JPS62225107A - Guide rail for conveyor of magnetic levitation type - Google Patents

Guide rail for conveyor of magnetic levitation type

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JPS62225107A
JPS62225107A JP6471986A JP6471986A JPS62225107A JP S62225107 A JPS62225107 A JP S62225107A JP 6471986 A JP6471986 A JP 6471986A JP 6471986 A JP6471986 A JP 6471986A JP S62225107 A JPS62225107 A JP S62225107A
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JP
Japan
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guide rail
conveyance
gap
guide rails
magnetic levitation
Prior art date
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Application number
JP6471986A
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Japanese (ja)
Inventor
Akitaka Noda
明孝 野田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Abstract

PURPOSE:To keep the stable levitation running of a conveyor, by forming and composing the shapes of joint sections so that either one of guide rails may be positioned within the distance of a specified dimension from a surface confronted with a gap sensor between the joints. CONSTITUTION:By the guide rail 20 of a conveyor of magnetic levitation type, end surfaces 21a, 21b inclined at an angle alpha to the lower surface of a guide rail 20b are respectively formed at end sections confronted with adjacent respective guide rails 20a, 20b. When a gap between the guide rails 21a, 21b is set to be G, then a relation between the angle alpha and a gap g3 on the passing of a sensor 8 through the gap G is shown by g0<g3<g0+Gtanalpha, and the output range of the sensor 8 coping with the gap is selected to be within a firm control range. As a result, the variation of the gap of the conveyor passing between joint sections can be reduced, and the stable levitation running of the conveyor can be kept.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) 本発明は、磁気浮上式搬送装置に係り、特に搬送路に取
付けるガイドレールの構造に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Objective of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention relates to a magnetic levitation conveyance device, and particularly to the structure of a guide rail attached to a conveyance path.

(従来の技術) 近年、オフィスオートメーション(OA)またはファク
トリオートメーション(FA)等の一環として、室内の
複数の地点間における伝票、書類。
(Prior Art) In recent years, as part of office automation (OA) or factory automation (FA), etc., slips and documents have been transmitted between multiple points indoors.

現金もしくは資料または被加工物もしくは部品等を搬送
装置を用いて自動的に搬送することが広く行われている
2. Description of the Related Art Automatically transporting cash, materials, workpieces, parts, etc. using a transport device is widely practiced.

このような搬送に用いられる搬送装置は、搬送物を速か
にかつ静かに搬送し得ることを要求される。特にクリー
ンルーム内で用いる搬送装置には、塵埃の発生を最小限
に抑えることも同時に要求される。したがって、この種
の搬送装置においては、補助レール上を非接触で走行す
る浮上式搬送装置が注目を集めているこの浮上方式とし
ては、空気や磁気を用いるのが一般的であるが、磁気を
用いるものはガイドレールに対する追従性や騒音低減効
果が優れているから、最も有望な手段と云える。
A conveyance device used for such conveyance is required to be able to convey the object quickly and quietly. In particular, transport devices used in clean rooms are also required to minimize dust generation. Therefore, in this type of conveyance device, floating conveyance devices that run on auxiliary rails without contact are attracting attention.This levitation method generally uses air or magnetism, but magnetic The method used has excellent followability to the guide rail and noise reduction effect, so it can be said to be the most promising method.

