JPS62261839A - Clean room control device - Google Patents
Clean room control deviceInfo
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- JPS62261839A JPS62261839A JP61106959A JP10695986A JPS62261839A JP S62261839 A JPS62261839 A JP S62261839A JP 61106959 A JP61106959 A JP 61106959A JP 10695986 A JP10695986 A JP 10695986A JP S62261839 A JPS62261839 A JP S62261839A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体製造などのため清浄空間をつくシだすク
リーンルーム製御装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a clean room control device for creating a clean space for semiconductor manufacturing and the like.
従来の技術
近年ＬＳＩ の高密度化にともないクリーンルームの
超清浄度空間が要求されている。また他方クリーンルー
ム運転の省エネ性の製造原価低減のため非常に重要視さ
れている。BACKGROUND OF THE INVENTION In recent years, with the increasing density of LSIs, there has been a demand for ultra-clean rooms in clean rooms. On the other hand, much importance is placed on the energy saving of clean room operation in order to reduce manufacturing costs.
以下従来のクリーンルームの構成について第３図および
第４図を参照して説明する。The configuration of a conventional clean room will be explained below with reference to FIGS. 3 and 4.
第３図において、（１）はクリーンルームで、外壁（２
）により外界と隔離されている。クリーンルーム（１）
の出入口にはエアーシャワー室（３）が設置されておシ
、エアーシャワー室（３）に隣接する通路（４）により
、製造工程毎に区分された各製造室（５］ｉｃ入室する
ことができる。各製造室（５）は清浄度区分により、前
記通路（４）と直角に設定され入室者が往来できる中央
通路ゾーン（６）と、通路ゾーン（６）の両側に隣接し
、製造装置などが設置されたクリーンゾーン（７）に区
分されている。通路（４）より各製造室（５）に入るに
は通路ゾーン（６）の始端に設けられた製造室出入口（
８）より入ることができる。In Figure 3, (1) is the clean room, and the outer wall (2) is the clean room.
) is isolated from the outside world. Clean room (1)
An air shower room (3) is installed at the entrance of the air shower room (3), and a passage (4) adjacent to the air shower room (3) allows entry to each manufacturing room (5) divided by manufacturing process. Each manufacturing room (5) has a central passage zone (6) that is set perpendicular to the passageway (4) and allows visitors to come and go, and is adjacent to both sides of the passageway zone (6) according to the cleanliness classification. The area is divided into clean zones (7) where each manufacturing room (5) is installed from the passageway (4).
8) You can enter more easily.
空気調和機により温湿度をコントロールされた空気は第
４図に示すように、給気ダクト（９）よシ通路ゾーン（
６）上部に設置された通路ゾーンフィルタαωおよびク
リーンゾーン（７）上部に設置されたクリーンゾーンフ
ィルタ（１１１を介して各製造室Ｃ５１内に清浄空気と
して供給される。As shown in Figure 4, the air whose temperature and humidity are controlled by the air conditioner is sent through the air supply duct (9) to the passageway zone (
6) Clean air is supplied into each manufacturing chamber C51 through the passage zone filter αω installed at the top and the clean zone filter (111) installed at the top of the clean zone (7).
製造室（５］内に供給された空気は還気ダクト叩を通じ
て空気調和機に還流するが、クリーンゾーン（７）内の
空気の一部はクリーンゾーン（７）の側壁に設けられた
循環ダクトα国内の循環ファン圓によりフリーンゾーン
フィルタαＶを介して再度クリーンゾーン（７）に清浄
空気として供給される。The air supplied into the manufacturing room (5) is returned to the air conditioner through a return air duct, but some of the air in the clean zone (7) is passed through a circulation duct installed on the side wall of the clean zone (7). The air is again supplied as clean air to the clean zone (7) via the free zone filter αV by the circulation fan circle inside α.
α９はインバータで、循環ファン（１４１の回転数をイ
ンバータα９への電気入力信号に対応して変化させるこ
とができる。α印は製造室出入口（８）に設けられた入
退室者カウンターで、各製造室（５１に入室あるいは退
室する人員数をカウントする。α9 is an inverter that can change the rotation speed of the circulation fan (141) in response to the electrical input signal to the inverter α9. Count the number of people entering or leaving the manufacturing room (51).
