JPS6120485Y2 - - Google Patents

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JPS6120485Y2
JPS6120485Y2 JP14564479U JP14564479U JPS6120485Y2 JP S6120485 Y2 JPS6120485 Y2 JP S6120485Y2 JP 14564479 U JP14564479 U JP 14564479U JP 14564479 U JP14564479 U JP 14564479U JP S6120485 Y2 JPS6120485 Y2 JP S6120485Y2
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arm
stylus
fulcrum
support
measured
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、被測定物の表面形状等を計測する形
状測定器に関する。
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a shape measuring device for measuring the surface shape of an object to be measured.

一般に、形状測定器は、被測定物の表面に接触
するスタイラスがアームの一端に取付けられ、こ
のアームの他端部近傍はアーム支持体に回動自在
に支持され、このアームの重心はスタイラス側が
わずかに重くなるように位置され、これによりス
タイラスは常時被測定物の表面に当接するように
されている。この形状測定器により表面形状を測
定するには、アーム支持体をアームの軸方向に移
動させ、このアーム支持体の移動に伴ないスタイ
ラスが被測定物の表面形状に応じて変位してアー
ムを回動支点を中心として揺動させ、このアーム
の揺動を差動トランス等の計測器で計側して行な
つている。
Generally, in a shape measuring instrument, a stylus that contacts the surface of the object to be measured is attached to one end of an arm, and the vicinity of the other end of this arm is rotatably supported by an arm support, and the center of gravity of this arm is on the stylus side. The stylus is positioned so that it is slightly heavier, so that the stylus is always in contact with the surface of the object to be measured. To measure the surface shape with this shape measuring instrument, the arm support is moved in the axial direction of the arm, and as the arm support moves, the stylus is displaced according to the surface shape of the object to be measured, and the arm is moved. The arm swings around a pivot point, and the swing of the arm is measured by a measuring device such as a differential transformer.

しかし、このような従来一般の形状測定器にあ
つては、スタイラスが回動支点を中心として円弧
運動をするため、スタイラスは上下方向のみなら
ずアーム支持体の送り方向にも移動する。従つ
て、この送り方向の移動量が測定誤差となり、特
に被測定物の表面形状に大きな凹凸があつた場合
には誤差も大きくなつて正確な測定を行なえない
という欠点があつた。
However, in such a conventional shape measuring instrument, the stylus moves in an arc around the rotational fulcrum, so the stylus moves not only in the vertical direction but also in the direction in which the arm support is fed. Therefore, the amount of movement in the feeding direction results in a measurement error, and particularly when the surface shape of the object to be measured has large irregularities, the error becomes large and there is a drawback that accurate measurement cannot be performed.

このため、従来は、スタイラスが取付けられた
と反対側のアーム端部に十字ばねを介してリンク
バーの一端を回動可能に取付け、このリンクバー
の他端を同じく十字ばねを介してアーム支持体
(スライド板)に支持し、これによりアームの回
動時に、リンクバーがアーム支持体への支持部を
中心として揺動し、この揺動によりアームが円弧
誤差を補正する方向に移動し、結局スタイラスの
先端はほぼ垂直方向に上下動し、円弧誤差を発生
させない機構、あるいはリンクバーの代りに平行
りンクを用いた機構が提案されている。(特開昭
53−53352号公報)。
For this reason, conventionally, one end of a link bar is rotatably attached via a cross spring to the end of the arm opposite to where the stylus is attached, and the other end of this link bar is attached to the arm support via a cross spring. (slide plate), so that when the arm rotates, the link bar swings around the support part to the arm support body, and this swing causes the arm to move in the direction to correct the arc error, and eventually A mechanism has been proposed in which the tip of the stylus moves up and down in a substantially vertical direction and does not cause arc errors, or a mechanism in which parallel links are used instead of link bars. (Tokukai Akira
53-53352).

しかし、このような従来の機構は、アームを支
持するためのリンクバー、あるいは平行リンクが
必要なため、小型化および簡略化が困難であるば
かりでなく、これらのリンクの揺動によりアーム
の回動支点位置が上下して精度が低下したり、あ
るいはアームの配置位置が必ずしも最良の状態に
なされていないため、アームなどに無理な力が作
用する可能性があるという不都合がある。
However, such conventional mechanisms require link bars or parallel links to support the arm, which not only makes it difficult to downsize and simplify, but also makes it difficult for the arm to rotate due to the swinging of these links. There are disadvantages in that the position of the dynamic fulcrum may move up and down, reducing accuracy, or the arm may not be placed in the best position, which may cause unreasonable force to be applied to the arm or the like.

本考案の目的は、アーム等に無理な力が作用す
るのを防止できるとともに、円弧誤差を補正でき
る構造が簡単な形状測定器を提供するにある。
An object of the present invention is to provide a shape measuring instrument with a simple structure that can prevent excessive force from acting on an arm, etc., and can correct arc errors.

本考案は、アームに円弧誤差補正の動きをさせ
るための連結リンクのアーム支持体との固定支点
と、アーム自身の回動支点とを結ぶ線(以下、基
準線という)上にスタイラスの先端が位置したと
き、少なくとも前記連結リンクの固定支点とアー
ム回動支点との間に位置する部分のアームの軸線
が、前記基準線とほぼ一致するように配置するこ
とにより、アームにほぼ軸方向の力のみが加わる
ようにするとともに、前記アーム回動支点を、ア
ーム支持体に設けられた真直案内面に当接しなが
らアーム支持体の送り方向と平行に移動させるこ
とにより、小型化、簡略化を可能とし、さらにア
ームの回動支点の上下動を防止し、より正確な円
弧誤差の補正を可能として前記目的を達成しよう
とするものである。
In the present invention, the tip of the stylus is placed on a line (hereinafter referred to as the reference line) connecting the fixed fulcrum of the connecting link with the arm support and the rotational fulcrum of the arm itself to make the arm move to correct circular errors. By arranging the arm so that when the arm is positioned, at least the axis of the arm located between the fixed fulcrum of the connecting link and the arm rotation fulcrum substantially coincides with the reference line, a force in an approximately axial direction is applied to the arm. By moving the arm rotation fulcrum in parallel to the feeding direction of the arm support while abutting the straight guide surface provided on the arm support, it is possible to reduce the size and simplify the structure. In addition, the above object is achieved by preventing the vertical movement of the rotational fulcrum of the arm and making it possible to more accurately correct arc errors.

以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.