そこで、本出願人は、先に第7図に示すような磁気浮上
式搬送装置を提案した。この磁気浮上式搬送装置の概略
構成は、搬送径路に沿って設けられた搬送路1を浮上走
行する搬送車2としたもので、搬送路1は、逆U状に形
成された枠体3と、この枠体3の上部に取付けられ、少
なくとも下面部分を強磁性体で形成されたガイドレール
4と、枠体3の中央部に長手方向に沿って適宜ピッチで
設けられた開口部3aに下向きに挿入され、かつ天板5
で裏打ちされたリニア誘導電動機の固定子6と、枠体3
の下部両側に取付けられ、[状に形成された補助レール
7で構成されている。また、搬送車2には、ガイドレー
ル4に対しセンサ8の出力で所定のギャップを保持する
ように制御され、ガイドレール4と磁気回路を形成して
搬送車2を吸引させる磁気支持袋@9と、固定子6に対
向し走行力を得る二次導体板10と、常時補助レール7
の中間部に位置し、搬送車2が搬送路1から逸脱しよう
とするとき係止する補助車輪11と、磁気支持装置9に
電力を供給する図示しない電源装置等が取付けられてい
る。
Therefore, the present applicant previously proposed a magnetic levitation type conveyance device as shown in FIG. The general structure of this magnetically levitated conveyance device is such that a conveyance path 1 provided along a conveyance path is a conveyance vehicle 2 that travels levitated. A guide rail 4 is attached to the upper part of the frame 3 and has at least a lower surface made of ferromagnetic material, and a guide rail 4 is attached to the opening 3a provided at appropriate pitches along the longitudinal direction in the center of the frame 3. is inserted into the top plate 5.
The stator 6 of the linear induction motor lined with
It is attached to both sides of the lower part of the auxiliary rail 7 and is formed in the shape of [[]. The transport vehicle 2 also includes a magnetic support bag @ 9 that is controlled to maintain a predetermined gap with respect to the guide rail 4 by the output of a sensor 8, and forms a magnetic circuit with the guide rail 4 to attract the transport vehicle 2. , a secondary conductor plate 10 that faces the stator 6 and obtains running force, and a constant auxiliary rail 7
An auxiliary wheel 11 that is located in the middle of the transport vehicle 2 and that locks the transport vehicle 2 when it tries to deviate from the transport path 1, and a power supply device (not shown) that supplies power to the magnetic support device 9 are attached.

ところで、搬送路1は、直線部だけで構成される場合も
あるが、曲線部、水平面内における分岐部または垂直面
内における分岐部等を含んで構成される場合の方が実際
上多い。このため、単一の搬送路とするよりも、複数の
搬送路を組合せて構成することが多くなり、この方がむ
しろ製作や設置も容易となる。
Incidentally, although the conveyance path 1 may be composed of only straight sections, it is actually more often composed of curved sections, branched sections in the horizontal plane, branched sections in the vertical plane, and the like. For this reason, a plurality of conveyance paths are often combined rather than a single conveyance path, which is actually easier to manufacture and install.

したがって、ガイドレール4は、単一のものよりも適宜
個数に分割した複数のものを、継目部を設けて枠体3に
取付ける場合が多くなる。
Therefore, rather than a single guide rail 4, a plurality of guide rails divided into appropriate numbers are often attached to the frame 3 with a joint.

(発明が解決しようとする問題点) このようにガイドレールを分割構造とした場合、第7図
に示すように搬送路1の枠体3に取付けたガイドレール
4a、4bの継目部に隙間15が形成されると、この隙
間15の部分において上記した搬送車2のセンサ8が検
出するギャップg1 は、ガイドレール4a、4bの厚
さをt、正常時のギャップgoとすると、g□+tとな
って第8図に示すようにセンサ8の出力が常時の制御範
囲Voから外れてしまう。また、第9図に示すように搬
送路1の枠体3が完全に分離されるときは、センサ8が
検出するギャップg2は、無限大(oo)になってしま
う。
(Problems to be Solved by the Invention) When the guide rail has a divided structure as described above, as shown in FIG. When this gap 15 is formed, the gap g1 detected by the sensor 8 of the transport vehicle 2 described above is g As a result, the output of the sensor 8 deviates from the normal control range Vo as shown in FIG. Further, as shown in FIG. 9, when the frame 3 of the conveyance path 1 is completely separated, the gap g2 detected by the sensor 8 becomes infinite (oo).

このようにセンサ8が異常なギャップを検出した場合、
搬送車2に取付けられている制aVciは、このギャッ
プを縮小しようとする方向に動作するので、搬送車2は
ガイドレール4a、4bに過度に吸引され、遂にガイド
レール4a、4bに衝突してしまう。
If the sensor 8 detects an abnormal gap in this way,
Since the control aVci attached to the transport vehicle 2 operates in the direction of reducing this gap, the transport vehicle 2 is excessively attracted to the guide rails 4a and 4b, and finally collides with the guide rails 4a and 4b. Put it away.

