JPS6224154A - Acceleration sensor - Google Patents

Acceleration sensor

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Publication number
JPS6224154A
JPS6224154A JP16293485A JP16293485A JPS6224154A JP S6224154 A JPS6224154 A JP S6224154A JP 16293485 A JP16293485 A JP 16293485A JP 16293485 A JP16293485 A JP 16293485A JP S6224154 A JPS6224154 A JP S6224154A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramics
diaphragm
substrate
electrode
electric
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16293485A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shogo Asano
浅野 勝吾
Juhei Takahashi
寿平 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP16293485A priority Critical patent/JPS6224154A/en
Publication of JPS6224154A publication Critical patent/JPS6224154A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the number of power sources to one while facilitating the use thereof, by fixing a piezo-electric ceramics on a diaphragm to form a center fixed type piezo-electric disc while it is supported at the center thereof. CONSTITUTION:The acceleration generated in an automobile is transmitted to a diaphragm 4 through a substrate 4 to deflect it. A piezo-electric ceramics 7 deflects together with the diaphragm 4 to generate double distortions due to tension and compression. An electric charge proportional to the distortion is generated in the ceramics 7 and the electric charge gathered to an electrode on the top surface thereof is introduced to a circuit section of a printed circuit board 9 with a lead 8. Moreover, the impedance of the ceramics 7 is converted with a impedance conversion circuit from the high to low level. Then, after the removal of unnecessary frequency components with a filter circuit, the charge is outputted to a receiving circuit at an output leader line 11. On the other hand, the electric charge gathered on an electrode on the undersurface of the ceramics is led in the order of the electrode, the diaphragm 4, the substrate 3, an housing 14 and an earth pattern of a substrate 9 to reach a shielding wire 13. The circuit section of the substrate 9 is driven by a power fed from a power source supply line 12.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、内燃機関で走る車等の加速度を検出または測
定する加速度センサに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to an acceleration sensor that detects or measures the acceleration of a vehicle or the like that runs on an internal combustion engine.

(従来の技術) 従来、この種の加速度センサには圧電形加速度センサが
用いられるのが一般で、加速度検出で必要な周波数が0
.2&ないし200Hzと低いため、インピーダンス変
換回路を備えている。
(Prior art) Conventionally, piezoelectric acceleration sensors are generally used as this type of acceleration sensor, and the frequency required for acceleration detection is 0.
.. Since it has a low frequency of 2 to 200 Hz, it is equipped with an impedance conversion circuit.

このような従来の加速度センサについて、第3図および
第4図により説明する。第3図は従来の加速度センサに
使用されるrtセラミックス1で中央部にコの字形のス
リット1aを入れ片持梁を形成している。第4図は従来
の加速度センサの回路図で、従来の加速度センサは、第
3図に示した片持梁状の圧電セラミックス1と、圧電セ
ラミックス1のインピーダンスを小さな抵抗値に変換す
るインピーダンス変換回路2とから構成されている。
Such a conventional acceleration sensor will be explained with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 shows an RT ceramic 1 used in a conventional acceleration sensor, which has a U-shaped slit 1a in the center to form a cantilever beam. Figure 4 is a circuit diagram of a conventional acceleration sensor.The conventional acceleration sensor consists of the cantilever-shaped piezoelectric ceramic 1 shown in Figure 3 and an impedance conversion circuit that converts the impedance of the piezoelectric ceramic 1 into a small resistance value. It is composed of 2.

このような構成の加速度センサの動作とともにインピー
ダンス変換回路2の構成内容について説明する。
The operation of the acceleration sensor having such a configuration as well as the configuration of the impedance conversion circuit 2 will be explained.

片持梁の圧電セラミックス1を固定している筐体(図示
せず)に加速度が加わると、圧電セラミックス1が撓み
加速度に比例した電圧を発生する。
When acceleration is applied to a housing (not shown) that fixes the cantilevered piezoelectric ceramic 1, the piezoelectric ceramic 1 deflects and generates a voltage proportional to the acceleration.

この発生電力をそのまま出力すると圧電セラミックス1
のインピーダンスが大きいため、誘導ノイズを受けたり
、あるいは、受は回路の入力インピーダンスが小さいと
損失が大きくなり、その結果として出力電圧が小さくな
ったりして、加速度センサとして役目を果さなくなる。
If this generated power is output as it is, piezoelectric ceramics 1
Since the impedance of the receiver is large, it is subject to inductive noise, or if the input impedance of the circuit is small, the loss becomes large, and as a result, the output voltage becomes small, making it impossible to function as an acceleration sensor.

