JPS6232333A - ガス漏洩探知装置 - Google Patents
ガス漏洩探知装置Info
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- JPS6232333A JPS6232333A JP17108585A JP17108585A JPS6232333A JP S6232333 A JPS6232333 A JP S6232333A JP 17108585 A JP17108585 A JP 17108585A JP 17108585 A JP17108585 A JP 17108585A JP S6232333 A JPS6232333 A JP S6232333A
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- Japan
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- gas
- light
- transmitting device
- infrared rays
- gas leak
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガス漏洩Ｎ知装置に糸り、時に、広大な場所に
おける部分的なガスの漏洩全探知するのに好適なガス１
４洩探矧装置に関する。
おける部分的なガスの漏洩全探知するのに好適なガス１
４洩探矧装置に関する。
従来のガスｔＩｆｔ１ｃ！！、探矧装置としては、析コ
スモス１１Ｌ機株式会社発行のカタログ「００８ＭＯ８
ＧＡＳＤ Ｅ ’ｒ Ｅ ＣＩ’ Ｏ几Ｓ製品案内」に
記載されている如き、微小センサーを要所要所に設置し
て、万一ガスの漏洩があった場合には、設ｖｌｌＬ４所
にガスが飛来してきたときのみ！第１７作し、次の処′
ｖｔヲ講じるようにしていた。
スモス１１Ｌ機株式会社発行のカタログ「００８ＭＯ８
ＧＡＳＤ Ｅ ’ｒ Ｅ ＣＩ’ Ｏ几Ｓ製品案内」に
記載されている如き、微小センサーを要所要所に設置し
て、万一ガスの漏洩があった場合には、設ｖｌｌＬ４所
にガスが飛来してきたときのみ！第１７作し、次の処′
ｖｔヲ講じるようにしていた。
しかし、この方式では、広大な場所、例えばガス会社の
ガス設備曲り、又は化学会社の設備囲り膨大な量のセン
サーが必要であり、かつ、これを経済的な見地から数の
減少を図った場合には、重大なガス洩れの探矧？完全に
行うことが困難であった。また、既存のセンサーは、ｉ
！Ｉ数攬類のガスを１１類のセンサーで同性能で検知す
ることは難しく、この目的の場合には、複数個のセンサ
ーを匣用しなければならない。
ガス設備曲り、又は化学会社の設備囲り膨大な量のセン
サーが必要であり、かつ、これを経済的な見地から数の
減少を図った場合には、重大なガス洩れの探矧？完全に
行うことが困難であった。また、既存のセンサーは、ｉ
！Ｉ数攬類のガスを１１類のセンサーで同性能で検知す
ることは難しく、この目的の場合には、複数個のセンサ
ーを匣用しなければならない。
本発明は上述の点に鑑み成されたもので、その目的とす
るところは、広範囲な場所のガス漏洩をいかなる対象ガ
スにおいても正確に探知できるガス漏洩探知装ｆｉｔを
提供するにある。
るところは、広範囲な場所のガス漏洩をいかなる対象ガ
スにおいても正確に探知できるガス漏洩探知装ｆｉｔを
提供するにある。
本発明は赤外線発生−１ｌａｔと、該赤外線発生装置か
らの赤外線ヲターゲットに向けて送行する送行装ｄと、
該送光装ｄから送光された赤外線を直接、又は反射させ
て受け、ここでの吸収スペクトルを分析してガスの存在
ｔｍ認する機構とより構成することにより、所期の目的
金達成するようになしたものである。
らの赤外線ヲターゲットに向けて送行する送行装ｄと、
該送光装ｄから送光された赤外線を直接、又は反射させ
て受け、ここでの吸収スペクトルを分析してガスの存在
ｔｍ認する機構とより構成することにより、所期の目的
金達成するようになしたものである。
以丁、図面の実ｍ列に基づいて本発明の詳細な説明する
。
。
まず、第１４図に各種ガスの吸収スペクトル２示す。第
１４図（ａ）はメタン、第１４図（ｂ）はプロパン、第
１４図＜ｃ＞は１− ヘキサン、及び第１４図（ｄ）は
エチレンをそれぞれ示し、１はメタン吸収スペクトル、
２はプロパン吸収スペクトル、３はｑ−ヘキサン吸収ス
ペクトル、４はエチレン吸収スペクトルである。線図の
グロく、例えばメタンを例にとると、波長約３．４μ、
及び７．７μに吸収スペクトル１が存在し、他のガスに