つまり、ガイドレール4a 、4bの継目部に隙間15
が形成されると、搬送車2がその部分を通過する際、振
動することになり、搬送車2の浮上状態に悪影響を与え
るばかりでなく、搬送車2に積載している搬送物に衝撃
を与えて積荷状態を不安定にしたり、騒音を発生して周
囲の環境を悪化させる原因にもなる。
In other words, there is a gap 15 at the joint between the guide rails 4a and 4b.
If this is formed, the conveyance vehicle 2 will vibrate when passing through that area, which will not only have a negative effect on the floating state of the conveyance vehicle 2, but also cause a shock to the conveyed objects loaded on the conveyance vehicle 2. This can cause the cargo to become unstable or cause noise, which can worsen the surrounding environment.

一方、上記した継目部を、光線も通過しないように形成
することはガイドレールの製作や取付等からみてきわめ
て困難となる。
On the other hand, it is extremely difficult to form the above-mentioned joint so that even light rays do not pass therethrough, from the viewpoint of manufacturing and mounting the guide rail.

そこで、本発明の目的は、ガイドレールを長手方向に沿
って複数に分割し継目部が形成される場合でも、搬送車
に与える影響を少なくして安定した走行をできるように
した磁気浮上式搬送装置のガイドレールを提供すること
にある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetically levitated transport system that reduces the influence on the transport vehicle and enables stable travel even when the guide rail is divided into a plurality of parts along the longitudinal direction and joints are formed. The purpose is to provide a guide rail for the device.

[発明の構成] (問題点を解決するための手段および作用)本発明は、
搬送径路に沿って設けられ搬送路を構成する枠体に、搬
送車の磁気支持装置に対向し吸引する磁気回路を形成す
るように取付けられ、かつ長手方向に継目部を有する磁
気浮上式搬送装置のガイドレールにおいて、継目部の形
状を、搬送車に設けたギャップセンサから見て、継目間
に、いずれか一方のガイドレールが、ギャップセンサと
の対向面から所定の寸法範囲内で位置するように形成し
て構成したもので、搬送車の走行時、ガイドレールとの
ギャップを検出するセンサからの光線が、この継目部に
形成された隙間に投射されても、ガイドレールの厚さ以
下しか光線が通過しないようにし、センサの出力を常時
の制御範囲内に入るようにしたものである。
[Structure of the invention] (Means and effects for solving the problems) The present invention has the following features:
A magnetically levitated conveyance device that is attached to a frame provided along a conveyance path and that constitutes the conveyance path so as to form a magnetic circuit that faces and attracts the magnetic support device of the conveyance vehicle, and that has a joint in the longitudinal direction. In the guide rails of When the transport vehicle is running, even if the light beam from the sensor that detects the gap with the guide rail is projected into the gap formed at the joint, it will only be less than the thickness of the guide rail. This prevents light from passing through and keeps the sensor output within a constant control range.

(実施例) 以下、本発明の磁気浮上式搬送装置のガイドレールの一
実施例を図面を参照して説明する。なお、第7図と同一
部分には同符号を付し、重複した説明は省略する。
(Embodiment) Hereinafter, one embodiment of the guide rail of the magnetic levitation type conveyance device of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the same parts as in FIG. 7 are given the same reference numerals, and redundant explanation will be omitted.

第1図において、磁気浮上式搬送装置のガイドレール2
0は、隣接する各ガイドレール20a 、 20bの対
向する端部に、ガイドレール20a 、 20bの下面
に対し角度αで傾斜する端面21a 、 21bをそれ
ぞれ形成する。つまり、端面21a 、 21bは平行
面となる。ここで、角度αは、ガイドレール21a。
In Fig. 1, the guide rail 2 of the magnetic levitation transfer device
0 forms end surfaces 21a and 21b, which are inclined at an angle α with respect to the lower surface of the guide rails 20a and 20b, at opposing ends of each of the adjacent guide rails 20a and 20b, respectively. In other words, the end surfaces 21a and 21b are parallel surfaces. Here, the angle α is the guide rail 21a.

