JPS62272117A - 質量流量計 - Google Patents

質量流量計

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JPS62272117A JP62027421A JP2742187A JPS62272117A JP S62272117 A JPS62272117 A JP S62272117A JP 62027421 A JP62027421 A JP 62027421A JP 2742187 A JP2742187 A JP 2742187A JP S62272117 A JPS62272117 A JP S62272117A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 色見立±j 本発明は、波体の流れ内に設置して、あるいはパ・fプ
ライン等に接続して流体流れの質1rIt量を測定する
ための流量計に関する。
11立A」 コリオリ式質量流計は、流体管内の流体は、その流れ方
向に対し横断方向の振動を受けると、該流体管に対し、
測定可能な力で反動するという原理に基いている。11
体間をその両端間の中心において横断方向に振動させる
と、流体管の入口端から振動付与位置である最大振動速
度点にまで漸次増大する振動速度勾配が生じる。又、流
体管の振動付与位置から出口端へは漸次減少する振動一
度勾配が生じる。流体管内の流体は、この速度勾配に応
動して、やはり流体管の入口端から中心位置(振動付与
位置)へ漸次増大する勾配を有する横断方向の反動力を
生し、該中心位置から出口端へ漸次減少する勾配を有す
る横断方向の反動力を生じる。流体管に作用する反動力
は、流体管内の質i流量に直接関連している。
流体管の形状、材質、肉厚及び流体管の振動特性が、流
体のコリオリ反動の測定の容易さに影響し、従って、質
量流量の測定感度に影響する。流量計の設置環境内の機
械及びその他の装置によって惹起される外部ノイズや、
流体管即ち流量計管の振動によって惹起される内部ノイ
ズも、質量流量の測定精度に大いに影響する。
色1立且」 本発明の目的は、流量計のコリオリ反動の測定感度を増
大するとともに、コリオリ反動力の検出中ノイズの作用
を制限することである。
本発明の好ましい実施例による流量計管は、互いに、か
つ、パイプライン又は所定の流体流れに対して軸方向に
配置される入口端及び出口端を有する導管から成る。こ
の導管は、既存のパイプライン又は質量流量を測定すべ
き所定の流体流れ内に設置する。この導管は、又、流体
の流れを入口端から導入し、該所定の流体流れの軸方向
線に対し横断方向に少くとも1つのループを通して導く
撓み可能な流体管を備えている。この流体管のループ部
分は、その全長に亘って拘束されない自由浮動状態とし
、入口端と出口端の間で対称的に形成されていることが
好ましい。
自由浮動のループは、流体管のばね定数を減少し、従っ
て、流体管の撓み抵抗を減少させるので、流体管は、流
体のコリオリカに応じて自由に反動することができる。
更に、自由浮動ループは1片持ち管又は剛性管に比べて
、流体管に及ぼす外部ノイズの作用、従ってコリオリ反
動力の検出に及ぼす外部ノイズの作用を減少する。又、
単一の軸線(例えば所定の流体流れの軸方向線又は導管
の入口端と出口端の間を結ぶ線)を中心とし対称形に形
成された対称流体管は、その固定取付部に関して安定化
されているので、内部ノイズも、外部ノイズも、流体管
のすべての部位に実質的に等しく作用する。更に、この
流体管の対称構成は、流動計の感度及び精度を高める。
本発明の好ましい実施例によれば、流量計の管は、流れ
を所定の流体流れの軸線から、該軸線の周りに、かつ、
該軸線に垂直な平面内に対称的に形成された円形ループ
内へ偏向させる入口区間と、該ループから流れを偏向さ
せる出口区間を有する連続した流体管の形とすることが
でき、入口区間及び出口区間は、自由浮動のループの撓
み性及び該ループの、流体のコリオリ反動力に応答する
能力を増大させるように流れをループ内へ、そしてルー
プから偏向させる構成とすることができる。
本発明の別の好ましい実施例による流量計は。