第1図には形状測定器の全体構造の概略が示さ
れている。この図において、ベース1上には支柱
2が立設され、この支柱2にはX方向駆動検出機
構部3が取付けられ、ハンドル4の駆動により支
柱2に沿つて上下に移動できるようになつてい
る。このX方向駆動検出機構部3は、Y方向検出
機構部5をX方向すなわちY方向検出機構部5に
設けられたアーム6の軸方向に移動させるととも
に、その移動量を検出する機構である。X方向駆
動検出機構部3は、内部に駆動モータ7を備え、
この駆動モータ7の回転は歯車連動機構8を介し
て送りねじ軸9に伝えられ、この送りねじ軸9の
回転はロータリエンコーダなどの回転検出器10
により検出される。送りねじ軸9にはナツト部材
11が螺合され、送りねじ軸9の回転に伴ないX
方向に移動するようにされている。このナツト部
材11には接続具12を介してY方向検出機構部
5が接続され、ナツト部材11とともにX方向に
移動するようにされている。
FIG. 1 schematically shows the overall structure of the shape measuring instrument. In this figure, a column 2 is erected on a base 1, an X-direction drive detection mechanism 3 is attached to this column 2, and it can be moved up and down along the column 2 by driving a handle 4. There is. The X-direction drive detection mechanism 3 is a mechanism that moves the Y-direction detection mechanism 5 in the X direction, that is, in the axial direction of the arm 6 provided in the Y-direction detection mechanism 5, and detects the amount of movement thereof. The X-direction drive detection mechanism section 3 includes a drive motor 7 therein,
The rotation of this drive motor 7 is transmitted to a feed screw shaft 9 via a gear interlocking mechanism 8, and the rotation of this feed screw shaft 9 is detected by a rotation detector 10 such as a rotary encoder.
Detected by A nut member 11 is screwed onto the feed screw shaft 9, and as the feed screw shaft 9 rotates,
It is meant to move in the direction. A Y-direction detection mechanism 5 is connected to the nut member 11 via a connector 12, and is configured to move together with the nut member 11 in the X direction.

第2図ないし第8図にはY方向検出機構部5の
詳細な構造が示されている。これらの図におい
て、Y方向検出機構部5は、鋳物などからなるア
ーム支持体13を備え、このアーム支持体13の
長手方向の両側面およびび上面は断面コ字形のカ
バー14により覆われ、長手方向に直交する端面
はサイドカバー15,16により覆われている。
このカバー14の上面中央部には前記接続具12
が配置され、この接続具12は3本のスタッドピ
ン17(第3図参照)を介してアーム支持体13
に固着されている。
The detailed structure of the Y-direction detection mechanism section 5 is shown in FIGS. 2 to 8. In these figures, the Y-direction detection mechanism section 5 includes an arm support 13 made of cast metal or the like, and both sides and top surface of the arm support 13 in the longitudinal direction are covered with a cover 14 having a U-shaped cross section. The end faces perpendicular to the direction are covered by side covers 15 and 16.
At the center of the upper surface of this cover 14, there is provided the connection tool 12.
is arranged, and this connector 12 is connected to the arm support 13 via three stud pins 17 (see FIG. 3).
is fixed to.

アーム6は、第2,4図に示されるように、略
小径円筒状の第1のアーム18と、この第1のア
ーム18をブツシユ19を介して内装する略大径
円筒状の第2のアーム20との一対のアームから
構成されている。第1のアーム18の第2のアー
ム20から突出した一端側は軽量化を図るため薄
肉パイプとされるとともに、継手21を介して継
ぎ足され、この継ぎ足された先端にスタイラス2
2が半径方向に突出した状態で固着されている。
また、継手21の部分で上下反転可能とされ、ス
タイラス22は図示のように下向きのみでなく上
向きにでき、被測定物23の上面のみならず横孔
の上壁等も測定できるようにされている。この
際、継手21にはボールおよび凹部などからなる
ストツパ機構24が設けられ、180度反転位置で
正確に停止できるようにされている。また、継手
21は、スタイラス22の位置を反転させても、
スタイラス22の先端が反転前と同一位置となる
ように、第2のアーム20の中心軸線上で回転す
るようにされている。
As shown in FIGS. 2 and 4, the arm 6 includes a first arm 18 having a substantially small diameter cylindrical shape, and a second arm 18 having a substantially large diameter cylindrical shape that houses the first arm 18 via a bush 19. It is composed of a pair of arms including arm 20. One end of the first arm 18 protruding from the second arm 20 is made into a thin-walled pipe to reduce weight, and is joined via a joint 21, and a stylus 2 is attached to the joined end.
2 is fixed in a radially protruding state.
In addition, the joint 21 can be turned upside down, and the stylus 22 can be oriented not only downward as shown in the figure, but also upward, so that it can measure not only the upper surface of the object to be measured 23 but also the upper wall of the side hole, etc. There is. At this time, the joint 21 is provided with a stopper mechanism 24 consisting of a ball, a recess, etc., so that the joint 21 can be accurately stopped at the 180 degree inverted position. Moreover, even if the position of the stylus 22 is reversed, the joint 21
The stylus 22 is rotated on the central axis of the second arm 20 so that the tip of the stylus 22 is at the same position as before reversal.

第1のアーム18と第2のアーム20とはその
軸方向に摺動可能にされるとともに、付勢手段2
5により常時は所定の相互位置を保つようにされ
ている。すなわち、第1のアーム18の第2図中
右端には止めねじ26が固着されるとともに、止
めねじ26の左方位置において摺動板27が第1
のアーム18の外周に摺動可能に被嵌され、この
摺動板27と第1のアーム18に一杯に設けられ
たフランジ部28との間には前記付勢手段25の
一部を構成する第1の圧縮コイルばね29が介装
され、摺動板27が常時止めねじ26の頭部に当
接するようにされている。また、摺動板27の外
周は、第2のアーム20の内周に摺動自在にされ
るとともに、摺動板27と第2のアーム20の内
径段部との間には前記付勢手段25の残部を構成
する第2の圧縮コイルばね30が介装され、この
第2の圧縮コイルばね30により摺動板27は第
2のアーム20の右端にねじ込された袋ナツト3
1の内端面に当接するようにされている。この袋
ナツト31の内端面には凹部32が形成され、前
記止めねじ26の頭部がこの凹部32内で止めね
じ26の軸方向に移動できるようにされている。
これにより、第2の圧縮コイルばね30により摺
動板27は袋ナツト31の内端面に押圧され、一
方、第1の圧縮コイルばね29により止めねじ2
6が摺動板27の右端面に押圧されているため、
第1,第2のアーム18,20は通常は図示の状
態を保持している。この状態で第1のアーム18
が第1の圧縮コイルばね29の付勢力より大きい
力で第2図中右方に押圧された場合は、第1のア
ーム18は第1の圧縮コイルばね29の付勢力に
抗して右方に動き、摺動板27と止めねじ26と
の当接は離れ、一方、第一のアーム18が第2の
圧縮コイルばね30の付勢力より大きい力で第2
図中左方に引かれた場合は、第1のアーム18の
右端に固着された止めねじ26の頭部で摺動板2
7が左方に押圧され、第2の圧縮コイルばね30
の付勢力に抗して摺動板27とともに第1のアー
ム18が左方に動くようにされている。
The first arm 18 and the second arm 20 are made slidable in their axial directions, and the biasing means 2
5, so that predetermined mutual positions are always maintained. That is, a set screw 26 is fixed to the right end of the first arm 18 in FIG.
A portion of the biasing means 25 is formed between the sliding plate 27 and a flange portion 28 fully provided on the first arm 18. A first compression coil spring 29 is interposed so that the sliding plate 27 is always in contact with the head of the set screw 26. Further, the outer periphery of the sliding plate 27 is made slidable on the inner periphery of the second arm 20, and the biasing means is provided between the sliding plate 27 and the inner step of the second arm 20. A second compression coil spring 30 constituting the remainder of the second arm 25 is interposed, and this second compression coil spring 30 allows the sliding plate 27 to be attached to a cap nut 3 screwed into the right end of the second arm 20.
It is adapted to come into contact with the inner end surface of 1. A recess 32 is formed in the inner end surface of the cap nut 31 so that the head of the set screw 26 can move within this recess 32 in the axial direction of the set screw 26.
As a result, the sliding plate 27 is pressed against the inner end surface of the cap nut 31 by the second compression coil spring 30, while the set screw 2 is pressed by the first compression coil spring 29.
6 is pressed against the right end surface of the sliding plate 27,
The first and second arms 18, 20 normally maintain the state shown. In this state, the first arm 18
is pressed to the right in FIG. 2 with a force greater than the biasing force of the first compression coil spring 29, the first arm 18 resists the biasing force of the first compression coil spring 29 , the sliding plate 27 and the set screw 26 are released from contact, and the first arm 18 is moved to the second position with a force greater than the biasing force of the second compression coil spring 30.
When pulled to the left in the figure, the head of the set screw 26 fixed to the right end of the first arm 18 moves the sliding plate 2.
7 is pressed to the left, and the second compression coil spring 30
The first arm 18 is made to move to the left together with the sliding plate 27 against the urging force of.