この入退室者カウンターσｅの入退室者数の信号はイン
バータ出力決定手段α力に向けて出力される。インバー
タ出力決定手段αηは、入退室者カウンター（１６］か
らの信号にもとづいてクリーンゾーン（７）の清浄度を
維持する最小循環風量に対応する出力値を演算し、イン
バータα９に出力する一方、通路ゾーン（６）での入室
者の発塵量ば１人当り０．８μｍ以上の粒子で５０〜７
５Ｘ１０５個／ｆｔであり、通路ゾーン（６）およびク
リーンゾーン（７）の清浄度変化は入室者数の増減にほ
ぼ比例する。入室者による発塵量に対応するクリーンゾ
ーン（７）の清浄度維持に必要な最小循環風景は実験的
に求められるため、これによって１通路ゾーン（６）へ
の入室者数からクリーンゾーン（７）に対する循環ファ
ン（１４１の回転数、つまりインバータα９の出力値を
決定するものである。The signal indicating the number of people entering and leaving the room from the person entering and leaving the room counter σe is outputted to the inverter output determining means α. The inverter output determining means αη calculates an output value corresponding to the minimum circulating air volume that maintains the cleanliness of the clean zone (7) based on the signal from the entry/exit person counter (16), and outputs it to the inverter α9. The amount of dust generated by occupants in the passage zone (6) is 50 to 7 particles with a diameter of 0.8 μm or more per person.
The cleanliness level of the passage zone (6) and clean zone (7) is approximately proportional to the increase or decrease in the number of people entering the room. The minimum circulation landscape necessary to maintain the cleanliness of the clean zone (7) corresponding to the amount of dust generated by people entering the room can be determined experimentally. ) determines the rotational speed of the circulation fan (141), that is, the output value of the inverter α9.
そこで通路ゾーン（６）への入室者数に対応するインバ
ータ０５１への出力値の関係式をインバータ出力決定手
段αηに記憶させておき、入退室者カウンターαｅから
の出力信号にもとづいた最小循環風量のインバータαＳ
出力値をインバータ出力決定手段（１ηにて演算させ、
その演算結果に従って循環ファン（１４１を制御するこ
とにより、クリーンルーム（１）の最も重要な製造室（
５）内のクリーンゾーン（７）の清浄度が維持されてい
た。Therefore, the relational expression of the output value to the inverter 051 corresponding to the number of people entering the passage zone (6) is stored in the inverter output determining means αη, and the minimum circulating air volume is calculated based on the output signal from the person entering/exiting counter αe. Inverter αS
The output value is calculated by the inverter output determining means (1η,
By controlling the circulation fan (141) according to the calculation results, the most important manufacturing room (1) of the clean room (1)
5) The cleanliness of the clean zone (7) was maintained.
発明が解決しようとする問題点
しかしながらこのような従来の構成では入退室者カウン
ターが製造室出入口に設けであるため、ここから新たな
人物の入室があると同時に所定量の発塵があるにもかか
わらず清浄度維持に関連する循環ファンの回転数は入室
者検出（カウント増）と同時に発生するインバータ出力
決定手段の決定出力値に直ちに対応できないで一定の時
間遅れを生じるため、実際の回転数がその決定出力に対
応した値に達するまでの間は製造室クリーンゾーンの清
浄度が新たな入室者に対応できないという問題点を有し
ていた。Problems to be Solved by the Invention However, in such a conventional configuration, a person entering/exiting counter is provided at the entrance/exit of the production room, so if a new person enters the room from there and at the same time a predetermined amount of dust is generated. Regardless of the number of revolutions of the circulation fan, which is related to maintaining cleanliness, it cannot immediately correspond to the determined output value of the inverter output determining means that occurs at the same time as the detection of a person entering the room (count increase), and there is a certain time delay, so the actual number of revolutions may vary. There is a problem in that the cleanliness level of the manufacturing room clean zone cannot be adjusted to accommodate a new person entering the room until it reaches a value corresponding to the determined output.
本発明はこのような問題点を解決するもので、循環ファ
ン回転数の時間遅れから生じるクリーンゾーンの清浄度
低下を防止することを目的とするものである。The present invention is intended to solve these problems, and aims to prevent the cleanliness of the clean zone from deteriorating due to a time delay in the rotation speed of the circulation fan.