軸方向の線に関して対称的に配置された2つのループを
有し、8の字の形とされた連続した流体管によって構成
することができる。流体流れは、軸方向線から入口区間
によって偏向され、第1ループを通して270°以上の
円弧に亘って通流され、軸方向線をそれに対して垂直に
横切り、第2ループを通して2700以上の円弧に亘っ
て通流され、出口区間によって軸方向線に沿う方向に偏
向される。流体管に付与する振動は、流体管の両端の固
定取付部を中心とする撓みを完全に回避するように軸方
向線に沿う方向とすることができる。
本発明の別の実施例によれば、1本又は2本の並置した
撓み可能な流体管を8字形に形成し、該流体管を、8字
形を画定する2つのループのところでハウジングに固定
し、ハウジング内に形成された内部チャンネルを通して
、所定の流体流れに連通させる。内部チャンネルは、流
れを実質的に同等の複数の流れに分割し、それらの流れ
を互いに平行な同等の流体管へ導くようにする。各流体
管は、ハウジングを中心として対称形に形成され、各流
体管の重心は、該流体管のハウジングに対する取付位置
に近接又は隣接したところに、好ましくは所定の流体流
れの軸方向線に隣接したところに位置するように構成す
る。流体管に対する振動は、ハウジング及び流体管の重
心に近接した位置で付与する。
コリオリ反動力を測定するための手段として、例えば流
体管の反動を表わす信号を発生するためのセンサー・の
ような任意の好便な形式の検出手段を設ける。これらの
センサーは、通常、振動付与位置に関して対称的に配置
し、信号は適当な回路によって処理する。
本発明の利点は、実質的に撓み可能で、自由に浮動する
流体管の構成に関連している。比較的長い、撓み可能な
部分を有し、実質的に拘束されない、自由浮動の流体管
は、該流体管内の流体のコリオリ反動に応動する該流体
管の能力を増大させる。更に、取付位置及び重心を中心
として安定化されている積み可能な流体管にその基本固
有共鳴振動数より高い振動数で振動させることにより質
量流量の測定精度を高める。この高い振動数は。
流体管の両端の間に振動波即ち振動パターンを創生し、
流体管を、前記センサーによって検知すべき運動に影響
し測定精度を低下させる外部ノイズから隔絶する振動節
を創生ずる。振動節は、実質的に静止しており、流体管
の見かけの繍みの中心となる局部的最少振幅位置である
。流体管の両端の間に振動節を創生ずることにより、流
体管をその固定取付部に直接連通ずる位置又は外部環境
に固定的に取付けられていない位置を中心として振動さ
せることを可能にし、それによって流量計の感度及び精
度を大幅に高める。
本発明の他の利点は、以下の実施例の説明から明らかに
なろう。
支1亘二1」 添付図には本発明による質量流量計の幾つかの実施例が
示されている。これらの添付図においては同様な部品は
同様な参照番号で示されており、質量流量計(単に「流
量計」又は「流量計管」とも称する)は、すべての図を
通して総体的に符合10で示されている。
第1図を参照すると、質量流量計10の一部分が示され
ている。流量計10は、X軸線の周りに対称的に形成さ
れ、Y軸線14とX軸線16の平面内に位数する円形の
流体管(「ループ」とも称する)から成り、質量流れ(
m)は、ループ内を通して矢印の方向に流され、円形ル
ープのY軸線14との交点において該流体管内の流れの
方向に対し横断方向に撓み振動が与えられる。第1図に
、流体管の最大横断方向速度(振れ速度)はVTmax
として示されている。流体管内を流れる流体は、与えら
れる撓み振動(「振れjとも称する)の両側の横断方向
最大速度VTmaxに応答して等しい反対方向の力Fm
、Fm’でもって反動する。流体のこのような反対向き
の反動力Fm、Fm’は、Y軸線14を中心とするトル
クTmを創生ずる。
第2図は1本発明の一実施例による流量計管10を示す
、流量計管10は、第1図に示されたのと同様の円形ル
ープ管部分を含み、X軸線12に沿って配置された入口
18及び出口2oを有する。X軸線12は、この流量計
管10を設置する所定の流れ又はパイプラインの軸線と
一致する。
入口18及び出口20は、互いに固定とすることが好ま
