JPS6222251A

JPS6222251A - 情報記録媒体円盤の製作法

Info

Publication number: JPS6222251A
Application number: JP16141885A
Authority: JP
Inventors: Osamu Tajima; 修田島
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1985-07-22
Filing date: 1985-07-22
Publication date: 1987-01-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、情報記録媒体円盤の製作法、特に、平面形状
が同心円状または渦巻状で、かつ、断面形状がＶ状であ
るような溝（Ｖ溝）が密接して設けられている信号面に
おける前記のＶ溝の各斜面に対し、再生に用いられるべ
き光の波長の約１７４に相当する寸法の段差を有してい
る如き部分の配列によって情報信号が記録−されている
情報記録媒体円盤を製作する方法に関する。

（従来の技術）光学的に記録された情報信号による記録跡が形成されて
いる信号面を備えている情報記録媒体円盤における信号
面に対して信号読取用の光スポットを投射し、情報記録
媒体円盤の信号面に生じた反射光に基づいて解要の情報
信号が得られるようにされている光学的情報信号再生装
置としては。

従来から各種の構成形式のものが知られている。

ところで、光学的情報信号再生装置では、高い記録密度
で情報信号が記録されている情報記録媒体円盤から情報
信号の再生が行なわれるようにしているのであるが、情
報記録媒体円盤からの情報信号の読取りに使用される光
のスポットの径は、再生に使用される光の波長とその光
を情報記録媒体円盤の信号面に結像させる集光レンズの
開口数（Ｎ、Ａ）とによって定まっているから、光学的
情報信号再生装置によって情報記録媒体円盤の信号面に
おける隣接する記録跡からの漏話を生じさせることなく
情報信号の読取りが行なわれるようにするためには、光
学的情報信号再生装置で使用されているレーザ光の波長
と集光レンズの開口数とによって定まる光のスポット径
よりも大きな記録跡間隔を有するように情報記録媒体円
盤の信号面に記録跡が記録形成されているような情報記
録媒体円盤を再生対象の情報記録媒体円盤にすることが
必要とされる。

そして、現在、実用されている光学的情報信号再生装置
のように、情報信号の読取りに使用されるレーザ光の波
長が７８０ｎｍで、集光レンズの開口数が０．５の場合
には、情報記録媒体円盤の信号面上に結像されるレーザ
光のスポットの径は最小でも１．２８ミクロンになる。

それで、前記した光学的情報信号再生装置での再生に際
しても漏話が生じることがないようにするために、前記
した光学的情報信号再生装置で再生の対象にされている
現在の平面形状の情報記録媒体円盤は、それの信号面に
おける記録跡間隔が１．６ミクロンとされており、最小
ビット長が０．５６ミクロンの場合には、直径゛が３０
ｃｍの情報記録媒体円盤として、それの片面に１時間の
ＮＴＳＣ信号が記録可能なものにされている。

しかし、光学的情報信号再生装置において再生の対象に
されるべき情報記録媒体円盤としては、より一層長時間
にわたる再生が可能なものであることが望まれるのであ
り、前記した従来例の情報記録媒体円盤に比べて一層記
録容量の大きな記録媒体が求められている。

それで、近年、情報記録媒体円盤の記録密度向上の一手
段として、情報記録媒体円盤の信号面に断面形状がＶ状
の溝（Ｖ溝）を密接に形成させ、前記のＶ溝における各
斜面に情報信号による記録跡を記録形成させるようにし
た情報記録媒体円盤が提案された。

しかし、この既提案の情報記録媒体円盤は、■溝におけ
る各斜面に情報信号による記録跡が記録形成された後に
おいても、■溝の各斜面は平坦な状態のままであったか
ら、例えば、レコード円盤のようにズタンパを用いて複
製することができず、また、隣接記録跡からの反射回折
光によって漏話が生じてＳ／Ｎの良好な再生信号を得る
ことが困難であるという点に問題があった。

