JPS6225682Y2 - - Google Patents

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JPS6225682Y2
JPS6225682Y2 JP14564579U JP14564579U JPS6225682Y2 JP S6225682 Y2 JPS6225682 Y2 JP S6225682Y2 JP 14564579 U JP14564579 U JP 14564579U JP 14564579 U JP14564579 U JP 14564579U JP S6225682 Y2 JPS6225682 Y2 JP S6225682Y2
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JP
Japan
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arm
stylus
core
measuring instrument
differential transformer
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Japanese (ja)
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、アームの一端に取付けられたスタイ
ラスによつて被測定物の表面をならうことにより
被測定物の表面形状を測定する形状測定器に係
り、特に、機械的円弧誤差補正手段を設けるとと
もにアームの変位を検出する差動トランスの取付
け構造を改良したものである。
[Detailed description of the invention] The present invention relates to a shape measuring instrument that measures the surface shape of a workpiece by tracing the surface of the workpiece with a stylus attached to one end of the arm. In addition to providing target arc error correction means, the mounting structure of the differential transformer that detects the displacement of the arm has been improved.

一般に、形状測定器は、被測定物の表面に接触
するスタイラスがアームの一端に取付けられると
ともに、このアームの他端部近傍はアーム支持体
に回動自在に支持され、このアームの重心はスタ
イラス側がわずかに重くなるように位置され、こ
れによりスタイラスは常時被測定物の表面に当接
するようにされている。この形状測定器により表
面形状を測定するには、アーム支持体をアームの
軸方向に移動させ、このアーム支持体の移動に伴
ないスタイラスが被測定物の表面形状に応じて変
位してアームを回動支点を中心として揺動させ、
このアームの揺動を差動トランスで検出し、この
差動トランスでの検出信号と、前記アーム支持体
の送り信号とを合成して形状測定をしている。
Generally, in a shape measuring instrument, a stylus that contacts the surface of the object to be measured is attached to one end of an arm, and the vicinity of the other end of this arm is rotatably supported by an arm support, and the center of gravity of this arm is centered around the stylus. It is positioned so that the sides are slightly heavier, so that the stylus is always in contact with the surface of the object to be measured. To measure the surface shape with this shape measuring instrument, the arm support is moved in the axial direction of the arm, and as the arm support moves, the stylus is displaced according to the surface shape of the object to be measured, and the arm is moved. Swings around a pivot point,
This swinging motion of the arm is detected by a differential transformer, and the detection signal from the differential transformer and the sending signal of the arm support are combined to measure the shape.

この従来の形状測定器では、円弧誤差補正手段
が設けられ、また差動トランスの取付け位置は、
アームの回動中心を含み、アーム支持体の送り方
向と平行な面に対し所定距離離れた位置に設定さ
れている。
This conventional shape measuring instrument is provided with an arc error correction means, and the mounting position of the differential transformer is
It is set at a position that includes the rotation center of the arm and is spaced a predetermined distance from a plane parallel to the feeding direction of the arm support.

第1図及び第2図には、従来の形状測定器の概
略構成が示され、特に、アームの回動に伴なうス
タイラスの円弧に沿つた動きを、ほぼ上下方向に
直線的に動くようにしたいわゆる円弧誤差補正機
構付きの形状測定器の例である。
Figures 1 and 2 show the schematic configuration of a conventional shape measuring instrument, and in particular, the movement of the stylus along an arc accompanying the rotation of the arm is changed to a linear movement in the vertical direction. This is an example of a shape measuring instrument equipped with a so-called arc error correction mechanism.

