JPS624342A - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Semiconductor integrated circuit device

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JPS624342A
JPS624342A JP60143791A JP14379185A JPS624342A JP S624342 A JPS624342 A JP S624342A JP 60143791 A JP60143791 A JP 60143791A JP 14379185 A JP14379185 A JP 14379185A JP S624342 A JPS624342 A JP S624342A
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Kazuhiro Sakashita
和広 坂下
Akira Yonezu
亮 米津
Isao Takimoto
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Abstract

PURPOSE:To relieve the complication in wiring, by providing word selection output terminals of a decoder circuit at a pitch corresponding to an integral multiple of that of word selection terminals of a standard cell of a storage device. CONSTITUTION:In a decoder 1, word selection output terminals 4 are provided at a pitch whose value is corresponding to an integral multiple of the value of a pitch of work selection terminals 3 in a RAM standard cell 2. It is thereby enabled to wire straightly all the word lines including those between the decoder 1 and the RAM 2. Accordingly, the utilization rate of transverse channels provided in the wiring zone between the standard cells is decreased and the complication in wiring in this zone can be relieved. Thus, the number of mounting gates can be prevented from being decreased due to the impossibility of wiring.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、マスタスライス方式ゲートアレイLSI内
にRAMあるいはROMを効果的に搭載した半導体集積
回路装置に関するものである。。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a semiconductor integrated circuit device in which a RAM or ROM is effectively mounted within a master slice type gate array LSI. .

〔従来の技術〕[Conventional technology]

マスタスライス方式ゲートアレイは少量多品種の集積回
路を効率よく開発するために、拡散工程までは各品種に
共通なマスクパターンを設計し、共通なプロセスで製造
するものであり、ここで共通なマスクパターンは標準セ
ルを格子状に配列したもの、セル間のスペースは配線領
域であり、この配線領域の配線パターンのみをLSIの
品種ごとに設計製造することにより、多品種のLSIを
経済的に開発することができるものである。
Master slicing gate arrays are designed to efficiently develop integrated circuits with a high variety of products in small quantities, by designing a common mask pattern for each product type up to the diffusion process and manufacturing them using a common process. The pattern consists of standard cells arranged in a grid, and the space between cells is the wiring area. By designing and manufacturing only the wiring pattern in this wiring area for each type of LSI, it is possible to economically develop a wide variety of LSIs. It is something that can be done.

このようなマスタスライス方式ゲートアレイにRAMあ
るいはROM (以下記憶装置と称す)を内蔵しようと
すると、ゲートアレイ内の横構造のトランジスタ列上に
記憶装置は実現しにくく、ゲートアレイチップ上に論理
回路領域の他に記憶装置用の専用領域を設けなければな
らないことになる。このため内蔵しようとする記憶装置
の大きさが専用領域の大きさにより制限されてしまい、
また記憶装置の大きさが専用領域の大きさよりも小さい
場合は専用領域の使用効率が悪くなるなどの欠点があっ
た。
When trying to incorporate RAM or ROM (hereinafter referred to as a storage device) into such a master slice gate array, it is difficult to implement a storage device on the horizontally structured transistor rows in the gate array, and a logic circuit is required on the gate array chip. In addition to the area, a dedicated area for the storage device must be provided. For this reason, the size of the storage device you want to incorporate is limited by the size of the dedicated area.
Furthermore, when the size of the storage device is smaller than the size of the dedicated area, there is a drawback that the usage efficiency of the dedicated area becomes poor.

しかるにゲートアレイ内の標準セルを用いて記憶装置を
構成することにより、専用領域を設けることなくRAM
あるいはROMを搭載でき、上記のような問題点を解消
できるようにしたものが本件出願人により既に開発され
ている。
However, by configuring the memory device using standard cells in the gate array, RAM can be used without providing a dedicated area.
Alternatively, the applicant has already developed a device that can be equipped with a ROM and that can solve the above-mentioned problems.