前記第1のアーム18のフランジ部28には、
水平方向すなわち第2図中紙面直交方向にアーム
回動支点である支点軸33が挿通され、この支点
軸33の両端部は前記第2のアーム20に形成さ
れた長孔34を貫通して突出され、この突出部に
それぞれベアリング35が取付けられている。こ
のベアリング35は、真直案内面である前記アー
ム支持体13に固着された一対のニードル36
(第5図参照)上に当接され、これにより一対の
第1,第2のアーム18,20からなるアーム6
はアーム回動支点となる支点軸33を中心として
回動可能かつ軸方向に摺動可能に支持されてい
る。また、支点軸33は、第2のアーム20の上
面に設けられた長孔37(第2図参照)を貫通し
て挿入されたねじ軸38によりその中央部を固定
されている。このねじ軸38の上端部には作動部
材39が固着され、この作動部材39には前記第
2のアーム20の外周にブラケツト40を介して
取付けられた検知機構としてのマイクロスイツチ
41の作動腕42が当接されている。これによ
り、第1のアーム18が付勢手段25に抗して移
動し、第2のアーム20との間に相対移動が生じ
たときはマイクロスイツチ41で検出できるよう
になつており、このマイクロスイツチ41は、前
記第1図で説明した駆動モータ7の電源回路に接
続され、作動部材39により作動されると駆動モ
ータ7の電源回路をオフするようになつている。
The flange portion 28 of the first arm 18 includes:
A fulcrum shaft 33 serving as an arm rotation fulcrum is inserted in the horizontal direction, that is, in a direction perpendicular to the plane of the paper in FIG. A bearing 35 is attached to each of these protrusions. This bearing 35 is connected to a pair of needles 36 fixed to the arm support 13 which is a straight guide surface.
(See FIG. 5) The arm 6 consisting of a pair of first and second arms 18 and 20 is brought into contact with the
is supported so as to be rotatable around a fulcrum shaft 33 that serves as a fulcrum for arm rotation and to be slidable in the axial direction. Further, the fulcrum shaft 33 has its central portion fixed by a screw shaft 38 inserted through a long hole 37 (see FIG. 2) provided on the upper surface of the second arm 20. An actuating member 39 is fixed to the upper end of this screw shaft 38, and an actuating arm 42 of a micro switch 41 as a detection mechanism is attached to the outer periphery of the second arm 20 via a bracket 40. is in contact. As a result, when the first arm 18 moves against the biasing means 25 and relative movement occurs between it and the second arm 20, it can be detected by the micro switch 41. The switch 41 is connected to the power supply circuit of the drive motor 7 explained in FIG.

前記第2のアーム20の右端に取付けられた袋
ナツト31の軸心部には、アーム20の軸方向に
延長されたバランサシヤフト43の一端が固着さ
れ、この他端はサイドカバー16の外方に迄延長
されている。このバランサシヤフト43の延長部
にはバランサウエイト44がバランサシヤフト4
3の軸方向に移動可能に取付けられ、ボルト45
によりその位置を固定できるようにされている。
このバランサウエイト44の固定位置は、アーム
6およびこのアーム6と一体になつて支点軸33
を中心として揺動する部分の支点軸33よりもス
タイラス22側の重量が、支点軸33よりバラン
サウエイト44側の重量よりわずかに重くなるよ
うに設定され、これにより自由状態で、スタイラ
ス22はわずかな接触力で被測定物23の表面に
当接されるようになつている。
One end of a balancer shaft 43 extending in the axial direction of the arm 20 is fixed to the axial center of the cap nut 31 attached to the right end of the second arm 20, and the other end is attached to the outside of the side cover 16. It has been extended until. A balancer weight 44 is attached to the extension of the balancer shaft 43.
3 is mounted movably in the axial direction of the bolt 45.
This allows the position to be fixed.
This balance weight 44 is fixed at the arm 6 and integrally with the fulcrum shaft 33.
The weight on the stylus 22 side relative to the fulcrum shaft 33 of the part that swings around is set to be slightly heavier than the weight on the balancer weight 44 side relative to the fulcrum shaft 33, so that in the free state, the stylus 22 is slightly The surface of the object to be measured 23 is brought into contact with the surface of the object to be measured 23 with a strong contact force.

