JPS6227638A - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

Info

Publication number
JPS6227638A
JPS6227638A JP16716785A JP16716785A JPS6227638A JP S6227638 A JPS6227638 A JP S6227638A JP 16716785 A JP16716785 A JP 16716785A JP 16716785 A JP16716785 A JP 16716785A JP S6227638 A JPS6227638 A JP S6227638A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding body
diaphragm
sensitive element
pressure
pressure sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16716785A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasushi Sakaino
境野　靖
Mitsuo Ishige
石毛　光雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chino Corp
Original Assignee
Chino Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chino Corp filed Critical Chino Corp
Priority to JP16716785A priority Critical patent/JPS6227638A/ja
Publication of JPS6227638A publication Critical patent/JPS6227638A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、シリコンダイヤフラム等よりなる感圧素子
を用いた圧力センサに関づるものである。
［従来の技術］ 従来、圧力センサとして、シールダイヤフラムを設け、
伝達液（封入液）により圧力をシリコンダイヤフラム等
よりなる感圧素子に伝え、この感圧素子の圧力に対する
電気信号変化を取り出し、圧力を測定するものがある。
［この発明が解決しようとする問題点コしかしながら、
伝達液は、温度変化により、膨張するため、あらかじめ
、制限した量よりもシリコンダイヤフラム等の感圧素子
に過大な圧力、負荷が加わり、シリコンのたわみのυ１
限限界を越え、破損のおそれが生じる。
この発明の目的は、以上の点に檻み、シリコンダイヤフ
ラム等よりなる感圧素子に、過大な圧力、負荷が加わら
ないようにした圧力センサを提供することである。
［問題点を解決するための手段］ この発明は、感圧素子を取り付けた台座を、温度変化に
対して変位する台座保持体を介してシールダイヤフラム
保持体に取り付けたことを特徴とする圧力センサである
。
［実施例］ 第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明図である
。
図において、１は、シリコンダイヤフラム等よりなる感
圧素子で、適当な台座２に固定されて取り付けられてい
る。この台座２は、少なくとも一部が弾力性をもった台
座保持体３をｆＦ　してシールダイヤフラム保持体４を
に取り付けられている。
シールダイヤフラム保持体４は、いくつかの連通孔４ａ
を介して感圧素子１側からシールダイヤフラム５側にわ
たり伝達液（封入液）６が封入されている。感圧素子１
とほぼ同一平面上で、その周囲を取り囲みフランジ状に
形成された台座保持体３の周辺部３ａには、熱膨脹によ
り外方に移動する移動部材７ａが接続され、シールダイ
ヤフラム保持体４が固定されるケース８に熱膨脹金属７
ｂが固定されその先端が移動部＋４７ａに固着されてい
る。また、台座保持体３の周辺部３ａには伝達液６内に
シールダイヤフラム保持体４の側部に部分的に当接する
突部３ｂが形成され、周辺部３ａの外方には周辺部３ａ
が変位できる空間９が形成され、周辺部３ａが外方に変
位すると内部に空間ができ伝達液６の膨張を吸収できる
。
あらかじめ定められた測定範囲内では、シールダイヤフ
ラム５の圧力Ｐを伝達液６を介して感圧素子１に伝え圧
力の測定を行う。
圧力が測定範囲を越えて高くなり、過負荷状態となると
、一般にシールダイヤフラム５がシールダイヤフラム保
持体４に密着した状態で圧力伝達は限界となる。
また、周囲の温度、または測定流体等の温度が上昇し、
伝達液６が膨張すると、熱膨脹金属７ｂが膨張し、熱膨
脹の小さな移動部材７ａを外方に移動させ、台座保持体
３の周辺部３ａを外方に移動させて伝達液６の熱膨脹を
吸収する。このことにより感圧素子１に過大負荷が加わ
るのを防止できる。
第２図は、他の実施例を示し、第１図と同一符号は同一
構成要素を示す。この場合、台座保持体３の周辺部３ａ
はバイメタルとされ、外方と内方の各々に異種金属−＋
ｏａ、１ｏｂが固着されたものが用いられる。温度が上
昇すると、両金属１０ａ、１０ｂの熱膨脹率の差により
、周辺部３ａは、外方に変形・移動し、伝達液６の熱膨
脹を吸収する。
また、台座保持体３の周辺部３ａに形状記憶合金を用い
、温度上昇により外方に移動させるようにしてもよい。
［発明の効果］ 以上述べたように、この発明は、台座保持体を、温度変
化に対して変位するようにしたので、きわめて簡単な構
成で、伝達液の熱膨脹の吸収ができ、感圧素子に過大な
圧力が加わらず破損が防止でき、温度変化に対して影響
を受けず、高精度、高信頼性の圧力センサとなる。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。 １・・・感圧素子、２・・・台座、３・・・台座保持体
、３ａ・・・周辺部、４・・・シールダイヤフラム保持
体、４ａ・・・連通孔、５・・・シールダイヤフラム、
６・・・伝達液、７ａ・・・移動部材、７ｂ・・・熱膨
脹金属、８・・・ケース、９・・・空間、１０ａ、１０
ｂ・・・異種金属（バイメタル）