しい、入口18は、その流量計管が挿入されている所定
の流体流れから流体を管のループ部分24に連通した入
口区間22へ差向ける。流れは、ループ24内で360
0の円弧に亘って偏向された後、ループ部分と出口20
を結ぶ出口区間26へ排出される。
第2図の実施例では、入口区間22及び出口区間26は
Y軸線14に実質的に平行に配置されているが、例えば
X軸線12を中心とするらせん状となるように連続的に
湾曲させた形など任意の所望の形とすることができる。
本発明の流量計管のループ部分24は、実質的に自由浮
動とする。Sち、その全長に亘って拘束されないように
する。(流量計管の一部又は全部を「流体管」とも称す
る。)流体管のこの自由浮動部分には、流体管の撓み性
を高めるように入口区間22及び出口区間26も含める
ことが好ましい、ループ24の湾曲度が大きいほど、又
、流゛体管のうち流体のコリオリ反動力に応答して撓む
ことができる無拘束部分の長さが長いほど、流体管の感
度及び流体管に作用するフリオリ反動力を測定するため
のセンサーの滝力を高める。
第3図に示された本発明の別の実施例による流量計管1
0は、x4th線12を中心として対称的な80字形を
有し、実質的にX軸線12に沿って位置し、取付ブラケ
ット32によって互いに固定関係に取付けられた入口2
8及び出口30を備えている。流体は、所定の流体流れ
(図示せず)からfil R1計管10の入口28に流
入し、入口区間34を通ってX軸線12から離れる方向
に偏向される。この実施例の入口区間34は、流れの方
向をX軸線12に沿って流れる方向からX軸線16に沿
って流れる方向へ差向ける。魔れは、入口区間34から
少くとも1800の円弧を形成する第1ループ36を通
して導かれる。第1ループ36は、1つの同じ平面内に
形成することが好ましく、図示の例ではY軸線14とX
軸線16によって画定される平面内にある。第1ループ
36は、円形又は楕円形であってよく、あるいは第3図
に示されるように実質的に直線の部分38と湾曲部分4
0を有するものとしてもよい、第1ループ36は、X軸
線12と実質的に垂直に交差するように流れをY軸線1
4に沿って導く交差部分42に連通ずる。交差部分42
は、X@線12の、第1ループ36のある側とは反対側
に対称的に形成された第2ループ44に連通ずる。第2
ループ44も1図示のように湾曲部分46と直線部分4
8を有しており、後者は出口区間50に連通ずる。出口
区間50は、流れをX軸線16に沿う方向からX軸線1
2に近接する位置へ戻し、X軸線12に沿って出口30
へ導く。
流体管10は、交差部分42のX軸線12との交差点に
配置された振動子52によって振動を与えられる。即ち
、振動子52は交差部分42内の流れに対しY軸線14
に垂直にX軸線12に沿う方向に撓み振動を付与する。
その結果生じる流体のコリオリ反動力をループ36.4
4にそれぞれ配設されたセンサー54,56によって測
定する。センサー54.56の正確な取付位置は、ルー
プの形状及び流体管10の素材の性質に応じて定められ
る。駆動子52の付与振動は、連続した自由浮動流体管
に対し片持状ではないから、流体管がその取付軸線即ち
取付ブラケット32の軸線の周りに回動されることはな
い、入口区間34と、出口区間50と、2つのループ3
6.44を有する長い撓み可能の流体管部分が協同して
撓み性を呈し、その撓み性が、又、コリオリ反動に対す
る流量計10の感度を実質的に高める。又、流体管10
は、X軸線10の周りに対称的に形成されているので、
駆動子52の付4振動及びコリオリ反動による振動運動
を実質的に安定させ、質量流量の測定を阻害する内部ノ
イズを減少させる。
第4図に示された実施例は、Y軸線14の周りに対称的
に形成され、X軸線12に沿ってみた場合、(8の字形
を画定する第3図の管及び円形を画定する第2図の管と
は異り)8字形を画定する2つのループを有する流量計
管10から成る。管10は、好ましくは互いに固定関係
とされ、X軸線12に沿って配置された入口58及び出
口60を有する。入口58と出口58の間の連続した流
体管は、実質的に自由浮動性である。入口58に流入し
た流体は、第1入ロ区間62及180’の円弧を画定す