インピーダンス変換回路2は、このような現象を改善す
るもので。
The impedance conversion circuit 2 is intended to improve this phenomenon.

圧電セラミックス1の近くに配置し、加速度センサに内
蔵せしめ、低い出力インピーダンスにして出力する。
It is placed near the piezoelectric ceramic 1, built into the acceleration sensor, and outputs with low output impedance.

インピーダンス変換回路2の入力抵抗は少なくともIO
MΩ以上にする必要があるため、電界効果トランジスタ
(以下FETと記す)2aを使用しており、さらに、F
ETのラッチアップ現象をなくするために、FETの入
力に純抵抗Rを設ける必要がある。なお、この純抵抗R
により低周波側のカットオフ周波数が決定される。
The input resistance of the impedance conversion circuit 2 is at least IO
Since it is necessary to set the resistance to MΩ or more, a field effect transistor (hereinafter referred to as FET) 2a is used, and furthermore, FET is used.
In order to eliminate the latch-up phenomenon of the ET, it is necessary to provide a pure resistance R at the input of the FET. Furthermore, this pure resistance R
The cutoff frequency on the low frequency side is determined by

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、このような構成の加速度センサでは、圧
電セラミックス1の容量を大きくすることができないた
め、純抵抗Rが大きい抵抗値になるという問題があった
。例えば1片持梁状の圧電セラミックス1の容量を50
0pF、低周波側のカットオフ周波数を0.51(zと
すると、純抵抗Rの抵抗値は、R=1/2π0.5 X
 500 X 10−” = 700MΩとなり。
(Problems to be Solved by the Invention) However, in the acceleration sensor having such a configuration, since the capacitance of the piezoelectric ceramic 1 cannot be increased, there is a problem that the pure resistance R becomes a large resistance value. For example, the capacity of one cantilever-shaped piezoelectric ceramic 1 is 50
If 0 pF and the cutoff frequency on the low frequency side is 0.51 (z, then the resistance value of pure resistor R is R = 1/2π0.5
500 x 10-” = 700MΩ.

この抵抗値はプリント基板の絶縁抵抗と同程度となり、
湿気による抵抗値の低下が問題となる。
This resistance value is about the same as the insulation resistance of the printed circuit board,
The problem is that the resistance value decreases due to moisture.

また、FET入力用に動作増幅器(図示せず)を使用す
る場合は、動作増幅器用の電源と併せて2電源を必要と
する等、加速度センサとして使用し難いという問題もあ
った。
Further, when a dynamic amplifier (not shown) is used for FET input, two power supplies are required in addition to the power supply for the dynamic amplifier, which makes it difficult to use as an acceleration sensor.

本発明は上記の問題点を解決するもので、1つの電源で
済み且つ使い易い加速度センサを提供しようとするもの
である。
The present invention solves the above-mentioned problems and aims to provide an acceleration sensor that requires only one power source and is easy to use.

(問題点を解決するための手段) 上記の問題点を解決するために1本発明は、振動板に圧
電セラミックスを固着した圧電ディスク、を中心固定型
とすることによりその容量を1桁以上大きくし、上記の
圧電セラミックスのインピーダンスを1桁以上小さくす
るとともに、加速度センサの中に増幅、p波の両回路を
内蔵せしめることにより、そのまま受は回路に使えるよ
うにしたものである。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, one aspect of the present invention is to increase the capacity by one order of magnitude or more by making a piezoelectric disk, in which piezoelectric ceramics are fixed to a diaphragm, fixed at the center. However, by reducing the impedance of the piezoelectric ceramic described above by one order of magnitude or more, and by incorporating both amplification and p-wave circuits into the acceleration sensor, the receiver can be used as a circuit as is.

また、車の内部に設置し易い偏平形で、ワイヤハーネス
を横から取り出し1組立てが容易で使い易く、信頼性の
高い構造となっている。
In addition, it has a flat shape that is easy to install inside a car, and the wiring harness can be removed from the side and assembled easily, making it easy to use and highly reliable.