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、クリーンルーム
内において、製造室出入口のやや手前に設けた入室者カ
ウンターと、前記製造室出入口に設けた退室者カウンタ
ーと、製造室内のクリーンゾーン上部に設置したクリー
ンゾーンフィルターを介し、前記クリーンゾーンの空気
を循環させる循環ファンと、前記循環ファンの回転数を
制御するインバータと、前記入室者カウンターからの出
力信号と前記退室者カウンターからの出力信号とから判
定される室内者数にヨリ前記インバータの出力値を決定
するインバータ出力決定手段と、前記インバータ出力値
が前記インバータ出力決定手段により決定された出力値
に到達したとき作動する製造室出入口の外側近接部に設
けた表示装置とで構成したものである。Means for Solving the Problems In order to solve this problem, the present invention provides a counter for persons entering the clean room provided slightly in front of the entrance to the production room, a counter for persons leaving the room provided at the entrance to the production room, A circulation fan that circulates air in the clean zone through a clean zone filter installed above the clean zone in the manufacturing room, an inverter that controls the rotation speed of the circulation fan, and an output signal from the room occupant counter and the an inverter output determining means for determining the output value of the inverter based on the number of people in the room determined from the output signal from the exiting person counter; A display device is installed near the outside of the entrance to the manufacturing room and is activated when the manufacturing room is opened.
作用
この構成により入室者カウンターは製造室に入室しよう
とする者があるごとにカウントアツプの出力信号をイン
バータ出力決定手段に出力する。一方、製造室出入口上
の退室者カウンターは、製造室からの退室者があるごと
にカウントダウンの出力信号をインバータ出力決定手段
に出力する。インバータ出力決定手段では入室者カウン
ターおよび退室者カウンターからの出力信号により判定
される室内者数に応じたクリーンゾーン内の清浄度を維
持するための最小循環°風量に対応する出力値を演算し
、これをインバータに出力する。循環ファンはインバー
タからの制御電力の供給にもとづいて清浄度維持に必要
な最小循環風量を送風する。Operation With this configuration, the person entering the room counter outputs a count-up output signal to the inverter output determining means every time a person attempts to enter the manufacturing room. On the other hand, the leaving person counter above the manufacturing room entrance outputs a countdown output signal to the inverter output determining means every time a person leaves the manufacturing room. The inverter output determination means calculates an output value corresponding to the minimum circulation degree air volume to maintain the cleanliness in the clean zone according to the number of people in the room determined by the output signals from the room entry counter and the room exit counter. This is output to the inverter. The circulation fan blows the minimum circulating air volume necessary to maintain cleanliness based on the control power supplied from the inverter.
また循環ファンに出力されるインバータ出力値の計測を
インバータ出力決定手段にて行い、インバータ出力値が
インバータ出力決定手段により決定された出力値と同一
になったとき、インバータ出力決定手段から表示装置に
作動信号が出力される。この表示装置は製造室出入口の
外側部に設けられているため、前記入室者カウンターの
所を通った入室希望者は、前記出入口前で−たん停止し
、前記表示装置が作動して始めて出入口を通過し、入室
することとすれば、その入室者による発塵は対応する清
浄化能力（ファン回転数）により、完全に許容されるこ
ととなるわけである。In addition, the inverter output value output to the circulation fan is measured by the inverter output determining means, and when the inverter output value becomes the same as the output value determined by the inverter output determining means, the inverter output determining means sends a message to the display device. An activation signal is output. Since this display device is installed on the outside of the manufacturing room entrance, a person who wishes to enter the room after passing through the counter for entering the room must stop in front of the entrance and enter the manufacturing room only after the display device is activated. If the person enters the room by passing through the room, the dust generated by the person entering the room will be completely tolerated depending on the corresponding cleaning ability (fan rotation speed).
実施例
以下不発明の一実施例を第１図〜第２図にもとづいて説
明する。EXAMPLE An example of the invention will now be described with reference to FIGS. 1 and 2.
尚、従来例と同一部材については同一符号を用い、説明
は省略する。Note that the same reference numerals are used for the same members as in the conventional example, and explanations thereof will be omitted.
