JPS62237792A - Etcher of printed board - Google Patents

Etcher of printed board

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Publication number
JPS62237792A
JPS62237792A JP7992086A JP7992086A JPS62237792A JP S62237792 A JPS62237792 A JP S62237792A JP 7992086 A JP7992086 A JP 7992086A JP 7992086 A JP7992086 A JP 7992086A JP S62237792 A JPS62237792 A JP S62237792A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
etching
printed circuit
circuit board
amount
chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP7992086A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
正夫 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP7992086A priority Critical patent/JPS62237792A/en
Publication of JPS62237792A publication Critical patent/JPS62237792A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔慮業上の利用分野〕 本発明μプリント基板のエツチング装置に係り特にプリ
ント基板を高精度にエツチングするのに好適な水平搬送
エツチング装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an etching apparatus for μ printed circuit boards, and more particularly to a horizontal conveyance etching apparatus suitable for etching printed circuit boards with high precision.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のプリント基板のエツチング装置は、プリント基板
を水平に搬送するコンベアーの上下にエツチング液吐出
ノズルを配置し、そのノズル間にプリント基板を通過さ
せるようになってお蚊、そのエツチング液のプリントi
板表面における更新を速くするためとより均一なエツチ
ングを行なうために、特lj6昭58−221282号
公報に記載のようにノズルfI:a<)4水平移動させ
たり、往復回転運動させたりしている。
In conventional printed circuit board etching equipment, etching liquid discharge nozzles are placed above and below a conveyor that conveys printed circuit boards horizontally, and the printed circuit board is passed between the nozzles.
In order to speed up renewal on the plate surface and to perform more uniform etching, the nozzle fI:a<)4 is moved horizontally or rotated reciprocatingly as described in Japanese Patent No. 1J6-221282. There is.

〔発明が解失しようとする問題点〕[Problems that the invention attempts to solve]

上記従来技術は、プリント基板の上側にエツチング液の
たまりが生じて、上側面のエツチングが不均一になる点
についての配慮が不足しており。
The above-mentioned conventional technology lacks consideration for the problem that etching liquid accumulates on the upper side of the printed circuit board, resulting in non-uniform etching on the upper surface.

特にプリント基板サイズが大きくなるとその影響が大さ
く、上側面のエツチング精度が悪くなる。
In particular, as the size of the printed circuit board increases, the effect becomes greater, and the etching accuracy of the upper surface deteriorates.

例えば、プリント基板プイズ500 X 500 mm
の場合においては、上側面の中央部のエツチング盪ハ外
周部の約70チと不均一なエツチングになる。そのため
特公昭60−7709号公報に記載のように・両面プリ
ント板の一方の主面について下方向からエツチング液゛
とスプレーしてエツチングする工程と被エツチング物の
上下を反転する工程と、他の主面を下方向からエツチン
グ液をスノル−してエツチングする工程とによって両面
tエツチングする方法および装置が考案されたが、その
ような方法においてはエツチング装置の長さが2倍以上
になり、被エツチング物の上下面を反転するときにエツ
チングレジスト膜に傷を生じてパターンの欠陥を生じ易
く、また長尺状の被エツチング物以外は上側面にもエツ
チング液がまわりこみ、上側面の特に外周部が多くエツ
チングされてしまい、かえって不均一なエツチングにな
り易い問題があった。。
For example, printed circuit board Piz 500 x 500 mm
In this case, the etching at the center of the upper surface is unevenly etched by about 70 inches at the outer periphery. Therefore, as described in Japanese Patent Publication No. 60-7709, a process of etching one main surface of a double-sided printed board by spraying an etching liquid from below, a process of turning the object to be etched upside down, and another process are performed. A method and device have been devised for double-sided etching by spraying an etching solution onto the main surface from below, but in such a method, the length of the etching device is more than doubled, and the etching process increases. When the top and bottom surfaces of the etching object are turned over, the etching resist film is likely to be scratched, resulting in pattern defects.In addition, the etching solution will also surround the top surface of objects other than long objects, especially the outer periphery of the top surface. There was a problem in that a large amount of etching was performed, and the etching tended to be uneven. .

本発明の目的は、大サイズのプリント基板を高精度にエ
ツチングするスプレーエツチング装置全提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a spray etching apparatus for etching large-sized printed circuit boards with high precision.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記目的は、従来のエツチング装置にエツチング量が少
なくなる部分を多くエツチングするだめの補修エツチン
グ装置を追加することにより達成される。
The above object is achieved by adding a repair etching device to the conventional etching device, which is capable of etching more of the portion where the amount of etching is reduced.

