JPS62299971A - Optical density measuring instrument for image inspection - Google Patents

Optical density measuring instrument for image inspection

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Publication number
JPS62299971A
JPS62299971A JP61142976A JP14297686A JPS62299971A JP S62299971 A JPS62299971 A JP S62299971A JP 61142976 A JP61142976 A JP 61142976A JP 14297686 A JP14297686 A JP 14297686A JP S62299971 A JPS62299971 A JP S62299971A
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JP
Japan
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image
code
pattern
inspection
chart
Prior art date
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Pending
Application number
JP61142976A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuhiro Kantani
乾谷 信博
Toshihiko Inagaki
敏彦 稲垣
Kazunari Shimizu
一成 清水
Akira Yoshizawa
昭 吉沢
Kenichi Segawa
瀬川 賢一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS62299971A publication Critical patent/JPS62299971A/en
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/68Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
    • G03F1/82Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
    • G03F1/84Inspecting

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Facsimiles In General (AREA)

Abstract

PURPOSE:To allow the titled instrument to reach the level of image inspection executed by an operator by setting up the sampling width for detecting optical density to a value smaller than visual resolution. CONSTITUTION:A measuring field adjusting mechanism 56 is arranged with an aperture plate 59 and a field lens 61 in an optical path and the aperture plate 59 is provided with a square aperture part. The image of a measuring portion on copying paper is formed on the aperture area of 50X2,500mum so that the expand image of 5 times is formed. A square area of 10X500mum on the copy paper is set up as one reading range. Thus, data indicating fine image status can be extracted by setting up the sampling width to a value smaller than the visual resolution and the discrimination to the density or resolution close to human senses can be attained.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 「産業上の利用分野」 本発明は例えばファクシミリ装置や印刷機あるいは複写
機によって再現された画像の品質を検査するための画像
検査装置に使用する画像検査用光学濃度測定装置に関す
る。
Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention "Field of Industrial Application" The present invention is used, for example, in an image inspection device for inspecting the quality of images reproduced by facsimile machines, printing machines, or copying machines. The present invention relates to an optical density measuring device for image inspection.

「従来の技術」 オフィスでは、各種情報機器が文字や画像等の画情報の
出力を行っている。この代表的なものは、原稿の複写を
行う複写機である。複写機は感光ドラム上に静電潜像を
形成したり、CCD等の撮像素子を用いて画情報の読み
取りを行い、現像器を用いて現像を行ったりあるいはサ
ーマルヘッド等の記録ヘッドを用いて用紙上に画像の再
現を行っている。
"Prior Art" In offices, various information devices output graphic information such as text and images. A typical example of this is a copying machine that copies original documents. A copying machine forms an electrostatic latent image on a photosensitive drum, reads image information using an image sensor such as a CCD, and develops the image using a developing device, or uses a recording head such as a thermal head. Images are reproduced on paper.

このような情報機器を設計したり、工場からこれらの情
報機器を出荷する際には、再現された画像の検査が行わ
れる。このような検査には、大別して次の2種類のもの
がある。
When designing such information devices or shipping these information devices from factories, reproduced images are inspected. There are two types of such tests:

(i)その情報機器が予め定められた手順に従って正常
に動作し、画像の再現を行ったかどうかの検査。
(i) Inspection of whether the information equipment operates normally according to predetermined procedures and reproduces images.

(ii )再現された画像の品質が、市場で許容される
程度あるいは機器の設計時に定められた仕様の範囲内に
あるかどうかの検査。
(ii) Checking whether the quality of the reproduced image is within the market acceptable range or the specifications established when the equipment was designed.

例えば複写機の場合、複写された用紙に対する画像の位
置、原稿に対する画像の濃度、解像度等が検査項目とな
る。検査者は、スケール、拡大レンズあるいは測定器を
駆使して、または目視によって検査を行い、複写機の各
プロセスが正常に動作しているかとか、画像の読み取り
やトナー像の転写位置に狂いがないか等の判別を行なう
For example, in the case of a copying machine, the inspection items include the position of the image relative to the copied paper, the density of the image relative to the original, and the resolution. The inspector inspects using scales, magnifying lenses, measuring instruments, or visually to check whether each process of the copying machine is working properly and that there are no errors in image reading or toner image transfer position. Determine whether or not.

複写機の場合には、後者の検査も検査者によって行われ
る。すなわち、用紙に複写された画像と見本とを検査者
が直接対比することによって画像の程度が判別される。
In the case of copying machines, the latter inspection is also performed by an inspector. That is, the quality of the image is determined by the inspector directly comparing the image copied on the paper with the sample.

以上のような従来の検査は、検査者が主体となるため、
次のような問題があった。
In conventional inspections as described above, the inspector is the main person, so
There were the following problems.

(1)検査者が異なると、測定値あるいは検査結果が変
化した。
(1) Measured values or test results changed due to different testers.

(ii )同一検査者でも、検査の馴れによって、ある
いは前に検査した検査対象による心理的影響によって測
定値あるいは検査結果が変化した。
(ii) Even for the same tester, the measured values or test results changed due to familiarity with the test or the psychological influence of the test subject tested previously.

(iii )検査者の肉体的疲労や精神的疲労によって
も測定値あるいは検査結果が変化した。
(iii) Measured values or test results also changed due to physical or mental fatigue of the examiner.

このような欠点を回避するために、画像検査装置が提案
されている(特開昭5−9−10345号公報および特
開昭59−10346号公報)。
In order to avoid such drawbacks, image inspection apparatuses have been proposed (Japanese Patent Application Laid-open No. 5-9-10345 and Japanese Patent Application Laid-open No. 59-10346).

この画像検査装置では、画像を有する被検査対象物を位
置決め載置するテーブルを用意している。
This image inspection apparatus is provided with a table on which an object to be inspected having an image is positioned and placed.

このテーブルに被検査対象物をセットし、検出部剣これ
に対向配置する。そしてこの検出部から出力される検出
データをデータ処理部に供給し、検出データに基づいて
画像の位置、濃度および解像度を数値化処理する。
The object to be inspected is set on this table, and the detection section is placed opposite to it. Then, the detection data output from this detection section is supplied to a data processing section, and the position, density, and resolution of the image are digitized based on the detection data.

「発明が解決しようとする問題点」 ところがこの提案された画像検査装置では、検出部にラ
インセンサ(イメージセンサ)あるいはこれに低濃度計
と高濃度計を組み合わせたものを使用していた。このた
め、測定できる最小の領域は人間の感知できる最小領域
よりもかなり大きな領域とならざるを得なかった。従っ
てこの画像検査装置では、均一な濃度領域における光学
濃度や極めて良質の画像部分における解像度について、
ある程度良好な測定結果を得ることができるものの、こ
れら以外の状況下における画像検査では人間の感じる結
果と大きな隔たりを発生させる場合があった。
``Problems to be Solved by the Invention'' However, the proposed image inspection apparatus uses a line sensor (image sensor) or a combination of a low density meter and a high density meter in the detection section. For this reason, the minimum area that can be measured has to be much larger than the minimum area that humans can sense. Therefore, with this image inspection device, the optical density in uniform density areas and the resolution in extremely high quality image areas are
Although it is possible to obtain somewhat good measurement results, image examinations under other conditions may result in a large discrepancy between the results and those perceived by humans.

この原因を次に説明する。The cause of this will be explained next.

第17図は解像度検査用のチャートの一部を拡大して表
わしたものである。このようにこのチャートでは間隔と
線幅を幾段階かに設定した黒線201が平行に描かれて
おり、背景の白色の地色部分202とどの線幅まで識別
できるかによってコピーした画像の解像度を検査するよ
うになっている。
FIG. 17 is an enlarged view of a part of the chart for resolution inspection. In this way, in this chart, black lines 201 with different intervals and line widths are drawn in parallel, and the resolution of the copied image is determined by how far the line width can be distinguished from the white background part 202. It is designed to be inspected.

第18図はこのチャートの一部を更に拡大したものであ
り、第19図はこれに対応させて複写機のコピー画像の
サンプルを表わしたものである。
FIG. 18 shows a further enlarged part of this chart, and FIG. 19 shows a sample of images copied by a copying machine in correspondence with this.

ここで第19図Aは、地色部分202と黒線202の境
界領域に比較的大きな凹凸が発生した例であり、同図B
はこれらの境界部分でトナーが飛散してしまった例であ
る。また同図Cは黒線201の内部にトナーの付着して
いない空白領域203が発生した例である。この他、黒
線201の濃度が境界部分で一度に変化せず段階的に変
化したり、黒線201の内部で濃淡が発生する場合等の
各種の状態が出現する。このような画像の微妙な状態は
、画質評価の比較的大きな要因となる。
Here, FIG. 19A is an example in which relatively large unevenness occurs in the boundary area between the ground color portion 202 and the black line 202, and FIG.
This is an example of toner scattering at these boundary areas. Further, C in the same figure is an example in which a blank area 203 to which no toner is attached is generated inside the black line 201. In addition, various other situations may occur, such as the density of the black line 201 not changing all at once at the boundary but changing stepwise, or shading occurring inside the black line 201. Such delicate image conditions are a relatively large factor in image quality evaluation.

