JPS62270018A - Magnetic disk medium - Google Patents

Magnetic disk medium

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JPS62270018A
JPS62270018A JP11264986A JP11264986A JPS62270018A JP S62270018 A JPS62270018 A JP S62270018A JP 11264986 A JP11264986 A JP 11264986A JP 11264986 A JP11264986 A JP 11264986A JP S62270018 A JPS62270018 A JP S62270018A
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JP
Japan
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magnetic disk
film
magnetic
disk medium
lubricant
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Pending
Application number
JP11264986A
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Japanese (ja)
Inventor
Mitsutoshi Hoshino
星野 光利
Bunichi Yoshimura
吉村 文一
Akira Terada
寺田 章
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic disk medium maintains the long-period high reliability of a contact start stop operation and head crash resistance by fixing an org. silicon functional group by a chemical bond to the surface of a thin inorg. compd. film formed on a magnetic film to form a lubricating layer, thereby maintaining high lubricity for a long period of time even at and under a high temp. and high humidity. CONSTITUTION:The lubricating layer is formed on the surface of the thin inorg. compd. film consisting of silicon dioxide or the like formed on the magnetic film by chemically bonding the org. silicon functional group thereto by a silylation reaction. The org. silicon functional group expressed by the formula is used. In the formula, R1-R3 are an alkyl group or phenyl group. The org. silicon functional group formed by the silylation reaction forms a thin modified film to prevent the adsorption as the hydrogen atoms of the metallic hydroxide, etc., on the surface of the thin inorg. compd. film or the magnetic film exist only in the modified form. The silylation reaction is carried out by bringing the magnetic disk into contact with a silylating agent and holding the same for the prescribed time at a specified temp.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〈産業1:の利用分野〉 本発明は、磁性膜の表面あるいは磁性股上に形成された
無機化合物薄膜の表面に、有機シリコン官能基を化学結
合により固定することにより、長期安定性が高く、ヘッ
ドの低浮上付化を達成した潤滑層を有する磁気ディスク
媒体に関する。
Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention <Field of Application in Industry 1> The present invention is a method of chemically adding organosilicon functional groups to the surface of a magnetic film or the surface of an inorganic compound thin film formed on a magnetic film. The present invention relates to a magnetic disk medium having a lubricating layer that achieves high long-term stability and low head flying height by being fixed by bonding.

〈従来の技術〉 従来、磁気ディスク媒体の潤滑層は磁性膜の表面に形成
された無機化合物薄膜トに潤滑剤を塗布することにより
形成されており、使用される液体潤滑剤は時代とともに
炭化水素系オイル、シリコン系オイルと改良され、現在
ではパーフルオロポリエーテルに代表されるフッ素系合
成潤滑剤が用いられている。ところで、このような磁気
ディスク媒体の潤滑層を製造するプロセスにおいては、
最適潤滑剤膜とするだめの潤滑剤溶液4度の管理や塗布
方法の適正化が必要であり、そのためメーカーでは多大
な努力がはられれている。そこで、潤滑剤の改良あるい
は潤滑剤塗布方法の改善に関する研究G;数多くされて
いる。しかし、二酸化ケイ素(SiO□)で代表される
トップコートとよばれる無機化合物薄膜自体の改良に関
する研究は今まで行われていない。よって、従来の磁気
ディスク媒体においては、磁性膜の表面にスパッタリン
グ法やスピンコード法で形成されたままの無機化合物層
上に単に潤滑剤を塗布するという方法が採用されている
<Conventional technology> Conventionally, the lubricant layer of magnetic disk media has been formed by applying a lubricant to a thin inorganic compound film formed on the surface of a magnetic film, and over time, the liquid lubricant used has changed to hydrocarbons. These oils have been improved through the use of lubricants based on lubricants, such as silicone-based oils, and fluorine-based synthetic lubricants such as perfluoropolyethers. By the way, in the process of manufacturing a lubricating layer for such magnetic disk media,
It is necessary to control the lubricant solution at 4 degrees Celsius and to optimize the application method in order to obtain an optimal lubricant film, and manufacturers are making great efforts to achieve this goal. Therefore, a lot of research has been carried out on improving lubricants or lubricant application methods. However, no research has been conducted to date on improving the inorganic compound thin film itself, called a top coat, represented by silicon dioxide (SiO□). Therefore, in conventional magnetic disk media, a method has been adopted in which a lubricant is simply applied onto the inorganic compound layer that has been formed on the surface of the magnetic film by sputtering or spin coding.