も、荷有の吸収スペクトルが存在することがわかる。
一本貼明では、この性ｊ！［？利用してセンサーとす
るもので、：Ｊｃ１３図（ａ）、 （ｂ）にその原理？
示す。即ち、第１３図（ａ）に示すように、赤外線？発
生させこれを送光する発光、送光−Ａ［ｔ５からの赤外
線６を受光装置７で受け、ここで吸収スペクトル？分析
してガスの存在を確認するか、あるいは！Ａ１３図（ｂ
）に示すように、発光、送光装置１５からの赤外線を反
射板８にて反射させ、この反射させた光９？受光装＋１
７で受け、ここでの吸収スペクトルき分析してガスの存
在全確認するものである。
１４図（ａ）はメタン、第１４図（ｂ）はプロパン、第
１４図＜ｃ＞は１− ヘキサン、及び第１４図（ｄ）は
エチレンをそれぞれ示し、１はメタン吸収スペクトル、
２はプロパン吸収スペクトル、３はｑ−ヘキサン吸収ス
ペクトル、４はエチレン吸収スペクトルである。線図の
グロく、例えばメタンを例にとると、波長約３．４μ、
及び７．７μに吸収スペクトル１が存在し、他のガスに
も、荷有の吸収スペクトルが存在することがわかる。
一本貼明では、この性ｊ！［？利用してセンサーとす
るもので、：Ｊｃ１３図（ａ）、 （ｂ）にその原理？
示す。即ち、第１３図（ａ）に示すように、赤外線？発
生させこれを送光する発光、送光−Ａ［ｔ５からの赤外
線６を受光装置７で受け、ここで吸収スペクトル？分析
してガスの存在を確認するか、あるいは！Ａ１３図（ｂ
）に示すように、発光、送光装置１５からの赤外線を反
射板８にて反射させ、この反射させた光９？受光装＋１
７で受け、ここでの吸収スペクトルき分析してガスの存
在全確認するものである。
次に、具体的な例２図を用いて説明する。
第１図、及び第２図に本発明の第１の実施例を示す。該
図の如く、通常、ガス設備１０はガスパイプ１１で連結
され、建屋１２内に収納されている。本実施例では、１
根１３付近の建屋１２に発光、送元装置１４を設け、こ
れとは反対側の建屋１２に前記発光、送光装置１４と相
対向するよう受光装置１５を設けている。そして、発光
、送光装置１１ｉｅ１４から出た光は、光路１６ｆｃ通
り受光装置１５で受けられ、ここでの吸収スペクトルを
分析してガスの存在を確認する。
図の如く、通常、ガス設備１０はガスパイプ１１で連結
され、建屋１２内に収納されている。本実施例では、１
根１３付近の建屋１２に発光、送元装置１４を設け、こ
れとは反対側の建屋１２に前記発光、送光装置１４と相
対向するよう受光装置１５を設けている。そして、発光
、送光装置１１ｉｅ１４から出た光は、光路１６ｆｃ通
り受光装置１５で受けられ、ここでの吸収スペクトルを
分析してガスの存在を確認する。
本実施例は、ガスの流出口が比較的中が狭い場合の場所
用として有利であり、広い範囲の場所のガス漏ｉｔいか
なる対尿ガスであっても正確に探知できる。
用として有利であり、広い範囲の場所のガス漏ｉｔいか
なる対尿ガスであっても正確に探知できる。
尚、上述の例で、受光装置１５の位置に反射板を設け、
かつ、受光装置１５を発光、送光装置１４付近に配置し
、発光、送光装置ｔｔ＋からの光？反射板で反射させ、
反射された反射光を受光装置で受けることによっても同
様な効果が得られる。
かつ、受光装置１５を発光、送光装置１４付近に配置し
、発光、送光装置ｔｔ＋からの光？反射板で反射させ、
反射された反射光を受光装置で受けることによっても同
様な効果が得られる。
第３図に本発明の第２の実施例金示す。線図の例は、漏
洩ガスの探知を部分面、又は全面のいわゆる面で探知す
る例である。・磁洩ガスの探知を部分面で行う場合は、
図示の如く、発光、送光装置、あるいは受光装置ｉｔ部
付発光、迷光装置１７と受光装置、あるいは反射板付受
光装置１１ Ｉｌｌ、ガス設備１０を囲む部分に相対向
するよう部分的に取付け、上述と同様にして、ａ洩カス
の探知を部分面でとらえるものである。漏洩ガスの探但
？全面で行う場合に框、上述した、発光、送光装置（受
光装置付も含む）１７、及び受光装置（反射板付も含む
）１８は、ガス設置１１（ｌ囲む全面をカバーするよう
に設置される。尚、漏洩ガスの探知を部分面で行うか、
全面で行うかのＪ！！！択は自由であり、良い効果的な
方式金遣べばよい。
洩ガスの探知を部分面、又は全面のいわゆる面で探知す
る例である。・磁洩ガスの探知を部分面で行う場合は、
図示の如く、発光、送光装置、あるいは受光装置ｉｔ部
付発光、迷光装置１７と受光装置、あるいは反射板付受
光装置１１ Ｉｌｌ、ガス設備１０を囲む部分に相対向
するよう部分的に取付け、上述と同様にして、ａ洩カス
