JPS62278166A - Manufacture of composite metal carbide sintered body - Google Patents

Manufacture of composite metal carbide sintered body

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JPS62278166A
JPS62278166A JP61119280A JP11928086A JPS62278166A JP S62278166 A JPS62278166 A JP S62278166A JP 61119280 A JP61119280 A JP 61119280A JP 11928086 A JP11928086 A JP 11928086A JP S62278166 A JPS62278166 A JP S62278166A
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composite metal
carbon
fine powder
metal carbide
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紀博 村川
厚 萩村
信行 須藤
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Mitsui Toatsu Chemicals Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〔従来分野〕 本発明は複合金属炭化物焼結体の新規な製造方法に関す
る。更に詳しくは、炭化ケイ素を主体とする複合金属炭
化物焼結体の製造方法に関する。
Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention [Prior Art] The present invention relates to a novel method for producing a composite metal carbide sintered body. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a composite metal carbide sintered body mainly composed of silicon carbide.

〔費景技術〕[Cost technology]

炭化ケイ素の微粉末を原料として得られるセラミック焼
結体は、従来の金属材料に比較して高温における機械的
強度がすぐれているので、エンジン、ガスタービンなど
への用途が期待される。
Ceramic sintered bodies obtained from fine powdered silicon carbide have superior mechanical strength at high temperatures compared to conventional metal materials, and are therefore expected to be used in engines, gas turbines, etc.

かかる炭化ケイ素の焼結体は、炭化ケイ素の微粉末にホ
ウ素、炭素などの焼結剤を少量加えて、均一に混合した
ものを一旦冷開成形した後に、これを非酸化性雰囲気中
で1900〜2200℃に加熱して得る方法が知られて
いる(例えば特公昭5.7−32035号、特公昭57
−40109号、特公昭59−34147号)。
Such a sintered body of silicon carbide is produced by adding a small amount of a sintering agent such as boron or carbon to a fine powder of silicon carbide, uniformly mixing the mixture, cold-opening it, and then heating it for 1900 minutes in a non-oxidizing atmosphere. A method of heating to ~2200°C is known (for example, Japanese Patent Publication No. 5.7-32035, Japanese Patent Publication No. 57, No. 57).
-40109, Special Publication No. 59-34147).

しかしながら、この様な方法で得られるセラミック焼結
体は、機械的強度のバラツキが大き過ぎるため完全な信
鯨性に欠けることが工業的実用化にとって障害となワて
いる。
However, the ceramic sintered bodies obtained by such a method have too large a variation in mechanical strength and lack complete reliability, which is an obstacle to industrial practical application.

〔発明の開示〕[Disclosure of the invention]

木発明者等は上記問題点を解決し機械的強度が太き(し
かもそれらのバラツキが小さい、セラミック焼結体の製
造を目的として鋭意検討を重ねた結果、原料として炭化
ケイ素に特定量の炭化チタンを加えた複合金属炭化物微
粉末を用い、これに焼結助剤を添加混合した後焼結すれ
ば、上記目的を達成出来ることを見出し本発明を完成す
るに至ったものである。
As a result of extensive research aimed at solving the above problems and manufacturing ceramic sintered bodies with high mechanical strength (and small variations in strength), the inventors of wood have developed a method for producing ceramic sintered bodies with a specific amount of carbonization in silicon carbide as a raw material. The present invention has been completed based on the discovery that the above object can be achieved by using a composite metal carbide fine powder containing titanium, adding and mixing a sintering aid thereto, and then sintering the powder.

即ち、本発明のセラミ、り焼結体の製造方法は、炭化ケ
イ素 70重量%以上かつ95重量%未満と炭化チタン
5重量%以上かつ30重量%未満を含む金属炭化物微粉
末(以下複合金属炭化物微粉末と称す。)100重量部
に、0.1〜4.0重量部の単体ホウ素または単体ホウ
素に相当するホウ−素化合物と0.5〜4.0重量部の
単体炭素とを加えた後、焼結することを特徴とするもの
であり、特には複合金属炭化物の微粉末が、水蒸気を含
む熱ガス中に分解性ケイ素化合物、分解性チタン化合物
及び分解性炭素化合物を注入・分解して、ケイ素酸化物
、チタン酸化物及び単体炭素を含む混合エーロゾルを生
成せしめ、該生成した分散質を捕集して得たC/(Si
+4i)式量比が3,5  より大である含炭素組成物
を加熱して得た複合金属炭化物焼結体である。
That is, the method for producing a ceramic or resintered body of the present invention is a metal carbide fine powder (hereinafter referred to as composite metal carbide) containing 70% by weight or more and less than 95% by weight of silicon carbide and 5% by weight or more and less than 30% by weight of titanium carbide. 0.1 to 4.0 parts by weight of elemental boron or a boron compound corresponding to elemental boron and 0.5 to 4.0 parts by weight of elemental carbon were added to 100 parts by weight (referred to as fine powder). In particular, fine powder of composite metal carbide is injected with decomposable silicon compounds, decomposable titanium compounds, and decomposable carbon compounds into hot gas containing water vapor and decomposed. C/(Si
+4i) A composite metal carbide sintered body obtained by heating a carbon-containing composition having a formula weight ratio of greater than 3.5.