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながら、上述のような無機化合物薄j1(におい
ては、コンタミネーションの炭化水素や二酸化炭素、そ
の他の塵埃や吸着水などの吸着h1は保存条件によって
異なり、また雰囲気によって時々刻々と変動している。
<Problems to be solved by the invention> However, in the inorganic compound thin j1 (as described above), the adsorption h1 of contaminants such as hydrocarbons, carbon dioxide, other dust, and adsorbed water varies depending on the storage conditions, and It changes from moment to moment depending on the atmosphere.

このため、無機化合物薄膜の表面の潤滑性能は経時的に
変動するとともに位置的差異がある。
For this reason, the lubrication performance of the surface of the inorganic compound thin film changes over time and has positional differences.

また、PJjM係数の一方の担い手であるヘッド・スラ
イダには1An4nなどのフェライト、AI!203と
TiCとの混合セラミックス、サファイヤなどの酸化物
が多く用いられているが、これらはいずれも表面水酸基
、吸着水などとともにS iO,を主体とした無機化合
物薄膜との親和性が大きく、これとともに摩擦係数も大
きくなる。
In addition, the head slider, which is responsible for one of the PJjM coefficients, is made of ferrite such as 1An4n, AI! Mixed ceramics of 203 and TiC, and oxides such as sapphire are often used, but these all have a great affinity with inorganic compound thin films mainly composed of SiO, as well as surface hydroxyl groups and adsorbed water. At the same time, the coefficient of friction also increases.

よって、このように摩擦係数が大きい上にヘッドの吸着
が起き易く、且つ場所によって潤滑性能が異なる無機化
合物薄膜上へ、上述したような潤滑層を形成しても該磁
気ディスクとヘッド・スライダとの潤滑性能は短期間で
劣化してしまうという問題かあった。
Therefore, even if the above-mentioned lubricating layer is formed on the inorganic compound thin film, which has a large coefficient of friction, tends to cause head adsorption, and has different lubricating performance depending on the location, the magnetic disk and the head/slider will not be able to adhere properly. There was a problem in that the lubrication performance deteriorated in a short period of time.

本発明は、このような問題点に鑑み、高温高湿雰囲気下
においても長期間吸着がなく、fl一つ高潤滑性を維持
し、コンタクトスタートストップくC85)動作と耐ヘ
ッドクラツシユ性との長期に亘る品信頼付を有する磁気
ディスク媒体を提供すること一、1−II的とする。
In view of these problems, the present invention has been developed to eliminate adhesion for a long period of time even under high temperature and high humidity atmospheres, maintain high lubricity for one fl, and improve contact start/stop (C85) operation and head crush resistance. The objective is to provide a magnetic disk medium with long-term quality reliability.

〈問題点を解決するための手段〉 前記目的を達成する本発明の構成は、磁性膜の表面に無
機化合物薄膜が形成された磁気ディスク媒体において、
前記無機化合物薄膜の表面に有機シリコン官能基を化学
結合により固定して潤滑層を形成したことを特徴とし、
また、赳性j模の表面に有機シリコン官能基を化学結合
により固定して潤滑層を形成したことを特徴とする。
<Means for Solving the Problems> The structure of the present invention for achieving the above object is a magnetic disk medium in which an inorganic compound thin film is formed on the surface of a magnetic film.
A lubricating layer is formed by fixing an organic silicon functional group to the surface of the inorganic compound thin film through chemical bonds,
It is also characterized in that a lubricating layer is formed by fixing organic silicon functional groups on the surface of the material by chemical bonding.

このように、本発明にかかる磁気ディスク媒体は磁性膜
」二の無機化合物薄膜の表面あるいは磁性膜の表面に直
接、有機シリコン官能」、Lか化学結合により固定され
、これら表面に有機シリコン官能基からなる潤滑性及び
撥水性を有する潤滑層が形成されたものである。
As described above, the magnetic disk medium according to the present invention is directly fixed to the surface of the inorganic compound thin film of the magnetic film or the surface of the magnetic film by chemical bonding, and the organosilicon functional groups are fixed to the surface of the magnetic film. A lubricating layer having lubricity and water repellency is formed.

有機シリコン官能基を化学結合により固定する好適な方
法としては、無機化合物薄膜あるいは磁性膜の表面の水
酸基をシリル化反応により有機シリコン官能基に変性さ
せる方法がある。このシリル化反応を一般式に表すと次
式となる。
A preferred method for fixing organosilicon functional groups through chemical bonds is a method in which hydroxyl groups on the surface of an inorganic compound thin film or magnetic film are modified into organosilicon functional groups by a silylation reaction. This silylation reaction is represented by the following formula.