（１８１は通路（４）上において製造出入口（８）を包
囲するように設けた隔壁で、例えば出入口（８）に対向
した部分が開口している。その開口部には製造室（５）
へ入室しようとする者が通過した場合、入室者数のカウ
ントアツプの出力信号をインバータ出力決定手段ａηへ
出力する入室者カウンターσ９が設置され、また製造室
出入口（８）には製造室（５）から退室する場合、入室
者数のカウントダウンの出力信号をインバータ出力決定
手段（１ηへ出力する退室者カウンター■が設置されて
いる。(181 is a partition wall provided on the passageway (4) so as to surround the manufacturing entrance/exit (8), for example, the part facing the entrance/exit (8) is open.
When a person attempting to enter the room passes through, an entry counter σ9 is installed which outputs an output signal for counting up the number of persons entering the room to the inverter output determining means aη. ), a leaving person counter (2) is installed which outputs an output signal for counting down the number of people entering the room to the inverter output determining means (1η).
Ｑυは通路（４）上の隔壁α印内部にあって製造室出入
口（８）附近に設けた表示装置で、インバータ（１９の
出力値が入室者数により決定された値になった時、作動
するものである。インバータ出力値はインバータ出力決
定手段（１りにて計測されるとともに、インバータ出力
決定手段ｑりで決定した出力値と比較演算して、それが
一致した場合に表示装置１２Ｄのための作動信号がイン
バータ出力決定手段叩より出力される。Qυ is a display device located inside the bulkhead α mark on the passageway (4) and near the manufacturing room entrance (8), and is activated when the output value of the inverter (19) reaches a value determined by the number of people entering the room. The inverter output value is measured by the inverter output determining means (1), and is compared with the output value determined by the inverter output determining means (q), and if they match, the display device 12D displays the An activation signal for this is output from the inverter output determining means.
上記構成において、製造室１５）へ入室しようとする者
が隔壁ｔ１８１の開口部を通過すると、入室者カウンタ
ー叩よりカウントアツプの出力信号がインバータ出力決
定手段（１７１に出力される。インバータ出力決定手段
［１７１では製造室ｆ５１内の人員数にもとづいたクリ
ーンゾーン（７）の清浄度を維持する最小循環風量に対
応する出力を演算し、これをインバータｆ１５１に出力
する。鎖環ファン側の回転数はインバータα９によりイ
ンバータ出力決定手段Ｕηから決定出力値に対応して変
動し、やがて対応回転数に到達すると、インバータ出力
決定手段（１７１から表示装置（２１１に作動信号が出
力され、入室者は表示装置（２１１の作動を確認後、製
造室出入口（８）より製造室１５」内へ入室する。In the above configuration, when a person attempting to enter the manufacturing room 15) passes through the opening of the partition wall t181, an output signal of a count-up is outputted to the inverter output determining means (171) by tapping the person entering the room counter.Inverter output determining means [171 calculates the output corresponding to the minimum circulating air volume that maintains the cleanliness of the clean zone (7) based on the number of personnel in the manufacturing room f51, and outputs this to the inverter f151.Rotation speed on the chain ring fan side changes in response to the output value determined by the inverter output determination means Uη by the inverter α9, and when the corresponding rotation speed is reached, an activation signal is output from the inverter output determination means (171 to the display device (211), and the person entering the room After confirming the operation of the device (211), enter the manufacturing room 15 through the manufacturing room entrance (8).
この結果入室者は循環ファン（１４１の回転数がインバ
ータ出力決定手段ａηからの指令出力値に対応した回転
数に到達した後製造室（５１内へ入室することになる。As a result, the person entering the room enters the manufacturing room (51) after the rotation speed of the circulation fan (141) reaches the rotation speed corresponding to the command output value from the inverter output determining means aη.
このため、入室者による新たな発塵は、高められた空気
浄化能力により許容され、室内の清浄度はなんら低下し
ない。Therefore, new dust generated by the person entering the room is tolerated due to the increased air purification ability, and the cleanliness of the room does not deteriorate at all.
一方、製造室１５１よシ退室者が退室する場合は製造室
出入口（８）上に設置された退室者カウンターのにより
製造室（５）内の人員数のカウントダウンの出力信号が
インバータ出力決定手段面に出力され、インバータ出力
決定手段αηにより製造室（５）内の人員数にもとづい
たクリーンゾーン（７）の清浄度を維持のための最小循
環風量に対する主力値を演算し、インバータを介して循
環ファンより送風される。On the other hand, when a person leaves the manufacturing room 151, an output signal for counting down the number of people in the manufacturing room (5) from the exiting person counter installed on the manufacturing room entrance (8) is sent to the inverter output determining means. The inverter output determining means αη calculates the main power value for the minimum circulating air volume to maintain the cleanliness of the clean zone (7) based on the number of personnel in the manufacturing room (5), and the circulating air is outputted via the inverter. Air is blown by a fan.