る第1ループ64を通って偏向される。Z軸線に沿って
位置する交差部分66は、第3図の実施例の交差部分4
2の場合と同様にX軸線12を横切る。第1ループ64
と交差部分66とで、流れを少くとも270’に亘って
方向転換する。流体の流れは、交差部分66から第1ル
ープ64に対して実質的に対称をなす第2ループ各Bへ
向けられ、次で出口区間70を通り、出口60を通って
流出する。
第5図の実施例は、第4図のB字形流体管の変型である
。この実施例では、実質的に制限部や拘72は、所定の
流体流のパイプライン(図示せず)に接続するためのフ
ランジを構成する入ロア4及び出口アロを備えている。
入ロア4及び出口アロは、いずれもX軸線12に沿って
位置し、第6図に示されるようにハウジング72内の内
部チャンネルに連通している。入口内部チャンネル78
は、流れを2つの同等の部分に分割し、2つの同じ流体
管80.82に供給する流れ分割マニホールドを構成す
る。2つの流体管80.82は、好ましくはそれらの全
長に亘って互いに平行に配置される。流体管80.82
と内部チャンネル78との接続部は、流体管80.82
をハウジング72に取付ける位置でもあり、この位置は
符号84で示されている。
流体管80.82とは同じ構造であるから、ここでは一
方の管80についてだけ説明する。流れは、内部チャン
ネル78から流体管80に流入し、流体管80の少なく
とも270°の円弧を画定する第1連続ループ86を通
り、Y軸線14を実質的に争直に横切る(但し、X軸線
12に対しては必ずしも垂直でなくてもよい)直線部分
88を通り、約270’の円弧を画定する第2ループ9
0に入る(第7図参照)、このように、流体管80は、
第1ループ86、直線部分88及び第2ループ90から
成る。Rれは、管80から、そのハウジング72に対す
る取付位7194において第2内部チャンネル92に流
入する。第2内部チャンネル92は、ハウジング72内
で流れ収束マニホールドを構成し、全流れを出口アロを
通して所定の流体流れ内へ戻す。
流体管80の重心96は、その取付位置84.94に近
いところに位置する。又、この重心96は、流量計管1
0の中央部分を通る所定の流体流れの軸線即ちX軸線1
2に隣接していないまでも、近接したところに位置する
。センサ98.100が、それぞれループ86及び90
上に設置され、第5及び6図に示されるように、各流体
管80.82の各ループ86,90に直接取付けてもよ
く、あるいは、ハウジング72から突出させた取付ブラ
ケット102,104に取付けてもよい、振動子106
は、管80の直線部分8日のY軸線14との交差部に配
置する。振動子106は、ハウジング72から突出させ
た取付ブラケット108に取付けてもよい、振動子10
6は、2つの流体管80.82を互いに反対方向に振動
させ、各振動ストロ−・りが、単一の流体管80又は8
2内を通る中−の流れの反動の実質的に2倍の反動を創
生し、その反動がセンサー98,100によって検知さ
れるようにすることが好ましい。
両流体管80.82の重心96は、頚管の取付位置に隣
接又は近接したところに位置しているので、管の運動を
安定化し2従って、コリオり反動の検出に及ぼす内外ノ
イズの作用が実質的に軽減される。外部ノイズがセンサ
ー98,100によってなされるコリオリ反動の検知を
ほとんど阻害することがなく、振動子96の付与された
振動からのコリオリ反動を測定するための安定した環境
を提供し、従って、計器10の′I!i量流量の計算精
度を高める。更に、この撓み可能な流体管構造は、安定
化された形態(対称形)と相俟って、Ft闇討の全体的
感度を実質的に減少させることなく管壁を比較的肉厚と
することを可能にする。肉厚の管は1通常、流体管の撓
み性を減少させ、従って、流体のコリオリ反動に応答す
る管の積み度を減少させる。しかし、流量計10の全体
的精度が犠牲にされることはない、なぜなら、測定され
る反動は、取付位置84.94を中心とする流体管の安
定性が存在するので外部ノイズに対して実質的に不感性
であるからである。流体管80.82の肉厚を厚くする
ことは、流量計10の全体強度及び寿命を増大させ、こ
