JPS62245951A - Disk measuring instrument - Google Patents

Disk measuring instrument

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JPS62245951A
JPS62245951A JP8944986A JP8944986A JPS62245951A JP S62245951 A JPS62245951 A JP S62245951A JP 8944986 A JP8944986 A JP 8944986A JP 8944986 A JP8944986 A JP 8944986A JP S62245951 A JPS62245951 A JP S62245951A
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JP
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light
disk
value
receiving element
beam splitter
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Yoshihiro Uchiumi
喜洋 内海
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Pioneer Electronic Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9506Optical discs

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify the constitution of an instrument and to reduce its cost by splitting light transmitted through a desk, and photodetecting the split light beams and finding the value of the double refraction. CONSTITUTION:Light from a light source 11 passes through an objective 14 and is transmitted through the disk 3 and converged on a specific convergence point 10. Then, the light becomes parallel light through an objective 15 and is split by a beam splitter 17 into parallel beams. One light beam split by the beam splitter 17 is incident on the 1st photodetecting element 18, and the other light beam is incident on the 2nd photodetecting element 19. The output signal st of the element 18 and the output signal sr of the element 19 are inputted to an arithmetic circuit 22 through amplifiers 20 and 21. The value of double refraction of the disk is calculated by the circuit 22 from the two input signals, so the double refraction is measured in a short time not only in the radial and tangential directions of the disk 3, but also in the optical-axis direction. This measurement system eliminates the need for an automatic focusing mechanism and does not require any swing and tilt mechanism, etc., unlike a system wherein the parallel light is made incident slantingly on the disk, so the constitution is simple and the cost is reducible.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学的に情報を記録再生するディスクの測定装
置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a measuring device for a disc that optically records and reproduces information.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明においては光源より発せられた光がディスク外に
おいて収束するようになされ、ディスクを透過した光を
受光して、ディスクの複屈折に関する値が演算される。
In the present invention, light emitted from a light source is converged outside the disk, and a value related to the birefringence of the disk is calculated by receiving the light that has passed through the disk.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年コンパクトディスク、光学式ビデオディスク、光デ
ィスク等、光学的に情報を記録再生するディスクが普及
しつつある。斯かるディスクから情報を再生する場合、
レーザ光等の光をディスクに照射して、その反射光又は
透過光の変化を読み取る必要がある。従ってディスクを
構成する基盤自体に例えば複屈折の変化があると戻り光
が減少し、再生信号のS/Nが劣化することになる。そ
こでディスクとしてはできるだけ複屈折の変化が少ない
ものを用いる必要がある。
In recent years, disks that optically record and reproduce information, such as compact disks, optical video disks, and optical disks, have become popular. When reproducing information from such a disc,
It is necessary to irradiate the disk with light such as a laser beam and read changes in the reflected or transmitted light. Therefore, if there is a change in birefringence, for example, in the substrate that constitutes the disk, the amount of returned light will decrease and the S/N of the reproduced signal will deteriorate. Therefore, it is necessary to use a disk with as little change in birefringence as possible.

従来斯かる複屈折の変化はディスクに平行光を照射して
測定するようにしていた。
Conventionally, such changes in birefringence have been measured by irradiating the disk with parallel light.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来のディスク測定装置はこのように平行光を用いてい
るので、特に光軸方向の複屈折の変化を測定することが
できない欠点があった。また複屈折率には方向性がある
ところから、ディスクのラジアル方向及びタンジェンシ
ャル方向の変化を測定するために光の照射方向を変化さ
せなければならず、装置が複雑かつ高価になるばかりで
なく、測定にも時間がかかる欠点があった。
Since conventional disk measuring devices use parallel light in this way, they have the disadvantage that they cannot measure changes in birefringence, especially in the optical axis direction. Furthermore, since birefringence has directionality, it is necessary to change the direction of light irradiation in order to measure changes in the radial and tangential directions of the disk, which not only makes the device complicated and expensive. However, it also had the disadvantage of taking a long time to measure.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