本出願人会社では、前記した既提案の情報記録媒体円盤
が有していた諸欠点のない情報記録媒体円盤を、先に、
特願昭６０−３８１５０号によって提案した。この本出
願人会社によって提案された情報記録媒体円盤は、平面
形状が同心円状または渦巻状で、かつ、断面形状がＶ状
であるような溝（Ｖ溝）が密接して設けられている信号
面における前記のＶ溝の各斜面に対し、再生に用いられ
るべき光の波長の約１／４に相当する寸法の段差を有し
ている如き部分（再生に用いられるべき光の波長の約１
７４に相当する深さのピット、あるいは再生に用いられ
るべき光の波長の約１／４に相当する高さの突起部）の
配列によって情報信号が記録されている情報記録媒休日
「であり、それの一部分の平面図が第１図の（ａ）に、
また、第１図の（ａ）におけるＡ−Ａ線位置における縦
断側面図が第１図の（ｂ）に示されている。

第１図示の情報記録媒体円盤りにおいて、１は情報記録
媒体円盤りからの情報信号の再生に使用される光に対し
て透明な材料５例えば合成樹脂製の本体基板であり、ま
た、２は光の反射膜、３は保護膜であり、前記の本体基
板１には平面形状が同心円状または渦巻状で、かつ、断
面形状がＶ状であるようなＩ（Ｖ溝）が密接して設けら
れており、前記のＶ溝の各斜面には再生に用いられるべ
き光の波長の約１７４に相当する寸法の段差を有してい
る如き部分（再生に用いられるべき光の波長の約１／４
に相当する深さのピット、あるいは再生に用いられるべ
き光の波長の約１／４に相当する高さの突起部）の配列
によって情報信号が記録されている。

第１１図の（、）において、Ｗは前記した■溝の巾であ
り、また、Ｑは前記したＶ溝を構成する２つの斜面の巾
であって、■溝の斜面の巾Ｑは前記したＶ溝の巾Ｗの略
々１／２である。また、Ｓは情報記録媒体円盤りの信号
面に投射された光スポットであり、その径は前記した■
溝の巾Ｗよりは小さく、■溝の斜面の巾Ｑよりは大きい
ものになされている。α、β、γ、δは前記した光スポ
ットＳの投射位置を区別するための符号である。さらに
。

Ｔｌ、Ｔ２．Ｔ３・・・は前記したＶ溝を構成する斜面
に構成されている記録跡の番号である。各記録跡ＴＩ、
Ｔ２・・・内に示されているＰ、Ｐ・・・は情報信号に
よるピットを表わしている。

第２図は、前記の第１図に示されている情報記録媒体円
盤りから情報信号を再生するのに用いられる再生装置の
一部の斜視図であって、この第２図において、４は光源
（例えば半導体レーザ）であって、この光源４ではそれ
の微小な発光部から直線偏光を出射する。

前記の光源４から出射された光はコリメートレンズ５に
よって平行光にされた後に回折格子６に与えられ、回折
格子６からは零次光と、±１次回折光との３本の光束が
出射される。前記した３本の光束は偏光プリズム７を透
過して１／４波長板８に供給されることによって円偏光
になされてから集束レンズ９に与えられろことによって
、情報記録媒体円盤（ディスク）Ｄの信号面上にそれぞ
れ個別の微小な径の光の第１〜第３のスポットＳｌ。

Ｓ２．Ｓ３として結像される。記録媒体りは図中の矢印
Ｒの方向に所定の回転数で高速回転している。

前記した３個の微小な径の光のスポットＳ　Ｌ、　Ｓ　
２゜Ｓ３からの反射光は、集光レンズ９によって平行光
に戻された後に１７４波長板８により、入射光の直線偏
光の偏光面に対して９０度だけ偏光面が回転している直
線偏光となされて偏光プリズム７に与えられ、偏光プリ
ズム７よって側方に反射され、次いでレンズ１０と円筒
レンズ１１とによって集束された後に、前記した第１の
光のスポットＳ１からの反射光は第１の光検出器Ｐ１に
与えられ、また、前記した第２の光のスポットＳ２から
の反射光は第２の光検出器Ｐ２に与えられ、さらに前記
した第３の光のスポットＳ３からの反射光は第３の光検
出器Ｐ３に与えられる。そして、前記した第２の光検出
器Ｐ２と、第３の光検出器からの出方信号によってトラ
ッキング制御が行なわれ、また、第１の光検出器Ｐ１か
らは再生信号が得られる。

ここで光スポットＳの情報記録媒体円盤りの信号面にお
ける反射回折の状態、特に隣接する記録跡における反射
回折光の状態について、第３図及び第４図を参照して説
明する。