この形状測定器は、第1,2図に示されるよう
に、ベース1上を摺動するスライダ2に取付けら
れたアーム支持体3に第1のリンクバー4を十字
ばね5を介して回動自在に支持し、この第1のリ
ンクバー4の先端部に第2のリンクバー6の基部
を十字ばね7を介して取付け、この第2のリンク
バー6の先端部には一端がアーム支持体3に軸支
された第3のリンクバー8の先端が軸支されてい
る。この第2のリンクバー6の先端には、さらに
スタイラス9の取付けられたアーム10の基端が
取付けられており、このスタイラス9が被測定物
の外面をならうことによりアーム10及び第2の
リンクバー6が回動し、第2のリンクバー6に固
着されたコア11がコイル12に対して相対移動
し、スタイラス9の変位が測定されるようになつ
ている。この際、コア11とコイル12とにより
差動トランス13が構成されるとともに、この差
動トランス13は、コア11の軸線方向が該コア
11の中心と十字ばね7の中心とを結ぶ線を半径
とする円弧の接線方向となるように設けられてい
る。また、差動トランス13は、アーム10の回
動中心すなわち十字ばね7の中心を含み第1図中
矢印で示すアーム支持体3の送り方向と平行な面
Pに対して離れた位置に設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 2, this shape measuring instrument rotates a first link bar 4 via a cross spring 5 to an arm support 3 attached to a slider 2 that slides on a base 1. The base of the second link bar 6 is attached to the tip of the first link bar 4 via a cross spring 7, and one end of the second link bar 6 is attached to an arm support. The tip of the third link bar 8, which is pivotally supported by the third link bar 3, is pivotally supported. The base end of an arm 10 to which a stylus 9 is attached is further attached to the tip of the second link bar 6, and as the stylus 9 traces the outer surface of the object to be measured, the arm 10 and the second link bar 6 are attached. The link bar 6 rotates, the core 11 fixed to the second link bar 6 moves relative to the coil 12, and the displacement of the stylus 9 is measured. At this time, a differential transformer 13 is configured by the core 11 and the coil 12, and the axial direction of the core 11 is a radius of the line connecting the center of the core 11 and the center of the cross spring 7. It is provided so that it is tangential to the circular arc. Further, the differential transformer 13 is provided at a position away from a plane P that includes the center of rotation of the arm 10, that is, the center of the cross spring 7, and is parallel to the feeding direction of the arm support 3, which is indicated by an arrow in FIG. ing.

ところで、アーム10は十字ばね7を中心とし
て回動されるが、第2のリンクバー6は第3のリ
ンクバー8の回動による拘束を受ける為に、十字
ばね7は十字ばね5を中心として回動される。こ
の結果、スタイラス9の先端は、第2図中破線1
9で示される近似直線を描き、被測定物の表面形
状が正確に測定されるものとなつている。
By the way, the arm 10 is rotated around the cross spring 7, but since the second link bar 6 is restrained by the rotation of the third link bar 8, the cross spring 7 is rotated around the cross spring 5. Rotated. As a result, the tip of the stylus 9 is located at the dotted line 1 in FIG.
By drawing an approximate straight line indicated by 9, the surface shape of the object to be measured can be accurately measured.

ところが、第2のリンクバー6に取付けられた
コア11は、スタイラス9の移動に従い第2図に
示されるようにコイル12に対し揺動して移動す
るために、その変位量がスタイラス9の動きに比
例したものとはなつていなかつた。
However, since the core 11 attached to the second link bar 6 swings and moves with respect to the coil 12 as shown in FIG. It was not proportionate to that.

このため、第3図に示されるようなコア11の
直進運動機構を用いた形状測定器も提案されてい
る。すなわち、第2のリンクバー6と第3のリン
クバー8との軸14による軸支部に、第4のリン
クバー15の一端を取付け、この第4のリンクバ
ー15の他端は、第3のリンクバー8と平行に設
けられ一端をアーム支持体3に回動自在に軸支さ
れた第5のリンクバー16の他端に軸17を介し
て回動自在に取付け、これらの第3、第4、第5
のリンクバー8,15,16で互いに対辺が等長
の4節回転連鎖(平行リンク)を構成する直進運
動機構とし、さらに第4のリンクバー15に突設
されたブラケツト18にコア11を第4のリンク
バー15と平行となるように立設して形状測定器
を構成したものである。
For this reason, a shape measuring instrument using a linear motion mechanism of the core 11 as shown in FIG. 3 has also been proposed. That is, one end of the fourth link bar 15 is attached to the shaft support of the second link bar 6 and the third link bar 8 by the shaft 14, and the other end of the fourth link bar 15 is connected to the third link bar 15. A fifth link bar 16 is provided in parallel with the link bar 8 and has one end rotatably supported on the arm support 3, and is rotatably attached to the other end of the fifth link bar 16 via a shaft 17. 4. 5th
The link bars 8, 15, and 16 constitute a four-node rotating chain (parallel links) with opposite sides of equal length. The shape measuring device is constructed by standing upright parallel to the link bar 15 of No. 4.