光源と、光源より発せられた光を所定の収束点に収束さ
せる対物レンズと、収束点から離間した位置でディスク
を支持するターンテーブルと、光源より発せられ、対物
レンズを介してディスクに照射され、ディスクを透過し
た光を少なくとも2つに分割するビームスプリッタと、
ビームスプリッタにより分割された一方の光を受光する
第1の受光素子と、他方の光を受光する第2の受光素子
と、第1の受光素子の出力と第2の受光素子の出力から
、ディスクの複屈折に関する値を演算する演算回路とを
備えることを特徴とする。
A light source, an objective lens that converges the light emitted from the light source to a predetermined convergence point, a turntable that supports the disc at a position apart from the convergence point, and a light source that is emitted from the light source and irradiated onto the disc via the objective lens. , a beam splitter that splits the light transmitted through the disk into at least two parts;
A first light receiving element receives one of the lights split by the beam splitter, a second light receiving element receives the other light, and a disc is detected from the output of the first light receiving element and the output of the second light receiving element. and an arithmetic circuit that calculates a value related to birefringence.

〔作用〕[Effect]

回転されているディスクに対して光源より発せられた光
がディスク記録面近傍において収束するように照射され
る。ディスクを透過した光がビームスプリッタにより分
割され、分割された客先を受光する受光素子の出力から
、複屈折に関する値が演算される。
Light emitted from a light source is irradiated onto a rotating disk so as to converge near the recording surface of the disk. The light transmitted through the disk is split by a beam splitter, and a value related to birefringence is calculated from the output of a light receiving element that receives the split light.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明のディスク測定装置のブロック図である
。同図において1はモータであり、ターンテーブル2を
回転する。3はディスクであり、ターンテーブル2上に
載置され、クランパ4により所定の圧力でクランプされ
る。従ってディスク3はターンテーブル2により支持1
回転される。
FIG. 1 is a block diagram of a disc measuring device according to the present invention. In the figure, reference numeral 1 denotes a motor, which rotates a turntable 2. As shown in FIG. A disk 3 is placed on the turntable 2 and clamped by a clamper 4 at a predetermined pressure. Therefore, the disc 3 is supported by the turntable 2.
be rotated.

半導体レーザ等の光源11より発せられた発散光はコリ
メータレンズ12により平行光とされ、1/4波長板等
の波長板13に入力される。光源11より発せられた光
は直線偏光であるが、波長板13により円偏光となる。
Divergent light emitted from a light source 11 such as a semiconductor laser is made into parallel light by a collimator lens 12, and is input to a wavelength plate 13 such as a quarter-wave plate. The light emitted from the light source 11 is linearly polarized light, but it is turned into circularly polarized light by the wavelength plate 13.

この光は対物レンズ14により収束点10に収束され、
収束点1oを通過した光はそこから発散する。ディスク
3は収束点10から離間した位置で回転するように配置
されている。換言すれば対物レンズ14はディスク3の
記録面近傍で光を収束させる(所謂デフォーカス状態で
あってもよい)、この点通常の情報記録再生装置におい
て光をディスク上に収束させるようになされているのと
大いに異なっている。
This light is converged to a convergence point 10 by an objective lens 14,
The light that has passed through the convergence point 1o diverges from there. The disk 3 is arranged to rotate at a position spaced apart from the convergence point 10. In other words, the objective lens 14 converges the light near the recording surface of the disc 3 (it may be in a so-called defocused state); in this respect, it is designed to converge the light onto the disc in a normal information recording/reproducing device. It's very different from what it is.

またこのことは所謂フォーカスサーボ装置が不要である
ことをも意味する。
This also means that a so-called focus servo device is not necessary.