(作 用) 中心部を固定した振動板に圧電セラミックスを固着して
中心固定型の圧電ディスクを形成することにより、加速
度を検出する効率を向上するとともに、圧電セラミック
スのインピーダンスを大幅に小さくすることができると
ともに1回路設計が容易となり、また電源も1つで済み
、周波数範囲が広く、特に低周波側のカットオフ周波数
が低下し、湿気による影響もなくなる。
(Function) By fixing piezoelectric ceramics to a diaphragm with a fixed center to form a center-fixed piezoelectric disk, it is possible to improve the efficiency of detecting acceleration and to significantly reduce the impedance of the piezoelectric ceramics. In addition, it becomes easier to design a single circuit, requires only one power supply, has a wide frequency range, lowers the cutoff frequency especially on the low frequency side, and eliminates the effects of moisture.

また、ワイヤハーネスが横から取り出された偏平な構造
は、車の内部に設置し易く、さらに組み立て易いので信
頼性が向上する。
In addition, the flat structure in which the wire harness is taken out from the side makes it easy to install inside the vehicle and to assemble it, thereby improving reliability.

(実施例) 本発明の実施例を第1図および第2図により説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

第1図(a)、(b)および(c)はそれぞれ、本発明
による加速度センサの平面図、正面断面図および側面図
、第2図は、その要部拡大断面図である。
FIGS. 1(a), (b), and (c) are a plan view, a front sectional view, and a side view of an acceleration sensor according to the present invention, respectively, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part thereof.

第2図において、圧電ディスクは、基板3の中央部3a
の上端をに形成された溶接用環状突起3bを利用して、
中央部で基板3に溶接した振動板4と。
In FIG. 2, the piezoelectric disk is located at the central portion 3a of the substrate
By using the welding annular projection 3b formed at the upper end of
A diaphragm 4 welded to a substrate 3 at the center.

上下両面に焼付はコーティングされてプラスおよびマイ
ナスの電極5および6が形成された圧電セラミックス7
とからなり、上記の振動板4の上面と圧電セラミックス
7の下面の電極6とを接着固定したものである。
Piezoelectric ceramics 7 coated on both upper and lower surfaces to form positive and negative electrodes 5 and 6.
The upper surface of the diaphragm 4 and the electrode 6 on the lower surface of the piezoelectric ceramic 7 are fixed by adhesive.

第1図において、圧電セラミックス7の上面の電極5に
半田付は等によって接続された導線8は、プリント基板
9の回路部に接続されている。回路部は、インピーダン
ス変換、出力増幅およびp波を目的とする回路から構成
され、これにリードコードlOの出力取出し線11、電
源供給4%12およびシールド線13が接続されている
In FIG. 1, a conductive wire 8 connected to an electrode 5 on the top surface of a piezoelectric ceramic 7 by soldering or the like is connected to a circuit section of a printed circuit board 9. As shown in FIG. The circuit section is composed of a circuit for the purpose of impedance conversion, output amplification, and p-wave, to which an output line 11 of a lead cord 10, a power supply 4% 12, and a shield line 13 are connected.

基板3の上に、ハウジング14がその下端面内周縁に形
成された溶接用環状突起14aを利用して全周にわたっ
て溶接固定されている。ハウジング14の内周に設けた
段部の肩の上に配置したプリント基板9は、押えリング
15を介して、上記のハウジング14の外周面に圧入固
定したキャップ16で固定されている。
A housing 14 is welded and fixed on the entire circumference of the substrate 3 using an annular welding projection 14a formed on the inner peripheral edge of the lower end surface of the housing 14. The printed circuit board 9 placed on the shoulder of a stepped portion provided on the inner periphery of the housing 14 is fixed by a cap 16 press-fitted onto the outer periphery of the housing 14 via a retaining ring 15.

ハウジング14の上端面外周縁に形成された段部には、
0リング17を装着し、さらに、ハウジング14の側壁
に設けた上記のリードコード10の挿通孔にはシール剤
18を充填し、上記のハウジング14と基板3との全周
溶接と併わせで、圧電ディスクと回路部をそれぞれ内蔵
する空間AおよびBを完全密閉構造にしている。
The stepped portion formed on the outer periphery of the upper end surface of the housing 14 includes
The O-ring 17 is attached, and the insertion hole for the lead cord 10 provided in the side wall of the housing 14 is filled with a sealant 18, and in addition to the entire circumference welding of the housing 14 and the board 3, Spaces A and B, which house the piezoelectric disk and circuit section, respectively, have a completely sealed structure.