す)113 ここで、有機シリコン官能基としては で表されるものを用いることができ、これは次の4種に
分類でき、本発明ではいずれか1つを用いればよい。
113 Here, as the organosilicon functional group, those represented by can be used, which can be classified into the following four types, and any one of them may be used in the present invention.

■ R,、R2,R,がともにメチル基(Clh) 2
S i − ■ n、、 R2はメチル基、R3はフェニル基Ph(
CI+3)2Si−(llhはフェニル基を示す) ■ R,、R2はメチル基、 n、は3級ブチル基t−
Bu(CI+、)2Si−(t−noは3級ブチル基を
示す) ■ R,、R2はメチル基、R1はペンタフルオロフェ
ニル基 1:6F5(C1l、)2Si− このようなシリル化反応によって形成される有機シリコ
ン官能基は、無機化合物薄膜上あるいは磁性膜の表面の
金属水酸化物などの水素原子が変性された形態としての
み存在して数オングストロームという非常に薄い変性層
を形成し、吸着を防止する働きをする。また、無機化合
物薄膜上のコンタミネーションである炭化水素や吸着水
中の水酸基は、シリル化反応によらて有機シリコン官能
基へは全く変性されず、これら炭化水素や吸着水はシリ
ル化反応が行われる高温度下のシリル他剤雰囲気下にお
いて反応開始前及び反応の進行とともに1分解、置換、
蒸発などにより除去される。このため該シリル化反応後
の無機薄膜ないしは磁性膜表面は、吸着現象を抑制する
有機シリコン官能基で覆われ、゛且つコンタミネーショ
ンの炭化水素や吸着水の無い非常に清浄な表面となり、
該有機シリコン官能基を持たない無機薄膜の表面に較べ
て格段に優れたfJI滑性および撥水性を有している。
■ R,, R2, R, are both methyl groups (Clh) 2
S i - n,, R2 is a methyl group, R3 is a phenyl group Ph (
CI+3)2Si- (llh represents a phenyl group) ■ R,, R2 is a methyl group, n is a tertiary butyl group t-
Bu(CI+,)2Si- (t-no represents a tertiary butyl group) ■ R,, R2 is a methyl group, R1 is a pentafluorophenyl group 1:6F5(C1l,)2Si- Through such a silylation reaction, The organosilicon functional groups that are formed exist only in the form of modified hydrogen atoms such as metal hydroxides on the inorganic compound thin film or on the surface of the magnetic film, forming a very thin modified layer of several angstroms, and are adsorbed. It works to prevent In addition, hydrocarbons and hydroxyl groups in adsorbed water, which are contaminants on the inorganic compound thin film, are not modified into organosilicon functional groups at all by the silylation reaction, and these hydrocarbons and adsorbed water undergo the silylation reaction. Before the start of the reaction and as the reaction progresses, 1 decomposition, substitution,
Removed by evaporation etc. Therefore, the surface of the inorganic thin film or magnetic film after the silylation reaction is covered with organosilicon functional groups that suppress the adsorption phenomenon, and becomes an extremely clean surface free of contaminating hydrocarbons and adsorbed water.
It has much superior fJI slipperiness and water repellency compared to the surface of an inorganic thin film that does not have the organosilicon functional group.

またこの有機シリコン官能基層は上述の式からも判るよ
うに単分子膜としてのみ形成され、多層膜として形成さ
れることはないので、数オングストロームという非常に
薄い膜として形成される。よってこの有機シリコン官能
基層がヘッド・スライダと磁気ディスクとの間のスペー
シングロスの増大の原因となることはほとんどない。従
ってこのような有機シリコン官能基による潤滑層を形成
することにより、従来より高い高密度記録の磁気ディス
ク装置を実現することが可能となる。
Furthermore, as can be seen from the above formula, this organic silicon functional layer is formed only as a monomolecular film and not as a multilayer film, and therefore is formed as a very thin film of several angstroms. Therefore, this organosilicon functional layer hardly causes an increase in spacing loss between the head slider and the magnetic disk. Therefore, by forming a lubricating layer using such organosilicon functional groups, it becomes possible to realize a magnetic disk device with higher density recording than before.