対物レンズ14を介してディスク3に照射され、ディス
ク3を透過した光は対物レンズ15により再び平行光と
される。この平行光は1/4波長板等の波長板16に入
射され、再び直線偏光に戻される。この直線偏光は分割
され、その偏光面が偏光ビームスプリッタ17の人的面
と一致する成分がビームスプリッタ17を透過して受光
素子18に入射し、一致しない成分がビームスプリッタ
17により反射され、受光素子19に入射する。受光素
子18の出力信号Stと受光素子19の出力信号Srは
、各々増幅器20.21により増幅され、演算回路22
に入力される。演算回路22は2つの入力信号から複屈
折に関する値を演算する。
The light irradiated onto the disk 3 through the objective lens 14 and transmitted through the disk 3 is converted into parallel light again by the objective lens 15. This parallel light is incident on a wavelength plate 16 such as a quarter-wave plate, and is returned to linearly polarized light. This linearly polarized light is split, and a component whose polarization plane matches the human plane of the polarizing beam splitter 17 passes through the beam splitter 17 and enters the light receiving element 18, and a component that does not match is reflected by the beam splitter 17 and is received. incident on element 19. The output signal St of the light receiving element 18 and the output signal Sr of the light receiving element 19 are each amplified by an amplifier 20.
is input. The calculation circuit 22 calculates a value related to birefringence from two input signals.

すなわち信号St / (Sr +St )の値を求め
る。
That is, the value of the signal St/(Sr+St) is determined.

この演算値に対応した信号は比較回路23に入力され、
予め設定された所定の基準値と比較され。
A signal corresponding to this calculated value is input to the comparator circuit 23,
It is compared with a predetermined reference value set in advance.

その比較結果が判定回路26に入力される。The comparison result is input to the determination circuit 26.

−力演算値に対応した信号はさらに演算回路24にも入
力される。演算回路24はこの演算値を微分し、その微
分値に対応した信号を比較回路25に出力する。比較回
路25はこの微分値に対応した信号を予め設定した所定
の基準値と比較し。
- A signal corresponding to the force calculation value is further input to the calculation circuit 24. The arithmetic circuit 24 differentiates this calculated value and outputs a signal corresponding to the differentiated value to the comparator circuit 25. The comparison circuit 25 compares the signal corresponding to this differential value with a predetermined reference value set in advance.

その比較結果を判定回路26に出力する。    ′判
定回路26は演算値が基準値以下であり、かつ微分値も
基準値以下であるときそのディスク3を合格とし、いず
れか一方又は両方が基準値より大きいときはそのディス
ク3を不合格とし、合否を表示装置27に表示させる。
The comparison result is output to the determination circuit 26. 'The judgment circuit 26 determines that the disc 3 passes when the calculated value is less than the reference value and the differential value is also less than the reference value, and rejects the disc 3 when either or both of them are greater than the reference value. , pass/fail is displayed on the display device 27.

割算値が基準値以下であるということは絶対的な複屈折
量が所定値以下であることを意味する。しかしながら絶
対址が満足されるものであったとしても、その時間変動
が大きい場合それが再生信号のS/Nに悪影響を与える
。そこで微分値をも測定し1時間的変動量も所定の基準
値以下であるとき始めてそのディスク(基盤)3を合格
とする。このため後述するようにディスクは回転される
The division value being less than or equal to the reference value means that the absolute amount of birefringence is less than or equal to the predetermined value. However, even if the absolute value is satisfied, if the time variation is large, it will adversely affect the S/N of the reproduced signal. Therefore, the differential value is also measured, and the disk (substrate) 3 is passed only when the hourly variation is also less than a predetermined reference value. For this reason, the disk is rotated as will be described later.