ところで第20図は例えば第19図Aで示したように黒
線の輪郭に凹凸がある場合における読み取られた画信号
の信号レベルを表わしたものである。この画信号205
は第17図に示したチャートを図で横方向に走査して得
られた信号であり、例えば特開昭59−”103465
号公報の第4図に対応するものである。この図で破線で
示した信号部分205′は第19図Aで黒線201の出
っ張った部分を走査した画信号であり、実線で示した他
の部分よりも波形に太りがある。ところが図で一点鎖線
207で示したスレッショルドレベルで画信号205.
205′を2値化して画像の検査を行うと、解像度とし
ての評価は両者とも全く同一なものとなってしまう。従
来の装置では、2値化によって信号の変化が生じた箇所
とその箇所における信号の変化の回数によって解像度の
判別を行っていたためである。
By the way, FIG. 20 shows the signal level of the read image signal when the outline of the black line has irregularities as shown in FIG. 19A, for example. This image signal 205
is a signal obtained by horizontally scanning the chart shown in FIG.
This corresponds to FIG. 4 of the publication. A signal portion 205' indicated by a broken line in this figure is an image signal obtained by scanning the protruding portion of the black line 201 in FIG. 19A, and has a thicker waveform than other portions indicated by a solid line. However, the image signal 205 .
If 205' is binarized and the image is inspected, the evaluation of the resolution will be exactly the same for both. This is because in conventional devices, the resolution is determined based on the location where a signal change occurs due to binarization and the number of times the signal changes at that location.

第21図は第19図Bに示した画像状態に対する画信号
であり、第22図は第19図Cに示した画像状態に対す
る画信号の例を表わしたものである。第21図に示した
例では、飛散したトナーを走査した部分208で画信号
205のレベルが高くなる。しかしながら、飛散した部
分が相対的に小さな領域であるため、この部分で信号レ
ベルが十分上昇せず、2値化の過程で無視されてしまう
FIG. 21 shows an image signal for the image state shown in FIG. 19B, and FIG. 22 shows an example of an image signal for the image state shown in FIG. 19C. In the example shown in FIG. 21, the level of the image signal 205 becomes high in a portion 208 where the scattered toner is scanned. However, since the scattered portion is a relatively small area, the signal level does not increase sufficiently in this portion and is ignored in the binarization process.

第22図はこれと逆の場合であり、黒線201の部分に
存在する空白領域203によって矢印209の部分の信
号レベルが低下している。しかしながらこの場合にも、
微小部分についての信号変化は十分でないので、2値化
の過程でこの変化は無視される。このように従来の装置
によると、人間の目で感じる画像の良否と異なったレベ
ルで画像の判別が行われるという問題があった。
FIG. 22 shows the opposite case, where the signal level at the arrow 209 is lowered due to the blank area 203 existing at the black line 201. However, even in this case,
Since the signal change in the minute portion is not sufficient, this change is ignored in the binarization process. As described above, the conventional apparatus has a problem in that images are judged at a level different from that perceived by the human eye.

そこで本発明の目的は、人間の行う画像検査のレベルに
到達させることのできる画像検査用光学濃度測定装置を
提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, it is an object of the present invention to provide an optical density measuring device for image inspection that can reach the level of image inspection performed by humans.

「問題点を解決するための手段」 本発明では光学濃度を検知するためのサンプリング幅を
視感分解能より小さくなるように設定することで前記し
た目的を達成する。
"Means for Solving the Problems" In the present invention, the above-mentioned object is achieved by setting the sampling width for detecting optical density to be smaller than the visual resolution.

−例としては、光学系に微小な開口部を配置して受光部
に入力される光線の領域を制限し、光学濃度を検知する
領域を視感分解能より小さい矩形領域となるようにすれ
ばよい。矩形領域は正方形であっても長方形であっても
よく、長方形の場合には、短辺が約50μm以下となる
ように設定されればよい。
-For example, a small aperture may be placed in the optical system to limit the area of light that enters the light receiving section, so that the area for detecting optical density is a rectangular area smaller than the visual resolution. . The rectangular area may be a square or a rectangle, and in the case of a rectangle, the short side may be set to be approximately 50 μm or less.

もちろん、被検査物における領域の形状は矩形である必
要はなく、円形、楕円形等の各種の形状をとることが可
能である。
Of course, the shape of the region in the object to be inspected does not have to be rectangular, and can take various shapes such as circular and elliptical shapes.

本発明によれば、例えば50μm以下という微小間隔で
画像のサンプリングを行うので、視感分解能以上の画像
データを得ることができ、これを処理することで人間に
よる検査により近づいた画像検査が可能となる。
According to the present invention, since images are sampled at minute intervals of, for example, 50 μm or less, it is possible to obtain image data that exceeds the visual resolution, and by processing this, it is possible to perform image inspections that are closer to human inspections. Become.

「実施例」 以下実施例につき本発明の詳細な説明する。"Example" The present invention will be described in detail with reference to Examples below.

装置の概要 第1図は本発明の一実施例における画像検査用光学濃度
測定装置の外観を表わしたものである。
Overview of Apparatus FIG. 1 shows the external appearance of an optical density measuring apparatus for image inspection in one embodiment of the present invention.

この画像検査用光学濃度測定装置は検査部1、コンピュ
ータ部2およびプリンタ部3によって構成されている。
This optical density measurement apparatus for image inspection is composed of an inspection section 1, a computer section 2, and a printer section 3.

このうち、検査部1は被検査物としてのコピー用紙4を
連続的に検査する部分である。この検査部1は供給トレ
イ5と排出トレイ6を備えている。
Of these, the inspection section 1 is a section that continuously inspects copy paper 4 as an object to be inspected. The inspection section 1 includes a supply tray 5 and a discharge tray 6.

複写機の検査を行う場合には、複写機に所望のチャート
をセットし、これによって得られたコピー用紙4が図示
のように供給トレイ5に積層される。
When inspecting a copying machine, a desired chart is set in the copying machine, and copy sheets 4 obtained thereby are stacked on a supply tray 5 as shown.

コピー用紙4は送りローラ7によって1枚ずつ円筒状の
チャート保持部8に送り込まれる。チャート保持部8は
その表面が絶縁性被膜で覆われており、図示しない静電
荷供給器による帯電操作によってコピー用紙4はこの表
面に静電的に吸着される。この状態で被検査物としての
コピー用紙4の画像検査が行われる。
The copy sheets 4 are fed into a cylindrical chart holder 8 one by one by a feed roller 7. The surface of the chart holder 8 is covered with an insulating film, and the copy paper 4 is electrostatically attracted to this surface by a charging operation by an electrostatic charge supply device (not shown). In this state, an image inspection of the copy paper 4 as the object to be inspected is performed.

検査の終了したコピー用紙4は、後に説明する剥離機構
によってチャート保持部8から剥離される。剥離後のコ
ピー用紙4は排出トレイ6に順次排出されることになる
The copy paper 4 that has been inspected is peeled off from the chart holder 8 by a peeling mechanism that will be described later. The peeled copy sheets 4 are sequentially discharged onto the discharge tray 6.

この検査部1には操作表示パネル9が配置されており、
ここには電源スィッチ11と、被検査物パターンを手動
で特定する際に使用する移動キー12および測定結果と
しての濃度データを表示する表示器13が配置されてい
る。
An operation display panel 9 is arranged in this inspection section 1.
Disposed here are a power switch 11, a movement key 12 used when manually specifying the pattern of the object to be inspected, and a display 13 for displaying concentration data as a measurement result.

コンピュータ部2は市販のコンピュータによって構成す
ることができ、検査項目の特定や濃度データ等のデータ
の処理および各種表示を行う。この部分は、入力手段と
してのキーボード15、表示手段としてのCRT 16
、フロッピーディスクを駆動するためのディスクドライ
ブ装置17等を備えており、内部にはデータ処理のため
のCPU(中央処理装置)等が搭載されている。
The computer section 2 can be configured by a commercially available computer, and performs identification of inspection items, processing of data such as concentration data, and various displays. This part includes a keyboard 15 as an input means and a CRT 16 as a display means.
, a disk drive device 17 for driving a floppy disk, etc., and a CPU (central processing unit) for data processing is installed inside.

プリンタ部3は検査結果等の出力を行う部分であり、こ
の実施例ではドツトプリンタが使用されている。
The printer section 3 is a section that outputs test results and the like, and in this embodiment a dot printer is used.

第2図はこの画像検査用光学濃度測定装置の検査部の概
要を表わしたものである。この検査部1の送りローラ7
を回転させる軸21は、チェーン22を介して送りロー
ラ駆動モーフ23から駆動力の伝達を受けるようになっ
ている。供給トレイ5は図示しないソレノイドの励磁に
よって上方向に移動する力を与えられるようになってお
り、この励磁時に被検査物としてのコピー用紙4の最上
層表面が送りローラ21と接触する。この状態で送りロ
ーラ21が所定量回転すると、最上層のコピー用紙4が
1枚だけ送り出される。この送り出しに先立って、チャ
ート保持部8は図示しない帯電機構によってその表面を
均一に帯電させられる。
FIG. 2 shows an outline of the inspection section of this optical density measuring device for image inspection. The feed roller 7 of this inspection section 1
A shaft 21 that rotates receives driving force from a feed roller drive morph 23 via a chain 22. The supply tray 5 is adapted to be given a force to move upward by the excitation of a solenoid (not shown), and at the time of this excitation, the top layer surface of the copy paper 4 as the object to be inspected comes into contact with the feed roller 21. When the feed roller 21 rotates by a predetermined amount in this state, only one sheet of copy paper 4 in the uppermost layer is fed out. Prior to this feeding, the surface of the chart holder 8 is uniformly charged by a charging mechanism (not shown).

