JPS6244997A - Magnetic field generator - Google Patents
Magnetic field generatorInfo
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- JPS6244997A JPS6244997A JP60183682A JP18368285A JPS6244997A JP S6244997 A JPS6244997 A JP S6244997A JP 60183682 A JP60183682 A JP 60183682A JP 18368285 A JP18368285 A JP 18368285A JP S6244997 A JPS6244997 A JP S6244997A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は荷電粒子の製造と輸送に適合する磁場発生装置
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magnetic field generating device suitable for the production and transport of charged particles.
（従来の技術）
プラズマを所定の空間内に閉じ込める技術として、複数
の磁極によってマルチカスプ磁場の壁を作り、この磁場
の壁によってプラズマを閉じ込める技術が知られている
。(Prior Art) As a technique for confining plasma within a predetermined space, a technique is known in which a multi-cusp magnetic field wall is created using a plurality of magnetic poles, and the plasma is confined by this magnetic field wall.
（発明が解決しようとする問題点）
上述したマルチカスプ磁場によってプラズマを閉じ込め
る技術を用いてプラズマを輸送する場合に以下の様な問
題が生じる。(Problems to be Solved by the Invention) When transporting plasma using the technique of confining plasma using the multi-cusp magnetic field described above, the following problems occur.
第３図は、従来の磁場発生装置を用いてプラズマ輸送装
置の一例を示す側断面図、第４図および第５図はそれぞ
れ第３図のｒＶ −ｒＶ断面図およびＶ−Ｖ断面図であ
る。この従来例においては、１周当り４つの磁極が交互
に内側に向っており、かつ軸方向にも磁極が交互になる
ように複数個の磁石ｌａ、ｌｂｓ ・・・１ｅ・・・
が設けられている。FIG. 3 is a side sectional view showing an example of a plasma transport device using a conventional magnetic field generator, and FIGS. 4 and 5 are rV-rV sectional views and V-V sectional views of FIG. 3, respectively. . In this conventional example, four magnetic poles per revolution alternately face inward, and a plurality of magnets la, lbs...1e...
is provided.
このように配された磁極によって形成される円筒状空間
の一方端Ａから他方端Ｂヘプラズマの輸送が行われるの
である。プラズマを磁場発生装置内に閉じ込めかつプラ
ズマが磁石に衝突してこれを加熱することを防止するた
めには、十分強い磁場を発生する必要があるが、このよ
うな磁場は中心付近のプラズマにまで影響を及ぼすこと
になる。Plasma is transported from one end A to the other end B of the cylindrical space formed by the magnetic poles arranged in this manner. In order to confine the plasma within the magnetic field generator and prevent the plasma from colliding with the magnet and heating it, it is necessary to generate a sufficiently strong magnetic field, but such a magnetic field can reach the plasma near the center. It will have an impact.
磁場は軸方向即ちプラズマを輸送しようとする方向に直
交して発生するので、この磁場の影響を受けているプラ
ズマは輸送されなくなり、磁極によって形成される円筒
断面に比して実質的なコンダクタンスはかなり、小さい
ものとなっている。Since the magnetic field is generated in the axial direction, that is, orthogonal to the direction in which the plasma is to be transported, the plasma affected by this magnetic field is no longer transported, and the actual conductance is reduced compared to the cylindrical cross section formed by the magnetic poles. It is quite small.
本発明の目的は、プラズマ等の荷電粒子をスムーズに効
率的に輸送することのできる磁場発生装置を提供するこ
とにある。An object of the present invention is to provide a magnetic field generating device that can smoothly and efficiently transport charged particles such as plasma.
（問題点を解決するための手段）
上記目的は、複数の帯状磁極が、極性を交互にしてかつ
間隔を有して内周面上に位置しており、前記内周面によ
って形成される柱体の中心軸に対して前記帯状磁極が傾
斜している磁場発生装置を用いることにより達成する。(Means for Solving the Problems) The above object is to provide a plurality of strip magnetic poles with alternating polarities and located at intervals on an inner circumferential surface, and a column formed by the inner circumferential surface. This is achieved by using a magnetic field generator in which the strip magnetic poles are inclined with respect to the central axis of the body.
（作 用）
本発明の磁場発生装置においては、荷電粒子の進行方向
に直交する磁場が発生しないので、た七え中心付近まで
強い磁場が存在しても荷電粒子は輸送される。(Function) In the magnetic field generating device of the present invention, since a magnetic field perpendicular to the traveling direction of charged particles is not generated, charged particles are transported even if a strong magnetic field exists up to the vicinity of the center.
（発明の効果）
本発明の磁場発生装置を用いるとプラズマ等の荷電粒子
を高いコンダクタンスでスムーズに輸送することができ
る。また、中心付近にまで強い磁力が及ぶ強力な磁石を
持いることができるので、荷電粒子の閉じ込めを十分に
行うことができる。(Effects of the Invention) When the magnetic field generator of the present invention is used, charged particles such as plasma can be transported smoothly with high conductance. In addition, since it can have a strong magnet that has a strong magnetic force that extends to the vicinity of the center, it is possible to sufficiently confine charged particles.