の探知を部分面でとらえるものである。漏洩ガスの探但
？全面で行う場合に框、上述した、発光、送光装置（受
光装置付も含む）１７、及び受光装置（反射板付も含む
）１８は、ガス設置１１（ｌ囲む全面をカバーするよう
に設置される。尚、漏洩ガスの探知を部分面で行うか、
全面で行うかのＪ！！！択は自由であり、良い効果的な
方式金遣べばよい。
第４図に本発明の第３の実ｊ例？示す。線図の例も上述
したものとほぼ開成であるが、本実施例では、ガス設備
１０全面ｔカバーするために発光、送光装置、あるいは
受光装置部付発光、送光装置１７は、受光装置、あるい
は反射板付受光装置１８に連続的、あるいは間欠的に配
置されており、ガス洩れの通路に泪当する赤外光は、ガ
スの種類に固有な吸収スペクトルを伴って発光、送光装
置１７に到着し、ガス漏洩が探知される。尚、反射板付
受光装［１８方向からの送光の場合、受光装置部付発光
、送光装置１７での感度を上げるために、位相シフト送
光も有効である。
したものとほぼ開成であるが、本実施例では、ガス設備
１０全面ｔカバーするために発光、送光装置、あるいは
受光装置部付発光、送光装置１７は、受光装置、あるい
は反射板付受光装置１８に連続的、あるいは間欠的に配
置されており、ガス洩れの通路に泪当する赤外光は、ガ
スの種類に固有な吸収スペクトルを伴って発光、送光装
置１７に到着し、ガス漏洩が探知される。尚、反射板付
受光装［１８方向からの送光の場合、受光装置部付発光
、送光装置１７での感度を上げるために、位相シフト送
光も有効である。
第５図ｒ１４４図を拡大したものであり、ガス漏洩１或
構、注１泪は第４図のものとほぼ同一である。
構、注１泪は第４図のものとほぼ同一である。
第６図に本発明の第４の実施例を示す。線図の例は、発
光、送光装置２０と受光装置ｔ２１を組合せ、これを複
数個配置し、発光、送光装置２０から広角送光して受光
装置２１で受光することを、ａ数個で行い、ガス設備１
０からのガス漏洩を検知するようにしている。
光、送光装置２０と受光装置ｔ２１を組合せ、これを複
数個配置し、発光、送光装置２０から広角送光して受光
装置２１で受光することを、ａ数個で行い、ガス設備１
０からのガス漏洩を検知するようにしている。
尚、今まで説明した各例は、９間的にセンサーを固定し
、麿、又は面にてガスの漏洩をキャッチする方式であｏ
ｏ 第７図に不発明の躬５の実地例を示す。該図に示す例は
、発光、送光装置、あるいは受光装置付発光、送光装置
２２、又は受尤装置、り心いは反射板付受光装置２３の
一方を回転さぜ、これにより吸収スペクトルの有無金ｄ
−認し、ガス漏洩を探知する方式である。
、麿、又は面にてガスの漏洩をキャッチする方式であｏ
ｏ 第７図に不発明の躬５の実地例を示す。該図に示す例は
、発光、送光装置、あるいは受光装置付発光、送光装置
２２、又は受尤装置、り心いは反射板付受光装置２３の
一方を回転さぜ、これにより吸収スペクトルの有無金ｄ
−認し、ガス漏洩を探知する方式である。
第８図は第７図の旺、洲ｒ示すもので、発光、送元装置
２２を支柱２４上で回転させ、受光装置２３で連・疏的
、又は間欠的にガス洩れ泣ｄ（角度）を探知するもので
ある。
２２を支柱２４上で回転させ、受光装置２３で連・疏的
、又は間欠的にガス洩れ泣ｄ（角度）を探知するもので
ある。
第９図は第６図に示した列で、元元、送光装置２（１１
！２１転させ、上記と同様な効果全ｊたせたものである
。
！２１転させ、上記と同様な効果全ｊたせたものである
。
第１Ｏ図ＶＣ本元明の第６の実施しＯｔ示す。線図に示
すｆｌｊは、発光、送光装置、７、及び受光装置１８、
或いは反射板金レール２５上に配−させ、こｎら全同期
させて、或いは同期に近い位置関係で部付させ、吸収ス
ペクトル全演知してガス膚洩金探昶する方式である。こ
の第１合ｌこは、洩れのめる座標が走り、ｌ橿洩ガスの
存在する平面の確認が容易である。
すｆｌｊは、発光、送光装置、７、及び受光装置１８、
或いは反射板金レール２５上に配−させ、こｎら全同期
させて、或いは同期に近い位置関係で部付させ、吸収ス
ペクトル全演知してガス膚洩金探昶する方式である。こ
の第１合ｌこは、洩れのめる座標が走り、ｌ橿洩ガスの
存在する平面の確認が容易である。
即ち、図示において、Ｘ、〜Ｘｌ＋ｇ＊ｙ−〜ｙＩ十−
で吸収スペクトルが検知されれば、Ｘ方向ばｉからαの
範囲、ｙ方向１ｄｉからβの範囲でガ、スが存在するこ
とが把握できる。
で吸収スペクトルが検知されれば、Ｘ方向ばｉからαの
範囲、ｙ方向１ｄｉからβの範囲でガ、スが存在するこ
とが把握できる。