送り出されたコピー用紙4は、この結果としてチャート
保持部8に静電的に吸着される。円筒状のチャート保持
部8の円周方向(Y軸方向)の回転は、減速器25と連
結されたチャート保持部駆動モータ26の駆動力によっ
て行われる。
As a result, the fed-out copy paper 4 is electrostatically attracted to the chart holding section 8. The rotation of the cylindrical chart holder 8 in the circumferential direction (Y-axis direction) is performed by the driving force of a chart holder drive motor 26 connected to a decelerator 25 .

本実施例では、チャート保持部8の外径を直径162.
77mmとし、チャート保持部駆動モータ26のステッ
プ角を1.8度、また減速器25の減速比を1/256
とした。これにより、チャート保持部駆動モータ26が
1ステツプ駆動されることにより、チャート保持部8の
表面はY軸方向に10μmだけ移動することになる。チ
ャート保持部8の回転位置の制御すなわちY軸方向の位
置制御は、円筒の端部に設けられた切り欠き27をフォ
トセンサ28で検出した点を基準点として行う。
In this embodiment, the outer diameter of the chart holder 8 is 162 mm in diameter.
77 mm, the step angle of the chart holder drive motor 26 is 1.8 degrees, and the reduction ratio of the reducer 25 is 1/256.
And so. As a result, the chart holder drive motor 26 is driven one step, and the surface of the chart holder 8 is moved by 10 μm in the Y-axis direction. Control of the rotational position of the chart holder 8, that is, control of the position in the Y-axis direction, is performed using a point detected by a photo sensor 28 in a notch 27 provided at the end of the cylinder as a reference point.

チャート保持部8の上部には、X軸ステッピングモータ
31によって回転されるボールスクリュー32がその軸
を円筒状のチャート保持部8の回転軸と平行になるよう
に配置されている。光学ヘッド取付ブロック33はその
Y軸方向移動穴34がボールスクリ、、、−32と螺合
している。従って、X軸ステッピングモータ31が回転
すると、ボールスクリュー32と平行に配置された2つ
のガイドバー35.36に案内されてX軸方向に移動す
るようになっている。
A ball screw 32 rotated by an X-axis stepping motor 31 is arranged above the chart holder 8 so that its axis is parallel to the rotation axis of the cylindrical chart holder 8. The Y-axis movement hole 34 of the optical head mounting block 33 is screwed into ball screws . . . -32. Therefore, when the X-axis stepping motor 31 rotates, it is guided by two guide bars 35 and 36 arranged parallel to the ball screw 32 and moves in the X-axis direction.

本実施例ではボールスクリュー32のピッチは5mmで
ある。X軸ステッピングモータ31のステップ角を0.
72度とした構成によって、1ステツプの駆動で光学ヘ
ッド取付ブロック33は10μmだけX軸方向に移動す
る。X軸方向には2つのリミットスイッチ37.38が
配置されており、光学ヘッド取付ブロック33の移動範
囲を制限するようになっている。
In this embodiment, the pitch of the ball screw 32 is 5 mm. The step angle of the X-axis stepping motor 31 is set to 0.
With the configuration set at 72 degrees, the optical head mounting block 33 moves by 10 μm in the X-axis direction in one step of driving. Two limit switches 37 and 38 are arranged in the X-axis direction to limit the movement range of the optical head mounting block 33.

光学ヘッド取付ブロック33には、次に説明する濃度検
出部41が取り付けられている。濃度検出部41には拡
大接眼レンズ42も付属しており、ピント調節および特
にマニュアル操作時に対物レンズ43が捉えた画像の位
置を確かめることができる。
A density detection section 41, which will be described next, is attached to the optical head attachment block 33. A magnifying eyepiece lens 42 is also attached to the density detection unit 41, and the position of the image captured by the objective lens 43 can be checked during focus adjustment and especially during manual operation.

第3図は光学ヘッドの光学的な構造を表わしたものであ
る。
FIG. 3 shows the optical structure of the optical head.

濃度検出部41は照明用のタングステンランプ51を備
えている。タングステンランプ51から射出された光は
、照明レンズ52によって集光され、チャート保持部8
の測定部位53の照明が行われる。測定部位53の反射
光は、対物レンズ43によって集められ、半透鏡(ビー
ムスプリッタ)を備えたプリズム54で2方向に分岐さ
れる。
The concentration detection section 41 includes a tungsten lamp 51 for illumination. The light emitted from the tungsten lamp 51 is focused by the illumination lens 52 and
The measurement site 53 is illuminated. The reflected light from the measurement site 53 is collected by an objective lens 43 and split into two directions by a prism 54 equipped with a semi-transparent mirror (beam splitter).

分岐後の一方の光はミラー55によって反射され、測定
視野調整機構56を通過後、色補正フィルタ57によっ
て波長成分の補正が行われ、光電子増倍管58に入射さ
れる。ここで測定視野調整機構56は、光路中に開口板
59と視野レンズ61を配置している。
One of the branched lights is reflected by a mirror 55, passes through a measurement field of view adjustment mechanism 56, has its wavelength component corrected by a color correction filter 57, and enters a photomultiplier tube 58. Here, the measurement field of view adjustment mechanism 56 has an aperture plate 59 and a field lens 61 disposed in the optical path.

開口板59は第4図に示すように矩形状の開口部を備え
た板である。この 50μmX2500μmの開口部領域には、コピー用紙
上の測定部位の像が5倍に拡大されて結像されるように
なっている。そしてチャート上すなわちこの実施例では
コピー用紙4上の長辺が500μm1短辺が10μmの
矩形領域(第4図)から反射された光束がこの開口部を
通って前記した光電子増倍管58に入射されることにな
る。開口板59は開口板回転ソレノイド62によってそ
の開口部の長手方向を任意の角度に設定することができ
る。
The aperture plate 59 is a plate provided with a rectangular opening as shown in FIG. In this opening area of 50 μm x 2500 μm, an image of the measurement site on the copy paper is magnified five times and formed. A light beam reflected from a rectangular area (FIG. 4) with a long side of 500 μm and a short side of 10 μm on the chart, that is, in this embodiment, on the copy paper 4, passes through this opening and enters the photomultiplier tube 58 described above. will be done. The longitudinal direction of the opening of the aperture plate 59 can be set at an arbitrary angle by an aperture plate rotation solenoid 62.

プリズム54によって分岐された他方の光は、屋根形プ
リズム64によって進行方向を変更され、観察スクリー
ン65上に正立像化されて結像する。
The other light branched by the prism 54 has its traveling direction changed by the roof-shaped prism 64, and forms an erect image on the observation screen 65.

これにより形成された測定部位53の画像は、拡大接眼
レンズ42によって拡大して観察することができる。
The image of the measurement site 53 thus formed can be enlarged and observed using the magnifying eyepiece 42.

装置の回路構成 (装置の原理的構成) 装置を具体的に説明するに先立って、その回路の原理的
構成を説明する。
Circuit Configuration of the Device (Principle Configuration of the Device) Before specifically explaining the device, the fundamental configuration of the circuit will be explained.

次の第5図は、画像検査用光学濃度測定装置の回路構成
の概要を表わしたものである。この装置は、所望の検査
項目を指示するための外部信号入力手段72を備えてい
る。測定制御手段73は、外部信号人力手段72の表わ
す検査項目に応じて、被検査パターンの位置、種類およ
び検査処理手順を設定するようになっている。パターン
情報記憶手段74は、被検査対象物内の被検査パターン
を記憶しており、処理手順記憶手段75は被検査パター
ンに対する検査処理手順を記憶するようになっている。
The following FIG. 5 shows an outline of the circuit configuration of the optical density measuring device for image inspection. This device is equipped with external signal input means 72 for instructing desired inspection items. The measurement control means 73 is configured to set the position and type of the pattern to be inspected and the inspection processing procedure according to the inspection item indicated by the external signal manual means 72. The pattern information storage means 74 stores the pattern to be inspected within the object to be inspected, and the processing procedure storage means 75 stores the inspection processing procedure for the pattern to be inspected.

測定手段76は、測定制御手段73の制御によって被検
査対象表面を走査し、画像濃度の検出を行う。演算処理
手段78は測定制御手段73の指示する処理手順で、測
定手段76から得られたデータを演算処理する。これに
より得られた検査結果は出力手段83によって出力され
る。
The measurement means 76 scans the surface of the object to be inspected under the control of the measurement control means 73 and detects the image density. The arithmetic processing means 78 performs arithmetic processing on the data obtained from the measuring means 76 according to a processing procedure instructed by the measurement control means 73. The test results obtained thereby are outputted by the output means 83.

出力手段83は、第1図に示したプリンタ部3が代表的
であるが、コンピュータ部2のCRT画面にも検査結果
の表示が可能である。
The output means 83 is typically the printer section 3 shown in FIG. 1, but the test results can also be displayed on the CRT screen of the computer section 2.

