JPS6236062U - - Google Patents
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- JPS6236062U JPS6236062U JP12402585U JP12402585U JPS6236062U JP S6236062 U JPS6236062 U JP S6236062U JP 12402585 U JP12402585 U JP 12402585U JP 12402585 U JP12402585 U JP 12402585U JP S6236062 U JPS6236062 U JP S6236062U
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- JP
- Japan
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- furnace
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- furnace structure
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Landscapes
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
Description
第1図は、本考案の一実施例の多数個独立して
、真空処理するための小形複数個炉構造と冷却処
理品セツトベースの構成図、第2図は、従来の多
数個独立して、真空処理するための1体炉構造と
処理品セツトベースの構成図である。 1……断熱材、2……ヒータ、3……セツトベ
ース、4……石英管、5……処理品、9……反射
板、12……水冷板、13……水冷仕切板、14
……小形炉。
、真空処理するための小形複数個炉構造と冷却処
理品セツトベースの構成図、第2図は、従来の多
数個独立して、真空処理するための1体炉構造と
処理品セツトベースの構成図である。 1……断熱材、2……ヒータ、3……セツトベ
ース、4……石英管、5……処理品、9……反射
板、12……水冷板、13……水冷仕切板、14
……小形炉。
Claims (1)
- 処理部材を多数個独立させて真空処理するため
の炉構造に於いて、各々の小形炉を水冷の仕切板
で分離する事により炉相互間での熱影響を防止し
た事を特徴とする小形複数炉構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12402585U JPS6236062U (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12402585U JPS6236062U (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6236062U true JPS6236062U (ja) | 1987-03-03 |
Family
ID=31015663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12402585U Pending JPS6236062U (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6236062U (ja) |
-
1985
- 1985-08-14 JP JP12402585U patent/JPS6236062U/ja active Pending
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