の流量計を従来周知のコリオリ式流量計の場合より比較
的高い圧力下の流体に使用することを可能にするととも
に、流量計の感度を犠牲にすることなくその全体的安定
性及び性能を増大する。
第7図に示された振動子106(第3図の振動子52及
び第2図及び4図の実施例に使用される図示されていな
い振動子も同様)は、通常、流体管をその基本固有共鳴
振動数で振動させるが、流体管をその基本固有共鳴振動
数より高い振動数で振動させることによって流量計の読
みの精度を高めることができることが認められた。第5
〜7図に例示された流体管80をその基本固有共鳴振動
数で振動させた場合の典型的な振動パターンは第8a図
に示されている。
第8b図は、基本固有共鳴振動数(単に、「基本振動数
」又は「基本共鳴振動数」とも称する)より高い共鳴振
vJ数に応答する場合の流体管80の典型的な振動パタ
ーンを示す、この高い振動数では、一般に、その振動パ
ターン中に流量計管の他の部分に対して実質的に静止し
てみえる1jllil10が生じる。節itoは、ソケ
ット内のボールの両側から突出した延長部分を有するポ
ール・ソケット継手に匹敵するピボット又は結合部を構
成する局部的最少振幅点である。流体管80は、その連
続した全長に亘って実質的に自由浮動性であるが、その
固定端84.94及び節110の周りに振動する。
第8c図は、第8a及び8b図の場合より更に高い共鳴
振動数で流体管を振動させた場合の振動パターンを示す
、撓み可能な流体管80は、この高い共鳴振動数で振動
せしめられた場合、実質的に2つのjljl12.11
4を形成する。第9及び10図に示されるように、管の
ループ部分内を節114に対して移動する流体分子mは
、固定取付位N94及び節114を中心とする反動力を
生し、その反動力が測定される。節tt4は、外部構造
体に対して取付けられておらず、振動パターンの関数と
してのみ形成され、ハウジング構造体を介して伝えられ
る外部振動に対しては不感性である。このように管の全
長の中間部位に振動の節を形成し、両側のループに作用
するコリオリ反動力を検知することによって、流体管の
反動は、同じ流体管を基本振動数で振動させたときに比
べて外部ノイズ(騒音)に対してより不感性にされる。
この騒音不感性は、節の衝撃吸収効果によって創生され
る。更に、この振動数は1通常の流量計管に影響を及ぼ
す外部機械の振動数に非常に近い基本固有振IJJ数よ
り相りに高い。
以上、本発明の詳細な説明したが本発明はこれに限定さ
れるものではなく、本発明の精神及び範囲から逸脱する
ことなく他のいろいろな形態で実施することができるこ
とは、当業者には明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
第1図は同じ単一軸線の周りに形成された流体管の斜視
図であり、典型的なコリオリ式質量流量計に作用する合
成力を示す、第2図は本発明の第1実施例の斜視図、第
3図は本発明の第2実施例の斜視図、第4図は本発明の
第3実施例の透視図、第5図は本発明の好ましい実施例
の斜視図。 第6図は第5図の実施例の上からみた平面図、第7図は
第6図の線7−7に沿ってみた第5,6図の実施例の断
面図、第8a、8b及び80図は、第5.6.7図の実
施例の流体管のいろいろな異る振動パターンを示す概略
図、第9図は第8C図の振動パターンの平面図、第10
図は第80及び9図に示された振動パターンの側面図で
ある。 図中、10は質量流量計、1Bは入口、20は出口、2
2は入口区間、24はループ部分、26は出口区間、2
8は入口、30は出口、34は入口区間、36.44は
ループ、42は交差部分、50は出口区間、52は振動
子、54.56はセンサー、58は入口、60は出口、
62は入口区間、64.各Bはループ、66は交差部分
、70は出口区間、72は中央ハウジング、74は入口
、76は出口、78.92は内部チャンネル、80.8
2は流体管、86.90はループ、98.100はセン
サー、106は振動子。 図面の浄書(内容に変更なし) FIG、 4 +oey

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)流体流れの質量流量を測定するための流量計であっ