丁なわち本発明は、所要エツチング量の半分より多くの
エツチングを行う主ニッチ/グ装置と、この主エクテン
グ装置に後続してエツチング量の不均一を補正エツチン
グする1llIi1−エツチング装置とによって構成さ
れる。
In other words, the present invention comprises a main niche/etching device which etches more than half of the required etching amount, and an 1llIi1-etching device which follows the main niche/etching device and performs etching to correct the non-uniformity of the etching amount. Ru.

〔作用〕[Effect]

補修エッチング装置におけるエツチング液のスプレーは
、プリント基板が補修エツチング装置の所定の位置にお
るときのみおこない、かつそのスプレーする位置をプリ
ント基板のエツチング量が少なくなる部分、時に上側面
の中央部に巣中させる。それによって、エツチング液の
スプレー?、lk中したところが多ぐエツチングされる
ようになるので、全体としてエツチング量が均一にへる
Spraying the etching solution in the repair etching equipment is carried out only when the printed circuit board is in a predetermined position in the repair etching equipment, and the spraying position is set to the part of the printed circuit board where the amount of etching is small, sometimes to the center of the upper surface. Let it go inside. Does that mean spraying etching solution? , lk will be more etched in the middle, so the amount of etching will be uniform as a whole.

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明の一実施例について図面を用いて説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例による水平搬送方式のスプレ
ーエツチング装置の構成を示すもので、1は主エツチン
グ室であり、2は補修エツチング差であり、3は回収洗
室であり24は水洗室である。なお15はコンベアロー
ル、16はスプレー管、17はエツチング液、18は回
収流水、19は冷却コイル、20dヒータである。
FIG. 1 shows the configuration of a horizontal conveyance type spray etching apparatus according to an embodiment of the present invention, in which 1 is a main etching chamber, 2 is a repair etching difference, 3 is a recovery washing chamber, and 24 is a cleaning chamber. This is the washing room. Note that 15 is a conveyor roll, 16 is a spray pipe, 17 is an etching liquid, 18 is a recovered running water, 19 is a cooling coil, and 20d is a heater.

第2図は、主エツチング室1と補修エツチング室2の詳
細示したもので、エツチング室1はエンテ/グ液貯槽を
兼ねている。7は補う一エツチング用スプレーポンプで
あり、8はエツチング液スプレー配・Iであり、9はバ
イパス目己管であり、10は電磁升であり、11はプリ
ント基板が流れてきたのを検出する近接スイッチであり
、12はスプレーするエツチング液量を調整するパルプ
である°。
FIG. 2 shows details of the main etching chamber 1 and the repair etching chamber 2. The etching chamber 1 also serves as an etching solution storage tank. 7 is a supplementary etching spray pump, 8 is an etching liquid spray distribution I, 9 is a bypass pipe, 10 is an electromagnetic box, and 11 detects when a printed circuit board is flowing. It is a proximity switch, and 12 is a pulp that adjusts the amount of etching liquid to be sprayed.

上記のととく構成された本実施例により、以後図面を用
いてその動作を説明する。
The operation of this embodiment, which has the above-mentioned structure, will be described below with reference to the drawings.

プリント基板は、投入部6のコンベアーロール15上に
おかれると、そのまま主エツチング室1゜−補修エツチ
ング厘2等の中をそれぞれ処理されながら通過し、取出
し部16まで搬送されてエッチフッ作業と完了する。す
なわちプリント基板は、まず主エツチング室1へ入り、
主エツチング室1においてエツチング液(例えば、塩化
第二銅エツチング液)を搬送コンベアーの上下からスプ
レーされ、プリント&板表面の綱がエツチングされる。
When the printed circuit board is placed on the conveyor roll 15 of the input section 6, it passes through the main etching chamber 1--repair etching chamber 2, etc. while being processed, and is conveyed to the unloading section 16, where the etching process is completed. do. That is, the printed circuit board first enters the main etching chamber 1,
In the main etching chamber 1, an etching solution (for example, cupric chloride etching solution) is sprayed from above and below the conveyor to etch the wires on the surface of the print and board.