シリル化反応は磁気ディスクをシリル化剤と接触させて
一定温度で所定時間保持することによって行われる。接
触方法としてはバルク・シリル化剤中で行う方法、シリ
ル他剤蒸気と接触させる方法、シリル他剤溶液中で行う
方・法などがあるが、使用するシリル化剤によって最適
な方法を採用することにより、効率よく反応を進行させ
ることができる。
The silylation reaction is carried out by bringing the magnetic disk into contact with a silylation agent and holding the magnetic disk at a constant temperature for a predetermined period of time. Contact methods include methods such as contacting in a bulk silylating agent, contacting with vapor of silyl and other agents, and methods and methods of contacting in a solution of silyl and other agents, but the most suitable method is adopted depending on the silylating agent used. This allows the reaction to proceed efficiently.

ここで、本発明に用いられるシリル化剤は上述したよう
な有機シリコン官能基を有するものであればよいが、上
記分類■のトリメチルシリル基を有するものか最も安価
に使用できる。これらトリメチルシリル基を有するシリ
ル化剤を第1表に示す。
Here, the silylating agent used in the present invention may be one having an organosilicon functional group as described above, but those having a trimethylsilyl group in the above category (1) can be used at the lowest cost. These silylating agents having trimethylsilyl groups are shown in Table 1.

第  1  表 このようなシリル化反応により有機シリコン官能7.H
が磁気ディスクの無機化合物薄I■qあるいは磁性膜を
)百う度合は、該シリル化反応の反応時間や反応温度、
あるいは使用するシリル化剤の濃度を調節することによ
り所望の度合く表面水酸基の反応率)とすることができ
る。またこのようにして形成された有機シリコン官能基
は、100〜150℃の高温・加湿雰囲気下でも長期間
変質することなく、初期と同じ潤滑性及び撥水性を維持
することができる。
Table 1. Organosilicon functionality by such silylation reaction7. H
The degree to which the inorganic compound thin Iq or magnetic film of the magnetic disk) depends on the reaction time and reaction temperature of the silylation reaction,
Alternatively, by adjusting the concentration of the silylating agent used, a desired degree of surface hydroxyl group reactivity can be achieved. Furthermore, the organosilicon functional group thus formed can maintain the same lubricity and water repellency as the initial state without deteriorating for a long period of time even in a humid atmosphere at a high temperature of 100 to 150°C.

本発明にかかる磁気ディスク媒体の潤滑層は、上記f機
シリコン官能基層の上にさらに従来より用いられていた
潤滑剤を9Iσして形成してもよい。つまり有機シリコ
ン官能基層は、従来より公知のパーフルオロポリエーテ
ルカルボン酸その他のカルボキシル、!!含有フッ素化
ポリエーテルなどの液体彊滑剤あるいは1TIO3など
の固体潤滑剤など何れの悄滑剤をさらに塗布しても、互
いに反応して変質したり、両者の潤滑性や撥水性を変化
させたりすることがない。逆に、有機シリコン官能基層
の上に塗布された潤滑剤は、有機シリコン官能J、(の
潤でけ性及び撥水性により、従来より優れた潤滑性能を
発揮することが予想される。
The lubricating layer of the magnetic disk medium according to the present invention may be formed by adding a conventionally used lubricant to 9Iσ on the f-functional silicon functional layer. In other words, the organosilicon functional layer consists of conventionally known perfluoropolyether carboxylic acids and other carboxyls,! ! Even if any lubricant, such as a liquid lubricant such as fluorinated polyether containing fluorinated polyether or a solid lubricant such as 1TIO3, is further applied, it may react with each other and cause deterioration, or the lubricity or water repellency of both may change. There is no. On the contrary, a lubricant applied on the organosilicon functional group layer is expected to exhibit superior lubricating performance than conventional ones due to the moisture release and water repellency of the organosilicon functional layer.

以上説明した本発明にかかる潤滑層は、従来のものに比
べて、高温・高湿下での加速試験によっても長期間ヘッ
ト・スライダとの間の摩擦係数の増加や吸着がなく、さ
らに優れたC3S特性及びヘッド・クラッシュ耐性を示
す。
The lubricating layer according to the present invention as described above is superior to conventional ones, as it does not increase the coefficient of friction between the head and the slider for a long period of time and does not cause adhesion even in accelerated tests under high temperature and high humidity. Shows C3S characteristics and head crush resistance.