本発明では、複合金属炭化物微粉末中の炭化ケイ素と炭
化チタンは、勿論均一に混合され、「一般審査基準」に
いう「組成物」に該当した状態となっていることが望ま
しく、その比表面積は3〜50m/g程度の微粉末であ
ることが好ましい。複合金属炭化物微粉末の比表面積が
3m/g未満では、該複合金属炭化物微粉末の焼結駆動
力が不充分となって、緻密な焼結体が得られにくい。逆
に比表面積が50i/gを越える様な掻めて微細な粉末
では、焼結させる前の冷間成型体の密度が上がり難いと
いった問題が生じる。なお、ここにいう比表面積とは窒
素吸着比表面積(いわゆるBET法で測定したもの)で
あり、概してこの値が大きいことは粒子径が小さいこと
を示すことはいうまでもない。 本発明での複合金属炭
化物微粉末は、fil炭化ケイ素と炭化チタンの粉末を
、ボールミル、振動ミル等で混合あるいは粉砕混合する
ことによっても得ることができるが、(2)他の方法と
して、特開昭59−49828号公報において本発明者
等が提案した方法によって得られる含炭素組成物、即ち
、水蒸気を含む熱ガス中に分解性金属化合物(すなわち
分解性ケイ素化合物および分解性チタン化合物)と分解
性炭化化合物を注入・分解して、該金属酸化物及び単体
炭素のそれぞれのエーロゾルを含む混合エーロゾル分散
質を生成せしめ、核生成した分散質を捕集して得られる
炭素組成物を加熱して複合金属炭化物とする、ことによ
っても得られる。そして後者が一層好ましい。
In the present invention, silicon carbide and titanium carbide in the composite metal carbide fine powder are, of course, preferably mixed uniformly and in a state that corresponds to a "composition" as defined in the "General Examination Standards", and their specific surface area is preferably a fine powder of about 3 to 50 m/g. If the specific surface area of the composite metal carbide fine powder is less than 3 m/g, the sintering driving force of the composite metal carbide fine powder will be insufficient, making it difficult to obtain a dense sintered body. On the other hand, if the powder is very fine and has a specific surface area of more than 50 i/g, a problem arises in that it is difficult to increase the density of the cold-formed product before sintering. Note that the specific surface area referred to herein is the nitrogen adsorption specific surface area (measured by the so-called BET method), and it goes without saying that a large value generally indicates a small particle size. The composite metal carbide fine powder in the present invention can also be obtained by mixing or pulverizing powders of fil silicon carbide and titanium carbide in a ball mill, vibration mill, etc.; A carbon-containing composition obtained by the method proposed by the present inventors in JP-A-59-49828, that is, a decomposable metal compound (i.e., a decomposable silicon compound and a decomposable titanium compound) in a hot gas containing water vapor. A decomposable carbonized compound is injected and decomposed to generate a mixed aerosol dispersoid containing aerosols of the metal oxide and elemental carbon, and the carbon composition obtained by collecting the nucleated dispersoid is heated. It is also possible to obtain a composite metal carbide. And the latter is more preferred.

上記特開昭59−49828号公報で開示した含炭素組
成物の製造方法を、本発明での複合金属炭化物を得る方
法に適用するについて詳細に説明する。
Application of the method for producing a carbon-containing composition disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-49828 to the method for obtaining a composite metal carbide in the present invention will be described in detail.

蒸気特開昭59−49828号公報の方法で本発明の複
合金属炭化物を得るには、先ず含炭素組成物を得なけれ
ばならない、該含炭素組成物は、水蒸気を含む熱ガス中
に分解性ケイ素化合物、分解性チタン化合物及び分解性
炭素化合物を注入・分解して、ケイ素酸化物、チタン酸
化物及び単体炭素を含む混合エーロゾルを生成せしめ、
該生成した分散質を捕集することにより得ることが出来
る。
Steam To obtain the composite metal carbide of the present invention by the method disclosed in JP-A-59-49828, it is first necessary to obtain a carbon-containing composition, which is decomposable in hot gas containing water vapor. Injecting and decomposing a silicon compound, a decomposable titanium compound, and a decomposable carbon compound to generate a mixed aerosol containing silicon oxide, titanium oxide, and elemental carbon,
It can be obtained by collecting the generated dispersoids.

分解性ケイ素化合物及び分解性チタン化合物としては、
ケイ素またはチタンのハロゲン化合物、アルキル化合物
、アルコキシド化合物、酸エステルイヒ金物などのうち
、水蒸気を含む熱ガス中で容易に熱分解、酸化または加
水分解を起し、ケイ素酸化物またはチタン酸化物となる
ものである。
As degradable silicon compounds and degradable titanium compounds,
Among silicon or titanium halogen compounds, alkyl compounds, alkoxide compounds, acid ester metals, etc., those that easily undergo thermal decomposition, oxidation, or hydrolysis in hot gas containing water vapor to become silicon oxides or titanium oxides. It is.

この様な分解性化合物を例示すると、例えば分解性ケイ
、素化合物としては; 5iC1a 、CH35iC1
z、(CHz)i、5ich 、(CH3)zsicl
、 (CHz)zsiSH5iCh、HzSiCh 、
)13SiC1−SiH4、SiF4.5iHzF2.
5iJ6、SiJ、などがあり、分解性チタン化合物と
しては;TiC1n 、TiBr4、Ti1a、TiF
a、TiH4、Ti(OCzHs)*、(I(3TiC
h、CJzTiCIzなどの化合物を好ましいものとし
て挙げることが出来るが、上記したごとく、水蒸気を含
む熱ガス中で分解性のものであればもちろんこれに限定
されるものではない。
Examples of such decomposable compounds include: 5iC1a, CH35iC1
z, (CHz)i, 5ich, (CH3)zsicl
, (CHz)zsiSH5iCh, HzSiCh,
)13SiC1-SiH4, SiF4.5iHzF2.
5iJ6, SiJ, etc., and decomposable titanium compounds include; TiC1n, TiBr4, Ti1a, TiF
a, TiH4, Ti(OCzHs)*, (I(3TiC
Preferred examples include compounds such as h, CJzTiCIz, but as mentioned above, the compound is not limited to these as long as it is decomposable in hot gas containing water vapor.

本発明の実施に用いる分解性炭素化合物とは、後に述べ
るような熱ガス中に装入された場合、容易に分解して単
体炭素(スス)を生成しうるようなもので、そのままで
気相もしくは液相状態か昇温により容易に液相状態にな
り得るものが好適に使用可能である6例えばLPG 、
ナフサ、ガソリン、燃料油、灯油、軽油、重油、潤滑油
、流動パラフィンなどの石油製品類;メタン、エタン、
プロパン、ブタン、ペンタン、メタノール、エタノール
、プロパツール、エチレン、アセチレン、n−パラフィ
ン、ブタジェン、イソプレン、イソブチレン、ベンゼン
、トルエン、キシレン、シクロヘキサン、シクロヘキセ
ン、ジシクロペンタジェン、エチルベンゼン、スチレン
、キュメン、”プソイドクメン、メシチレン、アルキル
ベンゼン、α、メチルスチレン、ジシクロドデカトリエ
ン、ジイソブチレン、塩化ビニル、クロルベンゼン、C
9溜分混合物、エチレンボトムなどの石油化学製品;タ
ール、ピッチ、クレオソート油、ナフタリン、アントラ
セン、カルバゾール、タール酸、フェノール、クレゾー
ル、キシレノール、ピリジン、ピコリン、キノリンなど
のタール製品類;大豆油、ヤシ油、アマニ泊、綿実油、
ナタネ油、キリ油、ヒマシ油、鯨油、牛脂、スクワラン
、オレイン酸、ステアリン酸などの油脂類などが好まし
いものとしてあげられるが、もちろんこれに限られるも
のではない。
The decomposable carbon compound used in the practice of the present invention is one that can easily decompose and produce elemental carbon (soot) when charged into a hot gas as described later, and can be left in the gas phase as it is. Alternatively, those in a liquid phase state or those that can be easily turned into a liquid phase state by increasing temperature can be suitably used.6 For example, LPG,
Petroleum products such as naphtha, gasoline, fuel oil, kerosene, light oil, heavy oil, lubricating oil, liquid paraffin; methane, ethane,
Propane, butane, pentane, methanol, ethanol, proptool, ethylene, acetylene, n-paraffin, butadiene, isoprene, isobutylene, benzene, toluene, xylene, cyclohexane, cyclohexene, dicyclopentadiene, ethylbenzene, styrene, cumene, pseudocumene , mesitylene, alkylbenzene, α, methylstyrene, dicyclododecatriene, diisobutylene, vinyl chloride, chlorobenzene, C
Petrochemical products such as 9 distillate mixtures and ethylene bottoms; Tar products such as tar, pitch, creosote oil, naphthalene, anthracene, carbazole, tar acid, phenol, cresol, xylenol, pyridine, picoline, and quinoline; soybean oil, Coconut oil, linseed oil, cottonseed oil,
Preferred examples include oils and fats such as rapeseed oil, tung oil, castor oil, whale oil, beef tallow, squalane, oleic acid, and stearic acid, but are not limited thereto.