このエツチング室1のスプレーノズル21は、プリント
基板てエツチング液17が均等にスプレーされるように
等、1隔に配置し、さらにスプレー液22のプリントi
板表面における更frを速く行ない、またより均一なエ
ツチングを行なうために、スプレーノズル21が取付い
たスグレー配f8は60〜40度の回転往復運動させる
。このようなエツチング差で5QOX500mのプリン
ト基板でエラテン、グシfc%合のエツチング量のバッ
ツ苧は、上11411面において中央部のエツチング量
が外周部の約70%になる。そこでよ工、−のエツチン
グ量を考慮に入ルで主エツチング室1におけるエツチン
グ−は、所望するエツチング量に対して上側面の中央部
で′66%、下側面の中央部で98%になるように、エ
ツチング液のスプレー流量及びスプレ一時間を設定する
The spray nozzles 21 of this etching chamber 1 are arranged at one interval so that the etching liquid 17 is evenly sprayed on the printed circuit board, and the spray nozzles 21 are arranged at one interval so that the etching liquid 17 is evenly sprayed on the printed circuit board.
In order to rapidly etch the surface of the plate and to achieve more uniform etching, the sougret plate f8 to which the spray nozzle 21 is attached is rotated and reciprocated through 60 to 40 degrees. With such an etching difference, in a printed circuit board of 5QOX500m, the amount of etching in the central part of the upper 11411 surface is about 70% of that in the outer peripheral part. Therefore, taking into consideration the etching amount in the main etching chamber 1, the etching amount in the main etching chamber 1 is 66% at the center of the upper surface and 98% at the center of the lower surface. Set the etching solution spray flow rate and spray time accordingly.

発明者の長年の研究によれば、たとえば鋼箔厚さが70
μmのプリント基板を堰化第二鋼エツチング液(銅濃度
13op/l!、塩酸濃度6チ)によってエツチングす
る場合において、上記のごときエツチング量はエツチン
グ液温45℃、上側スプレー圧力i 、 6 ′A、下
側下側スプレー圧力1刈5できる。
According to the inventor's many years of research, for example, the steel foil thickness is 70 mm.
When etching a μm printed circuit board with a weir-enhanced second steel etching solution (copper concentration: 13 op/l, hydrochloric acid concentration: 6 op/l), the above etching amount is obtained at an etching solution temperature of 45°C and an upper spray pressure of i, 6'. A, Lower lower spray pressure 1 mowing 5 is possible.

次にプリント基板はコンベアロール15ニよって補1ー
エツチング室2に搬送される。そのときプリント基板が
搬送されてきたのを近接スイッチ11で検出し、プリン
ト基板が補修エツチング室2の所望の位置にある間だけ
エツチング液17をスプレーする。スプレー液22はス
プレーノズル21より噴射するエツチング液とその方向
を示す。近接スイッチ11は1発明者の研究によれば、
#電容量べ近接スイッチがプリント基板に非接触で回路
パターンに傷を付けず、また故障がなくてよい。
Next, the printed circuit board is conveyed to the auxiliary etching chamber 2 by a conveyor roll 15. At this time, the proximity switch 11 detects that the printed circuit board has been conveyed, and the etching liquid 17 is sprayed only while the printed circuit board is at a desired position in the repair etching chamber 2. The spray liquid 22 indicates the etching liquid sprayed from the spray nozzle 21 and its direction. According to the research of one inventor, the proximity switch 11 is
#The capacitive proximity switch does not touch the printed circuit board, does not damage the circuit pattern, and is free from failure.

またこの補修エツチング室2のスプレーノズル21は、
プリント基板の上側面中央部にエツチング液がスプレー
されるように配置する。それによってプリント基板上側
中央部を多くエツチングすることができる。
Moreover, the spray nozzle 21 of this repair etching chamber 2 is
Arrange the printed circuit board so that the etching solution is sprayed onto the center of the upper surface. This makes it possible to etch a large amount of the upper central portion of the printed circuit board.

上記の補イーエツチング室2におけるエツチング量は、
上側ml中央部で当初の所望エツチング量の37%にな
るように(すなわち、総エツチング量が。
The amount of etching in the above supplementary etching chamber 2 is:
The etching amount should be 37% of the original desired amount at the center of the upper ml (i.e., the total etching amount.

所″4!1の100%になるように)エツチング水準(
エツテンダ液スプレー量,スプレ一時間)を設定する。
Etching level (so that it is 100% of 4!1)
Set the ettender liquid spray amount and spray time).