〈実 施 例〉 以下、本発明の好適な実施例を図面を参照しながら説明
する。
<Embodiments> Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施例工) 本実施例は、磁性膜上の二酸化ケイ素からなる無機化合
物薄膜上にトリメチルシリル基を化学結合させて潤滑層
を形成した例を示すものであり、第1図(a)は磁気デ
ィスクの磁性l1lllI上に形成された二酸化ケイ素
からなる無機化合物薄膜層の表面の分子の配向状態を示
す説明図、第1図(b)はその表面にトリメチルシリル
基が化学結合したときの分子の配向状態を示す説明図で
ある。両図に示すように、磁気ディスクのSiO□無機
薄II!;lilの表面にはシリル化剤と反応するSi
原子に結合した水酸基が多数存在しており、この磁気デ
ィスクをヘキサメチルシラザン中で30分以上、ヘキサ
メチルジシランの沸点である 126℃前後で保持する
ことにより5in2無機薄膜1−ヒにトリメチルシリル
基よりなる潤滑層2が形成された。
(Working example) This example shows an example in which a lubricating layer is formed by chemically bonding trimethylsilyl groups on a thin film of an inorganic compound made of silicon dioxide on a magnetic film. An explanatory diagram showing the orientation state of molecules on the surface of the inorganic compound thin film layer made of silicon dioxide formed on the magnetic l1llllI of the disk. Figure 1 (b) shows the orientation of molecules when trimethylsilyl groups are chemically bonded to the surface. It is an explanatory diagram showing a state. As shown in both figures, the magnetic disk SiO□Inorganic Thin II! ;The surface of lil contains Si that reacts with the silylating agent.
There are many hydroxyl groups bonded to atoms, and by holding this magnetic disk in hexamethylsilazane for 30 minutes or more at around 126°C, which is the boiling point of hexamethyldisilane, trimethylsilyl groups form on the 5in2 inorganic thin film 1-H. A lubricating layer 2 was formed.

この磁気ディスク媒体をウィンチェスタ−タイプのへラ
ドスライダ(材質:AJ!20.、と’l’ i Cと
の混合セラミックス:荷重logF)で50℃、80%
R)iの条件下で摩擦係数を測定したところ、0.25
以下であり、(↓つ、その経時変化を測定しても 10
0日後においての増加が認められなかった。なお、Si
O□無機薄膜表面の摩擦係数は0,6〜10程度である
This magnetic disk medium was heated to 80% at 50°C using a Winchester type Herad slider (material: mixed ceramics of AJ!20. and 'l' iC: load logF).
R) When the friction coefficient was measured under the conditions of i, it was 0.25.
(↓) Even if we measure the change over time, it is 10
No increase was observed after 0 days. In addition, Si
The friction coefficient of the surface of the O□ inorganic thin film is about 0.6 to 10.

また5本実施例の磁気ディスク媒体の吸着水分量は、相
対湿度IO〜95%の範団においてSiO□無機薄j模
と比較して約イに減少しており、1發水性の表面となっ
ていることが証明された。さらに上記ヘッドを用いて吸
着現象を測定したところ、 1.00℃までの全温度i
囲に亘って吸着現象が認められなかった。また、100
日迄0経時変化にみても、吸着水分量の増加やヘットの
吸着水分量の増加やヘッドの吸着現象は認められなかっ
た。
Furthermore, the adsorbed moisture content of the magnetic disk medium of Example 5 is reduced to about A compared to the SiO□ inorganic thin model in the relative humidity range of IO to 95%, and the surface becomes aqueous. It has been proven that Furthermore, when we measured the adsorption phenomenon using the above head, we found that the total temperature i up to 1.00℃
No adsorption phenomenon was observed throughout the area. Also, 100
Even when looking at changes over time, no increase in the amount of adsorbed water, no increase in the amount of adsorbed water in the head, or any adsorption phenomenon in the head were observed.

さらに、トリメチルシラン基上にパーフルオロポリエー
テルを一定噴塗布した潤滑層に対し浮上1ii O、I
 0μm、荷重!、Ogfの低浮上量、高荷重の412
0.、、Tie混合セラミックスで作られたスライダを
用いたコンスタントスタートストップ(CSS)試験を
行った。この本発明にかかる磁気ディスク媒体は、50
”C,60%RH下でも10万回のテストにバスし、磁
気ディスクや磁気ヘッドに何ら異常が認められなかった
。なお、本発明以外の潤滑層におけるC5S回数は20
00〜3000であった。木実り八個の磁気ディスク媒
体を用いわば浮ト量0.12μmで、磁気ディスク装置
を5年間安定に稼動することができる。
Furthermore, floating 1ii O, I
0μm, load! , Ogf's low flying height, high load 412
0. ,Constant start-stop (CSS) testing was conducted using a slider made of Tie mixed ceramics. The magnetic disk medium according to the present invention has 50
"C5S was tested 100,000 times even under 60% RH, and no abnormality was observed in the magnetic disk or magnetic head.The number of C5S tests for lubricating layers other than those of the present invention was 20.
It was 00-3000. By using a magnetic disk medium with eight grains and a floating amount of 0.12 μm, the magnetic disk device can be operated stably for five years.