この画像検査用光学濃度測定装置の動作を更に詳細に説
明する。画像検査用光学濃度測定装置では、検査に際し
て被検査対象物の種類および検査項目が外部信号入力手
段72によってコ、−ド化される。被検査対象物にコピ
ーされたチャートを特定するためのチャート・コード8
4および検査項目を表わした検査項目コード85は、測
定制御手段73に送られる。測定制御手段73ではチャ
ート・コード84をパターン情報記憶手段74に送る。
The operation of this optical density measuring device for image inspection will be explained in more detail. In the optical density measurement apparatus for image inspection, the type of the object to be inspected and the inspection items are converted into codes by the external signal input means 72 during inspection. Chart code 8 to identify the chart copied to the inspected object
4 and a test item code 85 representing the test item are sent to the measurement control means 73. The measurement control means 73 sends the chart code 84 to the pattern information storage means 74.

パターン情報記憶手段74はチャート・コード84の表
わすチャートに含まれる被検査パターンを表わしたパタ
ーン・コード86とこの被検査パターンの代表的な位置
を表わした代表点位置87を出力する。このうちパター
ン・コード86は、検査項目コード85と共に処理手順
記憶手段75に送られ、検査項目と被検査パターンに対
応した画像濃度検出フォーマット88および演算処理手
順を表わした演算処理コード89が測定制御手段73に
読み込まれることになる。
The pattern information storage means 74 outputs a pattern code 86 representing the pattern to be inspected included in the chart represented by the chart code 84 and a representative point position 87 representing a representative position of the pattern to be inspected. Of these, the pattern code 86 is sent to the processing procedure storage means 75 together with the inspection item code 85, and the image density detection format 88 corresponding to the inspection item and pattern to be inspected and the arithmetic processing code 89 representing the arithmetic processing procedure are used to control the measurement. It will be read into the means 73.

この段階で、■検査に必要な被検査パターンの種類や■
そのパターンがコピー用紙のどの位置に存在するかの位
置情報、および■そのパターンについての画像濃度検出
方法や■検査項目に対応する結果を演算処理する方法に
ついての情報が測定制御手段73内にコード化された状
態で設定されることになる。
At this stage, ■ the type of pattern to be inspected required for inspection, ■
Positional information on where the pattern exists on the copy paper, information on (1) an image density detection method for that pattern, and (2) information about a method for calculating and processing the results corresponding to the inspection items are stored in a code in the measurement control means 73. It will be set in a formatted state.

これらの情報のうち、パターンの存在する位置の座標を
表わした代表点位置87と画像濃度検出フォーマット8
8は、測定手段76に送られる。
Among these pieces of information, the representative point position 87 representing the coordinates of the position where the pattern exists and the image density detection format 8
8 is sent to measuring means 76.

測定手段76は測定制御手段73によって指示された代
表点位置87まで移動し、画像濃度検出フォーマット8
8に従ってその測定対象となる画像濃度を検出する。検
出結果は、濃度データ列91として演算処理手段78に
出力される。濃度データ列91の最後には、終了信号9
2が付加され演算処理の開始が指示される。
The measuring means 76 moves to the representative point position 87 instructed by the measurement controlling means 73, and reads the image density detection format 8.
8, the image density to be measured is detected. The detection result is outputted to the arithmetic processing means 78 as a concentration data string 91. At the end of the concentration data string 91, an end signal 9
2 is added to instruct the start of arithmetic processing.

演算処理手段78は、終了信号92を受信すると測定制
御手段73からその前に供給された演算処理コード89
を基にしてこれに対応する演算処理ルーチンを選択する
。そしてこの演算処理ルーチンを内部の演算処理ルーチ
ンメモリ領域にロードする。演算処理手段78には前記
した濃度データ列91が濃度データ列メモリ領域にスト
アされている。演算処理手段78は、この濃度データ列
91を演算処理ルーチンメモリ領域にロードされたその
ルーチンで処理し、検査項目に応じた結果を検査結果9
3として出力手段83に供給する。
Upon receiving the end signal 92, the arithmetic processing means 78 executes the arithmetic processing code 89 previously supplied from the measurement control means 73.
Based on this, the corresponding calculation processing routine is selected. This arithmetic processing routine is then loaded into the internal arithmetic processing routine memory area. In the arithmetic processing means 78, the density data string 91 described above is stored in a density data string memory area. The arithmetic processing means 78 processes this concentration data string 91 using the routine loaded into the arithmetic processing routine memory area, and outputs the results according to the test items as the test results 9.
3 and is supplied to the output means 83.

出力手段83はこの内容を出力することになる。The output means 83 will output this content.

以上説明した画像濃度検出と濃度データの演算処理作業
は、測定制御手段73内に予め設定されたすべての被検
査パターンに対して順次行われる。
The image density detection and density data arithmetic processing operations described above are sequentially performed for all patterns to be inspected that are preset in the measurement control means 73.

演算処理手段78は個々のパターンに対して演算処理を
行うと共に、設定されたすべての被検査パターンに対応
する演算処理結果の統計処理等も行う。このようにして
、被検査対象物についての所望された検査結果が得られ
ることになる。
The arithmetic processing means 78 not only performs arithmetic processing on each pattern, but also performs statistical processing of the arithmetic processing results corresponding to all set patterns to be inspected. In this way, the desired test results for the object to be tested will be obtained.

(外部信号入力手段の構成) 次に第6図を用いて外部信号人力手段の構成を説明する
(Configuration of External Signal Input Means) Next, the configuration of the external signal input means will be explained using FIG. 6.

外部信号入力手段72はコード化手段101を備えてい
る。操作者によって入力されるチャート名102と検査
項目103は、このコード化手段101によってコード
化される。コード種別判別手段10゛4はコード化され
た情報を受は取ると、これをチャート・コードと検査項
目コードに分別する。そしてコード制御部105を介し
てチャート・コード84および検査項目コード85とし
て出力することになる。
The external signal input means 72 includes encoding means 101. The chart name 102 and test item 103 input by the operator are encoded by the encoding means 101. The code type discrimination means 10'4 receives the coded information and separates it into chart code and test item code. Then, it is output as a chart code 84 and a test item code 85 via the code control unit 105.

(パターン情報記憶手段の構成) 第7図はパターン情報記憶手段の構成を表わしたもので
ある。パターン情報記憶手段74は、チャート・コード
84をパターン情報記憶位置検索手段107に供給する
。パターン情報記憶位置検索手段107は、検査しよう
とするパターンの位置を検索し、パターン情報記憶部1
08にポインタ109として送出する。
(Structure of Pattern Information Storage Means) FIG. 7 shows the structure of the pattern information storage means. The pattern information storage means 74 supplies the chart code 84 to the pattern information storage position retrieval means 107. The pattern information storage position search means 107 searches for the position of the pattern to be inspected, and searches the pattern information storage unit 1.
08 as a pointer 109.

第8図はパターン情報記憶部の内容を表わしたものであ
る。パターン情報記憶部108には、チャート・コード
をキーとして該当するチャート内ノスヘての被検査対象
としてのパターン・コードとこれらパターン・コードに
よって表わされるパターンそれぞれの代表点位置がデー
タとして記憶されている。この図で例えばチャート・コ
ード” xxx”に対しては3つのパターン・コードa
1a、bが用意されている。これはこのチャート・コー
ド“XXX″の特定するチャートに、パターリn ン・コードa、bによって特定される2種類のパターン
が表示されていることを意味しており、計3個のパター
ンの座標は代表点位置に示す通りとなっている。
FIG. 8 shows the contents of the pattern information storage section. The pattern information storage unit 108 stores, as data, pattern codes as objects to be inspected within the corresponding chart, using the chart codes as keys, and representative point positions of the respective patterns represented by these pattern codes. . In this figure, for example, for chart code "xxx", there are three pattern codes a
1a and 1b are available. This means that two types of patterns specified by pattern codes a and b are displayed on the chart specified by this chart code "XXX", and the coordinates of a total of three patterns are displayed. is as shown in the representative point position.

ここでパターン・コードaによって表わされたパターン
とは、例えば電子写真学会テストチャート“No、1−
R1975”における解像度測定用パターン(図示せず
)である。このテストチャートでは左上と右下部分にこ
のパターンが配置されている。またパターン・コードb
によって表わされたパターンとは、この電子写真学会テ
ストチャートにおける濃度測定用のパターンである。
Here, the pattern represented by the pattern code a is, for example, the electrophotographic society test chart "No. 1-
This is a resolution measurement pattern (not shown) for "R1975".This pattern is placed in the upper left and lower right parts of this test chart.In addition, pattern code b
The pattern represented by is a pattern for density measurement in this electrophotographic society test chart.

このテストチャートではその下部に一列に各種濃度サン
プルが表示されており、濃度測定用のパターンを構成し
ている。
In this test chart, various density samples are displayed in a row at the bottom, forming a pattern for density measurement.