第１１図、及び第１２図は、第７図、及び第８図に示し
た例に、上記の例を適用した場合を示すもので、その効
果は同様である。尚、これ等の場合は、角度のみの変化
ｔつかまえることになるので、ｘｖＹ座標の如く、漏洩
区域は絞れないが、支柱２４からの方向は把握可能であ
る。
た例に、上記の例を適用した場合を示すもので、その効
果は同様である。尚、これ等の場合は、角度のみの変化
ｔつかまえることになるので、ｘｖＹ座標の如く、漏洩
区域は絞れないが、支柱２４からの方向は把握可能であ
る。
以上説明した本発明のガス漏洩探知装置によれば、赤外
線発生装置と、該赤外線発生装置からの赤外ｌｌ１Ｉヲ
ターゲツトに向けて送光する送光装置と、該送光装置か
ら送光された赤外線を直接、又は反射させて受け、ここ
での吸収スペクトルを分析してガスの存在を確認する機
構とより構成したものｆあＡ≠、１−１． ガスの堵
佃を置版−１易四スペクトル全便用して行うので、広範
囲な場所のガス漏洩をいかなる種類のガスにおいても正
確に探知でき、此種ガス漏洩探知装置に採用する場合に
は非常に有効である。
線発生装置と、該赤外線発生装置からの赤外ｌｌ１Ｉヲ
ターゲツトに向けて送光する送光装置と、該送光装置か
ら送光された赤外線を直接、又は反射させて受け、ここ
での吸収スペクトルを分析してガスの存在を確認する機
構とより構成したものｆあＡ≠、１−１． ガスの堵
佃を置版−１易四スペクトル全便用して行うので、広範
囲な場所のガス漏洩をいかなる種類のガスにおいても正
確に探知でき、此種ガス漏洩探知装置に採用する場合に
は非常に有効である。
第１図は不発明のガス漏洩探知装置の一実施例を示す正
面図、第２図は第１図の部分平面図、第３図は本発明の
第２の実施例を示す概略平面図、第４図は本発明の第３
の実施例と示す概略平面図、メ５図ｔｒＪＪ４図の詳細
平面図、第６図は本発明の第４の実施列を示す概略平面
図、第７図は本発明の第５の実施例を示す政略平面図、
第８図は第７図の詳細平面図、４９図ｒｉ＄６図に示し
た例の変形例を示す概略平面図、第１０図は本発明の第
６の実施例を示す概略平面図、第１１図、及び第１２図
は第７図、及び第８図に示した例の変形例？示す概略平
面図、第１３図（ａ）、 （ｂ）は本発明の詳細な説明
するための図、第１４−図（ａ）〜（ｄ）は各種ガスに
おける吸収スペクトルを示す′＃注図である。 ５．１４，１７，２０，２２・・・発光、送光装置、７
．１５，１８，２１，２３・・・受光装置、８・・・反
射板、１０・・・ガス設備、１２・・・１屋、２４・・
・支柱、２５・・・レール。
面図、第２図は第１図の部分平面図、第３図は本発明の
第２の実施例を示す概略平面図、第４図は本発明の第３
の実施例と示す概略平面図、メ５図ｔｒＪＪ４図の詳細
平面図、第６図は本発明の第４の実施列を示す概略平面
図、第７図は本発明の第５の実施例を示す政略平面図、
第８図は第７図の詳細平面図、４９図ｒｉ＄６図に示し
た例の変形例を示す概略平面図、第１０図は本発明の第
６の実施例を示す概略平面図、第１１図、及び第１２図
は第７図、及び第８図に示した例の変形例？示す概略平
面図、第１３図（ａ）、 （ｂ）は本発明の詳細な説明
するための図、第１４−図（ａ）〜（ｄ）は各種ガスに
おける吸収スペクトルを示す′＃注図である。 ５．１４，１７，２０，２２・・・発光、送光装置、７
．１５，１８，２１，２３・・・受光装置、８・・・反
射板、１０・・・ガス設備、１２・・・１屋、２４・・
・支柱、２５・・・レール。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、赤外線発生装置と、該赤外線発生装置からの赤外線
をターゲットに向けて送光する送光装置と、該送光装置
から送光された赤外線を直接、又は反射させて受け、こ
こでの吸収スペクトルを分析してガスの存在を確認する
機構より成ることを特徴とするガス漏洩探知装置。 ２、前記検出装置を少くとも１個ガス貯蔵設備間の或る
空間に設置し、前記ガス貯蔵設備の漏洩ガスを検出装置
により線、又は面としてとらえて検出することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のガス漏洩探知装置。 ３、前記送光装置、又は該送光装置からの赤外線を受け
る受光装置を回転、又は直線送行させ或る空間に対して
連続的、又は間欠的に二次元面での漏洩ガスを検出する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス漏洩
探知装置。 ４、前記送光装置、及び該送光装置からの赤外線を受け