シリル化剤であるヘキサメチルジシラザンを該磁気ディ
スクの表面に接触させる方法はへキサメチルジシラザン
の液体中での加熱による方法ばかりではなく、ヘキサメ
チルジシラザンの加熱蒸気中に磁気ディスクを置く方法
によっても単分子層的な数オングストロームの非常に薄
い有機シリコン官能基層が形成でき、全く同様な優れた
効果を磁気ディスクに与えることができた。また、ヘキ
サメチルジシラザンのみでなく第1表中のトリメチルク
ロルシラン、トリメチルメトキシシラン、ジメチルアミ
ノトリメチルシラン、ビス(トリメチルアセトアミド)
、トリメチルシリルジフェニル尿素、ビストリメチルシ
リル尿素、トリメチルシリルイミダゾールを用いてシリ
ル化反応を行なってもヘキサメチルジシラザンと同様な
優れた潤滑性と撥水性の効果を磁気ディスクに、持たす
ことができた。
The method of bringing the silylating agent hexamethyldisilazane into contact with the surface of the magnetic disk is not only by heating it in a liquid of hexamethyldisilazane, but also by placing the magnetic disk in the heated vapor of hexamethyldisilazane. Using this method, we were able to form an extremely thin organosilicon functional layer of several angstroms, similar to a monolayer, and were able to provide exactly the same excellent effects to magnetic disks. In addition to hexamethyldisilazane, trimethylchlorosilane, trimethylmethoxysilane, dimethylaminotrimethylsilane, and bis(trimethylacetamide) listed in Table 1 are also available.
, trimethylsilyldiphenylurea, bistrimethylsilylurea, and trimethylsilylimidazole were used in the silylation reaction to provide magnetic disks with excellent lubricity and water repellency similar to those of hexamethyldisilazane.

(実hh例2) 鏡面研磨したアルマイト層付アルミニウム磁気ディスク
基板上にスパッタリング法でγ−F e 203を主成
分とする連続薄膜磁性層を形成する。該磁気ディスクの
磁性層を実施例1と同様な反応条件でトリメチルシリル
化する。第2図(a)はアルマイト層3上の磁性膜4の
表面の水酸基を含む分子の配向状態を示し、第2図(b
)はその表面水酸基をトリメチルシリル化した磁性層3
及び潤滑層4の分子の配向状態を示す。磁性膜4の主成
分はγ−Fe20..であっても磁性1漠表面には鉄の
水酸化物が多数存在しているため、シリル化反応により
容易にトリメチルシリル基などの有機シリコン官能基を
化学結合によって固定することができる。このようにし
て作製した磁気ディスクの斤掠係数測定実験ではシリル
化反応前ヘッドの吸着が多くかつ摩擦係数が約0.8で
あったものか、該反応後には吸着現象が全く無くなり摩
擦係数が約O0:に低・下していた。さらに50℃、8
0%RHの雰囲気下で100L1間摩擦係数の経時変化
を調べたが、何ら変動は認められなかった。
(Actual hh Example 2) A continuous thin film magnetic layer containing γ-Fe 203 as a main component is formed by sputtering on a mirror-polished aluminum magnetic disk substrate with an alumite layer. The magnetic layer of the magnetic disk is trimethylsilylated under the same reaction conditions as in Example 1. FIG. 2(a) shows the orientation state of molecules containing hydroxyl groups on the surface of the magnetic film 4 on the alumite layer 3, and FIG.
) is a magnetic layer 3 whose surface hydroxyl groups are trimethylsilylated.
and the orientation state of molecules in the lubricating layer 4. The main component of the magnetic film 4 is γ-Fe20. .. However, since a large number of iron hydroxides exist on the magnetic surface, organosilicon functional groups such as trimethylsilyl groups can be easily fixed by chemical bonding by silylation reaction. In an experiment to measure the spacing coefficient of the magnetic disk prepared in this way, the head before the silylation reaction had a lot of adsorption and the friction coefficient was approximately 0.8, but after the reaction, there was no adsorption phenomenon at all and the friction coefficient decreased. It had fallen to about O0:. Further 50℃, 8
The change over time in the friction coefficient between 100L1 was investigated in an atmosphere of 0% RH, but no change was observed.