    て、 各々同じ単一軸線上に配置された入口端及び出口端を有
    する導管と、 該入口端と出口端の間に該軸線に関して対称形をなす少
    くとも1つのループを形成し、該軸線から偏倚した部分
    においては拘束のない自由浮動状態とされている連続し
    た流体管と、 前記ループに該ループ内の流れに対して垂直方向に振動
    を付与するための振動子と、 該振動子の両側に対称的に該流体管の外周面上に配置さ
    れており、前記振動子の振動に対する流体の反動に応答
    する該ループの撓みを検出するための検出手段と、 を具備することを特徴とする流量計。 2)前記ループは実質的に円形であり、前記単一軸線に
    対し実質的に垂直な平面内に形成されている特許請求の
    範囲第1項記載の流量計。 3)前記円形ループは、前記単一軸線に関して対称的に
    配置されている特許請求の範囲第2項記載の流量計。 4)前記流体管は、前記入口端から前記ループ内へと流
    れを偏向させるための入口区間と、該ループから前記出
    口端へと流れを偏向するための出口区間を含むものであ
    る特許請求の範囲第1〜3項のいずれかに記載の流量計
    。 5)前記入口区間および出口区間も、前記ループと共に
    実質的に自由浮動状態とされている特許請求の範囲第4
    項記載の流量計。 6)前記流体管は、各々少くとも180°より大きい円
    弧の第1及び第2ループの2つのループを有し、第1ル
    ープと第2ループとは、前記単一軸線と交差する位置で
    互いに連接し、その連接点において流れを該単一軸線に
    対し実質的に垂直方向に導くようになされている特許請
    求の範囲第1項記載の流量計。 7)前記入口端から、前記流体管の前記単一軸線との交
    差点からは離隔しているが該交差点に近接した位置へ流
    れを偏向し、更に該流れを前記第1ループ内へ偏向する
    ようになされた入口区間と、前記第2ループから該流体
    管の前記単一軸線との交差点とは離隔しているが該交差
    点に近接した位置へ流れを偏向し、更に該流れを前記出
    口端へ偏向するようになされた出口区間を備えている特
    許請求の範囲第6項記載の流量計。 8)前記入口区間及び出口区間は前記流体管と共に実質
    的に自由浮動状態とされている特許請求の範囲第7項記
    載の流量計。 9)前記第1及び第2ループは、前記単一軸線に対し実
    質的に横断方向の同一平面内に形成されている特許請求
    の範囲第6〜8項のいずれかに記載の流量計。 10)前記第1及び第2ループの各々は、少くとも27
    0°の円弧を画定するものである特許請求の範囲第6〜
    9項のいずれかに記載の流量計。 11)前記2つのループを有する前記流体管は、前記単
    一軸線に沿って見た場合ほぼ8の字形である特許請求の
    範囲第6〜10項のいずれかに記載の流量計。 12)前記2つのループを有する前記流体管は、前記単
    一軸線に沿って見た場合ほぼB字形である特許請求の範
    囲第6〜10項のいずれかに記載の流量計。 13)前記振動子は、前記流体管に前記単一軸線に実質
    的に沿う方向に振動を付与するようになされている特許
    請求の範囲第6〜12項のいずれかに記載の流量計。 14)前記流体管は、前記入口端及び出口端との連接点
    に近接した位置に重心を有し、前記振動子は、該流体管
    に近接し、流体管の重心からは離隔しているが、重心に
    近接した位置に配置されている特許請求の範囲第1項記
    載の流量計。 15)前記振動子は、前記流体管を該流体管の複数の異
    る共鳴振動数で選択的に振動させるようになされている
    特許請求の範囲第14項記載の流量計。 16)前記入口端及び出口端は、固定マニホールドを構
    成する特許請求の範囲第14項又は15項記載の流量計
    。 17)前記マニホールドは、流れを前記入口端から前記
    流体管内へ導き、該流体管から前記出口端へ導くための