しかし、第1,2図の測定器にあつては、コア
11は前記揺動の他に、円弧誤差の補正動作に伴
ない、第2図中矢印Aで示される方向にも移動
し、この移動量が測定誤差となるばかりでなく、
コア11の位置が基準面Pから離れていることか
ら、アーム10の基準面Pよりも上方への移動時
と下方への移動時とでコア11の矢印A方向の移
動量が異なり、これも誤差となる欠点がある。ま
た、第3図の測定器にあつては、揺動及びアーム
10の回動方向による誤差は防止されるが、構造
が複雑であり、高価となるとともに、構造が複雑
であることから各部品の結合部におけるガタ等に
よる誤差の集積が比較的大きくなる欠点がある。
However, in the measuring instruments shown in FIGS. 1 and 2, in addition to the above-mentioned rocking, the core 11 also moves in the direction indicated by arrow A in FIG. 2 as the arc error is corrected. Not only does the amount of movement cause a measurement error,
Since the position of the core 11 is far from the reference plane P, the amount of movement of the core 11 in the direction of arrow A differs when the arm 10 moves above and below the reference plane P, and this also occurs. There are drawbacks that can lead to errors. In addition, in the case of the measuring instrument shown in Fig. 3, errors caused by the swinging motion and the rotating direction of the arm 10 can be prevented, but the structure is complicated and expensive, and due to the complicated structure, each part The disadvantage is that the accumulation of errors due to backlash and the like at the joints is relatively large.

本考案の目的は、簡単な構造でかつ測定誤差の
少ない形状測定器を提供するにある。
An object of the present invention is to provide a shape measuring instrument with a simple structure and less measurement error.

本考案は、機械的円弧誤差補正手段を設け円弧
誤差を生じないようした上にアームの回動中心を
含み、アーム支持体の送り方向に平行な方向の基
準面上に、アームのスタイラスが位置するアーム
基準位置において、差動トランスのコア及びコイ
ルの中心位置が、前記基準面上に丁度位置するよ
うに設定し、アームの基準位置からのいずれの方
向への回動時にもコアの動きが対称に動くように
して回動方向差をなくするとともに、複雑な構造
をなくして前記目的を達成しようとするものであ
る。
In this invention, a mechanical arc error correction means is provided to prevent arc errors, and the stylus of the arm is positioned on a reference plane that includes the rotation center of the arm and is parallel to the feeding direction of the arm support. At the arm reference position, the center positions of the core and coil of the differential transformer are set to be exactly on the reference plane, and the core does not move when the arm rotates in any direction from the reference position. This aims to achieve the above object by moving symmetrically to eliminate the difference in rotation direction and by eliminating a complicated structure.

以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.

ベース21には所定間隔を置いて一対のブラケ
ツト22が設けられ、これらの一対のブラケツト
22間には、第4図中上方に太軸のガイドバー2
3が設けられるとともに、下方に送りねじ軸24
が設けられている。この送りねじ軸24の一端
は、図中右方のブラケツト22から突出され、こ
の突出部にロータリエンコーダ25及びギヤ付き
モータ26が直列に接続されている。
A pair of brackets 22 are provided on the base 21 at a predetermined interval, and between these pair of brackets 22 is a guide bar 2 with a thick shaft extending upwardly in FIG.
3 is provided, and a feed screw shaft 24 is provided below.
is provided. One end of this feed screw shaft 24 protrudes from the bracket 22 on the right side in the figure, and a rotary encoder 25 and a geared motor 26 are connected in series to this protrusion.

前記ガイドバー23と送りねじ軸24とに跨つ
てスライダ27が装着され、このスライダ27は
送りねじ軸24と噛合する雌ねじ部を有し、送り
ねじ軸24の回転に伴ないガイドバー23を案内
として図中左右方向に移動するようになつてい
る。
A slider 27 is mounted across the guide bar 23 and the feed screw shaft 24, and this slider 27 has a female threaded portion that meshes with the feed screw shaft 24, and guides the guide bar 23 as the feed screw shaft 24 rotates. It is designed to move in the left and right directions in the figure.