この磁気ディスク上に、さらにカルボキシル基含有フッ
素化ポリエーテルであるバーフルオロボリエーテル力ル
ポキシレート潤滑剤をt9 I5すると、荷重10gf
のMn−Zeフェライトヘッドを用いたC8S試験にお
いて、50℃、80%RH下でもlO万方向テストにバ
スし、磁気ディスクやヘッドスライダに何ら異常が認め
られなかった。なお潤滑剤を塗布しない上記磁気ディス
クではC3S回数は5万回であり、また化学結合した有
機シリコン官能基を全く有しない従来の磁気ディスクで
のC55l数は約1000回と非常に小さかった。
When a carboxyl group-containing fluorinated polyether lubricant such as barfluoroboryether lubricant is further applied on this magnetic disk, a load of 10 gf is applied.
In a C8S test using a Mn-Ze ferrite head, the head passed a 100,000 direction test even at 50° C. and 80% RH, and no abnormalities were observed in the magnetic disk or head slider. In addition, the C3S number of the above-mentioned magnetic disk without applying lubricant was 50,000 times, and the C551 number of a conventional magnetic disk having no chemically bonded organic silicon functional group was very small at about 1000 times.

なお本実施例でも実施例1と同様に第1表のシリル化剤
を全て用いることができる。さらにトリメチルシリル基
に比べてバルキーなフェニルジメチルシリル基、t−ブ
チルジメチルシリル基の様な有機シリコン官能基を磁気
ディスクに結合させた場合には、C5S回数が5万回か
ら約8万回に増加した。
Note that in this example, as in Example 1, all the silylating agents listed in Table 1 can be used. Furthermore, when organic silicon functional groups such as phenyldimethylsilyl and t-butyldimethylsilyl groups, which are bulkier than trimethylsilyl groups, are bonded to the magnetic disk, the number of C5S increases from 50,000 times to approximately 80,000 times. did.

本実施例の有機シリコン官能基の層を有する磁気ディス
ク上にパーフルオロポリエーテル潤滑剤を塗布すること
によって潤滑層を形成し、ウィンチェスタ−タイプのA
J!203.TiCの混合セラミックス材質によるヘッ
ド・スライダ(荷重8gf)によって0.10μmの浮
上量のC5S試験をしたところ10万回にバスし、磁気
ディスクやヘッド・スライダには何等異常が認められな
かった。このように本発明による化学結合により固定さ
れた有機シリコン官能基をヘースとした潤滑層の形成に
より、スペーシングロスの低減化による磁気ディスク装
置の高記録密度化を達成することができた。
A lubricating layer was formed by applying a perfluoropolyether lubricant on the magnetic disk having a layer of organosilicon functional groups according to this example, and a Winchester type A
J! 203. When a C5S test was conducted with a flying height of 0.10 μm using a head slider made of a TiC mixed ceramic material (load: 8 gf), it passed 100,000 cycles, and no abnormality was observed in the magnetic disk or head slider. As described above, by forming a lubricating layer based on organic silicon functional groups fixed by chemical bonds according to the present invention, it was possible to achieve high recording density in a magnetic disk device by reducing spacing loss.

〈発明の効果〉 以−ヒ実り’6例とともに具体的に説明したように、本
発明磁気ディスク媒体は磁性I+!! lの無機化合物
薄膜ないしは磁性llI2に有機シリコン官能基か化学
結合で固定されることにより、無機化合物薄膜ないしは
磁性膜表面に優れた潤滑性および撥水性が付与されてい
るので高温高湿下でも吸着水分量が低く、かつ長期間に
亘って、H擦係数の増加と吸着水分量の変動およびヘッ
ドの吸着が全く無い。従って本発明の暖気ディスク媒体
を用いれば高温高湿ドでの磁気ディスクの回転開始一定
常回転−停止の動作を、従来より低浮1量、高荷重のヘ
ッド・スライダを用いて長期間に亘って高信頼・高安定
状態でくり返すことができる。
<Effects of the Invention> As specifically explained with the six fruitful examples, the magnetic disk medium of the present invention has magnetic I+! ! By fixing the organosilicon functional group to the inorganic compound thin film or magnetic llI2 with chemical bonds, the surface of the inorganic compound thin film or magnetic film has excellent lubricity and water repellency, so it can be adsorbed even under high temperature and high humidity. The moisture content is low, and over a long period of time, there is no increase in the H friction coefficient, no fluctuation in the amount of adsorbed moisture, and no adsorption by the head. Therefore, by using the warm-up disk medium of the present invention, it is possible to perform constant rotation-stop rotation operations of a magnetic disk in high-temperature, high-humidity environments over a long period of time using a head slider with a lower float and higher load than in the past. It can be repeated in a highly reliable and stable state.

