JPS6242788Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （技術分野） 本考案は、ロールによつて薄板状の基板へ液を
塗布するロールコータに関し、とくに、半導体や
その他の基板、例えば、サーマルヘツドの製造に
用いるガラス基板のような、その表面に金属膜が
蒸着された基板面に、所要のパターンを形成する
ためのフオトレジスト液を塗布するロールコータ
に関する。

（従来技術） 従来、この種ロールコータとしては、例えば実
公昭53−37577号公報に記載されているように、
コーテイングロールに平行に配置した桶状の塗布
液容器をコーテイングロールに接触させて、ロー
ルの周面に液を供給するようにしたもの、あるい
は、実公昭51−38930号公報に記載されているよ
うに、コーテイングロールにドクターナイフを摺
接させ、ロールとドクターナイフの間に塗布液を
供給し、ドクターナイフのロール面への当接圧力
を調節して、ロール面の液量を調節するもの、さ
らに実願昭56−9939号（実開昭57−123669号）の
明細書及び図面に記載されているように、ドクタ
ーナイフに代えてドクターロールを使用するもの
などが知られている。

（従来技術の問題点） 上述の各従来技術は、それぞれ、次のような問
題点が認められる。

まず、樋状の塗布液容器を、直接ロールに接触
させるものは、塗布液として、比較的粘度が小さ
く、流動性に富んだ液を用いる場合は、良好な塗
布状態が得られるとしても、フオトレジストの如
く、粘度の高い液の場合、容器からロール面への
液の転移がなめらかに行われず、塗布ムラを生ず
るおぞれがある。

また、ドクターナイフあるいはドクターロール
を用いるものは、たとえばドクターロールを用い
た例を示す第４図及び第５図によつて説明する
と、被処理基板１をコーテイングロール２とバツ
クアツプロール４により挟持搬送し、コーテイン
グロール２の下降側周面に、ドクターロール３を
当接させてコーテイングロール２に従動回転さ
せ、２個のロールの間にノズル５から塗布液を供
給し、搬送される基板１に塗布するようになつて
いる。

この際、ノズル５から供給される液量が、基板
への塗布量より少いと、「液切れ」を生じて、塗
布ムラの原因となるため、ある程度過剰に供給す
るのが通常である。したがつて、余剰の塗布液
は、コーテイングロール２の両端部に刻設された
溝９から、バツクアツプロール４の両端部に刻設
された溝９を経て、下方に配置されたドレンバツ
ト６に滴下し、それに附設された排液管７から流
出し、循環使用されるか、あるいは廃液として処
分される。

この場合、バツクアツプロール４の溝９からド
レンバツト６に流滴が落下したとき、矢印８で示
す如く、微細な液ミストがはね返つて、基板１の
下面に附着することが避けられない。かかる微細
ミストの附着は、次段以降の処理工程における不
良原因となる。

かかる不都合を避けるには、ノズル５からの供
給液量を、基板１に塗布されて費消される液量に
合わせて調整すればよいが、基板の処理量は、必
ずしも一定でなく、変動があるため、流者を厳密
に一致させることは、実作業上不可能である。

また、ノズル５からの供給液量が少ないと、前
述の「液切れ」不良が生ずるほか、コーテイング
ロール２とドクターロール３との間に貯溜された
塗布液が、空気に曝露されることにより、粘度が
変化して、所望の塗布状態が得られなくなり、と
くに、ロールの中央部と両端部での均等な塗布状
態が得られないという問題が生ずる。

したがつて、ノズル５からの液量は、ある程度
過剰に供給せざるを得ず、前述したドレンバツト
６への滴下に基因するミスト附着の問題が残され
ている。

さらに、ドレンバツト６の表面には、処理液の
固化した粒子等の異物が附着しており、排液管７
から回収される液中には、これらの異物が混入す
るため、循環再使用にも題がある。

これらの問題点は、ドクターナイフを使用する
場合にも、また樋状の液供給器を用いる場合に
も、同様である。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、被塗布基板に適量の液を塗布できる
ように、コーテイングロール周面に供給される液
量を適切に規制するものであつて、コーテイング
ロールに、その軸線に平行な樋状の処理液容器を
附設し、該容器のコーテイングロールに当接する
部分を、コーテイングロール面の液量を規制する
ためのドクターブレードとし、さらに、該容器内
の処理液をコーテイングロールに供給するための
液供給ロールを、容器内の液面とコーテイングロ
ールの両者に接触するように配置し、かつ、液供
給ロールにより供給される液量を一定に維持する
ため、容器内の液位を一定に保持する手段を設け
たものである。