本発明の実施に使用する分解性炭素化合物は、炭素の供
給の目的があるから、この目的からはたとえば上記のご
と(広範囲に選択可能である。しかしながら取扱いの簡
便さ、炭素収率の面から比較的炭素量の多いトルエン、
キシレン、ヘンゼン、灯油、軽油、重油、C9溜分混合
物、エチレンボトムなどが特に好ましい。
Since the decomposable carbon compound used in carrying out the present invention has the purpose of supplying carbon, it can be selected from a wide range of options, such as those listed above.However, from the viewpoint of ease of handling and carbon yield, Toluene, which has a relatively high carbon content,
Particularly preferred are xylene, Hensen, kerosene, light oil, heavy oil, C9 distillate mixture, ethylene bottoms, and the like.

水蒸気を含む熱ガスを得る方法としては、通電発熱方式
、高周波加熱方式、放電方式によって得た熱ガス中に水
蒸気を注入することによっても得ることができるが、水
素、メタン、エタン、プロパンなどあるいは原料とする
炭化水素のように燃焼して水蒸気を生成する可燃物を空
気で燃焼させる方法が一工程で水蒸気を含む熱ガスを得
ることができるので装置上簡便であり、熱効率の面から
経済的である。
Hot gas containing water vapor can also be obtained by injecting water vapor into hot gas obtained by an electric heating method, a high frequency heating method, or a discharge method. The method of using air to combust combustible materials that produce water vapor when burned, such as hydrocarbons used as raw materials, can obtain hot gas containing water vapor in one step, making it simple in terms of equipment and economical in terms of thermal efficiency. It is.

含炭素組成物を得るには第1図に示す様な炉を用いるの
が便利である。
In order to obtain the carbon-containing composition, it is convenient to use a furnace as shown in FIG.

か(して得られた熱ガス中の混合エーロゾル分散賀は炉
の外に誘導した後、含まれる固形物をバーブフィルター
、サイクロン、電気集塵機等の公知の捕集装置を使用し
た固−気分離操作により捕集する。
The mixed aerosol dispersed in the hot gas thus obtained is guided outside the furnace, and the solids contained are separated into solids and gases using a known collection device such as a barb filter, cyclone, or electrostatic precipitator. Collect by operation.

本発明においては、複合金属炭化物微粉末中の炭化ケイ
素の含有量は70重量%以上95重Mχ未満(以下重量
%は車に%と記す、)炭化チタンは5%以上30χ未満
とすることが好ましいが、この含を量の調節は、該複合
金属炭化物微粉末を前記含炭素組成物から得る場合は、
水蒸気を含む熱ガス中に注入する分解性ケイ素化合物及
び分解性チタン化合物の量を調節することにより簡便に
実施できる。
In the present invention, the content of silicon carbide in the composite metal carbide fine powder may be 70% by weight or more and less than 95% by weight Mχ (hereinafter, % by weight is expressed as %), and the content of titanium carbide may be 5% or more and less than 30% by weight. Preferably, when the composite metal carbide fine powder is obtained from the carbon-containing composition, the amount of the content can be adjusted by
This can be easily carried out by adjusting the amounts of the decomposable silicon compound and the decomposable titanium compound injected into the hot gas containing water vapor.

本発明においては、含炭素組成物中のC/(Si+Ti
)大量比、すなわちC(g−atm)/ (Si+Ti
) (g−atm)の比は3.5より大であることが望
ましい0Mし、該含炭素組成物中に炭素を過剰に含む方
が、これを加熱して得られる複合金属炭素化合物微粉末
の平均粒子径が小さくなるという、本発明者らの実験的
知見に基づくものである。但しとの値が20を越えるよ
うなあまり大きい値の場合には、それ以上の際立った効
果は得られない上、炭素化合物の単なる損失にしかなら
ない。C/(Si+Ti)大量比は好ましくは、3.5
以上20未満、より好ましくは4以上10未満である。
In the present invention, C/(Si+Ti in the carbon-containing composition)
) bulk ratio, i.e. C(g-atm)/(Si+Ti
) The ratio of (g-atm) is desirably greater than 3.5 (0M), and the carbon-containing composition containing an excess of carbon is better than the composite metal carbon compound fine powder obtained by heating it. This is based on the inventors' experimental findings that the average particle diameter of the particles becomes smaller. However, if the value of and is too large, such as exceeding 20, no more significant effect can be obtained, and the result is only a mere loss of the carbon compound. C/(Si+Ti) mass ratio is preferably 3.5
It is 4 or more and less than 10, more preferably 4 or more and less than 10.

かくして得られたケイ素化合物、チタン化合物および単
体炭素からなる含炭素組成物は、これをそのままで、あ
るいはアルゴン、ヘリウムなどの不活性ガス中で、高周
波加熱炉、アチソン型の直接通電抵抗炉などにより、1
600〜2100℃、好ましくは1700−1900℃
程度に発熱すれば、下記(1)式及び(2)式により複
合金属炭化物微粉末を得ることが出来る。
The thus obtained carbon-containing composition consisting of a silicon compound, a titanium compound, and elemental carbon is heated as it is or in an inert gas such as argon or helium in a high-frequency heating furnace, an Acheson type direct current resistance furnace, etc. ,1
600-2100℃, preferably 1700-1900℃
If heat is generated to a certain extent, composite metal carbide fine powder can be obtained using the following equations (1) and (2).