前記バランサシヤフト43の途中にはピン46
が立設され、このピン46は直流モータ47の出
力軸に固定された偏心カム48に対向されてい
る。これにより、モータ47が駆動され、偏心カ
ム48がピン46に当接すると、アーム6のバラ
ンサウエイト44側が押下げられ、スタイラス2
2側が上昇してスタイラス22と被測定物23と
の当接が離れ、偏心カム48の最大偏心部(最大
直径位置)でモータ47が停止されると、アーム
6はスタイラス22が被測定物23から最も離れ
た位置で停止されるようになつている。一方、こ
の停止位置からモータ47が再び駆動されると、
偏心カム48のカム面に当接しながらピン46は
アーム6の重量アンバランス力によつてゆつくり
上昇することとなり、スタイラス22も被測定物
23の表面に静かに当接され、スタイラス22の
欠損などが防止される。また、直流モータ47は
アーム支持体13から一体に立設されたスタンド
49にねじ止め固定され、このスタンド49に設
けられた貫通孔50を貫通して前記バランサシヤ
フト43が延長されている。さらに、スタンド4
9の上部両側には、第7図に示されるように、そ
れぞれリミツトスイツチ51,52が取付けら
れ、これらのリミツトスイツチ51,52の作動
腕53,54は前記偏心カム48のハブ部に取付
けられた作動ピン55に当接可能にされている。
これらのリミツトスイツチ51,52は直流モー
タ47の電源回路に接続され、作動ピン55によ
り作動されると直流モータ47の電源をオフして
直流モータ47を停止するようになつている。こ
れにより、リミツトスイツチ51が作動される
と、偏心カム48の最大直径位置がバランサシヤ
フト43のピン46から最も離れた第7図、図示
位置でモータ47が停止され、一方、リミツトス
イツチ52が作動されると、偏心カム48の最大
直径位置がピン46に当接してスタイラス22を
上昇させた位置でモータ47が停止されるように
なつている。
A pin 46 is provided in the middle of the balancer shaft 43.
is provided upright, and this pin 46 faces an eccentric cam 48 fixed to the output shaft of a DC motor 47. As a result, when the motor 47 is driven and the eccentric cam 48 comes into contact with the pin 46, the balance weight 44 side of the arm 6 is pushed down, and the stylus 2
When the stylus 22 and the object to be measured 23 are brought out of contact with each other and the motor 47 is stopped at the maximum eccentric portion (maximum diameter position) of the eccentric cam 48, the arm 6 moves the stylus 22 to the object to be measured 23. It is designed to be stopped at the farthest point from the On the other hand, when the motor 47 is driven again from this stopped position,
While in contact with the cam surface of the eccentric cam 48, the pin 46 slowly rises due to the weight unbalanced force of the arm 6, and the stylus 22 also comes into gentle contact with the surface of the object to be measured 23, causing damage to the stylus 22. etc. will be prevented. Further, the DC motor 47 is screwed and fixed to a stand 49 that is integrally provided upright from the arm support 13, and the balancer shaft 43 extends through a through hole 50 provided in the stand 49. Furthermore, stand 4
As shown in FIG. 7, limit switches 51 and 52 are installed on both sides of the upper part of the eccentric cam 48, respectively. It is enabled to come into contact with the pin 55.
These limit switches 51 and 52 are connected to the power supply circuit of the DC motor 47, and when activated by the operating pin 55, turn off the power to the DC motor 47 and stop the DC motor 47. As a result, when the limit switch 51 is activated, the motor 47 is stopped at the position shown in FIG. 7, where the maximum diameter position of the eccentric cam 48 is farthest from the pin 46 of the balancer shaft 43, while the limit switch 52 is activated. Then, the motor 47 is stopped at the position where the maximum diameter position of the eccentric cam 48 contacts the pin 46 and raises the stylus 22.

前記支点軸33を第1のアーム18に固定する
ねじ軸38の上端に固定された作動部材39に
は、ばね掛けピン56が水平方向に植設され、こ
のばね掛けピン56と回転体57に設けられたば
ね掛けピン58との間にはコイルばね59が掛け
渡されている。この回転体57は、第6図に示さ
れるように、アーム支持体13に一体に立設され
た一対のスタンド60に回転自在に支持された回
転軸61の一端に固着され、この回転軸61の他
端にはつまみ62がねじ込まれ、ピン63により
回り止めされている。このつまみ62の操作用大
径部はカバー14の外方に突出され、カバー14
の外方からつまみ62を回転させることにより、
回転体57を回転でき、第2図中破線位置から鎖
線位置へと移動できるようにされている。この回
転体57の一側面と一方のスタンド60との間に
は、節度機構64が設けられ、前記回転体57の
回転角度が規制されている。この節度機構64
は、スタンド60に取付けられるソケツト65
と、このソケツト65内に収納された圧縮ばね6
6と、この圧縮ばね66により常時回転体57の
一側面側に押圧されるボール67とからなり、こ
のボール67が回転体57の一側面に設けられた
凹部に嵌合することにより節度感が得られるよう
になつている。また、前記ばね掛けピン56,5
8間に掛け渡されたコイルばね59は、回転体5
7が第2図中破線で示される位置にある常時は、
何ら付勢力を生じないたるんだ状態になるように
され、一方、つまみ62を回転させて回転体57
を第2図中鎖線の位置にさせたときは、引張力が
作用し、ねじ軸38を介してアーム6に支点軸3
3を中心として時計方向の回転力を与えるように
なつている。これにより、回転体57を鎖線位置
に回転させた場合において、第1のアーム18の
第2図中左端部を継手21の部分で180度反転さ
せ、スタイラス22を上向きにした時にスタイラ
ス22の先端側に所定の接触力が加わるようにさ
れ、バランサウエイト44の位置を変えることな
く、被測定物23に設けられた横孔の上壁等を所
定の接触力で当接しながら測定できるようになつ
ている。
A spring hanging pin 56 is horizontally implanted in the actuating member 39 fixed to the upper end of the screw shaft 38 that fixes the fulcrum shaft 33 to the first arm 18. A coil spring 59 is stretched between the spring hanging pin 58 and the provided spring hanging pin 58. As shown in FIG. 6, this rotating body 57 is fixed to one end of a rotating shaft 61 that is rotatably supported by a pair of stands 60 that are erected integrally with the arm support 13. A knob 62 is screwed into the other end and is prevented from rotating by a pin 63. The large-diameter portion of the knob 62 for operation is protruded outward from the cover 14.
By rotating the knob 62 from the outside,
The rotating body 57 can be rotated and moved from the position shown by the broken line in FIG. 2 to the position shown by the chain line. A moderation mechanism 64 is provided between one side of the rotating body 57 and one stand 60, and the rotation angle of the rotating body 57 is regulated. This moderation mechanism 64
is a socket 65 attached to the stand 60.
and the compression spring 6 housed within this socket 65.
6 and a ball 67 that is constantly pressed against one side of the rotating body 57 by the compression spring 66. By fitting this ball 67 into a recess provided on one side of the rotating body 57, a sense of moderation is achieved. It is becoming possible to obtain it. Further, the spring hanging pins 56, 5
The coil spring 59 stretched between the rotating body 5
7 is always in the position indicated by the broken line in Figure 2,
The knob 62 is rotated so that the rotary body 57 is in a slack state that does not generate any urging force.
When placed in the position indicated by the chain line in FIG. 2, a tensile force is applied to the arm 6 via the threaded shaft 38 and
It is designed to apply clockwise rotational force around point 3. As a result, when the rotating body 57 is rotated to the chain line position, the left end of the first arm 18 in FIG. A predetermined contact force is applied to the side, and measurements can be taken while contacting the upper wall of the horizontal hole provided in the object to be measured 23 with a predetermined contact force without changing the position of the balance weight 44. ing.