第３図の（ａ）は、第１図の（ａ）における情報記録媒
体円盤りの信号面における位置αに投射されている光ス
ポットＳが、記録跡Ｔ３におけるピットＰの無い部分に
投射されているときにおける光スポットＳによる信号面
からの反射回折光の状態を示したものであり、また、第
３図の（ｂ）は、第１図の（、）における情報記録媒体
円盤りの信号面における位置βに投射されている光スポ
ットＳが。

記録跡Ｔ３におけるピットＰの部分に投射されていると
きにおける光スポットＳによる信号面からの反射回折光
の状態を示したものであり、さらに、第３図の（Ｃ）は
、第１図の（ａ）における情報記録媒体円盤りの信号面
における位置αに投射されている光スポットＳが、！２
録跡Ｔ２及び記録跡丁４におけるピットＰの無い部分に
投射されているときにおける光スポットＳによる信号面
からの反射回折光の状態を示したものであり、さらにま
た、第３図の（ｄ）は、第１図の（ａ）における情報記
録媒体円盤りの信号面における位置βに投射されている
光スポットＳが、記録跡Ｔ２及び記録跡Ｔ４におけるピ
ットＰの一部に投射されているときにおける光スポット
Ｓによる信号面からの反射回折光の状態を示したもので
ある。

次に、第４図の（ａ）は、第１図の（、）における情報
記録媒体円盤りの信号面における位置γに投射されてい
る光スポットＳが、記録跡Ｔ４におけるピットＰの無い
部分に投射されているときにおける光スポットＳによる
信号面からの反射回折光の状態を示したものであり、ま
た、第４図の（ｂ）は。

第１図の（ａ）における情報記録媒体円盤りの信号面に
おける位置γに投射されている光スポットＳが、記録跡
Ｔ４におけるピットＰ１の部分に投射されているときに
おける光スポットＳによる信号面からの反射回折光の状
態を示したものであり、さらに、第４図の（Ｃ）は、第
１図の（、）における情報記録媒体円盤りの信号面にお
ける位置δに投射されている光スポットＳが、記録跡Ｔ
３及び記録跡Ｔ５におけるピットＰの無い部分に投射さ
れているときにおける光スポットＳによる信号面からの
反射回折光の状態を示したものであり、さらにまた、第
４図の（ｄ）は、第１図の（ａ）における情報記録媒体
円盤りの信号面における位置γに投射されている光スポ
ットＳが、記録跡Ｔ３及び記録跡Ｔ５におけるピットＰ
の一部に投射されているときにおける光スポットＳによ
る信号面からの反射回折光の状態を示したものである。

さて、情報記録媒体円盤の信号面に投射されている光の
スポットＳの強度分布がガウス分布であるときに、記録
跡Ｔ３を辿っている光スボッＩ−Ｓからの反射回折光の
強度分布を解析した結果、光スポットＳが記録跡Ｔ３に
おけるピットＰの無い部分に投射されている場合につい
ては、第５図の（ａ）に示されるような反射回折光の分
布が得られ、また、光スポットＳが記録跡Ｔ３における
ピットＰの部分に投射されている場合については、第５
図の（ｂ）に示されるような反射回折光の分布が得られ
た。

前記の第５図の（ａ）における曲線Ｅは、光スポットＳ
が記録跡Ｔ２．　Ｔ４における無ピツトの部分を照射し
ている状態、すなわち、第３図の（ａ）の状態と第３図
の（ｃ）の状態とが総合された状態における反射回折光
の分布を示しており、また、第５図の（ａ）における曲
線Ｆは、記録跡Ｔ３における無ピツトの部分に投射され
ている光スポットＳが記録跡Ｔ２とＴ４ではピットＰの
部分を照射している状態、すなわち第３図の（ａ）の状
態と第３図の（ｄ）の状態とが総合された状態における
反射回折光の分布を示している。

また、第５図の（ｂ）における曲線Ｇは、記録跡Ｔ３に
おけるピットＰの部分に投射されている光スポットＳが
、記録跡丁２．Ｔ４における無ピツトの部分を照射して
いる状態、すなわち、第３図の（ｂ）の状態と第３図の
（ｃ）の状態とが総合された状態における反射回折光の
分布を示しており、また、第５図の（ｂ）における曲線
Ｉ］は、記録跡Ｔ３におけるピットＰの部分に投射され
ている光スポットＳ、が記録跡Ｔ２とＴ４についてもピ
ットＰの部分を照射している状態、すなわち、第３図の
（ｂ）の状態と第３図の（ｄ）の状態とが総合された状
態における反射回折光の分布を示している。第５図及び
第６図中においてＵはレンズの瞳径である。