SiO□+3C=  SiC+ 2CO−・−・・・・
−・il+TiO□+3C→ TiC÷2CO−・・−
一−−−・・・(2)しかしながら、含炭素組成物中に
含まれる単体炭素はC/(Si+Ti)式量比が3,5
より大とすることが望ましいので、上式に従って炭化ケ
イ素及び炭化チタンを生成する量以上に化学量論的に過
剰の炭素が含まれている。従って、ここで生成される複
合金属炭化物微粉末中には過剰の単体炭素が残存してい
るが、該過剰炭素はこの微粉末を空気中で500〜10
00℃に加熱すれば、単体炭素を簡単に燃焼除去するこ
とが出来る。
SiO□+3C= SiC+ 2CO−・−・・・・
−・il+TiO□+3C→ TiC÷2CO−・・−
---- (2) However, the elemental carbon contained in the carbon-containing composition has a C/(Si+Ti) formula weight ratio of 3.5
Since a larger amount is desirable, a stoichiometric excess of carbon is included over the amount that would produce silicon carbide and titanium carbide according to the above formula. Therefore, an excess of elemental carbon remains in the composite metal carbide fine powder produced here.
By heating to 00°C, elemental carbon can be easily burned off.

次にかくして得られた複合金属炭化物微粉末からセラミ
ック焼結体の製造方法について述べる。
Next, a method for manufacturing a ceramic sintered body from the composite metal carbide fine powder thus obtained will be described.

本発明での複合金属炭化物微粉末から複合金属炭化物焼
結体の製造方法は、背景技術の項でも述べた如く、セラ
ミック業界で通常行われているそれ自体公知の方法を準
用することが出来る。
As described in the background art section, the method for producing a composite metal carbide sintered body from composite metal carbide fine powder in the present invention can be applied to methods commonly used in the ceramic industry and known per se.

即ち、複合金属炭化物微粉末に少量の単体ホウ素または
単体ホウ素に相当するホウ素化合物及び単体炭素を混合
された微粉末を、加圧成形、鋳込み成形等の方法によっ
て所望する形状にし、しかる後に1900〜2200°
C程度に加熱すれば焼結体とすることができる。焼結方
法としてはホットプレスによる方法、熱間静水圧加圧法
、(HIP)などの方法ももちろん採用可能ではあるが
、大気圧以下の圧力で加熱する方法、いわする常圧焼結
法が工業的に有利である。加熱時の雰囲気は、アルゴン
、窒素などの不活性ガス中あるいは真空中とすることが
望ましい。
That is, a fine powder obtained by mixing a small amount of elemental boron or a boron compound corresponding to elemental boron and elemental carbon with a composite metal carbide fine powder is formed into a desired shape by a method such as pressure molding or casting, and then 1900~ 2200°
A sintered body can be obtained by heating to about C. As a sintering method, methods such as hot pressing, hot isostatic pressing (HIP), etc. can of course be adopted, but the method of heating at a pressure below atmospheric pressure, the so-called atmospheric pressure sintering method, is the most widely used in the industry. It is advantageous. The atmosphere during heating is preferably an inert gas such as argon or nitrogen, or a vacuum.

本発明では、複合金属炭化物微粉末の比表面積は3〜5
0m/g程度の微粉末が好ましいことは前述の通りであ
る。
In the present invention, the specific surface area of the composite metal carbide fine powder is 3 to 5.
As mentioned above, fine powder of about 0 m/g is preferable.

本発明において、複合金属炭化物微粉末を得るには、前
述のごとく基本的に二つの方法がある。
In the present invention, there are basically two methods for obtaining the composite metal carbide fine powder as described above.

即ち、第1の方法は、炭化ケイ素と炭化チタンの粉末を
ボールミル、振動ミルなどで混合あるいは粉砕混合する
ことによって得る方法であり、第2の方法は、水蒸気を
含む熱ガス中に分解性金属化合物(すなわち、分解性ケ
イ素化合物及び分解性チタン化合物)と分解性炭素化合
物を装入・分解−して、該金属酸化物及び単体炭素のそ
れぞれのエーロゾルを含むエーロゾル分散質を生成せし
め、該生成した分散質を補集して含炭素組成物を加熱し
て得る方法である。
That is, the first method is to mix or pulverize powders of silicon carbide and titanium carbide in a ball mill, vibration mill, etc., and the second method is to obtain decomposable metals in hot gas containing water vapor. A compound (i.e., a decomposable silicon compound and a decomposable titanium compound) and a decomposable carbon compound are charged and decomposed to produce an aerosol dispersoid containing an aerosol of each of the metal oxide and elemental carbon, and This method collects the dispersoids and heats the carbon-containing composition.

この二つの方法のうち、第2の方法で得られた複合金属
炭化物微粉末を用いれば、本発明の効果はより一層顕著
であることを本発明者らは確認している。本発明の複合
金属炭化物微粉末は、炭化ケイ素を主体とした組成のも
のでかつ特定の炭化チタンを含存するものであるが、夫
々の含有量は炭化ケイ素が701以上95χ未満で炭化
チタンが5%以上30χ未満でなければならないことは
前述の通りである。その理由は、炭化チタンが5χ未満
であると炭化ケイ素単独の微粉末の状態に近くなって本
発明の効果が得られなくなり、一方3o%以上であると
繊密な焼結体が得られにくくなるためである。
The present inventors have confirmed that the effects of the present invention are even more remarkable when the composite metal carbide fine powder obtained by the second method of these two methods is used. The composite metal carbide fine powder of the present invention has a composition mainly composed of silicon carbide and also contains a specific titanium carbide. % or more and less than 30χ as described above. The reason for this is that if the titanium carbide content is less than 5χ, the state will be similar to that of a fine powder of silicon carbide alone, making it impossible to obtain the effects of the present invention, while if it is more than 30%, it will be difficult to obtain a delicate sintered body. To become.