前記第2のアーム20の中央部一側には、第
3,4図に示されるように、切欠部68が形成さ
れ、この切欠部68において差動トランス69が
アーム支持体13に立設されている。この差動ト
ランス69のコア70は、ブラケツト71を介し
て第2のアーム20の外周に取付けられ、第2の
アーム20の支点軸33を中心とする回動量を測
定できるようにされている。
3 and 4, a notch 68 is formed on one side of the center of the second arm 20, and a differential transformer 69 is erected on the arm support 13 at this notch 68. A core 70 of this differential transformer 69 is attached to the outer periphery of the second arm 20 via a bracket 71 so that the amount of rotation of the second arm 20 about the fulcrum shaft 33 can be measured.

前記第2のアーム20の第2〜4図中左端に
は、平面略コ字形の支持リンク75が固着され、
この支持リンク75のコの字の開口側両端部間に
は、ベアリング76およびピボツト77を介して
連結リンク78の一端が回動自在に支持され、こ
の連結リンク78の他端はピボツト79およびベ
アリング80を介してアーム支持体13から一体
に突設された一対のスタンド81に回動自在に支
持され、この支持部が連結リンク78の固定支点
とされている。この連結リンク78は、第8図に
示されるように、内部軸心方向に断面長円形の貫
通孔82を有する円筒の両側部を平落しして形成
され、この平落し面に前記ピボツト77,79が
突設されて構成され、貫通孔82内に第1のアー
ム18が所定の間隔を置いて貫通されている。こ
れらの支持リンク75、ベアリング76,80、
ピボツト77,79、連結リンク78およびアー
ム支持体13のスタンド81によりアーム6の円
弧誤差補正機構が構成されている。
A support link 75 having a generally U-shaped plan view is fixed to the left end of the second arm 20 in FIGS.
One end of a connecting link 78 is rotatably supported between the U-shaped opening side ends of the support link 75 via a bearing 76 and a pivot 77, and the other end of this connecting link 78 is supported between a pivot 79 and a bearing. It is rotatably supported by a pair of stands 81 integrally projecting from the arm support 13 via a support 80, and this support is used as a fixed fulcrum for the connection link 78. As shown in FIG. 8, this connecting link 78 is formed by flattening both sides of a cylinder having a through hole 82 with an oval cross section in the internal axis direction, and the pivot 77, 79 is configured to protrude, and the first arm 18 passes through the through hole 82 at a predetermined interval. These support links 75, bearings 76, 80,
The pivots 77, 79, the connecting link 78, and the stand 81 of the arm support 13 constitute an arc error correction mechanism for the arm 6.

前記アーム6の回動支点すなわち支点軸33の
中心線と、連結リンク78の固定支点すなわちピ
ボツト78の中心軸を結ぶ線P(第2図参照)、
換言すると前記基準線と定義した線(正確には1
本の線ではなく面となるが、第2図上では線とし
て表われるので、説明の都合上線という)は、ア
ーム支持体13の送り方向すなわちX方向に平行
とされている。また、アーム6の少なくとも前記
アーム回動支点と連結リンク78の固定支点との
間の部分の軸線は、スタイラス22の先端が前記
基準線P上に位置したとき(以下、アーム6の基
準位置ということがある)、ほぼこの基準線P上
に位置するようにされ、これによりアーム6に加
わる力が、ほぼアーム6の軸方向のテンシヨンあ
るいはコンプレツシヨンとなるようにされてい
る。
A line P connecting the rotation fulcrum of the arm 6, that is, the center line of the fulcrum shaft 33, and the fixed fulcrum of the connecting link 78, that is, the center axis of the pivot 78 (see FIG. 2);
In other words, the line defined as the reference line (to be exact, 1
Although it is not a book line but a plane, it appears as a line in FIG. 2, so for convenience of explanation, it is called a line) which is parallel to the feeding direction of the arm support 13, that is, the X direction. Further, the axis of the arm 6 at least in the portion between the arm rotation fulcrum and the fixed fulcrum of the connecting link 78 is determined when the tip of the stylus 22 is located on the reference line P (hereinafter referred to as the reference position of the arm 6). The arm 6 is positioned approximately on this reference line P, so that the force applied to the arm 6 is approximately the tension or compression in the axial direction of the arm 6.

次に本実施例の作用につき説明する。 Next, the operation of this embodiment will be explained.

ベース1上に直接あるいは所定の載置台等を介
して被測定物23を設置する。ついで、スタイラ
ス22がこの被測定物23の被測定部位のスター
ト位置に適当な間隙で対向するように、ハンドル
4を回動してX方向駆動検出機構部3およびY方
向検出機構部5を介してスタイラス22の上下方
向(Y方向)位置を設定するとともに、X方向駆
動検出機構部3の駆動モータ7を駆動してスタイ
ラス22の左右方向(X方向)位置を設定する。
この際、偏心カム48を駆動する直流モータ47
は、偏心カム48の最大直径部がピン46の頂部
に当接した状態で停止されている。このため、ス
タイラス22は測定位置より上昇した位置で停止
されており、前記位置設定によりスタイラス22
は被測定物23の第2図中左端部の少し上方に位
置される。
The object to be measured 23 is placed on the base 1 directly or via a predetermined mounting table or the like. Next, the handle 4 is rotated so that the stylus 22 faces the starting position of the part to be measured of the object to be measured 23 with an appropriate gap, and the stylus 22 is moved through the X-direction drive detection mechanism 3 and the Y-direction detection mechanism 5. The vertical direction (Y direction) position of the stylus 22 is set by driving the drive motor 7 of the X direction drive detection mechanism section 3 to set the left and right direction (X direction) position of the stylus 22.
At this time, the DC motor 47 that drives the eccentric cam 48
is stopped with the maximum diameter portion of the eccentric cam 48 in contact with the top of the pin 46. Therefore, the stylus 22 is stopped at a position higher than the measurement position, and the stylus 22 is stopped at a position higher than the measurement position.
is located slightly above the left end of the object to be measured 23 in FIG.

