JPS624308A - 極低温装置 - Google Patents

極低温装置

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JPS624308A
JPS624308A JP60143768A JP14376885A JPS624308A JP S624308 A JPS624308 A JP S624308A JP 60143768 A JP60143768 A JP 60143768A JP 14376885 A JP14376885 A JP 14376885A JP S624308 A JPS624308 A JP S624308A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、超電導磁石等の極低温装置に係わり、特に自
然循環冷却法を用いた極低温装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
超電導磁石装置では、超電導コイルを例えば4に程度の
極低温に冷却することが必要である。そこで従来は、超
電導コイルそのものを液体ヘリウム溜めに浸漬すること
によって超電導コイルを冷却するようにしていた。しか
し、この方法ではへリウム溜めに大きなスペースを必要
とすること、大量のヘリウムを貯溜しなければならない
こと、及びヘリウム溜めの製作工程が複雑であること等
の欠点があった。
これに対し、超電導コイルと熱的に接続された冷媒循環
路に、液体ヘリウム等の冷媒を強制循環させて超電導コ
イルを冷却する方法が提案されている。しかし、この方
法は、冷媒を強制循環させるための設備が不可欠である
ことから、小形の超電導コイルに適用することは困難で
あった。また、予冷時は勿論のこと、超電導コイルを一
旦極低温下に冷却した後も冷媒を常に強制循環させる必
要があり、このためコンプレッサの如き冷媒の循環動力
源の負担も大きいものであった。
〔発明の目的〕
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、そ
の目的とするところは、超電導コイル等の被冷却体の冷
却に必要なスペースとヘリウム貯溜量の減少化をはかる
ことができ、しかも製作が容易で小形の超電導コイルへ
の適用も可能な極低温装置を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明の骨子は、超電導コイル等の被冷却体を冷却する
冷却装置として、所謂自然落下循環方式の冷却装置を用
いると共に、予冷時のみに冷媒を強制循環させることに
ある。
即ち本発明は、被冷却体と、この被冷却体を極低温下に
冷却する冷却装置とを備えた極低温装置において、前記
冷却装置として、前記被冷却体の上方に設置された極低
温液の液溜め部と、冷却サイクルを構成する気化部を有
し上記液溜め部を介して閉ループ状に設置された配管か
らなり、少なくとも上記気化部から上記液溜め1部に至
る冷媒が重力方向へ上向きに進行するように構成された
冷媒循環路と、前記気化部を前記被冷却体と熱的に接続
する手段と、前記配管の途中に接続され、予冷用のガス
を強制的に流すためのガス供給管とを設けるようにした
ものである。
〔発明の効果〕
本発明によれば、液化した冷媒と気化した冷媒との密度
差を利用して冷媒の循環動力を得る自然落下循環方式を
採用しているので、予冷時以外はコンプレッサの如き冷
媒の循環動力を得るための手段を必要としない。つまり
、超電導コイル等の被冷却体が一旦極低温下に冷却され
た後は冷媒の循環動力が不要となり、省エネ化をはかり
得る。
また、予冷時にはガス供給管にコンプレッサ等の循環動
力源を取付けるだけでよく、この循環動力源を外付は構
成とすることも可能である。従って、全体構成の簡素化
をはかることができ、小形の超電導コイルへの適用も可
能となる。
また本発明では、冷媒循環路と被冷却体とを熱的に接続
することによって被冷却体を冷却する方式を採用してい
るので、被冷却体を浸漬させるための液化ヘリウム溜め
を必要としない。従って、被冷却体の冷却に必要なスペ
ースとヘリウム貯溜量の減少化をはかることができる。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
第1図は、本発明の一実施例に係わる超電導磁石装置を
一部切欠して示す斜視図である。図中1は円環状に形成
された超電導コイル(被冷却体)であり、該コイル1は
その外周面全体を覆う冷却装置−2−によって極低温に
冷却されるものとなっている。
冷却装置、2−は、具体的には次のように構成されてい
る。即ち、超電導コイル1の外周面は、均熱板11によ
って全体的に覆われている。均熱板11は、例えば銅等
の良熱伝導体で形成された半円環状の2つの分割体11
8111bの各周方向端部を電気絶縁板12を介して絶
縁ボルト13にて固着して構成されている。このように
構成することによって、超電導コイル1の励磁に起因し
た均熱板11の誘導加熱が抑制される。均熱板11と超
電導コイル1とは、熱的な密着性を向上させる目的で、
銅と同様の熱膨張率を有し且つ熱伝導性に優れたエポキ
シ樹脂14によって一体化される。なお、均熱板11に
は複数の孔15が穿設されており、これらの孔15を介
して均熱板11の両面のエポキシ樹脂14が一体化され
る。従って、均熱板11とエポキシ樹脂14とは一体と