発明の効果
以上のように本発明によれば、インバータ出力決定手段
からの決定出力値に対する循環ファン出力値の時間遅れ
から生じるクリーンゾーンの清浄度低下を防止でき、ク
リーンルームの品質向上の効果が得られる。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the cleanliness of the clean zone from deteriorating due to the time delay of the circulation fan output value with respect to the determined output value from the inverter output determining means, and it is possible to obtain the effect of improving the quality of the clean room. It will be done.
第１図は本発明の一実施例によるクリーンルーム製御装
置を示す構成図、第２図は第１図のＢ−Ｂ’ 間の断
面図、第３図は従来のクリーンルーム製御装置を示す構
成図、第４図は第３図のＡ −Ａ’間の断面図である。
＋１１−−−−−クリーンルーム
１５＋ −−−−一裂造室
（７） −−−−−クリーンゾーン
（８） −−−−一製造室出入口
（１１１−−−−−クリーンゾーンフィルター１４１−
−−−一循環フアン
（１５１−−−−−インバータ
ａη−一一一−インバータ出力決定手段ｕ９１−−−−
一人室者カウンター
■−−−−−退室者カウンター
（２１＋ −−−−一表示装置
く票４ミ触Fig. 1 is a configuration diagram showing a clean room control device according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view taken along line BB' in Fig. 1, and Fig. 3 is a configuration diagram showing a conventional clean room control device. 4 is a sectional view taken along line A-A' in FIG. 3. +11-----Clean room 15+ ----Ichifu production room (7) ------Clean zone (8) ----1 production room entrance (111-----Clean zone filter 141-
--- One circulation fan (151 --- Inverter aη-111- Inverter output determining means u91 ---
Single person counter
Claims (1)
けた入室者カウンターと、前記製造室出入口に設けた退
室者カウンターと、製造室内のクリーンゾーン上部に設
置したクリーンゾーンフィルターを介し、前記クリーン
ゾーンの空気を循環させる循環ファンと、前記循環ファ
ンの回転数を制御するインバータと、前記入室者カウン
ターからの出力信号と前記退室者カウンターからの出力
信号とから判定される室内者数により前記インバータの
出力値を決定するインバータ出力決定手段と、前記イン
バータ出力値が前記インバータ出力決定手段により決定
された出力値に到達したとき作動する製造室出入口の外
側近接部に設けた表示装置とで構成したクリーンルーム
製御装置。Inside the clean room, the air in the clean zone is passed through an entry counter installed a little before the manufacturing room entrance, a exit counter installed at the manufacturing room entrance, and a clean zone filter installed above the clean zone in the manufacturing room. A circulation fan that circulates the circulation, an inverter that controls the rotation speed of the circulation fan, and an output value of the inverter based on the number of people in the room determined from the output signal from the room entry counter and the output signal from the room exit counter. A clean room control system comprising: an inverter output determining means for determining the inverter output; and a display device installed near the outside of the manufacturing room entrance and exit, which is activated when the inverter output value reaches the output value determined by the inverter output determining means. Device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61106959A JPS62261839A (en) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | Clean room control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61106959A JPS62261839A (en) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | Clean room control device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62261839A true JPS62261839A (en) | 1987-11-14 |
Family
ID=14446871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61106959A Pending JPS62261839A (en) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | Clean room control device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62261839A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02293554A (en) * | 1989-05-09 | 1990-12-04 | Fuji Electric Co Ltd | Clean room system |
| EP2886967A3 (en) * | 2013-12-20 | 2015-10-21 | Schilling Engineering GmbH | Clean room device |
-
1986
- 1986-05-09 JP JP61106959A patent/JPS62261839A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02293554A (en) * | 1989-05-09 | 1990-12-04 | Fuji Electric Co Ltd | Clean room system |
| EP2886967A3 (en) * | 2013-12-20 | 2015-10-21 | Schilling Engineering GmbH | Clean room device |
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