スライダ27には、平板状のアーム支持体28
が固着され、スライダ27の移動に伴ない第4図
中矢印X方向に送られるようになつている。この
アーム支持体28のスライダ27への固着面とは
反対側の面において、第4図中、中央右寄り下部
にはニードル支持用ブラケツト29が突設される
とともに、左端下部には補正リンク支持用ブラケ
ツト30が突設され、さらに中央部下部寄りには
差動トランス支持用ブラケツト31が突設されて
いる。
The slider 27 has a flat arm support 28.
is fixed, and is adapted to be sent in the direction of the arrow X in FIG. 4 as the slider 27 moves. On the surface of the arm support 28 opposite to the surface on which it is fixed to the slider 27, a needle support bracket 29 is protruded from the lower part on the right side of the center in FIG. 4, and a correction link support bracket 29 is provided at the lower left end. A bracket 30 is provided to protrude, and a differential transformer supporting bracket 31 is further provided to protrude from the lower part of the center portion.

前記ニードル支持用ブラケツト29上には、ニ
ードル32が固着され、このニードル32の上面
にはローラ33の周面が当接されている。このロ
ーラ33の中心部は、支点軸34に回転自在に支
持され、この支点軸34は、アーム35の一部を
構成する基部構造体36に取付けられている。こ
のアーム35は、基部構造体36の他に、円筒状
の中央アーム37及び同じく円筒状の先端アーム
38を備え、基部構造体36に中央アーム37の
一端が固着されるとともに、中央アーム37の他
端に継手39を介して先端アーム38の一端が取
付けられ、さらにこの先端アーム38の他端には
アーム軸心と直交する方向にスタイラス40が突
出固着されている。これにより、アーム35は、
支点軸34を回動中心として回動するように、ロ
ーラ33、ニードル32及びブラケツト29を介
してアーム支持体28に回動自在に支持され、か
つニードル32上をローラ33を介して移動可能
とされている。
A needle 32 is fixed on the needle support bracket 29, and the upper surface of the needle 32 is in contact with the circumferential surface of a roller 33. The center of the roller 33 is rotatably supported by a fulcrum shaft 34, and the fulcrum shaft 34 is attached to a base structure 36 that constitutes a part of the arm 35. In addition to the base structure 36, the arm 35 includes a cylindrical central arm 37 and a cylindrical tip arm 38. One end of the central arm 37 is fixed to the base structure 36. One end of a tip arm 38 is attached to the other end via a joint 39, and a stylus 40 is fixed to the other end of the tip arm 38 so as to protrude in a direction perpendicular to the arm axis. As a result, the arm 35
It is rotatably supported by the arm support 28 via the roller 33, needle 32 and bracket 29 so as to rotate about the fulcrum shaft 34, and is movable on the needle 32 via the roller 33. has been done.

前記アーム35の基部構造体36の中央アーム
37が固着された側とは反対側には、ウエイト支
持軸41を介してバランサウエイト42が位置調
整可能に取付けられ、このバランサウエイト42
の固定位置は、第4図中、支点軸34を中心とし
てバランサウエイト42とは反対側の部分のアー
ム35の重量とバランサウエイト42側の重量と
がほぼバランスし、かつ、バランサウエイト42
とは反対側すなわちスタイラス40側がわずかに
重くなる位置とされている。
A balancer weight 42 is attached to the side of the base structure 36 of the arm 35 opposite to the side to which the central arm 37 is fixed via a weight support shaft 41 so that the position of the balancer weight 42 can be adjusted.
4, the weight of the arm 35 on the opposite side of the balancer weight 42 about the fulcrum shaft 34 is almost balanced with the weight on the balancer weight 42 side, and the balancer weight 42 is fixed at the fixed position.
The opposite side, that is, the stylus 40 side is at a position where it is slightly heavier.