本発明では焼結に先立って、複合金属炭化物微粉末に焼
結を促進させるための焼結助剤として、単体ホウ素また
は単体ホウ素に相当するホウ素化合物及び単体炭素を少
量添加混合することが好ましい。その添加量は、複合金
属炭化物微粉末100重量部(以下重量部は華に部と記
す。)に対し前者は0.1〜4.0部程度、後者は0.
5〜4.0部程度である。焼結助剤はその目的上複合金
属微粉末と出来るだけ均一にl昆合させることが望まし
く、従って、車体ホウ素またはホウ素化合物は比表面積
が3m/g以上、単体炭素は比表面積が30m/g以上
の例えばカーボンブラ、りやアセチレンブラックの様な
微粉末状のものが好ましい。
In the present invention, prior to sintering, it is preferable to add and mix a small amount of elemental boron or a boron compound corresponding to elemental boron and elemental carbon to the composite metal carbide fine powder as a sintering aid to promote sintering. The amount of the former is approximately 0.1 to 4.0 parts, and the latter is approximately 0.1 to 4.0 parts by weight, per 100 parts by weight of the composite metal carbide fine powder (hereinafter, parts by weight are referred to as parts).
It is about 5 to 4.0 parts. For its purpose, it is desirable that the sintering aid be mixed with the composite metal fine powder as uniformly as possible. Therefore, the specific surface area of the car body boron or boron compound should be 3 m/g or more, and the specific surface area of the elemental carbon should be 30 m/g. For example, fine powders such as carbon black, resin, and acetylene black are preferred.

混合はボールミル、振動ミル等で行う方法で実施される
が、より均一な混合物を得るためには、水あるいはメタ
ノール、エタノールなどの有機溶媒を加えて、湿式で蒸
気ボールミル、振動ミル等を使用して混合する方法が好
ましい。即ち、一つの方法として単体ホウ素またはホウ
素化合物微粉末を、水あるいは有機溶媒に分散懸濁させ
、この懸濁液を複合金属炭化物微粉末と混合した後、水
あるいは有III i8媒を蒸発除去する方法がある。
Mixing is carried out using a ball mill, vibration mill, etc., but in order to obtain a more homogeneous mixture, water or an organic solvent such as methanol or ethanol is added and a wet steam ball mill, vibration mill, etc. is used. A method of mixing is preferred. That is, one method is to disperse and suspend elemental boron or a boron compound fine powder in water or an organic solvent, mix this suspension with a composite metal carbide fine powder, and then remove the water or the III-i8 medium by evaporation. There is a way.

また他の方法として、単体ホウ素またはホウ素化合物微
粉末、単体炭素微粉末及び複合金属炭化物微粉末に、水
あるいは有機溶媒を加えて混合した後、水あるいは有機
溶媒を蒸発除去する方法があるが、本発明では何れの方
法をも採用し得る。なお、本発明で使用しうる単体ホウ
素に相当する上記ホウ素化合物としてはBtC−BN、
 A4B、  などが好ましいもとのして挙げられる。
Another method is to add and mix water or an organic solvent to elemental boron or boron compound fine powder, elemental carbon fine powder, and composite metal carbide fine powder, and then remove the water or organic solvent by evaporation. In the present invention, either method can be adopted. In addition, the above-mentioned boron compounds corresponding to elemental boron that can be used in the present invention include BtC-BN,
A4B, etc. are mentioned as preferred bases.

〔発明の作用効果〕[Function and effect of the invention]

本発明の複合金属炭化物焼結体の製造方法は、以上詳細
に説明した如く、炭化ケイ素を主体としこれに特定量の
炭化チタンが加わった金属炭化物(複合金属炭化@ff
)微粉末を焼結助剤の存在のもとに焼結すると云う方法
であり、特には、該複合金属炭化物微粉末が、水蒸気を
含む熱ガス中に分解性ケイ素化合物、分解性チタン化合
物及び分解性炭素化合物を注入・分解して、ケイ素酸化
物、チタン酸化物及び単体炭素を含む混合エーロゾルを
生成せしめ、2亥生成した分散質を補集して得たC/(
Si+Ti)式量比が3.5  より大である含炭素組
成物を加熱して得た複合金属炭化′$!I微粉末である
が、本発明の実施によって得られるセラミック焼結体は
機械的強度が大きく、しかも強度のバラフキが極めて小
さいという作用効果を奏するのである。何故この様に優
れた焼結体が得られるかの詳細な理由は勿論現在のとこ
ろ明らかではないが、本発明者等は一応次の様に推察し
ている。
As explained in detail above, the method for producing a composite metal carbide sintered body of the present invention is a method for producing a metal carbide mainly composed of silicon carbide and to which a specific amount of titanium carbide is added (composite metal carbide@ff
) A method in which fine powder is sintered in the presence of a sintering aid, and in particular, the composite metal carbide fine powder is mixed with decomposable silicon compounds, decomposable titanium compounds, and C/(
Composite metal carbide obtained by heating a carbon-containing composition whose formula weight ratio (Si+Ti) is greater than 3.5! Although it is a fine powder, the ceramic sintered body obtained by practicing the present invention has high mechanical strength and has extremely small variations in strength. The detailed reason why such an excellent sintered body can be obtained is, of course, not clear at present, but the inventors of the present invention speculate as follows.

現在セラミック業界で一般的に信じられている学説もし
くは通説に従えば、機械的強度が大きくしかも強度のバ
ラツキが小さいセラミック焼結体であるためには、(1
)焼結体の内部に成形時の欠陥が残存していないことと
共に、(2)焼結体を構成する粒子の一つ一つの大きさ
が均等であり、かつ微細であること、が要請される。
According to the theory or common theory currently generally believed in the ceramic industry, in order for a ceramic sintered body to have high mechanical strength and small variation in strength, (1
) It is required that there are no defects left during molding inside the sintered body, and (2) that the size of each particle constituting the sintered body is uniform and fine. Ru.

本発明の効果は主としてこの後者に起因すると推察され
、このことはS8M写真像により焼結体を構成する粒子
の組織状態を調べることによってもX付けられる。すな
わち、本発明の方法により得られた焼結体と、従来の製
造方法によって得られた焼結体のそれぞれの52M映像
を比較すると、本発明によって得られた焼結体は従来の
焼結体に比べ格段に微細な組織の焼結体であることが確
認される。何故にこのような微細な組織となるかは必ず
しも明らかではないが、本発明者らは次の様に推察して
いる。
It is presumed that the effect of the present invention is mainly due to the latter, and this can also be confirmed by examining the structure of the particles constituting the sintered body using an S8M photographic image. That is, when comparing the 52M images of the sintered body obtained by the method of the present invention and the sintered body obtained by the conventional manufacturing method, it is found that the sintered body obtained by the present invention is superior to the conventional sintered body. It is confirmed that the sintered body has a much finer structure than that of the sintered body. Although it is not necessarily clear why such a fine structure is formed, the present inventors speculate as follows.