る受光装置をほぼ同期させて同時に走行させ連続的、又
は間欠的に二次元面の漏洩ガスを検出することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のガス漏洩探知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17108585A JPS6232333A (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | ガス漏洩探知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17108585A JPS6232333A (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | ガス漏洩探知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232333A true JPS6232333A (ja) | 1987-02-12 |
Family
ID=15916722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17108585A Pending JPS6232333A (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | ガス漏洩探知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232333A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63214637A (ja) * | 1987-03-02 | 1988-09-07 | Agency Of Ind Science & Technol | ガス漏洩検出装置 |
| JPH0599779A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Osaka Gas Co Ltd | ガス漏れ監視装置 |
| CN111247409A (zh) * | 2017-10-10 | 2020-06-05 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置的试验方法及半导体装置的制造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56147034A (en) * | 1980-04-17 | 1981-11-14 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Gas leakage detector |
-
1985
- 1985-08-05 JP JP17108585A patent/JPS6232333A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56147034A (en) * | 1980-04-17 | 1981-11-14 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | Gas leakage detector |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63214637A (ja) * | 1987-03-02 | 1988-09-07 | Agency Of Ind Science & Technol | ガス漏洩検出装置 |
| JPH0599779A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Osaka Gas Co Ltd | ガス漏れ監視装置 |
| CN111247409A (zh) * | 2017-10-10 | 2020-06-05 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置的试验方法及半导体装置的制造方法 |
| CN111247409B (zh) * | 2017-10-10 | 2022-05-10 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置的试验方法及半导体装置的制造方法 |
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