パターン情報出力手段110は、パターン情報記憶部1
08に記憶された内容をパターン情報記憶位置検索手段
107の出力するポインタ109によって示される位置
から読み出す。読み出された内容とは、ポインタ109
によって指示されたU 1つのチャート・コードに関する全パターン・コードお
よびこれらの代表点位置である。パターンコード86と
、これに対する代表点位置87の組み合わせは、第5図
に示す測定制御手段73の制御によって順次読み出され
、測定制御手段73内部に送り込まれる。
The pattern information output means 110 includes the pattern information storage section 1
08 is read out from the position indicated by the pointer 109 output by the pattern information storage position search means 107. The read content is the pointer 109
U is all pattern codes and their representative point positions for one chart code. The combination of the pattern code 86 and the corresponding representative point position 87 is sequentially read out under the control of the measurement control means 73 shown in FIG. 5, and sent into the measurement control means 73.

(処理手順記憶手段の構成) 次に処理手順記憶手段75の内容を第9図に示す。(Configuration of processing procedure storage means) Next, the contents of the processing procedure storage means 75 are shown in FIG.

処理手順記憶手段75には、検査項目コード85とパタ
ーン・コード86が供給されるようになっている。この
うち検査項目コード85は検査項目コード検出手段11
2によって検出され、パターン・コード86はパターン
検出手段113によって検出される。検査項目コード検
出手段112の検出結果は第1のポインタ114として
処理コード記憶手段115に出力され、パターン検出手
段113の検出結果は第2のポインタ115として同じ
く処理コード記憶手段116に出力される。
The processing procedure storage means 75 is supplied with an inspection item code 85 and a pattern code 86. Among these, the inspection item code 85 is detected by the inspection item code detection means 11.
2, and the pattern code 86 is detected by the pattern detection means 113. The detection result of the test item code detection means 112 is outputted as a first pointer 114 to the processing code storage means 115, and the detection result of the pattern detection means 113 is outputted as the second pointer 115 to the processing code storage means 116.

第10図は、処理コード記憶手段の内容を表わしたもの
である。処理コード記憶手段116には、検査項目コー
ド別に(i)演算処理コード、(ii )パターン・コ
ードおよび(iii )画像濃度検出コードが格納され
ている。前記した検査項目コード検出手段112から出
力される第1のポインタ114によって検査項目を特定
するための検査項目コードが指定される。そしてパター
ン検出手段113の出力する第2のポインタ115によ
ってその検査項目コードにおける演算処理コードが選択
される。第10図に示した例では、パターン・コード“
a”で特定されるパターンについて、画像濃度検出コー
ド“イ”で特定される画像濃度検出と演算処理コードA
”で特定される演算処理が行われることがわかる。2つ
のポインタ114.115によって指定されたコード内
容は、処理コード記憶手段116内の記憶領域に一時的
に格納される。
FIG. 10 shows the contents of the processing code storage means. The processing code storage means 116 stores (i) an arithmetic processing code, (ii) a pattern code, and (iii) an image density detection code for each inspection item code. The first pointer 114 output from the above-mentioned test item code detection means 112 specifies the test item code for specifying the test item. Then, the second pointer 115 output from the pattern detection means 113 selects the arithmetic processing code in that inspection item code. In the example shown in Figure 10, the pattern code “
For the pattern specified by “a”, image density detection and arithmetic processing code A specified by image density detection code “a”
It can be seen that the arithmetic processing specified by " is performed. The code contents specified by the two pointers 114 and 115 are temporarily stored in the storage area in the processing code storage means 116.

第9図に戻って、説明を続ける。検査手順検索手段11
7は処理コード記憶手段116に記憶された画像濃度検
出コード118の読み出しを行う。
Returning to FIG. 9, the explanation will be continued. Inspection procedure search means 11
7 reads out the image density detection code 118 stored in the processing code storage means 116.

前記した第10図の例では、画像濃度検出コード118
は“イ”である。そしてこれを基にしてアドレス情報と
しての第3のポインタ119を検査手順記憶手段121
に対して出力する。
In the example of FIG. 10 described above, the image density detection code 118
is “i”. Based on this, the third pointer 119 as address information is stored in the inspection procedure storage means 121.
Output for.

第11図は検査手順記憶手段の内容を表わしたものであ
る。検査手順記憶手段121には、画像濃度検出コード
別に画像濃度検出フォーマットが記憶されている。画像
濃度検出フォーマットは複数組存在し、これらはそれぞ
れブロック単位で記憶されている。これらブロック単位
の内容は例えば(i)測定開始位置、(ii )方向、
(iii)間隔、(iv)m点数、(V)スリット方向
となっている。
FIG. 11 shows the contents of the inspection procedure storage means. The inspection procedure storage means 121 stores image density detection formats for each image density detection code. There are multiple sets of image density detection formats, each of which is stored in block units. The contents of these block units are, for example, (i) measurement start position, (ii) direction,
(iii) spacing, (iv) m number of points, and (V) slit direction.

ここで(i)測定開始位置は、対代表点としての位置で
示されている。代表点は前記したようにパターンごとの
基準となる座標で示されるが、これに対して対代表点は
そのパターンの走査を行う際の開始位置の座標値と代表
点座標値の差となる。
Here, (i) the measurement start position is shown as a relative representative point. As described above, the representative point is indicated by the coordinates that serve as a reference for each pattern, whereas the counter representative point is the difference between the coordinate value of the starting position and the coordinate value of the representative point when scanning the pattern.

(ii )方向とは走査の方向であり、これにはX軸方
向とY軸方向の2種類がある。(iii >間隔とは濃
度検出のためのサンプリングの間隔であり、(iv )
総点数とはサンプリングされるデータの総数である。(
V)スリット方向とは、第4図に示した開口板59の開
口部の向きをいう。本実施例で開口部はX軸に平行か、
これと90度回転したY軸に平行にセットされる。
(ii) The direction is the direction of scanning, and there are two types of directions: the X-axis direction and the Y-axis direction. (iii > Interval is the sampling interval for concentration detection, (iv)
The total score is the total number of sampled data. (
V) The slit direction refers to the direction of the opening of the aperture plate 59 shown in FIG. In this example, is the opening parallel to the X axis?
It is set parallel to the Y axis rotated 90 degrees.

第3のポインタ119は、画像濃度検出コードの特定を
行う。第11図に示した例では画像濃度検出コード“イ
”が選択される。第1のコード出力手段122は第3の
ポインタ119によって選択された画像濃度検出フォー
マット88を読み出し、第5図に示した測定制御手段7
3の制御の下に測定手段76に供給する。これに対して
第2のコード出力手段123は処理コード記憶手段11
6から演算処理コード89の読み出しを行い、同様に測
定制御手段73の制御の下で演算処理手段78に供給さ
れる。
The third pointer 119 specifies the image density detection code. In the example shown in FIG. 11, the image density detection code "a" is selected. The first code output means 122 reads out the image density detection format 88 selected by the third pointer 119, and reads out the image density detection format 88 selected by the third pointer 119, and reads the image density detection format 88 from the measurement control means 7 shown in FIG.
3 to the measuring means 76 under the control of No. 3. On the other hand, the second code output means 123
The arithmetic processing code 89 is read from 6 and is similarly supplied to the arithmetic processing means 78 under the control of the measurement control means 73.

(測定手段の構成) 次の第12図は測定手段の内容を表わしたものである。(Configuration of measurement means) The following FIG. 12 shows the contents of the measuring means.

測定手段75はこれを大別すると(i)画像濃度検出部
、(ii )検出開口制御部、それに(iii )移動
部の3つの部分に分けることができる。測定出力端子7
5では、測定制御手段73から供給される画像濃度検出
フォーマット88を基にして被検査対象物(本実施例で
はチャートのコピーされたコピー用紙4)上を移動し、
所定のフォーマットで画像濃度の検出を行うこ−とにな
る。すなわち、測定制御手段73から供給された画像濃
度検出フォーマット88(第11図参照)はデータサン
プリング制御部131に供給され、ここで解読されたフ
ォーマット88に基づき、画像濃度検出部、検出開口制
御部、それに移動部が制御されることになる。
The measuring means 75 can be roughly divided into three parts: (i) an image density detection section, (ii) a detection aperture control section, and (iii) a moving section. Measurement output terminal 7
5, the image density detection format 88 supplied from the measurement control means 73 is used to move over the object to be inspected (in this embodiment, the copy paper 4 on which the chart has been copied);
Image density will be detected in a predetermined format. That is, the image density detection format 88 (see FIG. 11) supplied from the measurement control means 73 is supplied to the data sampling control section 131, and based on the format 88 decoded here, the image density detection section and the detection aperture control section , and the moving part will be controlled accordingly.

ところでデータサンプリング制御部131は、駆動制御
部132から得られるデータ133によって受光手段1
33の現在存在する位置を把握している。そこでデータ
サンプリング制御部131は、画像濃度検出フォーマッ
ト88から得られた測定開始位置との比較によって受光
手段133の移動すべき量を求める。求められた移動量
等についてのデータ134は、駆動制御部132に送ら
れる。
By the way, the data sampling control section 131 controls the light receiving means 1 based on the data 133 obtained from the drive control section 132.
The current location of 33 is known. Therefore, the data sampling control section 131 determines the amount by which the light receiving means 133 should be moved by comparing it with the measurement start position obtained from the image density detection format 88. Data 134 regarding the determined movement amount etc. is sent to the drive control section 132.