第2図は本件出願人により開発された、RAMあるいは
ROM回路を内蔵しているゲートアレイLSIの例を示
し、この図ではゲートアレイLSI内にRAMが構成さ
れた場合を示し、内蔵RAMの一部を構成するLビット
×にワードのRAMの配置を示している0図において、
1はデコーダを構成する標準セル(以下デコーダ回路標
準セルと称す)を示しており、この例ではデコーダが1
つの標準セルで構成されているが、1つのデコーダが複
数の標準セルで構成されていても同様である。2はRA
Mを構成するL個の標準セル(以下、RAM標準セルと
称す)であり、それぞれ1ピツ)XKワードの容量を有
する。また、3はそれぞれのRAM標準セル2のに個の
ワード選択端子、4はデコーダ回路のに個のワードライ
ン選択信号出力端子(以下ワード選択出力端子とも言う
)である、また、5はデコーダ回路標準セルのワード選
択出力端子とRAM標準セルの各ワード選択端子とを結
ぶワードラインの配線である。
FIG. 2 shows an example of a gate array LSI developed by the applicant that has a built-in RAM or ROM circuit. In Figure 0, which shows the arrangement of word RAM in L bits that make up the section,
1 indicates a standard cell that constitutes a decoder (hereinafter referred to as a decoder circuit standard cell), and in this example, the decoder is 1.
Although one decoder is composed of one standard cell, the same applies even if one decoder is composed of a plurality of standard cells. 2 is RA
There are L standard cells (hereinafter referred to as RAM standard cells) constituting M, each having a capacity of 1 bit)XK words. Further, 3 is a word selection terminal of each RAM standard cell 2, 4 is a word line selection signal output terminal (hereinafter also referred to as a word selection output terminal) of a decoder circuit, and 5 is a decoder circuit. This is word line wiring that connects the word selection output terminal of the standard cell and each word selection terminal of the RAM standard cell.

また、第3図ないし第5図にゲートアレイLSIに内蔵
される論理回路を構成するための基本内部セルを示し、
図において、301a〜301dばポリシリコンからな
る、PチャネルMOSトランジスタのゲート、303a
〜303eはPチャネルMO3)ランジスタのソース・
ドレイン領域、305はNウェル拡散領域、302a〜
302dはポリシリコンからなる、NチャネルMOS)
ランジスタのゲート、304 a 〜304 eはN十
拡散領域からなる、NチャネルMOSトランジスタのソ
ース・ドレイン領域、200は分離領域、201はPS
G (phospho 5ilicate glass
  )からなる絶縁膜であり、その上にアルミ配線が形
成される。また202はゲート酸化膜、203はP型半
導体基板である。
Further, FIGS. 3 to 5 show basic internal cells for configuring the logic circuit built into the gate array LSI,
In the figure, 301a to 301d are gates of P-channel MOS transistors made of polysilicon; 303a;
~303e is the source of the P channel MO3) transistor.
Drain region, 305 is N well diffusion region, 302a~
302d is an N-channel MOS made of polysilicon)
304a to 304e are N-channel MOS transistor gates, 304a to 304e are N channel MOS transistor source/drain regions, 200 is an isolation region, 201 is a PS
G (phospho 5ilicate glass
) on which aluminum wiring is formed. Further, 202 is a gate oxide film, and 203 is a P-type semiconductor substrate.

また第6図は基本内部セル上に配置された、標準セルと
呼ばれる論理回路の基本単位を示し、この標準セルとは
LSI上のどの位置に配置されても同一形状を有する、
論理回路の配線形状のことである0図において、306
a、306b、308.309,310.311は一部
アルミ配線、307は二層アルミ配線、101はコンタ
クトホール、102はスルーホールである。なおこの第
6図はRAMを構成するRAM標準セルを示している。
Furthermore, FIG. 6 shows a basic unit of a logic circuit called a standard cell, which is placed on a basic internal cell, and this standard cell has the same shape no matter where it is placed on the LSI.
In figure 0, which is the wiring shape of a logic circuit, 306
a, 306b, 308, 309, 310, and 311 are some aluminum wiring, 307 is a double layer aluminum wiring, 101 is a contact hole, and 102 is a through hole. Note that FIG. 6 shows a RAM standard cell constituting the RAM.