20bの隙間をGとしたとき、この隙間Gをす4が通過
する際のギャップg3が、(to < g3 < CI
Q十Gtanαとなり、かつこれに対応するセンサ8の
出力範囲が第8図にVoで示す常時の制御範囲内に入る
ように選択する。ここで、このαは、小さい程隙間Gを
大きくするから、隣接するガイドレール20a 、 2
0bを枠体3に取付けるときの裕度が大きくなり、製作
や取付作業が容易となる。
When the gap between 20b and G is G, the gap g3 when S4 passes through this gap G is (to < g3 < CI
The selection is made so that Q0Gtanα and the corresponding output range of the sensor 8 falls within the constant control range shown by Vo in FIG. Here, since the smaller α increases the gap G, the adjacent guide rails 20a, 2
The tolerance when attaching 0b to the frame body 3 is increased, and manufacturing and attachment work become easier.

第2図は、分割された搬送路間に昇降自在とした搬送路
を配設した場合を示し、昇降側搬送路1Bが昇降機構2
5によって昇降し、上昇したとぎ固定側搬送路1A、1
Aを接続するものでおる。この場合にも固定側搬送路の
枠体3aと昇降側搬送路1Bの枠体3bに、上記したよ
うな角度αを有する端面としたガイドレール20aと2
0bをそれぞれ取付ける。このように固定した搬送路と
可動する搬送路を組合せる場合、ガイドレール20の継
目部には必然的に隙間が形成されるが、センサ8の出力
範囲は常時の制御範囲内とすることができる。
FIG. 2 shows a case where a conveyance path that can be raised and lowered freely is provided between the divided conveyance paths, and the lifting side conveyance path 1B is connected to the lifting mechanism 2.
5, and the raised sharpening fixed side conveyance path 1A, 1
This is what connects A. In this case as well, the guide rails 20a and 2 have end faces having the angle α as described above on the frame 3a of the fixed side conveyance path and the frame 3b of the elevating side conveyance path 1B.
Attach 0b respectively. When a fixed conveyance path and a movable conveyance path are combined in this way, a gap is inevitably formed at the joint of the guide rail 20, but the output range of the sensor 8 can be kept within the constant control range. can.

また、第3図は、直交する方向の2個の搬送路がその交
点で分割され、この分割された部分に回動自在とした搬
送路を配設した場合を示し、回動側昇降路1Dが回動機
構26によって回動し、90”回動したときに固定側搬
送路1Aと1Cを接続し、180°回動したとぎに固定
側搬送路1Aと1Aまたは1CとICを接続するもので
ある。この場合にも固定側搬送路1A、1Cと回動側搬
送路1Dに、上記したような角度αを有する端面とした
ガイドレール20aと20bをそれぞれ取付ける。この
場合にも、固定した搬送路と可動する搬送路を組合せる
から、ガイドレールの継目部には必然的に隙間が形成さ
れるが、センサ8の出力範囲を常時の制御範囲内とする
ことができる。
Moreover, FIG. 3 shows a case where two conveyance paths in orthogonal directions are divided at the intersection, and a rotatable conveyance path is provided in this divided portion, and the rotation side hoistway 1D is rotated by the rotation mechanism 26, and connects the fixed side conveyance paths 1A and 1C when rotated by 90", and connects the fixed side conveyance paths 1A and 1A or 1C and the IC after rotated 180 degrees. In this case as well, guide rails 20a and 20b whose end faces have the angle α as described above are attached to the fixed conveyance paths 1A and 1C and the rotating conveyance path 1D. Since a conveyance path and a movable conveyance path are combined, a gap is inevitably formed at the joint of the guide rail, but the output range of the sensor 8 can be kept within the constant control range.

以上のように上記した構成によれば、搬送路の隣接する
ガイドレール20a 、 20bの継目部に隙間が形成
されても、両ガイドレール20a 、 20bのそれぞ
れの端面に、適宜に選択した傾斜角をもたせることによ
り、継目部を通過する搬送車2のギャップの変化を小さ
くし、搬送車2の安定した浮上走行を保持することがで
きる。
According to the configuration described above, even if a gap is formed at the joint between the guide rails 20a and 20b adjacent to each other on the conveyance path, an appropriately selected inclination angle is formed on each end face of both the guide rails 20a and 20b. By providing this, it is possible to reduce the change in the gap of the conveyance vehicle 2 passing through the joint portion, and to maintain stable floating movement of the conveyance vehicle 2.