前記した第５図の（ａ）における曲線Ｅ、Ｆにおいて１
曲線Ｅは軸Ｚ１を中心とし、また、曲線Ｆは軸ｚ２を中
心としており、光軸Ｚの幾何学的反射方向は、前記した
軸Ｚｌ、Ｚ２の中間にある。信号面からの反射回折光の
分布の中心は、第５図から明らかなように、光スポット
Ｓが辿っている記録跡Ｔ３に隣接している記録跡Ｔ２．
　Ｔ４におけるピットＰの有無に応じてシフトしている
。これは、第３図の（ｃ）、（ｄ）に示すように、隣接
する記録跡Ｔ２゜Ｔ４にピットＰが有るときの方が、無
い場合に比べて反射回折光の回折角が大きくなるためで
ある。

そして、前記のように反射回折光の分布の中心が光スポ
ットＳが辿っている記録跡Ｔ３に隣接している記録跡Ｔ
２．　Ｔ４におけるピットＰの有無に応じてシフトする
という事実は、後述のように漏話の除去↓こ利用するこ
とができるのである。

すなわち、漏話成分は第５図の（ａ）における曲線Ｅが
曲線Ｆを超えている部分の面積に対応する光エネルギと
、第５図の（ａ）における曲線Ｆが曲線Ｅを超えている
部分の面積に対応する光エネルギとの差であるから、受
光範囲を第５図の（ａ）におけるＪで示すように軸Ｚｌ
、Ｚ２を含む適宜の範囲に定めることにより、第５図の
（ａ）における曲線Ｅが曲１ｉＦを超えている部分とし
てハツチングで示す部分ＥＦの面積と、第５図の（ａ）
における曲線Ｆが曲線Ｅを超えている部分としてクロス
ハツチングで示す部分ＦＥの面積とを等しくすることが
できる。

そして、前記のように受光範囲Ｊが定められた場合には
、光のスポットＳが記録跡Ｔ３のピットＰを照射してい
るときに、前記の記録跡Ｔ３に隣接する記録跡Ｔ２．　
Ｔ４にピットＰが有っても無くても第１の光検出器Ｐ１
における受光素子Ｐｌａ、　Ｐｌｂ（第６図）の受光量
は変化せず、光スポットＳが記録跡Ｔ３の無ピツト部分
を照射しているときの漏話は実質的に無くなる。

また、光スポットＳが記録跡Ｔ３のピットＰを照射する
と、第３図の（ｂ）に示すように反射回折光の回折角が
増えて、反射回折光の方向が幾何学的反射方向からはず
れるために１反射回折光は第５図の（ｂ）に示すように
分布し、記録跡Ｔ３に隣接する記録跡Ｔ２．　Ｔ４にピ
ットＰが有っても無くても、前記した受光筒ｇＩＪにお
ける光の強度はともに零に近くなる。

そして、受光筒１！ＩｆｆＪが前記のように幾何学的反
射方向で、第５図の（ａ）において漏話が無くなるよう
に設定されると、その受光範囲Ｊは第５図の（ｂ）につ
いては曲線Ｇ、Ｈの両方の谷の部分に対応している状態
になり、それにより光スポットＳが記録跡丁３のピット
Ｐを照射しているときの漏話も殆ど無くなる。

また、第１の光検出器Ｐ１における受光素子Ｐｌａ。

Ｐｌｂは、光スポットＳが記録跡Ｔ３の無ピッ１〜部分
を照射しているときには多くの光を受光し、光スポット
Ｓが記録跡Ｔ３のピット部分を照射しているときには僅
かの光しか受光しない、というように、第１の光検出器
ＰＬにおける受光素子Ｐ　ｌａ、　Ｐ　ｌｂの受光量の
変化が大になり、第１の光検出器Ｐ１からは大きな再生
信号が出力される。

したがって、光スポットＳが記録跡から情報信号の読取
りを行なっているときには、漏話を殆ど含まず、再生信
号のレベルが大で、かつ、　Ｓ／Ｎの良好な再生信号が
容易に得られるのである。

なお、前記の受光範囲Ｊは、零次回折光の記録跡Ｔ３の
斜面に対する幾何学的な反射方向（第３図の（ａ）中の
角度θで示す方向）になっている。それで、第１の光検
出器Ｐ１は、それの受光素子Ｐｌａ。