次に動作について説明する。デコーダ1のワード選択出
力端子4は同時に1つしかワードラインを選択せず、従
ってL個のメモリセル2のうちそなおL個のメモリ標準
セル間のワードライン5は一直線状に形成可能であるが
、デコーダ1とRAM2との配線はその全てを直線状に
することばできないものである。
Next, the operation will be explained. The word selection output terminal 4 of the decoder 1 selects only one word line at a time, so that the word lines 5 between the L memory standard cells among the L memory cells 2 can be formed in a straight line. However, it is impossible to make all the wiring between the decoder 1 and the RAM 2 in a straight line.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

本件出願人の開発に係る半導体集積回路装置は以上のよ
うに構成されており、RAMあるいはROMを、ゲート
アレイ内の論理回路を構成するのと同一形状の基本セル
を用いて構成しているので、ゲート+2イ内CRAM’
Zるいは、。ヤ専用領域を設ける必要がなく、従ってこ
の専用領域の大きさに制限されることなくRAMあるい
はROMを内蔵することができ、また内蔵しようとする
RAMあるいはROMの大きさが専用領域の大きさより
小さい場合における該専用領域内のMOS)ランジスタ
の使用効率の低さを改善することができ、RAMあるい
はROMを効果的にゲートアレイLSIに内蔵すること
ができる。
The semiconductor integrated circuit device developed by the present applicant is configured as described above, and the RAM or ROM is configured using basic cells having the same shape as the logic circuit in the gate array. , gate + 2 internal CRAM'
Z Ruiha. Therefore, it is possible to incorporate RAM or ROM without being limited by the size of this dedicated area, and the size of the RAM or ROM to be built in is smaller than the size of the dedicated area. In this case, it is possible to improve the low usage efficiency of transistors (MOS) in the dedicated area, and it is possible to effectively incorporate RAM or ROM into the gate array LSI.

しかるにこの半導体集積回路装置ではデコーダ回路標準
セル1とRAMfl準セル2間の配線が一直線状になら
ないために、デコーダ1とRAM標準セル2との間で、
K本のワードライン5のうちのいくつかが折れ曲がるこ
とになる。一般に折れ曲がった第2図中の横配線は標準
セル間の配線帯内に用意されている横チャネルを使用し
て配線することになり、この部分での配線の混雑を生じ
るが、こうした混雑が生じるためにデコーダ1とメモリ
部2間の配線帯を使用できる配線本数が制限され、ゲー
トアレイ全体に搭載できるゲート数が減少してしまうと
いう問題点があった。
However, in this semiconductor integrated circuit device, since the wiring between the decoder circuit standard cell 1 and the RAM fl quasi-cell 2 is not in a straight line, between the decoder 1 and the RAM standard cell 2,
Some of the K word lines 5 will be bent. Generally, the bent horizontal wiring in Figure 2 is routed using the horizontal channel prepared within the wiring band between standard cells, which causes wiring congestion in this part, but such congestion occurs. Therefore, there is a problem in that the number of wires that can be used in the wire band between the decoder 1 and the memory section 2 is limited, and the number of gates that can be mounted on the entire gate array is reduced.

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、配線の混雑を緩和でき配線不可能による搭
載ゲート数の減少を防ぐことのできる半導体集積回路装
置を得ることを目的とする。
This invention was made to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a semiconductor integrated circuit device that can alleviate wiring congestion and prevent a reduction in the number of mounted gates due to the impossibility of wiring. do.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明に係る半導体集積回路装置は、デコーダ回路の
ワード選択出力端子のピッチを、記憶装置の標準セルの
ワード選択端子のピッチの整数倍になるように配置する
ようにしたものである。
In the semiconductor integrated circuit device according to the present invention, the pitch of the word selection output terminals of the decoder circuit is arranged to be an integral multiple of the pitch of the word selection terminals of the standard cells of the storage device.

〔作用〕[Effect]

この発明においては、デコーダ回路のワード選択出力端
子のピッチが、記憶装置の標準セルのワード選択端子の
ピッチの整数倍になるように配置されているから、デコ
ーダ部分とメモリ標準セル〔実施例〕 以下本発明の実施例を図について説明する。
In this invention, since the pitch of the word selection output terminals of the decoder circuit is arranged to be an integral multiple of the pitch of the word selection terminals of the standard cells of the storage device, the decoder portion and the memory standard cell [Embodiment] Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例による半導体集積回路装置を
示し、図において、1はデコーダ回路標準セル、2はR
AM標準セル、3はRAM標準セル内のワード選択端子
、4はデコーダ回路標準セル内のワード選択出力端子、
5は′ワード選択端子3問およびワード選択出力端子4
とワード選択端子3とを接続するワードライン配線であ
る。
FIG. 1 shows a semiconductor integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, in which 1 is a decoder circuit standard cell, 2 is an R
AM standard cell, 3 is a word selection terminal in the RAM standard cell, 4 is a word selection output terminal in the decoder circuit standard cell,
5 is 'word selection terminal 3 questions and word selection output terminal 4
This is a word line wiring that connects the word selection terminal 3 and the word selection terminal 3.