しかも、これは単に水平面内における直線状の搬送路の
みでなく、昇降自在の搬送路で接続する搬送路や回動自
在の搬送路で接続する搬送路にも適用することができる
。この昇降自在の搬送路で接続する搬送路の場合には、
昇降側搬送路1Bに取付けられたガイドレール20bが
、固定側搬送路1Aに取付けられたガイドレール20a
にくさび状にはまり込む状態となるので、昇降側搬送路
1Bの位置決めが容易になる効果もある。
Moreover, this can be applied not only to a linear conveyance path in a horizontal plane, but also to a conveyance path connected by a conveyance path that can be raised and lowered, or a conveyance path connected by a rotatable conveyance path. In the case of a conveyor path that connects with this conveyor path that can be raised and lowered,
The guide rail 20b attached to the lifting side conveyance path 1B is the guide rail 20a attached to the fixed side conveyance path 1A.
Since it is in a wedge-shaped state, it also has the effect of facilitating positioning of the ascending/descending conveyance path 1B.

なお、本発明は、上記した実施例に限定されるものでな
く、第4図に示すように隣接する一方のガイドレール2
3aには、端部に深ざtl の切欠部24aを形成し、
他方のガイドレール23bには、この切欠部24aに対
応して厚ざt2をもつ突出部24bを設けて階段状とし
、この突出部24bの厚ざt2を適宜選択することによ
って、両ガイドレール23a 、 23bの継目部を通
過する際のセンサ8の出力を所定の制御範囲に入るよう
にすることができる。また、第5図に示すように隣接す
る両ガイドレール25a 、 25bの端面は垂直状と
し、隙間26を完全に覆うようにし厚ざt3のプレート
27を取付けるようにしてもよい。この場合にも厚さt
3を適宜選択することによって、両ガイドレール25a
 、 25bの継目部を通過する際のセンサ8の出力を
所定の制御範囲に入るようにすることができる。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and as shown in FIG.
3a, a notch 24a having a depth tl is formed at the end,
The other guide rail 23b is provided with a protrusion 24b having a thickness t2 corresponding to the notch 24a to form a stepped shape, and by appropriately selecting the thickness t2 of the protrusion 24b, both guide rails 23a , 23b, the output of the sensor 8 can be made to fall within a predetermined control range. Alternatively, as shown in FIG. 5, the end surfaces of the adjacent guide rails 25a and 25b may be vertical, and a plate 27 having a thickness of t3 may be attached to completely cover the gap 26. In this case also, the thickness t
3 as appropriate, both guide rails 25a
, 25b, the output of the sensor 8 can be made to fall within a predetermined control range.