複屈折は方向性を有するが、ディスク3に入射する光は
平行光ではなく、対物レンズ14により収束光とされて
いるので光軸方向の測定が可能となる。さらにディスク
3に入射する光が直線偏光ではなく、波長板13により
円偏光とされているのでディスク3のラジアル方向とタ
ンジェンシャル方向の1llI!!定が可能となる。複
屈折が存在するとそれにより円偏光は楕円偏光となるの
で、受光部28側の波長板16を省略しても、原理的に
は測定が可能である。しかしながら省略すると測定の感
度が低下するので装備するのが好ましい。
Birefringence has directionality, but since the light incident on the disk 3 is not parallel light but convergent light by the objective lens 14, measurement in the optical axis direction is possible. Furthermore, since the light incident on the disk 3 is not linearly polarized but circularly polarized by the wave plate 13, 1llI! of the radial and tangential directions of the disk 3! ! It becomes possible to If birefringence exists, circularly polarized light becomes elliptically polarized light, so measurement is possible in principle even if the wavelength plate 16 on the light receiving section 28 side is omitted. However, if it is omitted, the measurement sensitivity will decrease, so it is preferable to include it.

また受光部28を固定した場合受光部28(波振板16
及びビームスプリッタ17)の方位により測定値が影響
され、ディスク3の複屈折異方性軸の面内方位角の変動
を測定することができない。
In addition, when the light receiving section 28 is fixed, the light receiving section 28 (wave plate 16
The measurement value is affected by the orientation of the beam splitter 17) and the in-plane azimuth of the birefringence anisotropy axis of the disk 3 cannot be measured.

そこで受光部28(波長板16及びビームスピリツタ1
7の方位角)をモータ29若しくは手mJにより±90
度回転させる。そして回転して得られる割算値及び微分
値のうち最悪の値(最大値)をそのディスク3の測定値
とする。
Therefore, the light receiving section 28 (wave plate 16 and beam spiriter 1)
7 azimuth) by motor 29 or hand mJ
Rotate degrees. Then, the worst value (maximum value) of the division value and differential value obtained by rotation is taken as the measured value of the disk 3.

さらにディスク3の全体の複屈折を測定するため1発光
部30と受光部28は一体的にディスク3のラジアル方
向に図示せぬ手段により移送される。ディスク3がCL
Vディスクであるとき1発光部30(受光部28)のラ
ジアル方向の位置が、例えばポテンショメータ等よりな
る位置検出回路31により検出され、その位置に対応し
た信号がスイッチ32を介して駆動回路33に入力され
る。
Further, in order to measure the birefringence of the entire disk 3, the light emitting section 30 and the light receiving section 28 are integrally transported in the radial direction of the disk 3 by means not shown. Disk 3 is CL
When the disc is a V-disc, the radial position of the light emitting section 30 (light receiving section 28) is detected by a position detection circuit 31 made of, for example, a potentiometer, and a signal corresponding to the position is sent to the drive circuit 33 via the switch 32. is input.

その結果駆動回路33はモータ1を制御し、発光部30
がディスク3の外周に行く程回転を遅くし、ディスク3
の線速度が略一定となるようにする。
As a result, the drive circuit 33 controls the motor 1 and the light emitting unit 30
The closer to the outer periphery of disk 3, the slower the rotation becomes.
so that the linear velocity of is approximately constant.

またCAVディスクである場合、スイッチ32は基準信
号発生回路34側に切り換えられ、基準信号発生回路3
4とが出力する基準信号に対応してディスク3は略一定
の角速度で回転される。このようにしてディスク3は情
報を記録再生する場合の速度と略同−の速度で回転され
る。発光部3゜をラジアル方向に移動した場合において
も、そのとき得られる割算値、微分値のうち最も悪い値
が合否の基準とされる。
Further, in the case of a CAV disc, the switch 32 is switched to the reference signal generation circuit 34 side, and the reference signal generation circuit 34
The disk 3 is rotated at a substantially constant angular velocity in response to the reference signal outputted by the disk 4. In this way, the disk 3 is rotated at approximately the same speed as the speed at which information is recorded and reproduced. Even when the light emitting part 3° is moved in the radial direction, the worst value among the division value and differential value obtained at that time is used as the criterion for pass/fail.