これまでのデコーダ回路は、単に、デコーダ回路部の使
用トランジスタ数のみを最小化するように構成されてい
たために、前述したように、ゲートアレイにおいては、
RAM回路部のワード選択端子3とデコーダのワード選
択出力端子4とが一直線状に形成されていなかった。こ
れに対し、本実施例のデコーダ回路は、使用トランジス
タ数を最小化することよりもむしろワード選択端子3と
ワード選択出力端子4がそれぞれ一直線状に配置される
ことが可能なような構成にすることを優先して設計され
ており、ワード選択出力端子4のピッチがRAM標準セ
ル2のワード選択端子3のピッチの整数倍になるように
構成されている。このため、第1図に示すように、1つ
のデコーダ標準セルだけでデコーダ回路を構成すること
が不可能な場合も生じ、こうした場合には、例えば2つ
のデコーダ標準セルが、それぞれ一本おきのワードライ
ンを受は持つように構成されるような場合も生じる。但
し、この2つのデコーダ標準セルが受は持つ合計に本の
ワードラインは同時に1つしか選択されないように論理
回路を構成するのはいうまでもないことである。
Conventional decoder circuits have been configured to simply minimize the number of transistors used in the decoder circuit, so as mentioned above, in the gate array,
The word selection terminal 3 of the RAM circuit section and the word selection output terminal 4 of the decoder were not formed in a straight line. In contrast, the decoder circuit of this embodiment is configured so that the word selection terminal 3 and the word selection output terminal 4 can be arranged in a straight line, rather than minimizing the number of transistors used. The word selection output terminals 4 are designed so that the pitch of the word selection output terminals 4 is an integral multiple of the pitch of the word selection terminals 3 of the RAM standard cell 2. For this reason, as shown in Figure 1, there are cases where it is impossible to configure a decoder circuit with only one decoder standard cell, and in such cases, for example, two decoder standard cells are connected every other cell. There may also be cases where the receiver is configured to have a word line. However, it goes without saying that the logic circuit is constructed so that only one word line of the two standard decoder cells is selected at a time.

次に作用効果について説明する。本実施例ではデコーダ
のワード選択出力端子のピッチをRAMのワード選択端
子のピッチの整数倍としたので、デコーダとRAM間を
含めてワードラインが全て一直線状に配線できる。従っ
て標準セル間の配線帯内に用意されている横チャネルの
配線使用率が低減され、この部分での配線の混雑が緩和
され、配線不可能による搭載ゲート数の減少を防ぐこと
ができる。
Next, the effects will be explained. In this embodiment, the pitch of the word selection output terminals of the decoder is made an integral multiple of the pitch of the word selection terminals of the RAM, so that all word lines can be wired in a straight line, including between the decoder and the RAM. Therefore, the wiring usage rate of the horizontal channels prepared in the wiring band between standard cells is reduced, the congestion of wiring in this part is alleviated, and it is possible to prevent a reduction in the number of mounted gates due to impossible wiring.