Ｐｌｂが零次回折光の記録跡Ｔ３の斜面に対する幾何学
的な反射方向となるように配置する。

光スポットＳが記録跡Ｔ４から情報信号を読取っている
場合における反射回折光の分布は、第５図の（ａ）、（
ｂ）の各曲線Ｅ−Ｈを軸２を中心として反転した状態に
なるから、軸２に関して前記の受光範囲Ｊと対称な範囲
Ｋを受光範囲にと゛して、記録跡Ｔ４の斜面に対する幾
何学的反射方向に受光素子Ｐｌｃ、　Ｐｌｄを配置する
ことにより、前記の場合と同様に良好なＳ／Ｎの再生信
号を得ることができる。

前記した第１の光検出器Ｐ１は第６図に示されている矢
印Ｘで示すＶ溝の巾方向と、矢印Ｙで示すＶ溝の延長方
向とに４分割された位置に４個の受光素子Ｐ　ｌａ、　
Ｐ　ｌｂ、　Ｐ　ｌｃ、　Ｐ　ｌｄが設けられているの
である。

光スポットＳが記録跡Ｔ３から情報信号の読取りを行な
っているときは、集光レンズ９を透過した反射回折光が
、第６図中でハツチングで示す部分。

すなわち第１の光検出器Ｐ１の受光素子Ｐ　ｌａ、　Ｐ
　ｌｂに入射し、また、光スポットＳが記録跡Ｔ４から
情報信号の読取りを行なっているときは、集光レンズ９
を透過した反射回折光が、第６図中で梨地で示す部分、
すなわち、第１の光検出器Ｐ１の受光素子Ｐ　ｌｃ、　
Ｐ　ｌｄに入射する。

光スポットＳが記録跡Ｔ３から情報信号の読取りを行な
っているときは、読取られた情報信号が第１の光検出器
Ｐ１の受光素子Ｐｌａ、Ｐｌｂから取出され、それが加
算器１２で加算されて、切換スイッチ１３を介して出力
端子１４に出力される。

光スポットＳが記録跡Ｔ３から記録跡Ｔ４に移る瞬間に
情報記録媒体円盤から再生された切換信号がスイッチン
グ信号発生器１５に供給されることにより、前記のスイ
ッチング信号発生器１５から発生されたスイッチング信
号によって、前記の切換スイッチ１３の可動接点が固定
接点１３ａ側から固定接点１３ｂ側に切換えられ、光ス
ポットＳが記録跡Ｔ４から情報信号の読取りを行なって
いるときは、読取られた情報信号が第１の光検出器Ｐ１
の受光素子Ｐ　ｌｃ、　Ｐ　ｌｄから取出され、それが
加算器１２で加算されて、切換スイッチ１３を介して出
力端子１４に出力される。

次に、前記した本出願人会社の既提案の情報記録媒体円
盤りの従来の製作法に・ついて説明すると次のとおりで
ある。

すなわち、まず第７図に示すように、軟質金属板製の円
板状のワーク１６を、Ｖ形のダイヤモンド製のバイト１
８で所定の切込深さ８で切削する。そして、前記のバイ
ト１８はワーク１６の一回転当りに、Ｖ′溝のピッチＷ
で矢印１７方向に移送される。

それにより円板状のワーク１６の上面にはＶ状の溝１９
．１９・・・が密接した状態で、ピッチＷの渦巻きとし
て形成される。

次いで、前記のように表面にＶ溝１９．１９・・・が密
接して形成された状態のワーク１６上に、スピンナ法に
よって適当な粘度のフォトレジストを塗布し、それを硬
化させると、第８図に示されているような未記録原盤２
１が得られる。第８図において、２０は硬化されたフォ
トレジスト膜であり、未記録原盤２１はワーク１６の上
面に、前記したＶ溝の断面形状に略々対応した波形の断
面のフォトレジスト膜２０が付着形成された状態のもの
となる。

次に、前記の未記録原盤２１を記録装置におけるターン
テーブルに装着して、波長の短いレーザ光（例えば、Ｈ
ｅ、Ｃｄガスレーザ）を記録の対象にされている情報信
号によって強度変調し、それを大きな開口数の集光レン
ズで集束して得た微小な径の光のスポットを、前記の未
記録原盤２１におけるフォトレジスト膜２０の一各斜面
に照射して露光を行なう。なお、前記の記録時における
トラッキング動作は、トラッキング用の光スポットとし
ては、それによってフォトレジストが感光しない強度で
無変調の状態のものを使用して行なわれる。