耶ち、本発明で得られるセラミック焼結体は、上述のご
とく、炭化ケイ素の単独微粉末のみではなく、炭化ケイ
素を主体としこれに炭化チタンを添加してなる複合金属
炭化物微粉末を焼結して得られるものであるから、焼結
工程において複合金属炭化物が加熱されて単一の粒子が
結合し、緻密化していく過程で、均等に分散された炭化
チタンの粒子が東北ケイ素の粒子の肥大化を防止する言
わばピン止め作用を奏するためではないがと推察される
。また、本発明で複合金属炭化物微粉末が、水蒸気を含
む熱ガス中に分解性ケイ素化合物、分解性チタン化合物
および分解性、炭素化合物を圧入・分解しケイ素酸化物
、チタン酸化物及び炭素を含む混合エーロゾルを生成さ
せて、この分散質を加熱して得たC/(Si+Ti)式
量比が3.5より大である含炭素組成物を加熱すること
によって生成した複合金属炭化物微粉末である時は、本
発明の効果は更に一層顕著である。その理由は、上記方
法によって得られた複合金属炭化物微粉末は炭化ケイ素
粉末と炭化チタン粉末が更に−1均一に混合された状態
になっているので複合金属炭化物微粉末中における炭化
チタンの分散が更に一段と良好なためと考えられる。
Therefore, as mentioned above, the ceramic sintered body obtained by the present invention is not only a single fine powder of silicon carbide, but also a composite metal carbide fine powder made mainly of silicon carbide with the addition of titanium carbide. During the sintering process, the composite metal carbide is heated and the single particles are combined and densified, and the evenly dispersed titanium carbide particles are mixed with the Tohoku silicon particles. It is presumed that this is not because it has a so-called pinning effect to prevent enlargement. In addition, in the present invention, the composite metal carbide fine powder contains silicon oxide, titanium oxide, and carbon by injecting and decomposing decomposable silicon compounds, decomposable titanium compounds, and decomposable carbon compounds into hot gas containing water vapor. A composite metal carbide fine powder produced by generating a mixed aerosol and heating a carbon-containing composition having a C/(Si+Ti) formula weight ratio of greater than 3.5, which was obtained by heating the dispersoid. At times, the effects of the present invention are even more remarkable. The reason is that the composite metal carbide fine powder obtained by the above method has silicon carbide powder and titanium carbide powder mixed evenly, so that the dispersion of titanium carbide in the composite metal carbide fine powder is reduced. This is thought to be due to the fact that it is even better.

〔発明を実施するための好ましい形態〕以下実施例によ
り本発明をさらに具体的に説明する。
[Preferred Mode for Carrying Out the Invention] The present invention will be explained in more detail with reference to Examples below.

実施例1 比表面積1.2i/Hの炭化ケイ素90gと比表面積0
.9m/gの炭化チタン10gとを、振動ミルを用いて
50時間粉砕混合し、比表面積15.1’ m7gの複
合金属炭化物微粉末100gを得た。この複合金属炭化
物微粉末に、比表面積が5.3m/gのB、C微粉末1
,5gと、比表面積が120.5耐/gのカーボンブ’
yツク2.0g と、50ccのエタノールを加えて湿
式下で20時間混合し、複合金属炭化物微粉末とこれら
の混合物を得た。得られた混合物を加熱してエタノール
を蒸発除去して得た微粉末の80gを円筒容器に入れ、
0.57/dの荷重でl軸圧縮した後2T/cJの静水
圧でラバープレスし成型した。次に゛この成型体を10
−1〜I Toorの真室下窒素雰囲気中で2050℃
、30分間加熱して複合金属炭化物焼結を得た。この焼
結体の密度を測定しところ3.30g/ccであったφ 次にこの焼結体をダイヤモンドカッター切断して20片
の試験片を作成し、JIS R−1601の方法に従っ
て室温で曲げ強度を測定した。この結果曲げ強度の平均
値は63Kg/+n+”で標準偏差は4.6Kg/mm
”であづた。
Example 1 90 g of silicon carbide with a specific surface area of 1.2i/H and a specific surface area of 0
.. 9 m/g of titanium carbide was pulverized and mixed for 50 hours using a vibration mill to obtain 100 g of composite metal carbide fine powder with a specific surface area of 15.1' m 7 g. In this composite metal carbide fine powder, B, C fine powder 1 with a specific surface area of 5.3 m/g is added.
, 5g and a carbon block with a specific surface area of 120.5 resistance/g.
2.0 g of YTSU and 50 cc of ethanol were added and mixed under wet conditions for 20 hours to obtain composite metal carbide fine powder and a mixture thereof. The resulting mixture was heated to remove ethanol by evaporation, and 80 g of the fine powder obtained was placed in a cylindrical container.
After being compressed on the l-axis under a load of 0.57/d, it was rubber pressed and molded under a hydrostatic pressure of 2 T/cJ. Next, ``10 pieces of this molded body
-1 to 2050°C in a nitrogen atmosphere under a true room of Toor
, and heated for 30 minutes to obtain a composite metal carbide sinter. The density of this sintered body was measured and was found to be 3.30 g/cc φ Next, this sintered body was cut with a diamond cutter to create 20 test pieces, which were bent at room temperature according to the method of JIS R-1601. The strength was measured. As a result, the average value of bending strength was 63Kg/+n+'' and the standard deviation was 4.6Kg/mm.
”Azuta.

比較例1 実施例1において炭化チタンLog  を炭化ケイ素に
変えた以外は実施例1と全く同様にして、炭化ケイ素1
00gを50時間振動ミルで粉砕して比表面積が16.
3 rd7gの炭化ケイ素微粉末を得た。
Comparative Example 1 Silicon carbide 1
00g was ground in a vibration mill for 50 hours and the specific surface area was 16.
3rd7g of silicon carbide fine powder was obtained.

この微粉末に実施例1と全く同様にしてBイCとカーボ
ンブランクとエタノールとを加えて混合した。
B-C, carbon blank, and ethanol were added and mixed to this fine powder in exactly the same manner as in Example 1.

