微小間
隙を維持し、加工用電源１４からパルスを加え放電を繰
返して加工する。加工はＮＧ制御装置１３によって加工
間隙の電圧、電流等を信号として加工送り制御され、Ｚ
軸方向の送りにより加工をし、又、２方向の所定の加工
が完了して後、或いはＺ輸送りと交互に若しくは同時に
直交する平面のＸ軸、Ｙ軸方向にモータ １Ｇ、１１を
駆動して加工送りを与えて加工する等任意に加工を行な
うことができる。
電極加工面はガイド１のガイド面形状によって任意に形
成され、加工面は走行移動するワイヤ電極２によって形
成されるから、走行速度の制御によって実質的に電極無
消耗の状態で＾精度の加工ができる。走行速度は加工深
さの増大に応じて速くするとよい。又、ガイドを並列走
行移動する各ワイヤ電極２にはガイド１から全体に通電
され、従って加工用電源１４から供給される加工電流は
包絡加工面を形成する各ワイヤ電極２に分流して流れ、
全面に放電が分散して発生し加工が行なわれるようにな
り、従って加工面積が広く形成されることによって加工
電流！度が下り断線がなく安定した放電加工が行なえる
ようになる。又、ガイドとの接触による冷Ｗ作用によっ
てＩＩＩ／ａの断線がなく、このようにして加工面積を
広げ加工電流を増大して高速加工を行なうことができる
。又、加工電流が等しくても加工面積が大きくなったこ
とにより、短絡・アーク等が少なく、加工安定性が増大
して加工速度を高める。
成され、加工面は走行移動するワイヤ電極２によって形
成されるから、走行速度の制御によって実質的に電極無
消耗の状態で＾精度の加工ができる。走行速度は加工深
さの増大に応じて速くするとよい。又、ガイドを並列走
行移動する各ワイヤ電極２にはガイド１から全体に通電
され、従って加工用電源１４から供給される加工電流は
包絡加工面を形成する各ワイヤ電極２に分流して流れ、
全面に放電が分散して発生し加工が行なわれるようにな
り、従って加工面積が広く形成されることによって加工
電流！度が下り断線がなく安定した放電加工が行なえる
ようになる。又、ガイドとの接触による冷Ｗ作用によっ
てＩＩＩ／ａの断線がなく、このようにして加工面積を
広げ加工電流を増大して高速加工を行なうことができる
。又、加工電流が等しくても加工面積が大きくなったこ
とにより、短絡・アーク等が少なく、加工安定性が増大
して加工速度を高める。
尚、加工面を形成する並列走行の各電極は相互に密着し
た状態にガイドすることによって加工残りを生ずること
なく加工することができるが、各ワイヤ電極相互間に小
さい間隔をもたせることもある。
た状態にガイドすることによって加工残りを生ずること
なく加工することができるが、各ワイヤ電極相互間に小
さい間隔をもたせることもある。
実験例を説明すれば、ワイヤ電極に０．３ ＩＩφの
Ｃｕ線を用い、これの１本をガイド面に２麟／１ｎの速
度で走行移動させた電極でＳＫＤ材の放電加工に於て、
加工条件がＩｐ＝７００Ａ、τｏｎ＝１．２μｓのとき
、加工速度的０，４９ ／ｓｉｎ 、面粗さ約１１μＲ
Ｉａｘであった。次にこの同一加工条件に於て、２本の
ワイヤ電極を並列にガイドさせ走行させたときは加工速
度が約０．９５ ｌｉ）／ １Ｉｌｉｎとなった。又、
３本のワイＥｌｆ極をガイドし、その１本を他と逆向き
に走行させたとき、約１．ｓｇ／ｌｎの加工速度が得ら
れた。このように面積効果による加工速度の向上は細線
電極を用いる場合顕著なことがわかる。又、１本を逆向
き走行させることによって、放電点の移動が助長される
こと、加工液の撹拌、加工屑、ガスの移動が促進される
こと等により面積効果以上に加工速度の向上があるもの
と思える。尚、勿論第２図示のように更に多数本の並列
ガイドによって加工速度の増大は更に期待できる。各ワ
イヤ電極の供給リールは各々別々に設けることによって
走行方向を正逆任意に制御することがで゛き、又、走行
移動速度を任意に各別に制御することができる。加工中
の加工液の供給はガイドの噴流孔の他に、他のノズルか
ら噴流供給することができ、又、浸漬液中で加工するこ
とができる。
Ｃｕ線を用い、これの１本をガイド面に２麟／１ｎの速
度で走行移動させた電極でＳＫＤ材の放電加工に於て、
加工条件がＩｐ＝７００Ａ、τｏｎ＝１．２μｓのとき
、加工速度的０，４９ ／ｓｉｎ 、面粗さ約１１μＲ
Ｉａｘであった。次にこの同一加工条件に於て、２本の
ワイヤ電極を並列にガイドさせ走行させたときは加工速
度が約０．９５ ｌｉ）／ １Ｉｌｉｎとなった。又、