また、本発明の磁場発生装置を電子サイクロトロン共鳴
方式のプラズマ発生装置の共鳴磁場発生装置きして使用
した場合も、発生したプラズマを効率よく外部へ放出す
ることが可能となる。Further, when the magnetic field generating device of the present invention is used as a resonant magnetic field generating device of an electron cyclotron resonance type plasma generating device, it becomes possible to efficiently discharge the generated plasma to the outside.
（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図である。円
筒状永久磁石材料１０の内周面に、複数の帯状磁極２ａ
１２ｂ１ ・・・２ｆ・・・・が設けられている。各磁
極２ａ１２ｂ１ ・・・・２ｆ、・・・の間には磁化が
０である中性領域３ａ、３ｂ、 ・・・３ｆ、 ・
・・が設けられている。また、各磁極は磁性材料１０の
中心軸に対して所定の角度傾いている。このような構成
を有する磁場発生装置においては、軸方向に直交する磁
場は形成されない。従って、プラズマの漏れをなくすた
めに強力な磁石を用いることにより中心付近まで漏えい
磁場の影響があっても、荷電粒子は磁場の軸方向成分に
より輸送されるので、高いコンダクタンスで荷電粒子を
輸送することができる。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the present invention. A plurality of strip magnetic poles 2a are provided on the inner peripheral surface of the cylindrical permanent magnet material 10.
12b1...2f... are provided. Between each magnetic pole 2a12b1...2f,... are neutral regions 3a, 3b,...3f, where magnetization is 0.
... is provided. Furthermore, each magnetic pole is inclined at a predetermined angle with respect to the central axis of the magnetic material 10. In a magnetic field generator having such a configuration, a magnetic field perpendicular to the axial direction is not generated. Therefore, by using a strong magnet to eliminate plasma leakage, even if the leakage magnetic field affects the vicinity of the center, the charged particles will be transported by the axial component of the magnetic field, so the charged particles will be transported with high conductance. be able to.
第２図は本発明の磁場発生装置を適用したイオン注入装
置の部分概略図である。本発明の磁場発生装置４はイオ
ン源５を包囲するように設置されている。従って、フィ
ラメント６と電極７とによって発生されたプラズマは確
実にイオン源５内に保持されるとともに、イオン引出電
極８によって下流側へ効率よく輸送放出される。FIG. 2 is a partial schematic diagram of an ion implanter to which the magnetic field generator of the present invention is applied. The magnetic field generator 4 of the present invention is installed so as to surround the ion source 5. Therefore, the plasma generated by the filament 6 and the electrode 7 is reliably held within the ion source 5, and is efficiently transported and released downstream by the ion extraction electrode 8.
なお、本発明の磁場発生装置を半円状断面を有する２つ
の別体の永久磁石材料を組み合わせることにより構成す
るようにしてもよい。このようにすると、外部から本発
明の磁場発生装置を容易に設けることができる。Note that the magnetic field generating device of the present invention may be constructed by combining two separate permanent magnet materials each having a semicircular cross section. In this way, the magnetic field generator of the present invention can be easily installed from the outside.
第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図は本発
明を使用するイオン注入装置の概略図、
第３図は従来の磁場発生装置の側断図、第４図および第
５図はそれぞれ第３図のＴＶ−■断面図および■−Ｖ断
面図である。
ｌａ、ｌｂ、 ・・・、ｌｅ・・・・・・磁石、２ａ
１２ｂ１ ・・・・２ｅ１・・・・・・磁極、４・・・
・・・本発明の磁場発生装置、５・・・・・・イオン源
、６・・・・・・フィラメント、７・・・・・・電極、
８・・・・・・イオン引出電極、１０・・・・・・硬磁
性材料。
第１図
第２図FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram of an ion implanter using the present invention, FIG. 3 is a side sectional view of a conventional magnetic field generator, and FIGS. 5 is a sectional view taken along the line TV--■ and a sectional view taken along the line--V shown in FIG. 3, respectively. la, lb, ..., le...magnet, 2a
12b1...2e1...Magnetic pole, 4...
... Magnetic field generator of the present invention, 5 ... Ion source, 6 ... Filament, 7 ... Electrode,
8... Ion extraction electrode, 10... Hard magnetic material. Figure 1 Figure 2
Claims (2)
有して内周面上に位置しており、前記内周面によって形
成される柱体の中心軸に対して前記帯状磁極が傾斜して
いる磁場発生装置。(1) A plurality of strip-shaped magnetic poles are positioned on an inner circumferential surface with alternating polarities and at intervals, and the strip-shaped magnetic poles are arranged with respect to the central axis of the column formed by the inner circumferential surface. A tilted magnetic field generator.
に分離して設けられた磁極であることを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項記載の磁場発生装置。(2) The magnetic field generating device according to claim (1), wherein the plurality of strip-shaped magnetic poles are magnetic poles separately provided on an inner peripheral surface of a cylindrical hard magnetic material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60183682A JPH0658835B2 (en) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | Magnetic field generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60183682A JPH0658835B2 (en) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | Magnetic field generator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6244997A true JPS6244997A (en) | 1987-02-26 |
| JPH0658835B2 JPH0658835B2 (en) | 1994-08-03 |
Family
ID=16140078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60183682A Expired - Lifetime JPH0658835B2 (en) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | Magnetic field generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658835B2 (en) |
-
1985
- 1985-08-21 JP JP60183682A patent/JPH0658835B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0658835B2 (en) | 1994-08-03 |
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