前記容器は、ドクターブレードがコーテイング
ロールに当接する圧力を調節するため、コーテイ
ングロールとの距離を調節可能に取付けられてお
り、また、容器内の液位を一定に保持するため、
容器内に前記ドクターブレード部を含む外周壁よ
り低い高さの仕切板を設けて、容器を長手方向に
二分割し、分割された区画のうち、コーテイング
ロールに近い側に連続的に処理液を供給し、仕切
板を越えて他方の区画に溢れた処理液を回収し
て、再度循環供給するオーバーフロー循環手段を
附設したものである。

（作用） 本考案の装置は、上述の如く構成されているた
め、処理液容器には、常に一定の液位を保持して
処理液が貯溜され、したがつて液供給ロールは、
常に一定量の処理液をコーテイングロールに供給
することができる。またこの液供給量は、処理液
容器に対する液供給ロールの設定位置を変化させ
ることにより、適切に調節できる。

さらに、処理液容器をコーテイングロールに対
して進退させることにより、該容器に形成された
ドクターブレードとコーテイングロール周面との
距離又は当接圧力を調節し、コーテイングロール
面の液量を所望に規制し、被塗布基板に塗布され
る液量を適切に選定でき、コーテイングロールに
過不足なく処理液を供給し、液不足による塗布ム
ラ、過剰によるドレンバツト面からの液ミストの
発生等を防止できる。

また、処理液容器内の液位は、オーバーフロー
手段により一定に保持されるので、容器に対する
処理液の補給は、必ずしも、コーテイングロール
により塗布されて費消される液量に一致させる必
要はなく、ある程度余裕をもつて多量に補給すれ
ばよいので、簡単な構造の循環ポンプ系をもつて
実施することができ、かつ、オーバーフローした
過剰の処理液は、循環ポンプ系に還流して反復使
用されるため、処理液のムダがなく、異物の混入
も防止できる。

さらに、多量の処理液を常に容器に供給し、循
環させるため、容器内の処理液の粘度が変化し、
塗布状態が変動するといつたことも解消する。

（実施例） 第１図乃至第３図に、本考案の実施例を示す。

図示していない回転駆動手段に連結されたコー
テイングロール２は、第２図の矢印のように、上
下動調整自在として吊設されている。

コーテイングロール２に摺動するドクター１８
と、ドクター１８より若干低位にあるオーバーフ
ローせき１１、及び１対の側壁１９で囲まれた貯
留槽１６と、オーバーフロー槽１７とからなる塗
布液供給器１０をコーテイングロール２に対し、
直角方向（前後方向）に往復動自在として吊設し
てある。

図示しない塗布液供給器１０の往復動手段によ
り、ドクター１８とコーテイングロール２との接
離を行うことができ、また、その当接圧力を加減
することもできる。

塗布液供給器１０の塗布液貯留槽１６及びオー
バーフロー槽１７には、それぞれ、塗布液の供給
配管１４及び排出配管１３を接続してある。

なお、塗布液の供給配管１４は、必ずしも塗布
液貯槽１６の底部に接続する必要はなく、塗布液
供給ロール１２から外れた貯留槽１６上方に塗布
液供給ノズルを吊設しても良い。さらには、塗布
液供給ノズルをコーテイングロール２の上方に吊
設し、該ロール２の長手方向に往復動するように
しても良い。

塗布液供給器１０の側壁１９は、コーテイング
ロール２の周側、又はその両端に切設した図示し
ていない溝に接触するようにしてもよい。

塗布液供給器１０の側壁１９に塗布液供給ロー
ル１２を吊設し、ドクター１８がコーテイングロ
ール２に接触した時、塗布液供給ロール１２は、
コーテイングロール２に接触するとともに、塗布
液貯留槽１６内の塗布液に接触し、コーテイング
ロール２が回転すると、塗布液供給ロール１２
は、その接触部における摩擦により回転すること
ができる。

なお、塗布液供給ロールの材質は、金属又は樹
脂等であればよい。

コーテイングロール２の下方に、基板を保持す
るバツクアツプロール４、またバツクアツプロー
ル４の前後には、搬送用ロール１５を配列して、
図示しない回転駆動手段にて、基板を搬送できる
ように、回転させる。

搬送ロール１５及びバツクアツプロール４を、
ベルトコンベアに代えることができることは、言
うまでもない。

なお、第３図のように、ドクター１８は、塗布
液供給器１０の後側壁先端ではなく、側壁面の凸
部を利用すると、コーテイングロールとの摺動が
やりやすくなるので、好ましい。