３本のワイＥｌｆ極をガイドし、その１本を他と逆向き
に走行させたとき、約１．ｓｇ／ｌｎの加工速度が得ら
れた。このように面積効果による加工速度の向上は細線
電極を用いる場合顕著なことがわかる。又、１本を逆向
き走行させることによって、放電点の移動が助長される
こと、加工液の撹拌、加工屑、ガスの移動が促進される
こと等により面積効果以上に加工速度の向上があるもの
と思える。尚、勿論第２図示のように更に多数本の並列
ガイドによって加工速度の増大は更に期待できる。各ワ
イヤ電極の供給リールは各々別々に設けることによって
走行方向を正逆任意に制御することがで゛き、又、走行
移動速度を任意に各別に制御することができる。加工中
の加工液の供給はガイドの噴流孔の他に、他のノズルか
ら噴流供給することができ、又、浸漬液中で加工するこ
とができる。
以上のように、本発明は、電極加工面を形成するための
ガイドのガイド面に沿って複数本のワイヤ電極を並列し
て走行移動させ、そのワイヤの包格面を電極加工面とし
て放電加工するものであるから、加工面は実質的に電極
無消耗で高精度の加工ができ、ガイド面の成形によって
任意の加工面が容易に得られる。又、加工用電源からの
通電は並列複数ワイヤに分流して流れ、加工面積を増加
することによって大電流通電ができ高速加工を行なうこ
とができる。又、複数ワイヤの並列ガイド′によって加
工面積が増加し、面積効果により安定加工が行なえるよ
うになり、これによる加工速度の増大効果が得られる。
ガイドのガイド面に沿って複数本のワイヤ電極を並列し
て走行移動させ、そのワイヤの包格面を電極加工面とし
て放電加工するものであるから、加工面は実質的に電極
無消耗で高精度の加工ができ、ガイド面の成形によって
任意の加工面が容易に得られる。又、加工用電源からの
通電は並列複数ワイヤに分流して流れ、加工面積を増加
することによって大電流通電ができ高速加工を行なうこ
とができる。又、複数ワイヤの並列ガイド′によって加
工面積が増加し、面積効果により安定加工が行なえるよ
うになり、これによる加工速度の増大効果が得られる。
又、ワイヤ電極はガイド面を常時移動し、複数ワイヤの
内の少なくとも１本を逆向きに移動させること等によっ
て加工チップの排除効果を高め、アース・短絡を防止し
て安定加工することができるから、これにより加工速度
を増大させることができる。
内の少なくとも１本を逆向きに移動させること等によっ
て加工チップの排除効果を高め、アース・短絡を防止し
て安定加工することができるから、これにより加工速度
を増大させることができる。
第１図は本発明の一実施例構成図、第２図はその一部の
拡大側断面図、第３図は他の実施例の一部側断面図であ
る。 １・・・・・・・・・ガイド ２・・・・・・・・・ワイヤ電極 ３．４”・・・・・・・・・リール ５・・・・・・・・・ブレーキ ６・・・・・・・・・引取ローラ ８・・・・・・・・・被加工体 ９・・・・・・・・・テーブル １０．１１．１２・・・・・・・・・モータ１３・・・
・・・・・・ＮＧＩＩＪＩＩＩ装置１４・・・・・・・
・・加工用電源 特 許 出 願 人 株式会社井上ジャパックス研５！？、暫代表者 井 上
灘 □で４ −・：ノ 、〜）／
拡大側断面図、第３図は他の実施例の一部側断面図であ
る。 １・・・・・・・・・ガイド ２・・・・・・・・・ワイヤ電極 ３．４”・・・・・・・・・リール ５・・・・・・・・・ブレーキ ６・・・・・・・・・引取ローラ ８・・・・・・・・・被加工体 ９・・・・・・・・・テーブル １０．１１．１２・・・・・・・・・モータ１３・・・
・・・・・・ＮＧＩＩＪＩＩＩ装置１４・・・・・・・
・・加工用電源 特 許 出 願 人 株式会社井上ジャパックス研５！？、暫代表者 井 上
灘 □で４ −・：ノ 、〜）／
Claims (3)
- （１）電極の加工面を形成するためのガイドと、該ガイ
ドのガイド面に沿って複数本のワイヤ電極を並列して走
行移動させるワイヤ送出回収装置と、前記ガイドのガイ
ド面を並列走行移動するワイヤ電極が形成する包絡面を
加工面とする電極と被加工体間の加工間隙にパルスを供
給する加工用電源と、前記電極と被加工体間に加工送り
を与える加工送り装置とから成る放電加工装置。 - （２）複数本のワイヤ電極のうちの少なくとも１つを逆
向きに走行移動されるワイヤ送出回収装置を設けた特許
請求の範囲第１項に記載の放電加工装置。 - （３）複数本のワイヤ電極を各々独立に走行移動させる