リードコード10は、ハウジング14から抜は落ちない
ようにハウジング14の内側でストッパ19をかしめに
よって固定し、さらに、基板3の延長部に形成されたワ
イヤハーネス部3Cをかしめて、加速度センサに固定さ
れる。
The lead cord 10 is fixed to the acceleration sensor by caulking the stopper 19 inside the housing 14 so that it does not fall out from the housing 14, and by caulking the wire harness portion 3C formed on the extension of the board 3. be done.

また、第1図(a)に示したように、本体が菱形の基板
3は、その菱形の両端部に取付は用貫通孔20が設けて
あり、第1図(C)に一点鎖線で示したように取付けね
じ21とスプリングワッシャ22によっで自動車等に取
り付けられる。
In addition, as shown in FIG. 1(a), the main body of the board 3 is diamond-shaped, and mounting through holes 20 are provided at both ends of the rhombus, which are shown by dashed lines in FIG. 1(C). It can be attached to an automobile or the like using a mounting screw 21 and a spring washer 22 as shown in FIG.

このような構成の加速度センサの動作について説明する
。自動車に加速度センサを取り付けると、自動車に発生
した加速度は、車体から基板3を介して振動板4に伝え
られ、振動板4に撓みを発生させる。振動板4に接着固
定している圧電セラミックス7が、振動板4とともに撓
んで、引張および圧縮の画歪を発生する。この歪量に比
例した電荷が圧電セラミックス7に発生し、上面の電極
5に集められた電荷は、導線8によってプリント基板9
の回路部に導かれ、インピーダンス変換回路で、圧電セ
ラミックス7の高インピーダンスが低インピーダンスに
変換され、さらに増幅回路で増幅され、次にF波回路で
不要周波数成分が取り除かれて出力取出し線11から受
入れ回路(図示せず)に出力される。一方、下面の電極
6に集められた電荷は、電極6→振動板4→基板3→ハ
ウジング14→プリント基板9のアースパターンの順に
導かれてシールド線13に至る。なお、プリント基板9
の回路部は、電源供給線12によって供給される電源で
駆動される。
The operation of the acceleration sensor having such a configuration will be explained. When an acceleration sensor is attached to a car, the acceleration generated in the car is transmitted from the car body to the diaphragm 4 via the substrate 3, causing the diaphragm 4 to bend. The piezoelectric ceramics 7 adhesively fixed to the diaphragm 4 bends together with the diaphragm 4, generating image distortion due to tension and compression. An electric charge proportional to this amount of strain is generated in the piezoelectric ceramic 7, and the electric charge collected on the upper electrode 5 is transferred to the printed circuit board 9 by the conductor 8.
The high impedance of the piezoelectric ceramic 7 is converted to low impedance by the impedance conversion circuit, and further amplified by the amplifier circuit, and then unnecessary frequency components are removed by the F-wave circuit and the output is output from the output line 11. It is output to a receiving circuit (not shown). On the other hand, the charges collected on the electrode 6 on the lower surface are led to the shield wire 13 in the order of the electrode 6 → diaphragm 4 → substrate 3 → housing 14 → the ground pattern of the printed circuit board 9. In addition, the printed circuit board 9
The circuit section is driven by the power supplied by the power supply line 12.

(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、圧電セラミック
スは、振動板に接着固定された圧電ディスクを構成し、
さらに圧電ディスクの中心部で支持する構造であるから
、圧電セラミックスの容量を7000pFと大きくする
ことができるため、−電源で駆動され、周波数帯域が低
周波の方に広い特性を有し、また、湿気によるプリント
基板の絶縁抵抗の低下が問題とならず、温度に対する安
定性の高い、優れた特性を有する加速度センサが得られ
る。
(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, piezoelectric ceramics constitute a piezoelectric disk adhesively fixed to a diaphragm,
Furthermore, since it is supported at the center of the piezoelectric disk, the capacitance of the piezoelectric ceramic can be increased to 7000 pF, so it is driven by a power supply and has a wide frequency band in the low frequency range. It is possible to obtain an acceleration sensor that has excellent characteristics, is highly stable against temperature, and does not suffer from a decrease in the insulation resistance of the printed circuit board due to moisture.