このため1本発明は磁気ディスク装置の高密度記録化を
達成するための重要な技術を与えるものである。
For this reason, the present invention provides an important technique for achieving high-density recording in magnetic disk devices.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1しl (a) 、 (b)は本発明にかかる第1実
施例の説明図、第2図(a) 、 (b)は本発明の第
2実施例の説明図である。 図面中、 1は 5in2無機薄膜、 2は d’、!I滑層、 4は 磁気膜、 5は 潤滑層である。
1(a) and (b) are explanatory diagrams of a first embodiment of the present invention, and FIGS. 2(a) and (b) are explanatory diagrams of a second embodiment of the present invention. In the drawing, 1 is a 5in2 inorganic thin film, 2 is d',! 4 is a magnetic film, and 5 is a lubricating layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)磁性膜の表面無機化合物薄膜が形成されれた磁気デ
ィスク媒体において、前記無機化合物薄膜の表面に有機
シリコン官能基を化学結合により固定して潤滑層を形成
したことを特徴とする磁気ディスク媒体。 2)無機化合物薄膜と有機シリコン官能基との化学結合
がシリル化反応によることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の磁気ディスク媒体。 3)無機化合物薄膜が二酸化ケイ素薄膜であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載あるいは第2項記載
の磁気ディスク媒体。 4)有機シリコン官能基の層上にさらに潤滑剤を塗布し
て潤滑層を形成したことを特徴とする特許請求の範囲第
1項、第2項あるいは第3項記載の磁気ディスク媒体。 5)潤滑剤がカルボキシル基含有フッ素化ポリエーテル
潤滑剤であることを特徴とする特許請求の範囲第4項記
載の磁気ディスク媒体。 6)磁性膜の表面に有機シリコン官能基を化学結合によ
り固定して潤滑層を形成したことを特徴とする磁気ディ
スク媒体。 7)磁性膜と有機シリコン官能基との化学結合がシリル
化反応によることを特徴とする特許請求の範囲第6項記
載の磁気ディスク媒体。 8)有機シリコン官能基の層上にさらに潤滑剤を塗布し
て潤滑層を形成したことを特徴とする特許請求の範囲第
6項あるいは第7項記載の磁気ディスク媒体。 9)潤滑剤がカルボキシル基含有フッ素化ポリエーテル
潤滑剤であることを特徴する特許請求の範囲第8項記載
の磁気ディスク媒体。
[Scope of Claims] 1) In a magnetic disk medium in which an inorganic compound thin film is formed on the surface of a magnetic film, an organic silicon functional group is fixed to the surface of the inorganic compound thin film by chemical bonding to form a lubricating layer. Features of magnetic disk media. 2) The magnetic disk medium according to claim 1, wherein the chemical bond between the inorganic compound thin film and the organosilicon functional group is formed by a silylation reaction. 3) The magnetic disk medium according to claim 1 or 2, wherein the inorganic compound thin film is a silicon dioxide thin film. 4) The magnetic disk medium according to claim 1, 2 or 3, characterized in that a lubricant is further applied on the layer of organosilicon functional groups to form a lubricant layer. 5) The magnetic disk medium according to claim 4, wherein the lubricant is a carboxyl group-containing fluorinated polyether lubricant. 6) A magnetic disk medium characterized in that a lubricating layer is formed by fixing organic silicon functional groups on the surface of a magnetic film through chemical bonds. 7) The magnetic disk medium according to claim 6, wherein the chemical bond between the magnetic film and the organosilicon functional group is formed by a silylation reaction. 8) The magnetic disk medium according to claim 6 or 7, characterized in that a lubricant is further applied on the layer of organosilicon functional groups to form a lubricant layer. 9) The magnetic disk medium according to claim 8, wherein the lubricant is a carboxyl group-containing fluorinated polyether lubricant.
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