この混合物を実施例1と全く同様にして成型後加熱し3
.14g/ccの密度の炭化ケイ素焼結体を得た。この
焼結体より20片の試験片を作成し実施例1と全く同様
にして曲げ強度を測定した結果、平均値で57Kg/1
lI112標準偏差は5.0Kg/概1 であった。こ
の焼結体内部組織をSεh写真像にて解析した。
This mixture was molded and heated in the same manner as in Example 1.
.. A silicon carbide sintered body having a density of 14 g/cc was obtained. Twenty test pieces were made from this sintered body and the bending strength was measured in exactly the same manner as in Example 1. As a result, the average value was 57 kg/1
The lI112 standard deviation was 5.0 Kg/approximately 1. The internal structure of this sintered body was analyzed using Sεh photographic images.

実施例2 第1図に示す含炭素組成物の製造装2を用い、ダクト2
より空気を燃焼バーナー3よりプロパンをそれぞれ11
00N’/h 、2Nmコ/h の流量で装入し火炎を
発生させた。また分解性ケイ素化合物としてSiC’l
井を、分解性チタン化合物としてTiCl4を、分解性
炭素化合物としてへ重油をそれぞれ選択し、これを予め
重量比で1:0.084:2に混合しノズル4より30
Kg/hの流量で炉内に注入した。
Example 2 Using the carbon-containing composition manufacturing apparatus 2 shown in FIG.
Burn more air than burner 3 and propane each 11
A flame was generated by charging at a flow rate of 00 N'/h and 2 Nm/h. Also, as a decomposable silicon compound, SiC'l
TiCl4 was selected as the decomposable titanium compound, and heavy oil was selected as the decomposable carbon compound, and these were mixed in advance at a weight ratio of 1:0.084:2, and 30
It was injected into the furnace at a flow rate of Kg/h.

得られたエーロゾルはダクト6より糸外に導かれ、エー
ロゾル中の分散質を捕集してケイ素酸化物、チタン酸化
物からなる含炭素組成物を10.61g/hの生成量で
得た。該含炭素組成物はSiO□32.2′g、T10
□3.2χ、炭素64.1χ でCノ(Si+Ti)重
量比は9.3  であった、この含炭素組成物の500
gを高周波加熱炉を用いて1750℃で2時間加熱し、
一旦冷却後空気中で600℃に加熱して残存した炭素を
燃焼除去し、更にフッ酸水溶液で洗浄して複合金属炭化
物115gを得た。
The obtained aerosol was guided to the outside of the thread through the duct 6, and the dispersoids in the aerosol were collected to obtain a carbon-containing composition consisting of silicon oxide and titanium oxide at a production rate of 10.61 g/h. The carbon-containing composition is SiO□32.2'g, T10
□3.2χ, carbon 64.1χ, and the carbon (Si+Ti) weight ratio was 9.3.
g was heated at 1750°C for 2 hours using a high-frequency heating furnace,
Once cooled, it was heated to 600° C. in air to burn off the remaining carbon, and then washed with an aqueous hydrofluoric acid solution to obtain 115 g of composite metal carbide.

この複合金属炭化物には89χの炭化ケイ素と11χの
炭化チタンが含まれ、比表面積は14.7 m7gであ
った。この複合金属炭化物の100gに実許り1]1と
全く同様に、B、C微粉末を1.5gとカーボンブラン
ク2.0g及びエタノール50ccを加えてこれらを湿
式下で20時間?R合した。
This composite metal carbide contained 89x silicon carbide and 11x titanium carbide, and had a specific surface area of 14.7 m7g. To 100 g of this composite metal carbide, add 1.5 g of B and C fine powders, 2.0 g of carbon blank, and 50 cc of ethanol in exactly the same manner as in 1] and heat them under wet conditions for 20 hours. R matched.

この混合物を実施例1と全く同様にして加熱によるエタ
ノールの除去、成型、焼皓を行い、密度3.31g/c
cの複合金属炭化物の焼結体の焼結体を得た。
This mixture was heated to remove ethanol, molded, and burned in exactly the same manner as in Example 1, and the density was 3.31 g/c.
A sintered body of composite metal carbide of c was obtained.

この焼結体から実施例工と全く同様にして20片の試験
片を作成し、曲げ強度を測定した結果、平均値で721
[g/mm” 、標準偏差は3.0Kg/mm”であっ
た、この焼結体の内部ML織をSεi写真像にて解析し
たが比較例1のものに比べ格段に微細な組織の焼結体で
あることが確認された。
Twenty test pieces were made from this sintered body in exactly the same manner as in the example work, and the bending strength was measured, and the average value was 721.
[g/mm", standard deviation was 3.0 Kg/mm". The internal ML texture of this sintered body was analyzed using Sεi photographic images, and it was found that the sintered structure was much finer than that of Comparative Example 1. It was confirmed that it was a solid body.

実施例1と比較例1を比較すると、本発明の方法に従え
ば強度が大きくバラツキが小さい焼結体が得られことが
分り、また実施例1と実施例2との比較より、複合金属
炭化物微粉末としてエーロゾルを経由して得た含炭素組
成物を加熱して得たものを用いれば、本発明の効果が一
層顕著になることが分かる。更に上記の如り、Sε門写
真像の比較から、実施例2で得た焼結体は比較例1で得
た焼結体に比較して、内部組織がはるかに微細であるこ
とが分かり、この内部M織の微細性が、焼結体の強度や
バラツキの著しい差を生ぜしめているものと推定される
A comparison of Example 1 and Comparative Example 1 shows that a sintered body with high strength and small variation can be obtained by following the method of the present invention, and a comparison between Example 1 and Example 2 shows that a composite metal carbide It can be seen that the effect of the present invention becomes even more remarkable when a fine powder obtained by heating a carbon-containing composition obtained via an aerosol is used. Furthermore, as mentioned above, from the comparison of the Sε gate photographic images, it was found that the internal structure of the sintered body obtained in Example 2 was much finer than that of the sintered body obtained in Comparative Example 1. It is presumed that the fineness of this internal M weave causes a significant difference in the strength and variation of the sintered bodies.

