JPS6237925U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6237925U JPS6237925U JP12913185U JP12913185U JPS6237925U JP S6237925 U JPS6237925 U JP S6237925U JP 12913185 U JP12913185 U JP 12913185U JP 12913185 U JP12913185 U JP 12913185U JP S6237925 U JPS6237925 U JP S6237925U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- storage means
- circular portion
- deviation amount
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
第１図は本考案の制御原理の説明図、第２図は
回転角度と補間量との関係を示すグラフ、第３図
は本考案による制御状態の移行を示す説明図、第
４図は本考案を実施するための構成例を示すブロ
ツク図、第５図は従来の研磨方法の説明図である
。 １：ウエハ、１ａ：オリフラ、２：砥石、１０
：サーボモータ、１１：エンコーダ、１２：サー
ボコントローラ、１３：加工物回転用モータ、１
４：エンコーダ、１５：プログラムメモリ、１６
：ゲート、１７：サーボアンプ。
回転角度と補間量との関係を示すグラフ、第３図
は本考案による制御状態の移行を示す説明図、第
４図は本考案を実施するための構成例を示すブロ
ツク図、第５図は従来の研磨方法の説明図である
。 １：ウエハ、１ａ：オリフラ、２：砥石、１０
：サーボモータ、１１：エンコーダ、１２：サー
ボコントローラ、１３：加工物回転用モータ、１
４：エンコーダ、１５：プログラムメモリ、１６
：ゲート、１７：サーボアンプ。
Claims (1)
- 加工物の回転方向の角度と非円部分の径方向の
偏差量とを予め記憶しておく記憶手段と、その記
憶手段に記憶された偏差量に応じて加工工具に向
かう移動量を制御する手段とを有することを特徴
とする非円部分を有する加工物の端面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12913185U JPS6237925U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12913185U JPS6237925U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237925U true JPS6237925U (ja) | 1987-03-06 |
Family
ID=31025430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12913185U Pending JPS6237925U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237925U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011056632A (ja) * | 2009-09-11 | 2011-03-24 | Ntn Corp | 非真円形状の加工方法 |
-
1985
- 1985-08-23 JP JP12913185U patent/JPS6237925U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011056632A (ja) * | 2009-09-11 | 2011-03-24 | Ntn Corp | 非真円形状の加工方法 |