    中央ハウジングを構成するものである特許請求の範囲第
    16項記載の流量計。 18)前記流体管の両端は、互いに並置する位置で前記
    ハウジングに固定されている特許請求の範囲第17項記
    載の流量計。 19)前記流体管は、同じ形状の第1流体管と第2流体
    管から成り、該第1流体管と第2流体管とは互いに隣接
    し平行に配置されており、それらの2つの流体管内を通
    る流れは実質的に同等で、並列関係にある特許請求の範
    囲第14〜18項記載の流量計。 20)前記中央ハウジングは、前記入口端からの流れを
    2つの同等な流れ部分に分割し、該2つの流れ部分をそ
    れぞれ前記2つの平行な流体管内へ導くための流れ分割
    チャンネルと、該2つの流れ部分を単一の流れに収束し
    、該単一の流れを前記出口端を通して導くための流れ収
    束チャンネルを画定するようになされている特許請求の
    範囲第19項記載の流量計。 21)前記流体管は、一端において前記入口端と連接す
    る第1ループと、前記単一軸線に近接したところで該第
    1ループから延長した連結部分と、該連結部分から延長
    し、前記出口端と連接する第2ループから成っている特
    許請求の範囲第14〜20項のいずれかに記載の流量計
    。 22)前記各ループは、少くとも270°の円弧を画定
    するものである特許請求の範囲第21項記載の流量計。 23)前記各ループの前記単一軸線からの延長部分は、
    各ループの半径より長くされている特許請求の範囲第2
    2項記載の流量計。 24)前記2つの流体管は、水平配置B字形を画定し、
    該各B字形の2つのループはそれぞれの流体管の重心に
    近接した位置で互いに固定関係をなして取付けられてい
    る特許請求の範囲第21〜23項のいずれかに記載の流
    量計。 25)前記振動子は、前記入口端及び出口端に固定され
    た取付部材から半径方向に突出した腕に取付けられてい
    る特許請求の範囲第1〜24項のいずれかに記載の流量
    計。 26)前記振動子は、前記流体管の長手に沿って振動波
    パターンを創生し流体管の振動波パターン内に少くとも
    1つの節を創生するように該流体管の基本共鳴振動数よ
    り高い振動数で該流体管を振動させるようになされてい
    る特許請求の範囲第1〜25項のいずれかに記載の流量
    計。 27)前記検出手段は、前記入口端と振動の節との間及
    び前記出口端と振動の節との間の運動を表わす信号を発
    生するようになされている特許請求の範囲第26項記載
    の流量計。 28)前記振動子の横断方向の振動によって前記流体管
    の両端の間に少くとも2つの振動節が創生されるように
    なされている特許請求の範囲第26項記載の流量計。 29)前記振動子は、前記流体管をその第2調和共鳴振
    動数で振動させるようになされている特許請求の範囲第
    1項記載の流量計。 30)前記振動子は、前記流体管の両端の間に局部的最
    少振幅を画定する振動節を創生し、該流体管の残りの部
    分をそれらの振動節の周りに振動させるようになされて
    いる特許請求の範囲第1項記載の流量計。 31)流体流れの質量流量を測定するための流量計であ
    って、互いに固定関係となされた入口端と出口端を有し
    、該入口端と出口端との間では実質的に自由浮動状態と
    されている撓み可能な流体管と、該流体管の入口端と出
    口端の間に少くとも1つの節を有する振動パターンを創
    生するように該流体管をその基本共鳴振動数より高い振
    動数で振動付与点において該流体管内の流れに対して横
    断方向に振動させるための振動手段と、該振動手段によ
    る振動に応答して前記流体管に及ぼされる該流体管内の
    流体のコリオリ反動を検出するための検出手段とを具備
    することを特徴とする流量計。
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