JPS6226031U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す側断面図、
第２図はその要部の側断面図、第３図および第４
図はそれぞれ他の実施例を示す側断面図、第５図
ａ，ｂは従来のボンデイング用加熱装置を示す平
面図および側断面図である。 図中、１はリードフレーム、２はヒートブロツ
ク、３は開口群、４はガスカバー、５は窓、６は
凹部、７はダイス吸着針、８はフランジ部、９は
ダイスである。なお、各図中同一符号は同一また
は相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. リードフレーム等を加熱し還元性ガスを噴出す
   る開口群を備えたヒートブロツク上に、前記還元
   性ガスを噴出する開口群に連通し還元性雰囲気を
   形成する凹部と、この凹部上方にボンデイング操
   作用の窓を形成したガスカバーと、ダイスを真空
   吸着するために中央部を中空にした円柱状のダイ
   ス吸着針の外周部の一部にフランジ部とを形成し
   、該フランジ部の直径を前記ガスカバーのボンデ
   イング操作用の窓より大きくし、かつ前記ダイス
   吸着針の先端から前記フランジ部の下面までの寸
   法を、前記ヒートブロツク上面に置かれた前記リ
   ードフレーム上面からガスカバーの上面間の寸法
   とほぼ同じかまたはダイスの厚み寸法分短い寸法
   に形成し、ダイボンド時前記ダイス吸着針のフラ
   ンジ部により前記ガスカバーのボンデイング操作
   用窓を塞ぐことを特徴とするボンデイング用ガス
   密封装置。