駆動制御部132では、データ134を基にしてX軸方
向移動量およびY軸方向移動量を求め、これらに対応す
るパルス数のX軸方向駆動信号135ならびにY軸方向
駆動信号136を出力する。X軸方向駆動信号135は
、X軸ステッピングモータ31に供給され、Y軸方向駆
動信号136は、同じくステッピングモータとしてのチ
ャート保持器駆動モータ26(共に第2図参照)に供給
される。
The drive control unit 132 determines the amount of movement in the X-axis direction and the amount of movement in the Y-axis direction based on the data 134, and outputs an X-axis direction drive signal 135 and a Y-axis direction drive signal 136 with the corresponding number of pulses. The X-axis direction drive signal 135 is supplied to the X-axis stepping motor 31, and the Y-axis direction drive signal 136 is supplied to the chart holder drive motor 26 (both shown in FIG. 2) which also serves as a stepping motor.

すでに説明したようにX軸ステッピングモータ31によ
って濃度検出部41(第2図)がX軸方向に移動する。
As already explained, the concentration detection section 41 (FIG. 2) is moved in the X-axis direction by the X-axis stepping motor 31.

またチャート保持器駆動モータ26の駆動によってドラ
ム状のチャート保持部8がY軸方向に回転し、光電子増
倍管58等からなる受光手段133が所望の測定位置に
移動することになる。
Further, the drum-shaped chart holder 8 is rotated in the Y-axis direction by the drive of the chart holder drive motor 26, and the light receiving means 133 consisting of the photomultiplier tube 58 and the like is moved to a desired measurement position.

データサンプリング制御部131は、次に画像濃度の検
出方向やサンプリングの間隔、サンプリングの総点数お
よびスリット方向を解読する。そしてまず、開口方向を
現在の開口方向と比較し、指示された角度との比較結果
を表わした角度信号138を出力する。角度信号138
は角度信号発生器139に供給される。角度信号発生器
139は、開口板回転ソレノイド62(第3図参照)に
対して制御信号141を供給し、開口板61を所望の角
度だけ回転させることになる。
The data sampling control unit 131 then decodes the image density detection direction, sampling interval, total number of sampling points, and slit direction. First, the aperture direction is compared with the current aperture direction, and an angle signal 138 representing the comparison result with the designated angle is output. Angle signal 138
is supplied to an angle signal generator 139. Angle signal generator 139 supplies control signal 141 to aperture plate rotation solenoid 62 (see FIG. 3) to rotate aperture plate 61 by a desired angle.

以上のようにして受光手段133の設定が終了したら、
データサンプリング制御部131は画像濃度検出フォー
マット88から得られた総点数を制御部内の図示しない
カウンタにセットする。そして画像濃度検出方向とサン
プリングの間隔を駆動制御部132にデータ134とし
て出力し、セットする。
When the setting of the light receiving means 133 is completed as described above,
The data sampling control section 131 sets the total number of points obtained from the image density detection format 88 in a counter (not shown) within the control section. Then, the image density detection direction and the sampling interval are outputted to the drive control section 132 as data 134 and set.

駆動制御部132は指示された検出方向に従って濃度検
出部41あるいはチャート保持部8を所定量移動させる
The drive control section 132 moves the concentration detection section 41 or the chart holding section 8 by a predetermined amount in accordance with the instructed detection direction.

ところで、受光手段133から出力される検出出力14
3は画像濃度検出部内の増幅器144で増幅され、その
出力145は対数変換器146て対数変換される。変換
出力147はA/D変換器148に供給される。A/D
変換器148にはA/D信号信号部生部149A/D変
換器の行われる時間を指定するためのA/’D信号15
1が供給されるようになっている。A/D信号信号部生
部149−タサンプリング制御部131から供給される
A/’D開始信号152によってA/D信号151を発
生させるが、A/D開始信号152はデータサンプリン
グ制御部131内の図示しないカウンタの出力が用いら
れる。
By the way, the detection output 14 output from the light receiving means 133
3 is amplified by an amplifier 144 in the image density detection section, and its output 145 is logarithmically converted by a logarithmic converter 146. Conversion output 147 is provided to A/D converter 148. A/D
The converter 148 has an A/D signal 15 for specifying the time at which the A/D converter is to be operated.
1 is supplied. The A/D signal generating section 149 generates the A/D signal 151 according to the A/'D start signal 152 supplied from the data sampling control section 131; The output of a counter (not shown) is used.

すなわち、このカウンタには測定開始位置に対応する計
数値がプリセットされるようになっており、受光手段1
33の移動開始と共に計数値がアップする。そしてカウ
ンタの計数値がプリセットされた値に到達するとA/D
開始信号152が出力されることになる。A/D変換が
終了すると、A/D信号信号部生部149了信号153
を出力する。データサンプリング制御部131は終了信
号153を受は取ると、前記したカウンタを管理して駆
動制御部132に受光手段133の移動を指示させると
共に、必要な場合には所定のタイミングで次のA/D開
始信号152を出力することになる。このようにして、
濃度データのサンプリング間隔の管理等が可能となる。
That is, this counter is preset with a count value corresponding to the measurement start position, and the light receiving means 1
As 33 begins to move, the count increases. When the count value of the counter reaches the preset value, the A/D
A start signal 152 will be output. When the A/D conversion is completed, the A/D signal generation section 149 completion signal 153
Output. When the data sampling control section 131 receives the end signal 153, it manages the above-mentioned counter and instructs the drive control section 132 to move the light receiving means 133, and if necessary, starts the next A/D at a predetermined timing. A D start signal 152 will be output. In this way,
It becomes possible to manage the sampling interval of concentration data.

一方、A/’D信号151によってA/D変換が指示さ
れると、A/D変換器148は変換出力147をアナロ
グ−ディジタル変換する。変換後の濃度データ154は
、画像濃度バッファ155に順次蓄えられる。蓄えられ
た濃度データ154は、濃度データ列91として演算処
理手段78に供給され、演算処理が行われることになる
On the other hand, when A/D conversion is instructed by the A/'D signal 151, the A/D converter 148 converts the conversion output 147 from analog to digital. The converted density data 154 is sequentially stored in an image density buffer 155. The stored concentration data 154 is supplied to the arithmetic processing means 78 as a concentration data string 91, and is subjected to arithmetic processing.

さて濃度データのサンプリングが進行し、内蔵されたカ
ウンタが最終値としてのある値を計数したら、データサ
ンプリング制御部131は測定制御手段73に対して終
了信号156を出力する。
Now, when the sampling of the concentration data progresses and the built-in counter counts a certain value as the final value, the data sampling control section 131 outputs an end signal 156 to the measurement control means 73.

測定制御手段73はこの終了信号156を受は取ると、
次のブロックについてのデータを画像濃度検出フォーマ
ット88としてデータサンプリング制御部131に供給
する。このようにして、測定対象となる部位ごとに濃度
データの採取が行われていく。
When the measurement control means 73 receives this end signal 156,
Data regarding the next block is supplied to the data sampling control section 131 as an image density detection format 88. In this way, concentration data is collected for each part to be measured.

(演算処理手段の構成) 第13図は、演算処理手段の構成を表わしたものである
。演算処理手段は演算制御部161を備えている。演算
制御部161には、測定制御手段から演算処理コード8
9が供給される。演算処理コード89は、演算処理手順
を表わしたコードである。演算制御部161はこの演算
処理コード89をデコードし、その結果を演算処理コー
ド162として演算処理アドレス検索手段163に供給
する。
(Configuration of arithmetic processing means) FIG. 13 shows the configuration of the arithmetic processing means. The calculation processing means includes a calculation control section 161. The calculation control section 161 receives the calculation processing code 8 from the measurement control means.
9 is supplied. The arithmetic processing code 89 is a code representing the arithmetic processing procedure. The arithmetic control unit 161 decodes the arithmetic processing code 89 and supplies the result as an arithmetic processing code 162 to the arithmetic processing address search means 163.

演算処理アドレス検索手段163は、この演算処理コー
ド162を用いて演算処理記憶部164の検索を行う。
The arithmetic processing address search means 163 uses this arithmetic processing code 162 to search the arithmetic processing storage section 164.

演算処理記憶部164内には、種々の検査に必要な演算
処理データ群が蓄えられている。演算処理アドレス検索
手段163は検索によってポインタ165を該当するメ
モリ領域の先頭アドレスに移動させたら、演算制御部1
61に終了信号166を送出する。演算制御部161は
終了信号166を受信後、起動信号167を発生させ、
ローダ・スタータ168に供給する。
The arithmetic processing storage unit 164 stores arithmetic processing data groups necessary for various tests. When the arithmetic processing address search means 163 moves the pointer 165 to the start address of the corresponding memory area by searching, the arithmetic processing address search means 163
A termination signal 166 is sent to 61. After receiving the end signal 166, the arithmetic control unit 161 generates a start signal 167,
Supply to loader starter 168.

ローダ・スクータ168は起動信号167を受信すると
、ロード信号169.171を発生する。
When loader scooter 168 receives activation signal 167, it generates load signal 169.171.