前記のようにして、未記録原盤２１におけるフォトレジ
スト膜２０の各斜面に情報信号による露光が行なわれた
後に、現像処理が施こされると、第９図に示されている
ように、フォトレジスト膜２０における各斜面に、情報
信号によるピット２２．２２・・・が形成された記録原
盤２３が得られる。

そして、前記の記録原盤２３を用いて情報記録媒体円盤
を複製したり、前記の記録原盤２３から所定の工程を経
て作ったスタンパを用いて情報記録媒体円盤を複製した
りするのである。

（発明が解決しようとする問題点）ところで、前記した本出願人会社の既提案の情報記録媒
体円盤を製作するのに用いられている記録原盤２３は、
ワーク１６の上面のＶ溝に付着形成させたフォトレジス
ト膜２０の斜面に記録の対象にされている情報信号によ
るピットが形成されているものであったが、ワーク１６
の上面のＶ溝に付着形成させたフォトレジスト膜２０に
おける稜の部分及び谷の部分は、フォトレジストの表面
張力によってどうしても丸味を帯びた状態になる。

それで、前記した記録原盤２３を用いて情報記録媒体円
盤を製作した場合には、前記のようにＶ溝の稜の部分及
び谷の部分に対応している部分の丸味が、そのまま情報
記録媒体円盤に転写されてしまうことになるが、前記し
た本出願人会社による既提案の情報記録媒体円盤によっ
て、第３図乃至第５図を参照して解析したような優れた
再生動作を行なうことができるのは、信号面に形成され
ているＶ溝の稜の部分及び谷の部分が対応している部分
が尖鋭である場合であり、前記のようにＶ溝の稜の部分
及び谷の部分と対応する部分に丸味がある記録原盤２３
を用いて情報記録媒体円盤を製作した場合には、記録原
盤２３の稜の部分及び谷の部分の丸味が、そのまま情報
記録媒体円盤に転写されてしまっているので、再生時の
漏話特性が劣化してしまう。それで、■溝の稜の部分及
び谷の部分が尖鋭であるような情報記録媒体円盤の製作
法の出現が待望された。

（問題点を解決するための手段）本発明は、基板面に平面形状が同心円状または渦巻状で
、かつ、断面形状がＶ状であるような溝（Ｖ溝）を切削
加工により密接状態で形成させる工程と、前記したＶ溝
の形成面上に略々Ｖ溝の存在が認められるような状態で
フォトレジスト膜を付着形成させる工程と、所定の回転
数で回転されている前記の基板のフォトレジスト膜にお
けるＶ溝の各斜面に、前記の斜面の巾よりも小さな径と
なるように集光され、かつ、記録の対象にされている情
報信号によって強度変調されている光スポットを照射す
る露光工程と、露光されたフォトレジスト膜を現像処理
してフォトレジスト膜における露光部分を除去する工程
と、前記の現像処理されたフォトレジスト膜をマスクパ
ターンとして、基板におけるＶ溝の斜面に再生時に使用
される光の波長の略々１／４の深さのピットを形成させ
るエツチング工程と、フォトレジスト膜を除去して原盤
を得る工程と、原盤に基づいてスタンパを得る工程と、
前記した原盤あるいはスタンパを用いて再生光に対して
透明な材料を成型する工程とによって、平面形状が同心
円状または渦巻状で、かつ断面形状がＶ状であるような
溝（Ｖ溝）が密接して設けられている信号面における前
記のｖ溝の各斜面に対し、再生に用いられるべき光の波
長の約１／４に相当する寸法の段差を有している如き部
分の配列によって情報信号が記録されている情報記録媒
体円盤を製作する方法を提供して、前述のような欠点の
ない情報記録媒体円盤が容易に得られるようにしたもの
である。

（実施例）以下、添付図面を参照しながら本発明の情報記録媒体円
盤の製作法の具体的な内容を詳細に説明する。

まず第７図に示すように、金属板製の円板状のワーク１
６を、Ｖ形のダイヤモンド製のバイト１８で所定の切込
深さｅで切削する。そして、前記のバイト１８はワーク
１６の一回転当りに、ピッチＷのＶ溝が形成されるよう
に矢印１７方向に移送される。