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. １．感圧素子を取り付けた台座を、温度変化に対して少
    なくとも一部が変位する台座保持体を介してシールダイ
    ヤフラム保持体に取り付けたことを特徴とする圧力セン
    サ。
  2. ２．前記台座保持体に、熱膨脹により外方に移動する部
    材を接続したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
    載の圧力センサ。
  3. ３．前記台座保持体は、少なくとも一部にバイメタルを
    含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧力
    センサ。
  4. ４．前記台座保持体は、少なくとも一部に形状記憶合金
    を含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
    力センサ。
  5. ５．前記感圧素子は、シリコンダイヤフラムよりなるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項から第４項記載の
    圧力センサ。
JP16716785A 1985-07-29 1985-07-29 圧力センサ Pending JPS6227638A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16716785A JPS6227638A (ja) 1985-07-29 1985-07-29 圧力センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16716785A JPS6227638A (ja) 1985-07-29 1985-07-29 圧力センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6227638A true JPS6227638A (ja) 1987-02-05

Family

ID=15844658

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16716785A Pending JPS6227638A (ja) 1985-07-29 1985-07-29 圧力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6227638A (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5638441U (ja) * 1979-08-31 1981-04-11
JPS5638810B2 (ja) * 1976-10-29 1981-09-09
JPS5873835A (ja) * 1982-10-04 1983-05-04 Hitachi Ltd 圧力伝送器
JPS6059132B2 (ja) * 1975-11-18 1985-12-24 凸版印刷株式会社 大型ブロー成形用多層パリソン成形装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6059132B2 (ja) * 1975-11-18 1985-12-24 凸版印刷株式会社 大型ブロー成形用多層パリソン成形装置
JPS5638810B2 (ja) * 1976-10-29 1981-09-09
JPS5638441U (ja) * 1979-08-31 1981-04-11
JPS5873835A (ja) * 1982-10-04 1983-05-04 Hitachi Ltd 圧力伝送器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5127140B2 (ja) 圧力・温度共用トランスデューサー
US4227418A (en) Capacitive pressure transducer
CN115096377B (zh) 一种温度压力传感器及其感温组件的组装工艺
US3970982A (en) Beam type transducers employing accurate, integral force limiting
EP0064128A3 (en) Probe for clinical electronic thermometer
JP4279367B2 (ja) 感熱スイッチ
JPS6222090B2 (ja)
US5161415A (en) Pressure sensor
JPH02206738A (ja) 半導体圧力検出装置
JPS6227638A (ja) 圧力センサ
JPS6227637A (ja) 圧力センサ
US20210181051A1 (en) Differential pressure measuring instrument
JPS62226031A (ja) 圧力センサユニツト
US2822161A (en) Damping means and methods
JPH02196938A (ja) 圧力センサ
JPS6231915Y2 (ja)
JPH0436425Y2 (ja)
JPS637334B2 (ja)
RU2193763C2 (ru) Датчик силы
CN210741726U (zh) 压力变送器
JPS6074214A (ja) 複合型熱式感知器
CN110174210A (zh) 压力传感器及其封装方法
JPH05133827A (ja) 半導体圧力センサ
JPH0614453Y2 (ja) 油入電気機器の保護装置
JPS5813571Y2 (ja) 温度検出スイッチ