たとえば、@箔厚さ70μmのプリント基板を上記の塩
化第二鋼エツチング液でエツチングする場合には、エツ
チング液温45℃,スプレー圧力1、6〜,スプレ一時
間2.1分のエツチング水準で上記のエツチング址を得
ることができる。
For example, when etching a printed circuit board with a foil thickness of 70 μm using the above-mentioned chlorinated steel etching solution, the etching temperature is 45°C, the spray pressure is 1.6~, and the etching level is 2.1 minutes for 1 hour. The above etching remains can be obtained.

なお補修エツチング室2におけるエツチング液のスプレ
ーは、上側面のみであるが、下側面にも液がまわり当初
の所望エツチング量の約2チが工。
Although the etching solution in the repair etching chamber 2 is sprayed only on the upper surface, the solution also spreads to the lower surface, resulting in about 2 etchings of the original desired amount.

ツチングされる。その結果、下側面の総エツチング瀘も
所望エツチングtの100%になる。またプリント基板
上側面の外周部は約10チのエツチング敏が加わり所望
エツチング量の100%となる。
Being pinched. As a result, the total etching rate on the lower surface is also 100% of the desired etching t. Furthermore, an etching depth of approximately 10 inches is added to the outer peripheral portion of the upper surface of the printed circuit board, resulting in 100% of the desired etching amount.

その後プリント基板は、回収洗室5および水洗室4を細
て洗浄され、エツチングを完了する。
Thereafter, the printed circuit board is thoroughly cleaned in the recovery washing chamber 5 and the water washing chamber 4, and the etching is completed.

なお片面のみエツチングを行うエツチング装置にも本発
明の技術が適用できる。この場合主エツチング室におい
て、下側のスプレーノズル21は不要である。
Note that the technique of the present invention can also be applied to an etching apparatus that etches only one side. In this case, the lower spray nozzle 21 is not required in the main etching chamber.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したごとき実施例によれば、水平搬送方式のエ
ツチング装置において、促米の設備で不可能であった3
00×60011t1L以上の大型プリント基・板を高
精度にエツチングできるという効果がある6
According to the embodiment described above, in a horizontal conveyance type etching apparatus, three
It has the effect of being able to etch large printed circuit boards/boards larger than 00x60011t1L with high precision6.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例の構成図、$J2図は本発明
によるエツチング室の構成図である。 1・・・主エツチング菫 2・・・補修エツチング室 15山コンベアロール 21山スプレーノズル
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of an etching chamber according to the present invention. 1...Main etching 2...Repair etching chamber 15 threads conveyor roll 21 threads spray nozzle

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 プリント基板を水平搬送しスプレーノズルによつて
エッチングするエッチング装置において、所要エッチン
グ量の半分より多くのエッチングを行う主エッチング装
置と、前記主エッチング装置に後続してエッチング量の
不均一を補正エッチングする補修エッチング装置とを設
けたことを特徴とするプリント基板のエッチング装置。 2 前記主エッチング装置の前記スプレーノズルは前記
プリント基板の少なくとも上側をエッチングするよう配
置されたものであり、前記補修エッチング装置の前記ス
プレーノズルは主として前記プリント基板の上側の中央
部のエッチング量を補修するよう配置されたものである
ことを特徴とする特許請求範囲第1項記載のプリント基
板のエッチング装置。
[Scope of Claims] 1. An etching device that horizontally transports a printed circuit board and etches it with a spray nozzle, comprising: a main etching device that etches more than half of the required etching amount; 1. A printed circuit board etching apparatus comprising: a repair etching apparatus for correcting etching for non-uniformity of printed circuit boards. 2. The spray nozzle of the main etching device is arranged to etch at least the upper side of the printed circuit board, and the spray nozzle of the repair etching device mainly repairs the amount of etching on the upper center of the printed circuit board. 2. The printed circuit board etching apparatus according to claim 1, wherein the printed circuit board etching apparatus is arranged so as to perform etching.
JP7992086A 1986-04-09 1986-04-09 Etcher of printed board Pending JPS62237792A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000015015A1 (en) * 1998-09-03 2000-03-16 Ibiden Co., Ltd. Multilayer printed wiring board and method for manufacturing the same

Cited By (4)

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WO2000015015A1 (en) * 1998-09-03 2000-03-16 Ibiden Co., Ltd. Multilayer printed wiring board and method for manufacturing the same
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