次に、直流モータ47を駆動して偏心カム48
を回転させると、アーム6の支点軸33よりスタ
イラス22側重量が支点軸33よりバランサウエ
イト44側重量よりやや大きくされているから、
この重量のアンバランス力によりピン46の上端
は偏心カム48のカム面に当接しながらゆつくり
上昇し、一方スタイラス22はゆつくり下降して
被測定物23の表面に衝撃なく当接することとな
る。この状態で、駆動モータ7を再び駆動し、歯
車連動機構8を介して送りねじ軸9を回転させ、
ナツト部材11および接続具12を介してY方向
検出機構部5を第1図中右方に移動させると、ス
タイラス22は被測定物23の表面形状の凹凸に
沿つた上下端をしながり右方へと移動させられ
る。このスタイラス22の上下動は、アーム6す
なわち第1,第2のアーム18,20の支点軸3
3を中心とした回動に変換され、この第1,第2
のアーム18,20の回動は第2のアーム20に
ブラケツト71を介して取付けられたコア70の
動きに変換され、差動トランス69によりその変
位量が検出される。一方、Y方向検出機構5のX
方向の変位量は、送りねじ軸9の回転をロータリ
エンコーダ10で検出することにより検出され、
このX方向の変位すなわち送りと、前記Y方向の
変位とを検出することにより被測定物23の表面
形状の測定ができることとなる。
Next, the DC motor 47 is driven to drive the eccentric cam 48.
When rotated, the weight on the stylus 22 side from the fulcrum shaft 33 of the arm 6 is slightly larger than the weight on the balancer weight 44 side from the fulcrum shaft 33.
Due to the unbalanced force of this weight, the upper end of the pin 46 slowly rises while contacting the cam surface of the eccentric cam 48, while the stylus 22 slowly descends and contacts the surface of the object to be measured 23 without impact. . In this state, the drive motor 7 is driven again to rotate the feed screw shaft 9 via the gear interlocking mechanism 8,
When the Y-direction detection mechanism 5 is moved to the right in FIG. be moved towards This vertical movement of the stylus 22 is caused by the fulcrum shafts 3 of the arms 6, that is, the first and second arms 18, 20.
3, and this first and second
The rotation of the arms 18 and 20 is converted into the movement of the core 70 attached to the second arm 20 via a bracket 71, and the amount of displacement thereof is detected by the differential transformer 69. On the other hand, the X direction detection mechanism 5
The amount of displacement in the direction is detected by detecting the rotation of the feed screw shaft 9 with a rotary encoder 10,
By detecting the displacement in the X direction, that is, the feed, and the displacement in the Y direction, the surface shape of the object to be measured 23 can be measured.

被測定物23の測定にあたり、被測定物23の
表面形状に大きな凹凸がない場合はあまり問題と
ならないが、凹凸が大きくなるといわゆる円弧誤
差が問題となつてくる。すなわち、スタイラス2
2は理想的には常に垂直方向(Y方向)に動作す
るのがよいが、実際には支点軸33を中心とした
回動運動であり、従つて支点軸33とスタイラス
22との間の距離に対してスタイラス22の上下
動すなわちアーム6の回動角度がある程度以上大
きくなると、スタイラス22の上昇に伴なう変位
のX方向成分が無視できない程度大きくなり、こ
れが測定誤差となるため、何らかの補正が必要と
なる。本実施例においては、この補正は、支持リ
ンク75、連結リンク78などからなる円弧誤差
補正機構によりなされている。今、仮にスタイラ
ス22が上方に移動されたとすると、第1のアー
ム18が時計方向に回動し、第2のアーム20お
よびこの第2のアーム20に一体の支持リンク7
5も時計方向に回動する。一方、この支持リンク
75にベアリング76およびピボツト77を介し
て連結されている連結リンク78は、ピボツト7
9およびベアリング80を介してアーム支持体1
3のスタンド81に連結されているため、この連
結リンク78は反時計方向に回動され、連結リン
ク78と第2のアーム20とはピボツト77の位
置で上方に折れ曲るように変位しようとする。こ
のため、スタンド81に定点支持されたピボツト
79と支点軸33との間の距離は縮まろうとする
が、ピボツト79は定点支持のため、支点軸33
がベアリング35の作用によりニードル36上を
第2図中左方に移動し、これに伴ない第1のアー
ム18およびスタイラス22も左方に移動する。
従つて、スタイラス22が上昇すればするほどス
タイラス22は補正機構の作用で左方に移動さ
れ、一方スタイラス22の支点軸33を中心とし
た回動側からみれば、スタイラス22の上昇に伴
なうアーム6の回動作用によるX方向成分により
上昇すればするほど右方に移動され、これらの両
方の作用が互いに打消し合い、結局スタイラス2
2はほぼ垂直に上昇するとともに、支点軸33は
真直案内面であるニードル36上を上下動するこ
となく軸方向に摺動するため、アーム18および
スタイラス22の回動中心は常に前記基準線内に
あることとなつて円弧誤差の発生が防止される。
When measuring the object to be measured 23, if the surface shape of the object to be measured 23 does not have large irregularities, there is not much of a problem, but if the irregularities become large, so-called circular arc error becomes a problem. That is, stylus 2
2 should ideally always move in the vertical direction (Y direction), but in reality it is a rotational movement around the fulcrum shaft 33, and therefore the distance between the fulcrum shaft 33 and the stylus 22 However, if the vertical movement of the stylus 22, that is, the rotation angle of the arm 6, increases beyond a certain level, the X-direction component of the displacement due to the upward movement of the stylus 22 becomes large enough to not be ignored, and this causes a measurement error. Therefore, some kind of correction is required. Is required. In this embodiment, this correction is performed by an arc error correction mechanism including a support link 75, a connecting link 78, and the like. Now, if the stylus 22 is moved upward, the first arm 18 will rotate clockwise, and the second arm 20 and the support link 7 integral with the second arm 20 will be rotated clockwise.
5 also rotates clockwise. On the other hand, a connecting link 78 connected to this support link 75 via a bearing 76 and a pivot 77 is
9 and the arm support 1 via the bearing 80
3, the connecting link 78 is rotated counterclockwise, and the connecting link 78 and the second arm 20 are bent upward at the pivot 77 position. do. For this reason, the distance between the pivot 79 supported at a fixed point by the stand 81 and the fulcrum shaft 33 tends to decrease, but since the pivot 79 is supported at a fixed point, the fulcrum shaft 33
is moved to the left in FIG. 2 on the needle 36 by the action of the bearing 35, and the first arm 18 and stylus 22 are also moved to the left accordingly.
Therefore, as the stylus 22 rises, the stylus 22 is moved to the left by the action of the correction mechanism.On the other hand, when viewed from the rotation side of the stylus 22 about the fulcrum shaft 33, as the stylus 22 rises, the stylus 22 moves to the left. The more the stylus arm 6 rises, the more it moves to the right due to the X-direction component caused by the rotation of the stylus arm 6. These two actions cancel each other out, and eventually the stylus 2
2 rises almost vertically, and the fulcrum shaft 33 slides in the axial direction without moving up and down on the needle 36, which is a straight guide surface, so the rotation centers of the arm 18 and the stylus 22 are always within the reference line. This prevents arc errors from occurring.