また、圧電セラミックスおよび回路部を完全に密閉した
構造で内蔵するので信頼性が高く、さらに内蔵した回路
部で増幅した上、不要周波数成分が取り除かれた大きな
出力が得られる。
In addition, the piezoelectric ceramics and circuit section are built in a completely sealed structure, making it highly reliable.Furthermore, the built-in circuit section amplifies and removes unnecessary frequency components, resulting in a large output.

また、構造が単純なため、組立て作業性が良く作業の真
性性が極めて高い。さらに、側方にワイヤハーネス部を
有する偏平でコンパクトな構造を有するため、自動車等
に設置し易い加速度センサの実現が可能である。
In addition, since the structure is simple, assembly workability is good and work integrity is extremely high. Furthermore, since it has a flat and compact structure with a wire harness section on the side, it is possible to realize an acceleration sensor that is easy to install in automobiles and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(a)、(b)および(c)はそれぞれ本発明に
よる加速度センサの平面図、工商断面図および側面図、
第2図はその要部拡大断面図、第3図および第4図はそ
れぞれ従来の加速度センサの圧電セラミックスの斜視図
およびその回路図である。 1.7・・・圧電セラミックス、 2・・・インビニダ
ンス変換回路部、  2a・・・電界効果トランジスタ
、 3・・・基板、3a・・・中央突起部、3b、14
a・・・溶接用環状突起、3c・・・ワイヤハーネス部
、4・・・振動板、 5,6・・・電極、8・・・導線
、 9・・・プリント基板、lO・・・リードコード、
11・・・出力取出し線、12・・・電源供給線、13
・・・シールド線、14・・・ハウジング、15・・・
押えリング、16・・・キャップ、17・・・0リング
、18・・・シール剤、19・・・ストッパ、20・・
・取付は用貫通孔、21・・・取付けねじ、22・・・
スプリングワッシャ。 lU・・−駁づ引T用11JJII化 第1図 (c) 第2図
FIGS. 1(a), (b), and (c) are respectively a plan view, a cross-sectional view, and a side view of an acceleration sensor according to the present invention;
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part thereof, and FIGS. 3 and 4 are a perspective view and a circuit diagram of a piezoelectric ceramic of a conventional acceleration sensor, respectively. 1.7... Piezoelectric ceramics, 2... Invinidance conversion circuit section, 2a... Field effect transistor, 3... Substrate, 3a... Central protrusion, 3b, 14
a... Annular projection for welding, 3c... Wire harness part, 4... Vibration plate, 5, 6... Electrode, 8... Conductor wire, 9... Printed circuit board, lO... Lead code,
11... Output take-out line, 12... Power supply line, 13
...Shield wire, 14...Housing, 15...
Holding ring, 16...Cap, 17...0 ring, 18...Sealant, 19...Stopper, 20...
・For installation, use through hole, 21... mounting screw, 22...
Spring washer. lU...-11JJII conversion for rebuttal T Figure 1 (c) Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  基板の中央部に形成した突起部に中央部を固着した振
動板およびこれに一方の電極を接着固定した圧電セラミ
ックスで構成した圧電ディスクと、上記の圧電セラミッ
クスの他方の電極と導線で接続したインピーダンス変換
、増幅およびろ波を目的とする回路部とを内蔵し、この
回路部と接続する出力取出しおよび電源供給用のリード
コードを備え、上記の圧電ディスクと回路部を内蔵する
空間を完全密閉構造としたことを特徴とする加速度セン
サ。
A diaphragm whose center part is fixed to a protrusion formed in the center of the substrate, a piezoelectric disc made of piezoelectric ceramics to which one electrode is adhesively fixed, and an impedance connected to the other electrode of the piezoelectric ceramics with a conductive wire. It has a built-in circuit section for the purpose of conversion, amplification, and filtering, and is equipped with a lead cord for output extraction and power supply that connects to this circuit section, and has a completely sealed structure in which the space containing the piezoelectric disk and the circuit section is built in. An acceleration sensor characterized by:
JP16293485A 1985-07-25 1985-07-25 Acceleration sensor Pending JPS6224154A (en)

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JP16293485A JPS6224154A (en) 1985-07-25 1985-07-25 Acceleration sensor

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5377523A (en) * 1991-07-19 1995-01-03 Mitsubishi Petrochemical Co., Ltd. Acceleration sensor suitable for self-checking and a self-checking circuit therefore

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5377523A (en) * 1991-07-19 1995-01-03 Mitsubishi Petrochemical Co., Ltd. Acceleration sensor suitable for self-checking and a self-checking circuit therefore

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