前記補正リンク支持用ブラケツト30には、一
対のピボツト軸受43を介して補正リンク44の
一端が回動自在に支持され、この補正リンク44
の他端は一対のピボツト軸受45を介して前記基
部構造体36の中央アーム37の固定部近傍に回
動自在に支持されている。ここに、ニードル3
2、ローラ33、基部構造体36を含み、補正リ
ンク44およびピボツト軸受43,45とから機
械的円弧誤差補正手段が構成されている。
One end of a correction link 44 is rotatably supported by the correction link support bracket 30 via a pair of pivot bearings 43.
The other end is rotatably supported near a fixed portion of the central arm 37 of the base structure 36 via a pair of pivot bearings 45 . Here, needle 3
2, a roller 33, a base structure 36, a correction link 44, and pivot bearings 43, 45 constitute a mechanical arc error correction means.

前記差動トランス支持用ブラケツト31には、
上下方向に貫通した貫通孔46が形成されるとと
もに、この貫通孔46に連通するすり割溝47が
ブラケツト31の側面から設けられ、これにより
貫通孔46の孔径は多少の寸法変化が可能とされ
ている。このブラケツト31の貫通孔46内に
は、差動トランス48の筐体49が挿入され、ブ
ラケツト31の取付ねじ50により確固に支持さ
れている。この筐体49内にはコイル51が収納
され、このコイル51の第4図中上下方向の中心
は、アーム35の回動中心軸線すなわち支点軸3
4の中心軸線を含み、前記アーム支持体28の矢
印Xで示される送り方向と平行な基準面P上に位
置するようにされ、これにより基準面Pがコイル
51を横切る点からコイル51の上下の両端面ま
での距離は等しく、寸法Lとされている。また、
アーム35の基部構造体36の中央部には、コア
軸52の一端が取付けられ、このコア軸52は前
記コイル51の中心孔内に延長され、この中心孔
内位置においてコア53が固着されている。この
コア53の取付位置は、スタイラス40の先端が
丁度基準面P上に位置するようにアーム35が配
置されたとき、すなわちアーム基準位置におい
て、コア53の中心が丁度基準面P上にくるよう
にされ、これにより基準面Pがアーム基準位置に
おけるコア53を横切る点からコア53の上下の
両端面までの距離は等しく、寸法lとされてい
る。
The differential transformer supporting bracket 31 includes:
A through hole 46 that penetrates in the vertical direction is formed, and a slot groove 47 that communicates with this through hole 46 is provided from the side surface of the bracket 31, so that the diameter of the through hole 46 can be changed to some extent. ing. A housing 49 of the differential transformer 48 is inserted into the through hole 46 of the bracket 31 and is firmly supported by the mounting screws 50 of the bracket 31. A coil 51 is housed in this housing 49, and the center of this coil 51 in the vertical direction in FIG.
4, and is parallel to the feeding direction indicated by the arrow The distance to both end faces is equal and is defined as a dimension L. Also,
One end of a core shaft 52 is attached to the center of the base structure 36 of the arm 35, and this core shaft 52 is extended into the center hole of the coil 51, and a core 53 is fixed at a position inside the center hole. There is. The mounting position of the core 53 is such that the center of the core 53 is exactly on the reference plane P when the arm 35 is arranged so that the tip of the stylus 40 is exactly on the reference plane P, that is, in the arm reference position. As a result, the distance from the point where the reference plane P crosses the core 53 at the arm reference position to the upper and lower end surfaces of the core 53 is equal and has a dimension l.