そして(i)演算処理記憶部164におけるポインタ1
65で示された一連の演算処理内容172と(ii )
測定手段の画像濃度バッファ155(第12図参照)に
格納されている濃度データ列91をワーキングエリア1
74にロードする。ロード終了後、ローダ・スタータ1
68はワーキングエリア174にスタート信号175を
供給し、これを起動してワーキングエリア174自身に
制御を移す。
(i) Pointer 1 in the arithmetic processing storage unit 164
A series of arithmetic processing contents 172 shown in 65 and (ii)
The density data string 91 stored in the image density buffer 155 (see FIG. 12) of the measuring means is transferred to the working area 1.
74. After loading, loader starter 1
68 supplies a start signal 175 to the working area 174, activates it, and transfers control to the working area 174 itself.

これと共にワーキングエリア174は濃度データ列91
に対し所望の演算処理を実行する。その結果は、演算結
果176として演算結果出力バッファ177にストアさ
れる。第5図に示した出力手段83はこのストアされた
内容を検査結果93として入力し、可視化する。
Along with this, the working area 174 contains the concentration data string 91.
The desired arithmetic processing is performed on the data. The result is stored in the calculation result output buffer 177 as the calculation result 176. The output means 83 shown in FIG. 5 inputs this stored content as an inspection result 93 and visualizes it.

l 光学濃度測定の詳細 この画像検査用光学濃度測定装置では、まずチャート保
持部8にコピー用紙4を保持し、その位置決めを行った
後、個々のパターンに対する濃度測定を行う。そこで、
次にコピー用紙4に対する位置決めを説明し、続いて個
々のパターンに対する濃度測定作業を説明する。
l Details of Optical Density Measurement In this optical density measurement apparatus for image inspection, the copy paper 4 is first held in the chart holding section 8, and after its positioning is performed, the density measurement for each pattern is performed. Therefore,
Next, the positioning with respect to the copy paper 4 will be explained, and then the density measurement work for each pattern will be explained.

(各測定部位に対する位置決め) チャートをコピーしたコピー用紙から画像の測定を行う
ためには、光学ヘッドの対物レンズ43が目的となる測
定部位を正しくとらえなければならない。ところで、仮
に濃度検出部41側を一方的に予定された座標位置に設
定したとすると、コピー用紙4上の所望の位置とは±5
mm程度の誤差が発生する。これは、次のような原因に
よるものである。
(Positioning for each measurement site) In order to measure an image from the copy paper on which the chart has been copied, the objective lens 43 of the optical head must correctly capture the target measurement site. By the way, if the density detection unit 41 side is unilaterally set to a predetermined coordinate position, the desired position on the copy paper 4 is ±5
An error of about mm occurs. This is due to the following reasons.

(i)複写機でチャートをコピーしたときに発生するず
れ。
(i) Misalignment that occurs when a chart is copied using a copying machine.

これには、コピー用紙4と複写機の感光ドラムとの間の
位置合わせの誤差(レジストレーションのずれ)や、倍
率の設定誤差の他に、コピー用紙4が複写機内部で搬送
されるときにスキニー(回転)を発生させることによる
誤差が含まれている。
In addition to alignment errors (registration misalignment) between the copy paper 4 and the photosensitive drum of the copying machine and magnification setting errors, there are also Contains errors due to skinny (rotation).

(ii )チャート保持部8にセットした際のずれ。(ii) Misalignment when setting the chart in the chart holder 8.

これは、供給トレイ5から送り出されたコピー用紙4が
チャート保持部8にセットされたとき発生するずれであ
り、供給トレイ5の設定の誤差やコピー用紙4の送り出
し時の位置整合のずれが該当する。
This is a deviation that occurs when the copy paper 4 sent out from the supply tray 5 is set in the chart holding unit 8, and is caused by an error in the setting of the supply tray 5 or a misalignment in position alignment when the copy paper 4 is sent out. do.

本実施例では、目標とする位置に±Q、5mmの精度で
到達できるようにした。このために、第14図で一例を
示すように画像検査用光学濃度測定装置で使用するチャ
ート191には例えばその3箇所に位置検出用パターン
192〜194を配置した。これらの位置検出用パター
ン192〜194の座標は画像検査用光学濃度測定装置
側でチャートの種類別に把握されている。チャート上で
のこれらのパターン192〜194の座標値を実座標値
と呼ぶことにし、これらを (XI  、 Yl 、X2 、 Y2 、X3 、 
Y3 ) テ表わすものとする。
In this embodiment, the target position can be reached with an accuracy of ±Q, 5 mm. For this purpose, as an example shown in FIG. 14, position detection patterns 192 to 194 are arranged at, for example, three locations on a chart 191 used in an optical density measuring device for image inspection. The coordinates of these position detection patterns 192 to 194 are known for each type of chart on the optical density measuring device for image inspection. The coordinate values of these patterns 192 to 194 on the chart are called actual coordinate values, and these are (XI, Yl, X2, Y2, X3,
Y3) It shall be expressed as te.

装置はこれらの実座標値 (X+  、Yl 、X2  、Y2、X3  、Y3
)を用いてその周囲のコピー用紙4上を走査し、画像の
濃度変化を検出することでこれらのコピー用紙4におけ
る位置を検出する。コピー用紙4上でのこれら位置検出
用パターン192〜194の座標値を(xI  +Vl
s x2 1V2 、x3 1V3  )とする。
The device calculates these real coordinate values (X+, Yl, X2, Y2, X3, Y3
) is used to scan the surrounding copy paper 4 and detect changes in image density to detect these positions on the copy paper 4. The coordinate values of these position detection patterns 192 to 194 on the copy paper 4 are (xI +Vl
s x2 1V2 , x3 1V3 ).

面座標系(X、Y)、(x、y)の関係式を組み立てる
ことによって、コピー用紙4上における測定されるパタ
ーンの座標(xo 、 yo )に対応する実位置(X
、  、 yo )が計算され、この座標値(Xa 、
 Yo )を用いて濃度検出部41を目的の画像部へ到
達させることになる。
By assembling the relational expressions of the plane coordinate system (X, Y) and (x, y), the actual position (X
, , yo) are calculated, and this coordinate value (Xa,
Yo ) is used to cause the density detection unit 41 to reach the target image area.

位置検出用パターンはコピー用紙上に3箇所配置される
必要はなく、例えば2箇所配置することでコピー用紙4
の回転と位置ずれを把握することができる。またより多
くの点を配置させることでコピー用紙4の各部分の伸び
等も把握することができ、測定部位に対する到達精度を
更に高めることが可能となる。
The position detection pattern does not need to be placed in three places on the copy paper; for example, by placing it in two places,
It is possible to understand the rotation and positional shift of the Further, by arranging more points, it is possible to grasp the elongation of each part of the copy paper 4, and it is possible to further improve the accuracy of reaching the measurement site.

(パターンの走査) 第15図は濃度測定を行うあるパターンを表わしたもの
である。このパターン221で点223が代表点であり
、点224がX軸方向における検出開始点である。検出
開始点224は代表点223に対する相対座標値として
表わされている。
(Pattern Scanning) FIG. 15 shows a certain pattern for density measurement. In this pattern 221, a point 223 is a representative point, and a point 224 is a detection start point in the X-axis direction. The detection starting point 224 is expressed as a relative coordinate value with respect to the representative point 223.

このパターン221をY軸方向にも走査する場合には、
点224と異なった検出開始点がこのために用意される
場合がある。
When scanning this pattern 221 also in the Y-axis direction,
A detection starting point different from point 224 may be provided for this purpose.

前記したようにこの実施例の画像検査用光学濃度測定装
置では、コピー用紙上の 10μmx500μmの矩形領域を1回の読み取り範囲
とする。読み取りの態様は、第11図に示した画像濃度
検出フォーマットで定められる。すなわちこの例では点
224が測定開始位置となり、測定の方向はX軸方向と
なる。測定の間隔すなわちサンプリング幅は、測定の目
的等によ゛って定められる。スリット方向つまり開口部
の長手方向をY軸方向に設定した場合には、X軸方向に
おける1回の濃度検出領域が10μmとなる。従ってX
軸方向にくまなくコピー用紙4の走査を行う場合には、
測定の間隔が10μmとなる。
As described above, in the optical density measuring device for image inspection of this embodiment, a rectangular area of 10 μm x 500 μm on a copy sheet is set as a reading range at one time. The reading mode is determined by the image density detection format shown in FIG. That is, in this example, the point 224 is the measurement start position, and the measurement direction is the X-axis direction. The measurement interval, ie, the sampling width, is determined depending on the purpose of the measurement, etc. When the slit direction, that is, the longitudinal direction of the opening, is set in the Y-axis direction, the area for one concentration detection in the X-axis direction is 10 μm. Therefore, X
When scanning the copy paper 4 all over in the axial direction,
The measurement interval is 10 μm.

第16図はこの場合の走査の状況を表わしたものである
。サンプリング幅をこのように視感分解能よりも小さく
設定すると、第19図に示したような微細な画像状態を
表わしたデータを取り出すことができ、これを処理する
ことで濃度や解像度について人間の感覚に近づいた判別
が可能となる。
FIG. 16 shows the scanning situation in this case. By setting the sampling width smaller than the visual resolution in this way, it is possible to extract data representing minute image conditions as shown in Figure 19, and by processing this data, it is possible to understand the human sense of density and resolution. It becomes possible to make a discrimination close to .