なって熱収縮するようになっている。
しかして、超電導コイル1は、上記均熱板11を介して
自然落下循環方式の冷却装置本体16によって冷却され
る。冷却装置本体16は、超電導コイル1の上方に設置
された液体ヘリウム槽(液・溜め部)17と、この液体
ヘリウム槽17の底部から同側面へと冷媒を通流させる
冷媒通流管18とで構成されている。液体ヘリウム槽1
7は、ヘリウムを液化すると共に液体ヘリウムPを収容
するものである。冷媒通流管18は、均熱板11の2つ
の分割体11a、11bの外面をそれぞれ這うように2
系統設けられ、それぞれの系統は上記液体ヘリウム槽1
7の底部から均熱板11の外周面を重力方向下向きに進
行する冷媒汲出し部21と、この冷媒汲出し部21の最
下端部から重力方向へ上向きに蛇行屈曲しながら液体ヘ
リウム槽17の自由液面上に導かれる気化部22とで構
成されている。冷媒汲出し部21は、熱伝導性の悪い断
熱スペーサ23を介して均熱板11に固定され、均熱板
11と熱的に絶縁されている。また、気化部22は、均
熱板11と直接接触するようにエポキシ樹脂14中に埋
設されると共に、所定の部位で或いは全長に屋っで均熱
板11にハンダ付は等の方法により固定されている。
上記の超電導コイル1と冷却装置、2−とは、例えば5
0〜80に程度の輻射シールド24で囲繞されるととも
に、全体が真空容器25の内部に収容され、外部からの
熱侵入を遮断するようにしている。
一方、液体ヘリウム槽17の下部には、第2図に示す如
くジェットポンプ51及びガス供給管55が設けられて
いる。液体ヘリウム槽17内の液Pは液取出し口53よ
りジェットポンプ51を通り、冷媒通流管18で被冷却
体に送られ、蒸気は戻り配管34で液体ヘリウム槽17
の上部に戻される。このとき、液はポンプの開口部54
を通して自由に通過できる。また、予冷時は予冷ガス供
給管55よりガスをポンプ51に送ると、そのガスはポ
ンプ51内を真直ぐ進み、冷媒通流管18に送り込まれ
る。このとき、開口部54で液体ヘリウム層17内のガ
スも巻込んで冷媒通流管18に送られる。
このように構成された本実施例に係わる超電導磁石装置
においては、被冷却体である超電導コイル1は、次のよ
うにして冷却される。
即ち、液体ヘリウム槽17に収容された液体ヘリウムP
は、液体ヘリウム槽17の底部から重力によって冷媒汲
出し部21に汲出される。冷媒汲出し部21は、均熱板
11と熱的に絶縁されているので、液体ヘリウムPは、
そのままの温度で重力方向の最下端部に到達する。さら
に、気化部22に到達した液体ヘリウムPは、均熱板1
1を介して超電導コイル1と熱交換され、気化する。
気化した冷媒は、気化部22を蛇行屈曲しながら上昇し
、液体ヘリウム槽17の自由液面上に帰還する。自由液
面°上の冷媒ガスは、図示しない液化装置によって液化
され再び冷媒汲出し部21から汲出される。なお、この
液化装置はなくてもよく、この場合は液体ヘリウムを補
充することになる。
この冷凍サイクルでは、冷媒汲出し部21の内部と気化
部22の内部とで冷媒の密度差を生じるため、この密度
差によって冷媒の循環動力を得ることができる。従って
、この冷却装置2においては、冷媒を循環させるための
手段を特に必要としない。
一方、超電導コイル1を常温から中間温度まで冷却(予
冷)する場合、ガス供給管55にコンプレッサ等を取付
は高圧ガスを供給する。これにより、冷媒通流管18内
にガスが流れ、超電導コイル1を速やかに冷却すること
ができる。また、ジェットポンプ51は周りのガスを巻
込むため、冷媒通流管18内を流れるガス最は供給ガス
量の数倍となり、熱伝達率が向上すると共に流れ方向の
温度勾配も小さくなる。冷却が終り冷媒がある状態で冷
媒を追加供給しても送圧が小さく送量も少ないので、被
冷却体の自然冷却には悪影響がない。
このように本実施例によれば、予冷時以外は冷媒を強制
循環させる装置を用いずに冷媒通流管18の内部に冷媒
を循環させることができるので、装置全体の小形化、構
成の簡単化をはかることができ、さらに省エネ化もはか
り得る。また、超電導コイル1を浸漬する液体ヘリウム
溜めを必要としないので、超電導コイル1の冷却に必要
なスペース及び液体ヘリウム貯溜量の減少化をはかり得
る等の利点がある。
第3図は、本発明の他の実施例に係わる超電導磁石装置
を一部切欠して示す斜視図である。
本実施例が先に説明した実施例と異なる点は、気化部2
2の構成である。即ち本実施例では、気化部22を、均
熱板11の周面に密着して設けられ周方向に伸びる複数
の枝配管31と、これら枝配管31の両端部を共通に接
続するヘッダ32゜33とで構成するようにしている。
従って、液体ヘリウム槽17から汲出された液体ヘリウ
ムPは、冷媒汲出し部21を通って下端のヘッダ33に
到達し、このヘッダ33から各枝配管31を上昇する過
程で超電導コイル1と熱交換されて気化する。
気化した冷媒は、上端のヘッダ部32に集められ、戻り
配管34を介して液体ヘリウム槽17に帰還される。
このような構成であれば、先に説明した実施例に比べて
製作が容易となるうえ、冷媒の循環流量も上昇させるこ
とができ、冷却効率を高めることができる。
なお、本発明は上述した各実施例に限定されるものでは
ない。例えば、前記第3図に示す実施例における枝配管
31を蛇行屈曲させるようにすれば、さらに冷却効率は
上昇する。そして、この場合にも、特に製作の困難性を
もたらすことはない。