[発明の効果] 本発明は、以上のように構成されているから、搬送路に
取付けられるガイドレールの継目部に隙間が形成されて
も、この継目部を通過する際のセンサ出力を所定の制御
範囲内に入るようにでき、搬送車の安定した浮上走行を
保持することができる。
[Effects of the Invention] Since the present invention is configured as described above, even if a gap is formed at the joint of the guide rail attached to the conveyance path, the sensor output when passing through this joint can be adjusted to a predetermined value. It is possible to maintain stable levitation of the transport vehicle within the control range.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の磁気浮上式搬送装置のガイドレールの
一実施例の要部を示す側面図、第2図は本発明の一実施
例を他の搬送路に適用した例を示す斜視図、第3図は本
発明の一実施例をさらに異なる他の搬送路に適用した例
を示す斜視図、第4図は本発明の他の実施例の要部を示
す側面図、第5図は本発明のざらに異なる他の実施例の
要部を示す側面図、第6図は本発明に関連する磁気浮上
式搬送装置の概略構成を示す正面図、第7図は従来の磁
気浮上式搬送装置のガイドレールの端部を示す側面図、
第8図はガイドレールのギャップとセンサ出力の関係を
示す曲線図、第9図は第7図と異なる従来の磁気浮上式
搬送装置のガイドレールの端部を示す側面図である。 1.1A、1B、1C,1D・・・搬送路2・・・搬送
車 3.3a、3b・・・枠体 8・・・センサ 9・・・磁気支持装置 20、20a 、20b 、 23a 、 23b 、
 25a 、 25b・・・ガイドレール 代理人 弁理士 則 近 憲 1も 同  三俣弘文 第2図 第4図 第5図 第6図 第7図
FIG. 1 is a side view showing essential parts of an embodiment of the guide rail of the magnetic levitation conveyance device of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an example in which the embodiment of the present invention is applied to another conveyance path. , FIG. 3 is a perspective view showing an example in which one embodiment of the present invention is applied to another conveyance path, FIG. 4 is a side view showing the main part of another embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6 is a side view showing the main parts of another slightly different embodiment of the present invention, FIG. 6 is a front view showing a schematic configuration of a magnetically levitated conveyance device related to the present invention, and FIG. 7 is a conventional magnetically levitated conveyor. a side view showing the end of the guide rail of the device;
FIG. 8 is a curve diagram showing the relationship between the gap of the guide rail and the sensor output, and FIG. 9 is a side view showing the end of the guide rail of a conventional magnetically levitated conveyance device different from FIG. 7. 1.1A, 1B, 1C, 1D... Transport path 2... Transport vehicle 3.3a, 3b... Frame 8... Sensor 9... Magnetic support device 20, 20a, 20b, 23a, 23b,
25a, 25b... Guide rail agent Patent attorney Nori Chika 1 is also the same Hirofumi Mitsumata Figure 2 Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)搬送径路に沿って設けられ搬送路を構成する枠体
に、搬送車の磁気支持装置に対向し吸引する磁気回路を
形成するように取付けられ、かつ長手方向の中間に継目
部を有する磁気浮上式搬送装置のガイドレールにおいて
、前記継目部の形状を、前記搬送車に設けたギャップセ
ンサから見て、継目間に、いずれか一方のガイドレール
の一部が、ギャップセンサとの対向面から所定の寸法範
囲内で位置するように形成したことを特徴とする磁気浮
上式搬送装置のガイドレール。
(1) It is attached to the frame body provided along the conveyance path and forming the conveyance path so as to form a magnetic circuit that faces and attracts the magnetic support device of the conveyance vehicle, and has a joint part in the middle in the longitudinal direction. In the guide rail of a magnetically levitated conveyance device, when the shape of the joint portion is viewed from the gap sensor provided on the conveyance vehicle, a part of one of the guide rails is located between the joints on the surface facing the gap sensor. 1. A guide rail for a magnetic levitation conveyance device, characterized in that the guide rail is formed to be located within a predetermined dimension range from .
(2)継目部を構成する互いに対向するほぼ平行なガイ
ドレールの端面を、それぞれガイドレールのギャップセ
ンサとの対向面に対し傾斜させて形成した特許請求の範
囲第1項記載の磁気浮上式搬送装置のガイドレール。
(2) Magnetic levitation type conveyance according to claim 1, wherein the end surfaces of the mutually opposing and substantially parallel guide rails constituting the joint portion are respectively inclined with respect to the surface facing the gap sensor of the guide rails. Equipment guide rail.
(3)継目部を構成する互いに対向するほぼ平行なガイ
ドレールの端面を階段状に形成した特許請求の範囲第1
項記載の磁気浮上式搬送装置のガイドレール。
(3) Claim 1 in which the end surfaces of the mutually opposing and substantially parallel guide rails constituting the joint portion are formed into a stepped shape.
The guide rail of the magnetic levitation type conveyance device described in .
(4)継目部間を、いずれか一方のガイドレールのギャ
ップセンサとの対向面に一端部裏面を固着した板材にて
覆った特許請求の範囲第1項記載の磁気浮上式搬送装置
のガイドレール。
(4) The guide rail of the magnetic levitation type conveyance device according to claim 1, wherein the joint portion is covered with a plate material whose one end back surface is fixed to the surface facing the gap sensor of one of the guide rails. .
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01126107A (en) * 1987-11-06 1989-05-18 Sumitomo Electric Ind Ltd Moving device for magnetically levitating and running device
EP3642142A4 (en) * 2017-06-19 2021-03-17 Laitram, L.L.C. Monorail tray conveyor

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01126107A (en) * 1987-11-06 1989-05-18 Sumitomo Electric Ind Ltd Moving device for magnetically levitating and running device
EP3642142A4 (en) * 2017-06-19 2021-03-17 Laitram, L.L.C. Monorail tray conveyor
US11401119B2 (en) 2017-06-19 2022-08-02 Laitram, L.L.C. Monorail tray conveyor

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