次に、第1のアーム18の左半部を継手21の
部分で回転させてスタイラス22を上向きにし、
被測定物23の横孔の内壁上面の形状を測定する
場合につき説明する。スタイラス22を上向きに
して測定する場合は、スタイラス22には前述と
は逆に上向きの付勢力を作用させて被測定物23
に所定の比較的小さな接触力で接した状態で測定
を行なう必要がある。このためには、バランサウ
エイト44を動かして調整することもできるが、
スタイラス22を元に戻して下向きにしたとき
は、再びバランサウエイト44を動かして調整し
なければならず煩雑である。このため、バランサ
ウエイト44を動かさずにスタイラス22に上向
きの付勢力を与えるために、つまみ62により回
動される回転体57およびコイルばね59が設け
られたものである。すなわち、第2図中破線で示
されるように回転体57が位置するときは、コイ
ルばね59はたるんだ状態にあり、ばね掛けピン
56に何ら付勢力が作用せず、従つてアーム6へ
の付勢力も加わらない。一方、つまみ62を回転
して回動軸61を介して回転体57を第2図中鎖
線で示す位置にすると、コイルばね59は引き伸
ばされ、ばね掛けピン56に第2図中右方への引
張力が作用する。このため、ねじ軸38は支点軸
33を中心として時計方向に付勢され、アーム6
も時計方向に付勢される。このコイルばね59に
よる付勢力を適当に選定すれば、バランサウエイ
ト44を動かすことなく、スタイラス22の所定
の上向きの付勢力を与えることができ、被測定物
23の横孔の内壁上面等が測定できる。
Next, rotate the left half of the first arm 18 at the joint 21 so that the stylus 22 faces upward,
A case will be described in which the shape of the upper surface of the inner wall of the horizontal hole of the object to be measured 23 is measured. When measuring with the stylus 22 facing upward, an upward biasing force is applied to the stylus 22, contrary to the above, and the object to be measured is
It is necessary to perform measurements while in contact with a predetermined relatively small contact force. For this purpose, it is possible to adjust by moving the balance weight 44,
When the stylus 22 is returned to its original position and directed downward, the balance weight 44 must be moved again for adjustment, which is cumbersome. Therefore, in order to apply an upward biasing force to the stylus 22 without moving the balance weight 44, a rotating body 57 rotated by the knob 62 and a coil spring 59 are provided. That is, when the rotating body 57 is positioned as shown by the broken line in FIG. No urging force is added. On the other hand, when the knob 62 is rotated and the rotating body 57 is moved to the position shown by the chain line in FIG. A tensile force acts. Therefore, the screw shaft 38 is biased clockwise around the fulcrum shaft 33, and the arm 6
is also biased clockwise. If the biasing force of the coil spring 59 is appropriately selected, a predetermined upward biasing force can be applied to the stylus 22 without moving the balance weight 44, and the upper surface of the inner wall of the horizontal hole of the object to be measured 23 can be measured. can.

上述なような本実施例によれば、アーム6は、
スタイラス22が基準線P上にあるとき、すなわ
ちアーム6の基準位置時に、少なくともアーム回
動支点と連結リンク78の固定支点との間の部分
の軸心が、ほぼ基準線P上にあるように設けられ
ているため、アーム6に曲げモーメントなどの無
理の力が加わることが少なく、従つてアーム6に
歪等の発生が少なくなつて測定誤差が少なくでき
る。また、アーム6及びその関連部品がアーム基
準位置においてほぼ基準線上にあるため誤差の累
積を少なくできる。また、円弧誤差補正機構とし
て円筒状の連結リンク78を用い、この連結リン
ク78内を貫通してアーム6を通すようにしたか
ら、装置を小型化できる。さらに連結リンク78
は比較的薄肉に構成されているから、ベアリング
76,80とピボツト77,79とを組付けるに
際し、ベアリング76,80を少し余分にピボツ
ト77,79側に追込んでおけば、その分連結リ
ンク78がたわみ、長時間の使用時に発生するベ
アリング76,80とピボツト77,79との間
の間隙(ガタ)を前記連結リンク78のたわみが
吸収し、長期間に使用においてもガタを発生する
ことがない。また、コア70を第2のアーム20
の外周にブラケツト71を介して固定的に取付け
ているから、コア70の取付け構造を簡単にでき
るとともに、アーム6の移動を正確に伝達でき
る。前記スタイラス22の保護機構および円弧誤
差補正機構を設けたことによる第1,第2のアー
ム18,20の軸方向の移動に追随するために、
ベアリング35とニードル36とで支点軸33を
介してアーム6を支持するようにしたから、両者
の接触が点接触となり、動きがスムーズになると
ともに、ベアリング35の接触する平滑な真直案
内面をニードル36により安価に提供できる。さ
らに、この支点軸33の移動は、アーム6、バラ
ンサウエイト44等の重量によつてベアリング3
5がニードル36に当接した状態でなされるもの
であるから、支点軸33は低摩擦で移動させるこ
とができるとともに、支点軸33の移動によつて
もアーム6の高さは不変であり、円弧誤差の補正
がより正確にでき、さらにアームをリンクを十字
ばねなどで吊下げた構造の従来のものに比べて構
造を簡単かつコンパクトにできる。また、節度機
構64により位置決めされる回転体57およびこ
の回転体57に一端を連結されたコイルばね59
を設け、回転体57をつまみ62で回転させうる
ようにしたから、バランサウエイト44を調整す
ることなく、簡単にスタイラス22への測定力の
付勢方向を切換えることができる。
According to this embodiment as described above, the arm 6 is
When the stylus 22 is on the reference line P, that is, when the arm 6 is at the reference position, the axis of at least the portion between the arm rotation fulcrum and the fixed fulcrum of the connecting link 78 is approximately on the reference line P. Because of this provision, unreasonable forces such as bending moments are less likely to be applied to the arm 6, and therefore distortion and the like are less likely to occur in the arm 6, reducing measurement errors. Further, since the arm 6 and its related parts are substantially on the reference line at the arm reference position, the accumulation of errors can be reduced. Further, since the cylindrical connecting link 78 is used as the arc error correction mechanism and the arm 6 is passed through the connecting link 78, the device can be made smaller. Furthermore, the connecting link 78
are relatively thin, so when assembling the bearings 76, 80 and the pivots 77, 79, if you push the bearings 76, 80 a little more toward the pivots 77, 79, the connection link 78 is deflected, and the deflection of the connecting link 78 absorbs the gap (play) between the bearings 76, 80 and the pivots 77, 79 that occurs during long-term use, so that no play occurs even during long-term use. There is no. In addition, the core 70 is connected to the second arm 20
Since it is fixedly attached to the outer periphery of the core 70 via the bracket 71, the structure for attaching the core 70 can be simplified, and the movement of the arm 6 can be accurately transmitted. In order to follow the axial movement of the first and second arms 18 and 20 due to the provision of the stylus 22 protection mechanism and circular arc error correction mechanism,
Since the arm 6 is supported by the bearing 35 and the needle 36 via the fulcrum shaft 33, the contact between the two becomes a point contact, and the movement is smooth. 36, it can be provided at low cost. Furthermore, the movement of this fulcrum shaft 33 is caused by the weight of the arm 6, balancer weight 44, etc.
5 is in contact with the needle 36, the fulcrum shaft 33 can be moved with low friction, and the height of the arm 6 remains unchanged even when the fulcrum shaft 33 moves. The arc error can be corrected more accurately, and the structure can be made simpler and more compact than the conventional structure in which the arm is suspended from a link using a cross spring or the like. Also, a rotating body 57 positioned by the moderation mechanism 64 and a coil spring 59 connected at one end to the rotating body 57.
Since the rotating body 57 can be rotated by the knob 62, the direction of applying the measuring force to the stylus 22 can be easily switched without adjusting the balance weight 44.