また、前記ジェットポンプの代りには、エゼクタ等を用
いることも可能である。さらに、被冷却体としては超電
導コイルに限らず、極低温下に冷却する必要のあるもの
であれば適用可能である。その他、本発明の要旨を逸脱
しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係わる超電導磁石装置を一
部切欠して示す斜視図、第2図は上記装置の要部構成を
示す断面図、第3図は他の実施例に係わる超電導磁石装
置を一部切欠して示す斜視図である。 1・・・超電導コイル(被冷却体)、2−・・冷却装置
、11・・・均熱板、12・・・絶縁板、14・・・エ
ポキシ樹脂、16−・・冷却装置本体、17・・・液体
ヘリウム槽(液溜め部)、18・・・冷媒通流管、21
・・・冷媒汲出し部、22・・・気化部、24・・・輻
射シールド、25・・・真空容器、31・・・枝配管、
32.33・・・ヘッダ、51・・・ジェットポンプ、
53・・・液取出し口、54・・・ポンプ開口部、55
・・・ガス供給管、P・・・液体ヘリウム。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第1図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被冷却体と、この被冷却体を極低温下に冷却する
    冷却装置とを備えた極低温装置において、前記冷却装置
    は、前記被冷却体の上方に設置された極低温液の液溜め
    部と、冷却サイクルを構成する気化部を有し上記液溜め
    部を介して閉ループ状に設置された配管からなり、少な
    くとも上記気化部から上記液溜め部に至る冷媒が重力方
    向へ上向きに進行するように構成された冷媒循環路と、
    前記気化部を前記被冷却体と熱的に接続する手段と、前
    記配管の途中に接続され、予冷用のガスを強制的に流す
    ためのガス供給管とを具備してなることを特徴とする極
    低温装置。
  2. (2)前記被冷却体は、超電導コイルであることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載の極低温装置。
  3. (3)前記気化部を前記被冷却体と熱的に接続する手段
    として、前記気化部と接触し前記被冷却体を被覆する均
    熱板を用いたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の極低温装置。
  4. (4)前記均熱板は、前記被冷却体の周方向に複数に分
    割され、各々が電気的に絶縁されていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第3項記載の極低温装置。
  5. (5)前記ガス供給管の先端に、ジェットポンプ或いは
    エゼクタを取付けたことを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の極低温装置。
JP60143768A 1985-06-29 1985-06-29 極低温装置 Granted JPS624308A (ja)

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JPH0584650B2 JPH0584650B2 (ja) 1993-12-02

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01100072U (ja) * 1987-12-22 1989-07-05
JPH01317331A (ja) * 1988-06-14 1989-12-22 Satake Eng Co Ltd カントリーエレベーター
US7360496B2 (en) 2006-03-15 2008-04-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Workpiece cloth ruler suitable for use with sewing machine
WO2019172001A1 (ja) * 2018-03-06 2019-09-12 Phcホールディングス株式会社 冷凍装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01100072U (ja) * 1987-12-22 1989-07-05
JPH01317331A (ja) * 1988-06-14 1989-12-22 Satake Eng Co Ltd カントリーエレベーター
US7360496B2 (en) 2006-03-15 2008-04-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Workpiece cloth ruler suitable for use with sewing machine
WO2019172001A1 (ja) * 2018-03-06 2019-09-12 Phcホールディングス株式会社 冷凍装置
JPWO2019172001A1 (ja) * 2018-03-06 2020-10-22 Phcホールディングス株式会社 冷凍装置

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