この装置の各構成部品としてどのような特性のものを用
いるかは、所望する測定精度により異なるが、光源1と
しては例えば波長が830nmの半導体レーザを用いる
ことができる。その誤差は小さい程好ましい。またでき
るだけ直線偏光性の良好なものが好ましい。対物レンズ
14は、ディスク3に情報を記録再生するピックアップ
に用いられるものと同一のものとするのが好ましく、例
えばその開口数(NA)は0.5乃至0.55のものを
用いることができる。ディスク3上におけるビームの直
径りは例えば1mm乃至2 m mとする。対物レンズ
15の開口数は対物レンズ14の開口数以上(例えば0
.6)とするのが好ましい。
The characteristics of each component of this device will vary depending on the desired measurement accuracy, but as the light source 1, for example, a semiconductor laser with a wavelength of 830 nm can be used. The smaller the error, the better. Further, it is preferable to use a material having as good linear polarization as possible. The objective lens 14 is preferably the same as that used in a pickup for recording and reproducing information on the disk 3, and for example, one having a numerical aperture (NA) of 0.5 to 0.55 can be used. . The diameter of the beam on the disk 3 is, for example, 1 mm to 2 mm. The numerical aperture of the objective lens 15 is greater than or equal to the numerical aperture of the objective lens 14 (for example, 0
.. 6) is preferable.

波長板13.16のレタデーション誤差及びビームスプ
リッタ17の消光比は小さい方が好ましい。
It is preferable that the retardation error of the wave plates 13, 16 and the extinction ratio of the beam splitter 17 are small.

またクランパ4のクランプ力はあまり強いと複屈折が増
加するので所定の値(情報記録再生装置における場合と
同一の値)に設定する。
Further, if the clamping force of the clamper 4 is too strong, birefringence will increase, so it is set to a predetermined value (the same value as in the information recording/reproducing apparatus).

偏光方位と異方性軸方位との相対角度の関係があるから
、直線偏光による測定から円偏光における全ての影響を
検出することは極めて困難であるが、逆に円偏光による
測定から直線偏光における影響を推測することは可能で
ある。そこで本発明は光磁気ディスクの測定にも応用が
可能である。
Because of the relationship between the relative angle between the polarization direction and the anisotropy axis direction, it is extremely difficult to detect all effects in circularly polarized light from measurements using linearly polarized light. It is possible to estimate the impact. Therefore, the present invention can also be applied to measurement of magneto-optical disks.

尚所定の点における値を測定する場合はディスク3を回
転せず、停止させてもよい。また必要に応じ、演算回路
22.24の出力をそのまま利用することもできるし、
位置検出回路31の出力と対応させて各ラジアル位置に
おける測定値を記憶するようにしてもよい。
Note that when measuring the value at a predetermined point, the disk 3 may be stopped without rotating. Also, if necessary, the outputs of the arithmetic circuits 22 and 24 can be used as they are,
Measured values at each radial position may be stored in correspondence with the output of the position detection circuit 31.

〔効果〕〔effect〕

以上の如く本発明は光源と、光源より発せられた光を所
定の収束点に収束させる対物レンズと。
As described above, the present invention includes a light source and an objective lens that converges the light emitted from the light source to a predetermined convergence point.

収束点から離間した位置でディスクを支持するターンテ
ーブルと、光源より発せられ、対物レンズを介してディ
スクに照射され、ディスクを透過した光を少なくとも2
つに分割するビームスプリッタと、ビームスプリッタに
より分割された一方の光を受光する第1の受光素子と、
他方の光を受光する第2の受光素子と、第1の受光素子
の出力と第2の受光素子の出力から、ディスクの複屈折
の値を演算する演算回路とを鍔えるようにしたので、デ
ィスクのラジアル方向及びタンジェンシャル方向はもと
より、光軸方向の複屈折も短時間で測定することができ
る。また光源へのバックトークの影響もないので安定し
た測定ができる。さらにオートフォーカス機構が不要と
なり、また平行光をディスクに斜めに入射させるような
方式に較べ。
A turntable that supports the disc at a position spaced from the convergence point, and at least two lights that are emitted from a light source, irradiated onto the disc via an objective lens, and transmitted through the disc.
a beam splitter that splits the light into two; a first light receiving element that receives one of the lights split by the beam splitter;
Since the second light receiving element that receives the other light and the arithmetic circuit that calculates the value of birefringence of the disc from the output of the first light receiving element and the output of the second light receiving element are provided, Birefringence not only in the radial and tangential directions of the disk but also in the optical axis direction can be measured in a short time. In addition, there is no backtalk effect on the light source, so stable measurements can be made. Furthermore, there is no need for an autofocus mechanism, compared to methods that make parallel light incident on the disc obliquely.