このような構成において、被測定物の形状を測
定するには、従来例と同じく、モータ26を駆動
して送りねじ軸24を回転させ、スライダ27を
介してアーム支持体28を矢印Xで示される送り
方向に移動させて測定する。すなわち、このアー
ム支持体28の送りによりアーム35の一端に取
付けられたスタイラス40は送り方向に送られな
がら被測定物の表面形状に応じて上下し、このス
タイラス40の動きがアーム35の支点軸34を
中心とする揺動に変換され、この揺動がコア53
とコイル51との相対移動として差動トランス4
8で検出される。一方、アーム支持体28の送り
方向への移動量は、送りねじ軸24の回転数とし
てロータリエンコーダ25で検出され、このロー
タリエンコーダ25からの送り信号と前記差動ト
ランス48からのスタイラス40の上下運動信号
とを合成することにより、被測定物の形状が測定
できる。
In such a configuration, in order to measure the shape of the object to be measured, as in the conventional example, the motor 26 is driven to rotate the feed screw shaft 24, and the arm support 28 is moved through the slider 27 as indicated by the arrow X. Measure by moving it in the feeding direction. That is, as the arm support 28 is fed, the stylus 40 attached to one end of the arm 35 is moved in the feeding direction and moves up and down according to the surface shape of the object to be measured, and the movement of the stylus 40 is caused by the fulcrum axis of the arm 35. 34 is converted into a swinging motion, and this swinging motion is caused by the core 53
As a relative movement between the coil 51 and the differential transformer 4
Detected at 8. On the other hand, the amount of movement of the arm support 28 in the feed direction is detected by the rotary encoder 25 as the number of revolutions of the feed screw shaft 24, and the feed signal from the rotary encoder 25 and the vertical movement of the stylus 40 from the differential transformer 48 are detected by the rotary encoder 25. By combining the motion signal and the motion signal, the shape of the object to be measured can be measured.

なお、測定にあたり、機械的円弧誤差補正手段
が働き、すなわち、補正リンク44によりアーム
35の回動時にアーム35の回動中心がローラ3
3とニードル32の部分で送り方向に移動するた
め、スタイラス40の円弧誤差が補正される。ま
た、差動トランス48のコイル51及びコア53
の中心は、アーム35の基準位置において頂度基
準面P上に位置されているため、アーム35の基
準位置からのいずれの方向への回動も全く対称に
コア53とコイル51との相対位置関係が変化す
ることとなる。
Note that during the measurement, a mechanical arc error correction means works, that is, the correction link 44 causes the center of rotation of the arm 35 to align with the roller 3 when the arm 35 rotates.
3 and the needle 32 move in the feeding direction, the arc error of the stylus 40 is corrected. In addition, the coil 51 and core 53 of the differential transformer 48
Since the center of the arm 35 is located on the apex reference plane P at the reference position of the arm 35, rotation of the arm 35 in any direction from the reference position changes the relative position of the core 53 and the coil 51 completely symmetrically. The relationship will change.

上述のような本実施例によれば、差動トランス
48の中心が丁度基準面P上に設定されているか
ら、アーム35の回動方向による誤差が生ずるこ
とがない。また、構造的にも何ら新たなリンク等
を必要とせず、簡略であるため、安価に製造でき
る。さらに、差動トランス48がアーム35に対
し基準面Pから離れる方向に突出されていないた
め、装置全体を小型化できる。また、本実施例の
ように円弧誤差補正用の補正リンク44を有する
場合において、アーム35がアーム支持体28の
送り方向に移動した場合においてもアーム35の
回動方向による測定差を生ずることがなく、特に
有効である。
According to this embodiment as described above, since the center of the differential transformer 48 is set exactly on the reference plane P, no error occurs due to the direction of rotation of the arm 35. Further, since the structure is simple and does not require any new links, it can be manufactured at low cost. Furthermore, since the differential transformer 48 does not protrude from the arm 35 in a direction away from the reference plane P, the entire device can be made smaller. Furthermore, when the correction link 44 for arc error correction is provided as in this embodiment, even when the arm 35 moves in the feeding direction of the arm support 28, measurement differences due to the rotating direction of the arm 35 can be avoided. It is particularly effective.