なお上記実施例では、通常のマスタスライス方式ゲート
アレイについて説明したが、特に配線帯領域をあらかじ
め十分膜けずに内部基本セルを密に全面に敷つめる構成
にしたチップ上に、目的とする論理回路に応じて、内部
基本セルを単に配線帯として使用したり、あるいは標準
セルとして使用したりするタイプのマスタスライス方式
ゲートアレイにおいても本発明を通用でき、上記実施例
と同様に、配線帯の使用の減少により搭載ゲート数を増
加できる効果に加え、メモリ回路部分の集積度の向上が
可能なために同一ゲートアレイ上に搭載可能なゲート数
をさらに増加できるという効果がある。
In the above embodiment, a normal master slice type gate array has been described, but in particular, it is possible to create a target logic circuit on a chip in which internal basic cells are densely spread over the entire surface without sufficiently removing the wiring band area in advance. The present invention can also be applied to a master slice type gate array in which the internal basic cells are used simply as wiring bands or as standard cells, depending on the situation. In addition to the effect of increasing the number of gates to be mounted due to the reduction in , the number of gates that can be mounted on the same gate array can be further increased because the degree of integration of the memory circuit portion can be improved.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明に係る半導体集積回路装置によ
れば、ゲートアレイLSI内の記憶装置の全てのワード
ラインを一直線状に形成するようにしたので、配線帯チ
ャネルの配線使用率を低減でき、結果として、同一ゲー
トアレイ上に搭載できるゲート数を増加させることが可
能となる効果がある。
As described above, according to the semiconductor integrated circuit device of the present invention, all the word lines of the memory device in the gate array LSI are formed in a straight line, so that the wiring usage rate of the wiring band channel can be reduced. As a result, the number of gates that can be mounted on the same gate array can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例による半導体集積回路装置
内のLビット×にワードのRAMの配置および配線を示
す図、第2図は本件出願人の開発に係る方法によるゲー
トアレイLSI内のLビット×にワードのRAMの配置
および配線を示す図、第3図は第2図の基本内部セルを
示す平面図、第4図および第5図は第3図のA−A線お
よびB−B線断面図、第6図は第2図のRAM標準セル
を示す平面図である。 図において、1はデコーダ回路標準セル、2は1ビツト
×にワードのRAM標準セル、3はワード選択端子、4
はワード選択出力端子、5はワードラインである。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 第1図 2 : RAM$1tyi 3:テメMEμヂ 4:/7−メ°力γlペル’i;77mp5:ンメ゛′
2ヂンJlJ費 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図 手続補正書(自発) 1、事件の表示    特願昭 60−143791号
2、発明の名称 半導体集積回路装置 3、補正をする者 5、補正の対象 図面(第1図) 6、補正の内容 (1)第1図を別紙の通り訂正する。 以   上
FIG. 1 is a diagram showing the arrangement and wiring of a word RAM in L bits in a semiconductor integrated circuit device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a plan view showing the basic internal cell of FIG. 2, and FIGS. 4 and 5 are lines AA and B- of FIG. 3. A sectional view taken along the line B, and FIG. 6 is a plan view showing the RAM standard cell of FIG. 2. In the figure, 1 is a decoder circuit standard cell, 2 is a 1 bit x word RAM standard cell, 3 is a word selection terminal, and 4 is a standard cell for a decoder circuit.
is a word selection output terminal, and 5 is a word line. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts. Figure 1 2: RAM$1tyi 3: MEμも4: /7-ME゜forceγlpel'i;77mp5:ME゛'
2nd JlJ fee Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Procedural amendment (voluntary) 1. Indication of the case Japanese Patent Application No. 60-143791 2. Name of the invention Semiconductor integrated circuit device 3. Amendment 5. Drawing subject to amendment (Figure 1) 6. Details of amendment (1) Figure 1 will be corrected as shown in the attached sheet. that's all

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)標準セルを基本単位として構成されるマスタスラ
イス方式ゲートアレイからなる半導体集積回路装置にお
いて、 上記標準セルを用いて構成された記憶装置を備え、 該記憶装置のメモリ部およびデコーダをそれぞれ構成す
る標準セル間を一直線状の配線により接続したことを特
徴とする半導体集積回路装置。
(1) A semiconductor integrated circuit device consisting of a master slice gate array constructed using standard cells as basic units, comprising a memory device constructed using the standard cells, and comprising a memory section and a decoder of the memory device, respectively. A semiconductor integrated circuit device characterized in that standard cells connected to each other are connected by straight wiring.
(2)上記配線がワードラインであり、上記デコーダの
ワードライン選択端子のピッチを上記記憶装置のワード
ライン端子のピッチの整数倍としたことを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の半導体集積回路装置。
(2) The semiconductor according to claim 1, wherein the wiring is a word line, and the pitch of the word line selection terminals of the decoder is an integral multiple of the pitch of the word line terminals of the storage device. Integrated circuit device.
JP14379185A 1985-06-28 1985-06-28 Semiconductor integrated circuit device Expired - Fee Related JPH0628304B2 (en)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56118350A (en) * 1980-02-21 1981-09-17 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Semiconductor integrated circuit device
JPS6025251A (en) * 1983-07-20 1985-02-08 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor integrated circuit device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56118350A (en) * 1980-02-21 1981-09-17 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Semiconductor integrated circuit device
JPS6025251A (en) * 1983-07-20 1985-02-08 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor integrated circuit device

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