ワイヤ送出回収装置を設けた特許請求の範囲第１項に記
載の放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14202285A JPS624516A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14202285A JPS624516A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624516A true JPS624516A (ja) | 1987-01-10 |
Family
ID=15305543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14202285A Pending JPS624516A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS624516A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012210664A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウエハ製造方法 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14202285A patent/JPS624516A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012210664A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウエハ製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4475996A (en) | Multi-strand wire electroerosion machining method and apparatus | |
| US4418263A (en) | Electroerosive wire-cutting method and apparatus with a shaped wire electrode | |
| JPS624516A (ja) | 放電加工装置 | |
| WO2020213040A1 (ja) | ワイヤ放電加工機 | |
| US4486642A (en) | Electroerosive contour-machining method | |
| GB2077171A (en) | Electroerosive wire-cutting method and apparatus | |
| JPS6034219A (ja) | 通電加工装置 | |
| US4320280A (en) | Traveling-wire EDM method | |
| JPH0616971B2 (ja) | 穴明放電加工装置 | |
| JPS62120960A (ja) | エフエムエス | |
| JP6558542B2 (ja) | 放電加工方法 | |
| JPH07205141A (ja) | ワイヤーソーのウェーハ切断方法及びその装置 | |
| JP6647469B1 (ja) | ワイヤ放電加工装置 | |
| JPS6111733B2 (ja) | ||
| JPS629821A (ja) | 放電加工装置 | |
| JPS6012665Y2 (ja) | ワイヤ−カット加工装置におけるワイヤ−ガイド装置 | |
| EP0180195A2 (en) | Wire electrode discharge machining apparatus | |
| JPH0730253Y2 (ja) | ワイヤカツト放電加工装置 | |
| JPH01183324A (ja) | ワイヤカット放電加工用ワイヤ電極 | |
| JPS60249533A (ja) | 放電加工用電極装置 | |
| JPS63120030A (ja) | ワイヤカツト放電加工方法 | |
| JPS6171923A (ja) | 放電加工方法及びその装置 | |
| JPS61288926A (ja) | 放電加工装置 | |
| JPS6399129A (ja) | ワイヤカット放電加工用加工液供給装置 | |
| JPS61236431A (ja) | ワイヤカツト放電加工装置 |