JPS6226835A - 最短経路を自動的に選定する測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、半導体製品上のランダムな測定点を順次に測
定する場合、最短経路を自動的に選定して測定する方法
に関するものである。

〔発明の背景〕

例えば第２図に示すごとく、半導体製品であるウェハ８
の表面にランダムな７個の測定点（即ち測定点１．同２
．同３．同４．同５．同６．同７）が有る場合、それぞ
れの測定点１〜７の座標値（ｘ＋＋　ｙ＋）〜（Ｘ？ｌ
　ｙｔ）を順次に自動制御装置（図示せず）に入力して
、順次に自動測定する技術は公知である。

しかし、上記の公知の方法によると、７個の測定点の測
定順序は一般に入力順に行われることになる。即ち、第
２図の例においては矢印ａ、ｂ。

ｃ、ｄ、ｅ、ｆの如き経路を辿る。

このように、座標値を入力した順序に従って自動測定が
行われた場合、その経路は一般に最短経路とは一致し難
い（偶然に一致する確率は極めて小さい）。

〔発明の目的〕

本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、一般的に
Ｎ個のランダムな測定点が有る場合、その経路が最短と
なるように各測定点の測定順序を自動的に決定し得る測
定方法を提供しようとするものである。

〔発明の概要〕

上記の目的を達成する為、本発明の測定方法は、半導体
製品上のランダムな測定点のＸ、Ｙ座標を自動制御装置
に入力し、上記のＸ、Ｙ座標値に基づいて前記ランダム
な測定点の総べてを通過する経路の内の最短の経路を算
出し、上記の最短経路に沿って順次に測定することを特
徴とする。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の１実施例について、第１図を参照しつつ
説明する。

この実施例は、ランダムな測定点の個数がＮ個である場
合に本発明の方法を適用した例であり、第１図はそのフ
ロー図である。

フロー９でＮ個の測定点それぞれの座標値を入力する。

フロー１０で、Ｎ個の測定点中の２個毎に、その間の距
離を算出する。

フロー１１で、Ｎ個の測定点を順次に経由する各種の経
路について、それらの経路の全距離を算定する。一般に
、上記の経路はＮ　、／種類有る。

フロー１２で、上記Ｎ　、７種類の経路の中で最短のパ
ターンを選出して経路を決定する。

フロー１３で、前記フロー１２で決定した順序に従って
測定点を順次に移動させながら、 フロー１４で測定を行い フロー１５で測定回数を計数し、Ｎ回の測定を計数すれ
ば測定操作を終了する。

以上の手順により、Ｎ個の測定点を最短の経路で自動的
に測定することができる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明の方法を適用すれば、ラン
ダムな測定点を自動的に測定する場合、その経路が最短
となるように各測定点の測定順序を自動的に決定するこ
とができるという優れた実用的効果を奏し、ランダムな
測定点の自動測定の能率向上に貢献するところ多大であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の１実施例を示すフロー図である。 第２図は、Ｎ＝７である場合におけるランダムな測定点
の測定に関する従来技術の説明図である。 １．２〜７・・・測定点、９〜１５・・・フロー。 ↓ ＮＤ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体製品上のランダムな測定点を順次に測定する方法
   において、各測定点のＸ、Ｙ座標を自動制御装置に入力
   し、上記のＸ、Ｙ座標値に基づいて前記ランダムな測定
   点の総べてを通過する経路の内の最短の経路を算出し、
   上記の最短経路に沿って順次に測定することを特徴とす
   る、最短経路を自動的に選定する検査方法。