それにより円板状のワーク１６の上面にはＶ状の溝１９
．１９・・・が密接した状態で、ピッチＷの渦巻きとし
て形成される。なお、ワーク１６の一回転毎に、バイト
１８を矢印１７の方向にピッチＷづつ間隔的に移送させ
るようにすれば１円板状のワーク１６の上面には、Ｖ状
の溝１９．１９・・・が密接した状態で、ピッチＷの同
心円状の溝が形成されることになる。

次いで、前記のように表面にＶ溝１９．１９・・・が密
接して形成された状態のワーク１６上に、スピンナ法に
よって適当な粘度のフォトレジストを塗布し、それを硬
化させると、第８図に示されているような未記録原盤２
１が得られるのであるが、第８図において、２０は硬化
されたフォトレジスト膜であって、前記の未記録原盤２
１はワーク１６の上面に、前記したＶ溝の断面形状に略
々対応した断面形状を有するフォトレジスト膜２０が付
着形成された状態のものとなる。

次に、前記の未記録原盤２１を記録装置におけるターン
テーブルに装着して、波長の短いレーザ光（例えば、Ｈ
ｅ、Ｃｄガスレーザ）を記録の対象にされている情報信
号によって強度変調し、それを大きな開口数の集光レン
ズで集束して得た微小な径の光のスポットを、前記の未
記録原盤２１におけるフォトレジスト膜２０の各斜面に
照射して露光を行なう。なお、前記の記録時におけるト
ラッキング動作は、トラッキング用の光スポットとして
は、それによってフォトレジストが感光しない強度で無
変調の状態のものを使用して行なわれる。

前記のようにして、未記録原盤２１におけるフォトレジ
スト膜２０の各斜面に情報信号による露光が行なわれた
後に、ｇＡａ処理が施こされると、第９図に示されてい
るように、フォトレジスト膜２０における各斜面に、情
報信号によるピット２２．２２・・・が形成された第１
の記録原盤２３が得られる。

次に、第９図示における前記した第１の記録原盤２３に
おけるフォトレジスト膜２０をマスクパターンとして、
適当なエツチング手段によってワーク１６に、第１０図
示のように所定の深さのピット２４，２４・・・を穿設
する。前記したエツチング手段とじては、化学的なエツ
チングが採用されてもよいし、あるいは、ドライエツチ
ングが採用されてもよい。

また、前記のエツチング手段によってワーク１６に穿設
されるべきピットの深さは、情報記録媒体円盤りの再生
時に使用される光の波長の１７４となされる。

次に、前記のようにワーク１６にピット２４，２４・・
・が穿設された状態となされた第１０図示の第１の記録
原盤２３から、フォトレジスト膜２１を除去して、第１
１図示のように第２の記録原盤２５を得る。この第２の
記録原盤２５は、それの信号面に形成されているＶ溝が
、尖鋭な稜と谷とを備えているものである。

そして、前記の第２の記録原盤２５を用いて情報記録媒
体円盤を複製するのに、例えば、前記した第２の原盤２
５を用いて注型等によって透明な合成、Ｓ層材料でレプ
リカを作ると、それは第１図示の情報記録媒体円盤りに
おける合成樹脂製の本体基、板１となるから、それに光
の反射膜２を付着させた後に、保護膜３を付着させると
、第１図の（ｂ）に示されているような情報記録媒体円
盤りが複製されるのである。

また、情報記録媒体円盤りを複製するのには、前記の第
２の記録原盤２５から所定の工程を経て作ったスタンパ
が用いられてもよいことは勿論である。第１３図は前記
の第２の記録原盤２５から、例えばニッケル電鋳法によ
って転写したスタンパ２６である。

この第１２図は、前記した第１３図に示されているよう
なスタンパ２６を用いて作られた情報記録媒体円盤りで
あって、この情報記録媒体円盤りは信号面上に記録の対
象にされている情報信号による突起の列が形成されてい
るものである。

第１２図示のように信号面上に記録の対象にされている
情報信号による突起の列が形成されている情報記録媒体
円盤りも、第１図示のように信号面上に記録の対象にさ
れ′ている情報信号によるピットＰ、Ｐ・・・の列が形
成−されている情報記録媒体円盤りからの情報信号の再
生時に用いられた第２図示の再生装置によって情報信号
の再生が行なわれるのである。