なお、実施にあたり、スタイラス22の折損防
止機構を設けない場合は、アーム6は一本のアー
ムでよい。また、連結リンク78は前記実施例の
ように断面環状のものに限らず、環の一側面が開
口された断面U字状のものでもよく、この場合は
貫通孔82は貫通溝となる。さらに、連結リンク
78はアーム6の両側に1本づつとなるように分
割し、アーム6の回動面の側方位置で支持するよ
うにしてもよい。要するに連結リンク78は、ア
ーム6がほぼ直線状で通過できるものであればよ
い。また、前記実施例においては、アーム6の支
持は、支点軸33を介して各2個のベアリング3
5とニードル36とにより行なつたが、本考案は
これに限定されるものではなく、ベアリング35
及びニードル36を省略し、アーム支持体13に
一体の突条をアーム6の軸方向に一対設け、この
突状の上面を平滑な真直面に任上げるとともに、
この突条で直接支点軸33を支持するようにして
もよい。
In addition, in the case where a breakage prevention mechanism for the stylus 22 is not provided, a single arm 6 may be used. Further, the connecting link 78 is not limited to a ring-shaped cross section as in the embodiment described above, but may be a U-shaped cross-section with one side of the ring open. In this case, the through hole 82 becomes a through groove. Further, the connecting link 78 may be divided into two pieces, one on each side of the arm 6, and supported at a side position of the rotation surface of the arm 6. In short, the connecting link 78 only needs to be one that allows the arm 6 to pass through in a substantially straight line. Further, in the embodiment described above, the arm 6 is supported by two bearings 3 each via the fulcrum shaft 33.
5 and the needle 36, but the present invention is not limited to this, and the bearing 35
and the needle 36 is omitted, a pair of integral protrusions are provided on the arm support 13 in the axial direction of the arm 6, and the upper surface of the protrusion is turned into a smooth straight surface.
The fulcrum shaft 33 may be directly supported by this protrusion.

上述のように本考案によれば、簡単な機構で円
弧誤差を補正でき、かつ、アームに無理の力が加
わらない形状測定器を提供できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a shape measuring instrument that can correct arc errors with a simple mechanism and that does not apply excessive force to the arm.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本考案に係る形状測定器の一実施例の
全体構造を示す正面図、第2図は第1図の要部の
拡大断面図、第3図は第2図の−線矢視断面
図、第4図は第2図のほぼアーム軸線に沿つた断
面図、第5図ないし第7図はそれぞれ第2図の
−,−,−線矢視断面図、第8図は第
2図の連結リンクの斜視図である。 5……Y方向検出機構部、6……アーム、13
……アーム支持体、22……スタイラス、23…
…被測定物、33……アーム回動支点としての支
点軸、35……ベアリング、36……真直案内面
を構成するニードル、69……差動トランス、7
5……支持リンク、78……連結リンク、79…
…固定支点としてのピボツト、82……貫通孔、
P……基準線。
Fig. 1 is a front view showing the overall structure of an embodiment of the shape measuring instrument according to the present invention, Fig. 2 is an enlarged sectional view of the main part of Fig. 1, and Fig. 3 is a view taken from the - line arrow in Fig. 2. 4 is a sectional view taken approximately along the axis of the arm in FIG. 2, FIGS. FIG. 3 is a perspective view of the connecting link shown in the figure. 5... Y direction detection mechanism section, 6... Arm, 13
...Arm support, 22...Stylus, 23...
...Object to be measured, 33...Fully shaft as arm rotation fulcrum, 35...Bearing, 36...Needle forming straight guide surface, 69...Differential transformer, 7
5...Support link, 78...Connection link, 79...
...Pivot as a fixed fulcrum, 82...Through hole,
P...Reference line.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一端部にスタイラスを有するアームと、この
アームの他端部近傍をアーム支持体に対し回動
自在に支持するとともにアーム支持体の送り方
向と平行な方向に移動可能にされたアーム回動
支点と、一端を前記アームに回動自在に支持さ
れるとともに他端をアームの回動面の側方位置
においてアーム支持体に固定支点で回動可能に
支持された連結リンクとを具備した形状側定器
において、前記スタイラス先端がアーム回動支
点と連結リンクの固定支点とを含む基準線上に
位置するとき、少なくともアーム回動支点と連
結リンクの固定支点との間に位置する部分のア
ームの軸心が前記基準線にほぼ一致して設けら
れているとともに、前記アーム回動支点は、ア
ーム支持体に設けられた真直案内面に当接しな
がらアーム支持体の送り方向と平行な方向に移
動可能に設けられていることを特徴とする形状
測定器。 (2) 前記実用新案登録請求の範囲第1項におい
て、前記連結リンクは、アームが挿通可能な貫
通孔もしくは貫通溝を有し、この貫通孔もしく
は貫通溝を通過してアームが外部に延長された
ことを特徴とする形状測定器。
[Claims for Utility Model Registration] (1) An arm having a stylus at one end, and a portion near the other end of this arm that is rotatably supported on an arm support and in a direction parallel to the feeding direction of the arm support. an arm rotation fulcrum that is movable, one end of which is rotatably supported by the arm, and the other end of which is rotatably supported by a fulcrum fixed to an arm support at a position lateral to the rotation surface of the arm; When the stylus tip is located on a reference line that includes an arm rotation fulcrum and a fixed fulcrum of the connection link, at least the arm rotation fulcrum and the fixed fulcrum of the connection link are connected. The axial center of the arm of the portion located between the arms is provided so as to substantially coincide with the reference line, and the arm rotation fulcrum is in contact with the straight guide surface provided on the arm support while moving the arm support. A shape measuring device characterized in that it is provided movably in a direction parallel to the feeding direction of the shape measuring device. (2) In claim 1 of the utility model registration claim, the connecting link has a through hole or a through groove through which the arm can be inserted, and the arm is extended to the outside by passing through the through hole or through groove. A shape measuring instrument characterized by:
JP14564479U 1979-10-20 1979-10-20 Expired JPS6120485Y2 (en)

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