その仰り機構等を必要としないから、構成を簡単にし、
コストを低くすることができる。
Since the lifting mechanism etc. is not required, the configuration is simplified,
Cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明のディスク測定装置のブロック図である
。 1・・・モータ 2・・・ターンテーブル 3・・・ディスク 4・・・クランパ 10・・・収束点 11・・・光源 12・・・コリメータレンズ 13・・・波長板 14.15・・・対物レンズ 16・・・波長板 17・・・ビームスプリッタ 18.19・・・受光素子 22・・・演算回路 23・・・比較回路 24・・・演算回路 25・・・比較回路 26・・・判定回路 27・・・表示装置 28・・・受光部 29・・ ・モータ 30・・・発光部 31・・・位置検出回路 33・・・駆動回路 34・・・基準信号発生回路 以上
FIG. 1 is a block diagram of a disc measuring device according to the present invention. 1... Motor 2... Turntable 3... Disk 4... Clamper 10... Convergence point 11... Light source 12... Collimator lens 13... Wave plate 14.15... Objective lens 16...Wave plate 17...Beam splitter 18.19...Light receiving element 22...Arithmetic circuit 23...Comparison circuit 24...Arithmetic circuit 25...Comparison circuit 26... Judgment circuit 27...Display device 28...Light receiving section 29...Motor 30...Light emitting section 31...Position detection circuit 33...Drive circuit 34...Reference signal generation circuit or higher

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 光源と、該光源より発せられた光を所定の収束点に収束
させる対物レンズと、該収束点から離間した位置でディ
スクを支持するターンテーブルと、該光源より発せられ
、該対物レンズを介して該ディスクに照射され、該ディ
スクを透過した該光を少なくとも2つに分割するビーム
スプリッタと、該ビームスプリッタにより分割された一
方の該光を受光する第1の受光素子と、他方の該光を受
光する第2の受光素子と、該第1の受光素子の出力と該
第2の受光素子の出力から、該ディスクの複屈折に関す
る値を演算する演算回路とを備えることを特徴とするデ
ィスク測定装置。
a light source, an objective lens that converges the light emitted from the light source to a predetermined convergence point, a turntable that supports a disk at a position apart from the convergence point; a beam splitter that splits the light irradiated onto the disk and transmitted through the disk into at least two; a first light-receiving element that receives one of the lights split by the beam splitter; and a first light-receiving element that receives the other light. Disk measurement characterized by comprising a second light receiving element that receives light, and an arithmetic circuit that calculates a value related to birefringence of the disc from the output of the first light receiving element and the output of the second light receiving element. Device.
JP8944986A 1986-04-18 1986-04-18 Disk measuring instrument Granted JPS62245951A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8944986A JPS62245951A (en) 1986-04-18 1986-04-18 Disk measuring instrument

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8944986A JPS62245951A (en) 1986-04-18 1986-04-18 Disk measuring instrument

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62245951A true JPS62245951A (en) 1987-10-27
JPH0569374B2 JPH0569374B2 (en) 1993-09-30

Family

ID=13970994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8944986A Granted JPS62245951A (en) 1986-04-18 1986-04-18 Disk measuring instrument

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62245951A (en)

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