製造例1〜4 下記の方法によって4種類の複合炭化物微粉末を製造し
た。即ち実施例2と同様にして第1図に示す製造’AK
を用い、ダクト2より空気を、燃焼バーナー3よりプロ
パンを、それぞれ10100N/h、2Nll+3/h
  の流量で装入し火炎を発生させた。また分解性ケイ
素化合物、分解性チタン化合物及び炭素化合物としては
表−1に示すものをそれぞれ用い、それぞれ表−1に示
した注入量及びノズル位置で炉内に注入した。ここで注
入ノズルの番号が同じであることは、予め混合して同じ
ノズルより注入することを意味する。即ち、製造例1に
おいては5icl#をノズル4より注入し、Tt(OC
Hs)−とエチレンボトムとは予め混合してノズル5よ
り注入したこと意味し、製造例2においては、3種の化
合物を予め混合して同じノズル4より注入したことを意
味する。
Production Examples 1 to 4 Four types of composite carbide fine powders were produced by the following method. That is, in the same manner as in Example 2, the manufacturing 'AK' shown in FIG.
air from duct 2 and propane from combustion burner 3 at 10100N/h and 2Nll+3/h, respectively.
A flame was generated by charging at a flow rate of . The decomposable silicon compounds, decomposable titanium compounds, and carbon compounds shown in Table 1 were used, and were injected into the furnace at the injection amounts and nozzle positions shown in Table 1. Here, the same injection nozzle number means that the ingredients are mixed in advance and injected from the same nozzle. That is, in Production Example 1, 5icl# was injected from the nozzle 4, and Tt(OC
Hs)- and ethylene bottoms mean that they were mixed in advance and injected from the nozzle 5, and in Production Example 2, it means that the three types of compounds were mixed in advance and injected from the same nozzle 4.

得られたエーロゾルはダクト6より糸外に導かれ、それ
ぞれ表−1に示した生成量、組成C/(Si+Ti)重
量比の含炭素組成物を得た。これらの含炭素組成物のそ
れぞれ500gを、実施例1と同様にして高周波加熱炉
を用いて1750℃で2時間加熱し、それぞれ表−1に
示した組成、比表面積の複合金属炭化物微粉末をそれぞ
れ表−1に示した生成量で得た。
The obtained aerosol was guided to the outside of the yarn through the duct 6, and carbon-containing compositions having the production amounts and composition C/(Si+Ti) weight ratio shown in Table 1 were obtained. 500 g of each of these carbon-containing compositions was heated at 1750°C for 2 hours using a high-frequency heating furnace in the same manner as in Example 1, and composite metal carbide fine powders having the compositions and specific surface areas shown in Table 1 were obtained. Each product was obtained in the amount shown in Table 1.

実施例3〜10 複合金属炭化物微粉末として製造例1〜4で得たものを
用い、これらのそれぞれ100gにそれぞれ表−2に示
した名称、比表面積、量のホウ素化合物及び車体炭素を
加え、さらに工多ノール50ccを加えて振動ミルにて
20時間混合した。これらをそれぞれの混合物を加熱し
エタノールを除去して微粉末80g  を、それぞれ実
施例1と全く同様にして成型後加熱しそれぞ、れ表−2
に示した密度の焼結体を得た。
Examples 3 to 10 Using the composite metal carbide fine powders obtained in Production Examples 1 to 4, to 100 g of each of these, boron compounds and car body carbon having the name, specific surface area, and amount shown in Table 2 were added, Furthermore, 50 cc of Kotanol was added and mixed in a vibration mill for 20 hours. Each of these mixtures was heated to remove ethanol, and 80 g of fine powder was molded and heated in exactly the same manner as in Example 1.
A sintered body with a density shown in was obtained.

得られた焼結体を使用して実施例1と全く同様な方法で
曲げ強度を測定した。結果はそれぞれ表−2に示した通
りであった。
Using the obtained sintered body, the bending strength was measured in exactly the same manner as in Example 1. The results were as shown in Table 2.

表−2に示した曲げ強度から、零発萌の方法に従えばい
ずれも強度が大きくバラツキの小さい焼結体が得られる
ことが分かる。
From the bending strength shown in Table 2, it can be seen that if the zero-starting method is followed, a sintered body with high strength and small variation can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は実施例2及び製造例1〜4で用いた含炭素組成
物の製造装置を示す断面図である。図において、 1、・・−−−−−−〜・・炉 材     2.−−
−−−−・−・・ダクト3、・・・・・−一−−−−燃
焼バーナー  4.−・−・・−・−・−ノズル5、・
・−・・−−−−−−ノズル     6.・・−・・
・・〜・・・ダクトを示す。
FIG. 1 is a sectional view showing an apparatus for producing a carbon-containing composition used in Example 2 and Production Examples 1 to 4. In the figure, 1, ...------- ... Furnace material 2. ---
-------Duct 3,...--1---Combustion burner 4. −・−・・−・−・−Nozzle 5,・
・−・・−−−−−−Nozzle 6.・・・-・・
......indicates a duct.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)炭化ケイ素70重量%以上かつ95重量%未満と
、炭化チタン5重量%かつ30重量%未満とから実質的
になる金属炭化物微粉末(以下複合金属炭化物微粉末と
いう)100重量部に、0.1〜4.0重量部の単体ホ
ウ素または単体ホウ素に相当するホウ素化合物と0.5
〜4.0重量部の単体炭素とを加えた後、焼結すること
を特徴とする複合金属炭化物焼結体の製造方法。
(1) 100 parts by weight of metal carbide fine powder (hereinafter referred to as composite metal carbide fine powder) consisting essentially of 70% by weight or more and less than 95% by weight of silicon carbide and 5% by weight and less than 30% by weight of titanium carbide, 0.1 to 4.0 parts by weight of elemental boron or a boron compound equivalent to elemental boron and 0.5 parts by weight
1. A method for producing a composite metal carbide sintered body, which comprises adding 4.0 parts by weight of elemental carbon and then sintering.
(2)炭化ケイ素と炭化チタンとから実質的になる複合
金属炭化物微粉末が、水蒸気を含む熱ガス中に分解性ケ
イ素化合物、分解性チタン化合物及び分解性炭素化合物
を注入・分解して、ケイ素酸化物、チタン酸化物及び単
体炭素を含む混合エーロゾルを生成せしめ、該生成した
分散質を捕集して得たC/(Si+Ti)式量比が3.
5より大である含炭素組成物を加熱して得た複合金属炭
化物微粉末であることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の方法。
(2) A composite metal carbide fine powder consisting essentially of silicon carbide and titanium carbide is made by injecting and decomposing a decomposable silicon compound, a decomposable titanium compound, and a decomposable carbon compound into hot gas containing water vapor, and A mixed aerosol containing oxide, titanium oxide, and elemental carbon was generated, and the generated dispersoid was collected to obtain a C/(Si+Ti) formula weight ratio of 3.
Claim 1, characterized in that it is a composite metal carbide fine powder obtained by heating a carbon-containing composition having a carbon content larger than 5.
The method described in section.
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