測定は必ずしも光学濃度を検知する矩形領域の短辺と同
一幅でサンプリングする必要はなく、画像濃度検出フォ
ーマットで自由に設定することができる。従って検査項
目によっては画像を荒く走査することも可能である。
The measurement does not necessarily require sampling at the same width as the short side of the rectangular area in which the optical density is to be detected, and can be freely set using the image density detection format. Therefore, depending on the inspection item, it is possible to roughly scan the image.

Y軸方向の走査を行う場合には、スリット方向を通常の
場合X軸方向に設定する。これによりこの実施例の場合
には10μm幅で画像のサンプリングが可能となる。す
でに説明したように、この実施例ではX軸ステッピング
モータ31あるいはチャート保持部駆動モーク26をそ
れぞれ1パルス 軸方向あるいはY軸方向に10μm単位で移動させるこ
とができる。
When scanning in the Y-axis direction, the slit direction is normally set in the X-axis direction. As a result, in the case of this embodiment, it is possible to sample an image with a width of 10 μm. As already explained, in this embodiment, the X-axis stepping motor 31 or the chart holder driving moke 26 can be moved in units of 10 μm in the 1-pulse axis direction or the Y-axis direction, respectively.

このようにこの実施例の画像検査用光学濃度測定装置で
は矩形領域を最小測定範囲として被検査物の測定を行う
ので、被検査物を隙間なく効率的に走査することができ
る。もちろん矩形領域は長方形に限らず4辺の長さがそ
れぞれ等しい正方形であってもよい。この場合には、こ
れら4辺が視感分解能の最小値(約50μm程度)より
も小さいことが必要である。
In this manner, the optical density measuring device for image inspection of this embodiment measures the object to be inspected using the rectangular area as the minimum measurement range, so that the object to be inspected can be efficiently scanned without gaps. Of course, the rectangular area is not limited to a rectangle, but may be a square having four sides of equal length. In this case, it is necessary that these four sides be smaller than the minimum value of visual resolution (about 50 μm).

また測定する基本領域は矩形である必要はなく、例えば
円形や楕円形であっても構わない。但しこれらの場合に
は画像をくまなく走査するためには画像が一部重複して
読み取られるので、これら重複部分に対する処理が必要
となる。
Furthermore, the basic area to be measured does not have to be rectangular, and may be circular or elliptical, for example. However, in these cases, in order to scan the entire image, some of the images are read overlappingly, so it is necessary to process these overlapping parts.

なお、実施例では受光手段として光電子増倍管を用いた
が、半導体を用いた光電子増倍手段を用いたりCCD等
の1次元センサを用いても同様の光学濃度測定作業が可
能となる。また実施例では光学濃度を反射光で検知した
が、例えば写真フィルムの現像状態等を検査する場合に
は透明光で検知するようにしてもよい。
Although a photomultiplier tube is used as the light receiving means in the embodiment, the same optical density measurement operation can be performed using a photomultiplier using a semiconductor or a one-dimensional sensor such as a CCD. Further, in the embodiment, the optical density was detected using reflected light, but it may be detected using transparent light, for example, when inspecting the development state of photographic film.

「発明の効果」 以上説明したように本発明によれば光学濃度を検知する
領域の少なくとも一部を視感分解能よりも小さく設定し
たので、視覚と同様の感覚で光学濃度を測定させること
ができ、安定した結果を迅速に得ることができるように
なる。
"Effects of the Invention" As explained above, according to the present invention, at least a part of the area for detecting optical density is set smaller than the visual resolution, so it is possible to measure optical density with a sensation similar to visual perception. , it becomes possible to quickly obtain stable results.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図〜第16図は本発明の一実施例を説明するための
もので、このうち第1図は画像検査用光学濃度測定装置
の斜視図、第2図は検査部の要部を示す概略構成図、第
3図は光学ヘッドの光学部品の配置を示す配置説明図、
第4図はコピー用紙上の測定単位となる領域のサイズを
表わした説明図、第5図は画像検査用光学濃度測定装置
の回路構成の概略を示すブロック図、第6図は外部信号
入力手段の構成を示すブロック図、第7図はパターン情
報記憶手段の構成を示すブロック図、第8図はパターン
情報記憶部の構成を示す説明図、第9図は処理手順記憶
手段の構成を示すブロック図、第10図は処理コード記
憶手段の構成を示すブロック図、第11図は検査手順記
憶手段の構成を示すブロック図、第12図は測定手段の
構成を示すブロック図、第13図は演算処理手段の構成
を示すブロック図、第14図は位置検出用パターンの配
置箇所を示したチャートの平面図、第15図は濃度測定
を行うためのパターンの一例を示す平面図、第16図は
X軸方向における走査の一例を示す説明図、第17図は
解像度検査用のチャートの一部を拡大して示した平面図
、第18図は第17図に示したチャートの更に一部を拡
大した平面図、第19図A−Cはコピー画像のサンプル
の各種状態を示す一部拡大平面図、第20図は第19図
Aで示した画像部分を読み取った画信号の信号レベルを
示す波形図、第21図は第19図Bで示した画像部分を
読み取った画信号の信号レベルを示す波形図、第22図
は第19図Cで示した画像部分を読み取った画信号の信
号レベルを示す波形図でn ある。 ■・・・・・・検査部、2・・・・・・コンピュータ部
、3・・・・・・プリンタ部、4・・・・・・コピー用
紙、26・・・・・・チャート保持部駆動モータ、31
・・・・・・X軸ステッピングモータ、41・・・・・
・濃度検出部、43・・・・・・対物レンズ、51・・
・・・・タングステンランプ、58・・・・・・光電子
増倍管、59・・・・・・開口板、62・・・・・・開
口板回転ソレノイド。 出  願  人 富士ゼロックス株式会社
Figures 1 to 16 are for explaining one embodiment of the present invention, of which Figure 1 is a perspective view of an optical density measuring device for image inspection, and Figure 2 shows the main parts of the inspection section. A schematic configuration diagram, FIG. 3 is an explanatory diagram showing the arrangement of optical components of the optical head,
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the size of the area that is the measurement unit on copy paper, FIG. 5 is a block diagram showing the outline of the circuit configuration of the optical density measuring device for image inspection, and FIG. 6 is an external signal input means. 7 is a block diagram showing the structure of the pattern information storage means, FIG. 8 is an explanatory diagram showing the structure of the pattern information storage section, and FIG. 9 is a block diagram showing the structure of the processing procedure storage means. 10 is a block diagram showing the structure of the processing code storage means, FIG. 11 is a block diagram showing the structure of the inspection procedure storage means, FIG. 12 is a block diagram showing the structure of the measurement means, and FIG. 13 is a block diagram showing the structure of the measurement means. FIG. 14 is a block diagram showing the configuration of the processing means, FIG. 14 is a plan view of a chart showing the arrangement of position detection patterns, FIG. 15 is a plan view showing an example of a pattern for measuring density, and FIG. An explanatory diagram showing an example of scanning in the X-axis direction, Fig. 17 is a plan view showing an enlarged part of the chart for resolution inspection, and Fig. 18 is a further enlarged part of the chart shown in Fig. 17. FIGS. 19A to 19C are partially enlarged plan views showing various states of the copied image sample, and FIG. 20 is a waveform showing the signal level of the image signal obtained by reading the image portion shown in FIG. 19A. 21 is a waveform diagram showing the signal level of the image signal obtained by reading the image portion shown in FIG. 19B, and FIG. 22 is a waveform diagram showing the signal level of the image signal obtained by reading the image portion shown in FIG. 19C. n in the waveform diagram shown. ■...Inspection section, 2...Computer section, 3...Printer section, 4...Copy paper, 26...Chart holding section drive motor, 31
...X-axis stepping motor, 41...
・Concentration detection unit, 43...Objective lens, 51...
... Tungsten lamp, 58 ... Photomultiplier tube, 59 ... Aperture plate, 62 ... Aperture plate rotation solenoid. Applicant Fuji Xerox Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、照明手段と光電変換手段とを備え、この照明手段と
光電変換手段との間に介在する画像の光学濃度を検知す
る画像検査用光学濃度測定装置において、光学濃度を検
知するためのサンプリング幅を視感分解能より小さくな
るように定めたことを特徴とする画像検査用光学濃度測
定装置。 2、光学濃度を検知する領域を視感分解能より小さい矩
形領域となるように定めたことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の画像検査用光学濃度測定装置。 3、矩形領域が正方形であることを特徴とする特許請求
の範囲第2項記載の画像検査用光学濃度測定装置。 4、矩形領域が長方形であることを特徴とする特許請求
の範囲第2項記載の画像検査用光学濃度測定装置。
[Scope of Claims] 1. An optical density measurement device for image inspection that includes an illumination means and a photoelectric conversion means and detects the optical density of an image interposed between the illumination means and the photoelectric conversion means. An optical density measuring device for image inspection, characterized in that a sampling width for detection is set to be smaller than visual resolution. 2. The optical density measuring device for image inspection according to claim 1, wherein the area for detecting the optical density is determined to be a rectangular area smaller than the visual resolution. 3. The optical density measuring device for image inspection according to claim 2, wherein the rectangular area is a square. 4. The optical density measuring device for image inspection according to claim 2, wherein the rectangular area is a rectangle.
JP61142976A 1986-06-20 1986-06-20 Optical density measuring instrument for image inspection Pending JPS62299971A (en)

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