（実施例の作用） 塗布液供給管１４より供給された塗布液は、コ
ーテイングロール２との接触により回転する塗布
液供給ロール１２により、コーテイングロール２
の表面に塗布液を供給し、余剰な塗布液は、ドク
ター１８により塗布液貯留槽１６にもどる。

塗布液は、ドクター１８により、コーテイング
ロール２の表面に切設した溝内に、均一充填され
る。

コーテイングロール２とバツクアツプロール４
との間は、基板１の厚さよりも若干狭くなるよう
に、あらかじめコーテイングロール２の高さは調
整しておく。

搬送ロール１５によつて搬送される基板１は、
コーテイングロール２とバツクアツプロール４と
の間に挿入され、塗布液が、基板１の表面に塗布
される。

塗布液貯留槽１６内に供給される塗布液の余剰
分は、オーバーフローせき１１よりオーバーフロ
ーし、オーバーフロー槽１７より、排出配管１３
を経て回収される。

（効果） (1) 従来のロールコーターのように、余剰な塗布
液が、コーテイングロール又はバツクアツプロ
ールより、ドレンバツトに流出又は滴下するこ
とがなくなるため、ドレンバツトからのミスト
の発生がなくなり、基板の品質が向上する。

(2) コーテイングロールに供給される塗布液は、
従来のものに比べ、コーテイングロール中央部
と両端部で粘度や、液性分等の液質の変化がな
く、また、常に新たな塗布液を、コーテイング
ロールに供給することにより、均一な液質とな
り、基板に均一な塗布を行うことができる。

(3) コーテイングロールから、塗布液供給器を分
離させる場合、塗布液の流出落下等の無駄がな
く、また装置全体を汚すことがなく、従来のも
のに比べて、保守がやりやすい。

(4) 塗布液供給器内にてオーバーフローした塗布
液は、従来のものに比べ、ほとんど汚れること
はなく、再使用することができ、無駄が少な
い。

(5) 塗布液供給手段により、塗布液を、塗布液供
給器へ供給する量は、オーバーフローせきをオ
ーバーフローするに足る程度まで、少くするこ
とができる。また、この供給量を万一増大させ
ても、基板表面に塗布される液質や、膜厚に変
化はない。

(6) 基板の膜厚調整が、従来のものに比べて容易
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す斜視図、第
２図は、第１図の要部の縦断側面図、第３図は、
第２図の要部拡大図、第４図は、従来のドクター
ロールを用いたロールコータの例をなす側面図、
第５図は同じく斜面図である。 １……基板、２……コーテイングロール、３…
…ドクターロール、４……バツクアツプロール、
５……ノズル、６……ドレンバツト、７……排液
管、８……矢印、９……溝、１０……塗布液供給
器、１１……オーバーフローせき、１２……塗布
液供給ロール、１３……排出配管、１４……供給
配管、１５……搬送用ロール、１６……塗布液貯
留槽、１７……オーバーフロー槽、１８……ドク
ター、１９……側壁。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被処理基板に処理液を塗布するコーテイング
   ロールと、その直下に配置したバツクアツプロ
   ールとの間に、被処理基板を挟持搬送しつつ、
   前記コーテイングロールの周面に処理液を供給
   するロールコータにおいて、 前記コーテイングロールの下降側の周面に近
   接して、該コーテイングロールと平行をなすと
   ともに、その周面に接離可能に配設され、かつ
   コーテイングロールに当接する縁部にドクター
   ナイフが形成されている樋状の処理液容器と、 該処理液容器に貯溜された処理液の液面と、
   前記コーテイングロールの周面との両方に接触
   し、かつコーテイングロールの回転に従動して
   回動する液供給ロール とを具備することを特徴とするロールコータ。 (2) 処理液容器の内部に、該容器を長手方向に二
   分し、かつその上端がドクターナイフ部を含む
   容器周壁より低い仕切板を設け、二分された容
   器のコーテイングロールに近い区画に、処理液
   を貯溜するようにしたことを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲第(1)項に記載のロールコー
   タ。 (3) 処理液を貯溜する区画に、少くともコーテイ
   ングロールにより被処理基板に塗布され費消さ
   れる量よりも多い処理液を常時補給し、余剰の
   処理液を仕切板をオーバーフローさせて他方の
   区画に流入させ、該他方の区画に附設した循環
   ポンプ系により、前記処理液貯溜区画へ還流補
   給するようにしたことを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第(2)項に記載のロールコータ。 (4) ドクターナイフによりコーテイングロール周
   面よりかきとられた処理液を、処理液容器の処
   理液貯溜区画に収容するようにした実用新案登
   録請求の範囲第(1)項乃至第(3)項のいずれかに記
   載のロールコータ。