なお、前記実施例においては、差動トランス4
8の位置を支点軸34とピボツト軸受43との中
間位置で、かつコア53の中心線が丁度アーム3
5の中心軸上を該中心軸と直交するように設けら
れている例につき説明したが、本考案はこれに限
定されるものではなく、例えば第4図において、
差動トランス48を支点軸34より右方あるいは
ピボツト軸受43より左方に設けてもよく、か
つ、第5図において、コア53の中心をアーム3
5の中心軸より上側すなわちガイドバー23側あ
るいはその逆の下側にずれた位置に設けてもよ
い。要するに、差動トランス48のコイル51及
びコア53の中心位置が基準面P上にあればよ
い。さらに、前記実施例では、差動トランス48
のコイル51をアーム支持体28側に取付け、コ
ア53をアーム35側に取付けた例につき説明し
たが、本考案はこれに限定されるものではなく、
コイル51をアーム35側に、コア53をアーム
支持体28側に取付けたものでもよい。
In addition, in the above embodiment, the differential transformer 4
8 is an intermediate position between the fulcrum shaft 34 and the pivot bearing 43, and the center line of the core 53 is exactly aligned with the arm 3.
Although an example has been described in which the central axis of the central axis of 5 is perpendicular to the central axis, the present invention is not limited to this. For example, in FIG. 4,
The differential transformer 48 may be provided to the right of the fulcrum shaft 34 or to the left of the pivot bearing 43, and in FIG.
It may be provided at a position shifted above the central axis of 5, that is, toward the guide bar 23, or vice versa. In short, it is sufficient that the center positions of the coil 51 and core 53 of the differential transformer 48 are on the reference plane P. Furthermore, in the embodiment, the differential transformer 48
Although an example has been described in which the coil 51 is attached to the arm support 28 side and the core 53 is attached to the arm 35 side, the present invention is not limited to this.
The coil 51 may be attached to the arm 35 side, and the core 53 may be attached to the arm support 28 side.

上述のように本考案によれば、簡単な構造でか
つ測定誤差の少ない形状測定器を提供できるとい
う効果がある。
As described above, the present invention has the effect of providing a shape measuring instrument with a simple structure and less measurement error.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の形状測定器の一例を示す正面
図、第2図は第1図の動作説明図、第3図は従来
の形状測定器の他の例を示す要部の正面図、第4
図は本考案に係る形状測定器の一実施例を示す縦
断面図、第5図は要部の断面位置を変えた第4図
の横断面図である。 28……アーム支持体、34……支点軸、35
……アーム、40……スタイラス、48……差動
トランス、51……コイル、53……コア、P…
…基準面。
Fig. 1 is a front view showing an example of a conventional shape measuring instrument, Fig. 2 is an explanatory diagram of the operation of Fig. 1, and Fig. 3 is a front view of main parts showing another example of the conventional shape measuring instrument. 4
The figure is a longitudinal cross-sectional view showing one embodiment of the shape measuring device according to the present invention, and FIG. 5 is a cross-sectional view of FIG. 4 with the cross-sectional position of the main part changed. 28... Arm support, 34... Fulcrum shaft, 35
... Arm, 40 ... Stylus, 48 ... Differential transformer, 51 ... Coil, 53 ... Core, P ...
…Reference plane.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 一端にスタイラスを有するアームの他端部近傍
を基準面に含まれる回動軸線を中心に回動自在と
してアーム支持体に支持するとともに前記スタイ
ラスが当接された被測定物の表面形状に追従して
回動する前記アームの回動変化を差動トランスで
検出して当該被測定物の形状を測定する形状測定
器において、前記アーム支持体と前記アームを支
持する基部構造体とに両端のそれぞれが回転可能
に支持された補正リンクを含み前記アームの傾斜
回動に伴つて前記アーム支持体を前記回動軸線が
基準面から離れないようしつつ移動させて円弧誤
差を補正できるよう形成した機械的円弧誤差補正
手段を設け、かつ前記差動トランスを、前記スタ
イラスの先端が前記基準面上に位置した状態のア
ーム基準位置時にそのコイルおよびコアの中心位
置が前記基準面上に位置付けされるようにして前
記アームおよびアーム支持体に取付けたことを特
徴とする形状測定器。
An arm having a stylus at one end is supported on an arm support so as to be rotatable around the rotation axis included in the reference plane, and the stylus follows the surface shape of the object to be measured. In the shape measuring instrument that measures the shape of the object to be measured by detecting the rotational change of the arm that rotates by using a differential transformer, the arm support and the base structure that supports the arm are provided at both ends, respectively. includes a correction link rotatably supported, and is configured to move the arm support as the arm tilts and rotates while preventing the rotation axis from departing from a reference plane, thereby correcting arc errors. a circular arc error correction means, and the differential transformer is arranged such that the center position of the coil and core thereof is positioned on the reference surface when the arm is in the reference position with the tip of the stylus located on the reference surface. A shape measuring instrument, characterized in that the shape measuring instrument is attached to the arm and the arm support.
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