第１３図示のスタンパ２６は、情報記録媒体円盤り側か
ら見た場合に、情報信号が突起の列として形成されてい
るので、このスタンパ２６を用いた場合には情報記録媒
体円盤りの複製が容易であり、また、第２の記録原盤２
５は金属製であるために、第２の記Ｓ原盤２５からは多
数のスタンパ２６，２６・・・が作れるので大量生産向
きである。

（効果）以上、詳細に説明したところから明らかなように、本発
明の情報記録媒体円盤の製作法は、平面形状が同心円状
または渦巻状で、かつ、断面形状がＶ状であるような溝
（Ｖ溝）が密接して設けられている信号面における前記
のＶ溝の各斜面に対し、再生に用いられるべき光の波長
の約１／４に相当する寸法の段差を有している如き部分
の配列によって情報信号が記録されている情報記録媒体
円盤を製作する方法であって、基板面に平面形状が同心
円状または渦巻状で、かつ、断面形状がＶ状であるよう
な溝（Ｖ溝）を切削加工により密接状態で形成させる工
程と、前記したＶ溝の形成面上に略々Ｖ溝の存在が認め
られるような状態でフォトレジスト膜を付着形成させる
工程と、所定の回転数で回転されている前記の基板のフ
ォトレジスト膜における■溝の各斜面に、前記の斜面の
巾よりも小さな径となるように集光され、かつ、記録の
対象にされている情報信号によって強度変調されている
光スポットを照射する露光工程と、露光されたフォトレ
ジスト膜を現像処理してフォトレジスト膜における露光
部分を除去する工程と、前記の現像処理されたフォトレ
ジスト膜をマスクパターンとして、基板におけるＶ溝の
斜面に再生時に使用される光の波長の略々１／４の深さ
のピットを形成させるエツチング工程と、フォトレジス
ト膜を除去して原盤を得る工程と、原盤に基づいてスタ
ンパを得る工程と、前記した原盤あるいはスタンパを用
いて再生光に対して透明な材料を成型する工程とからな
るものであるから１本発明の情報記録媒体円盤の製作法
によって作られた情報記録媒体円盤は、原盤の信号面に
形成されているＶ溝が、尖鋭な稜と谷とを備えているも
のであるから、その原盤から複製される情報記録媒体内
！ＷＤは、それの信号面に形成されているＶ溝が、尖鋭
な稜と谷とを備えているものであり、したがって、■溝
の斜面に情報信号によるピットの列、あるいは突起の列
として記録形成されている記録跡から再生される情報信
号は、従来の一般的な平面状の情報記録媒体円盤に比べ
て２倍の記録密度で記録形成させた記録跡布する情報記
録媒体円盤からの情報信号の再生時においても、漏話を
殆ど含まないものとなされるのであり、また、情報記録
媒体円盤り側から見た場合に、情報信号が突起の列とし
て形成されているスタンパを用いると、情報記録媒体円
盤りの複製が容易であり、大量生産も容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図の（ａ）は情報記録媒体円盤の一部の平面図、第
１図の（ｂ）及び第１２図は情報記録媒体円盤の一部の
側面図、第２図は再生装置の一例構成を示すブロック図
、第３図及び第４図は情報記録媒体円盤の信号面からの
反射回折光の状態の説明図、第５図は回折光の分布図、
第６図は再生装置の一部の回路図、第７図乃至第１１図
は情報記録媒体円盤の製作工程の説明図、第１３図はス
タンパの一例図である。１・・・合成樹脂製の本体基板、２・・・光の反射膜２
．３・・・保護膜、Ｐ、２２．２４・・・ピット、１６
・・・ワーク、２０・・・フォトレジスト膜、２３・・
・第２の記録原盤、２５・・・第２の原盤、２６・・・
スタンパ、Ｄ・・・情報記録媒体円盤、％１２　１デ

Claims

【特許請求の範囲】

平面形状が同心円状または渦巻状で、かつ、断面形状が
Ｖ状であるような溝（Ｖ溝）が密接して設けられている
信号面における前記のＶ溝の各斜面に対し、再生に用い
られるべき光の波長の約１／４に相当する寸法の段差を
有している如き部分の配列によって情報信号が記録され
ている情報記録媒体円盤を製作する方法であって、基板
面に平面形状が同心円状または渦巻状で、かつ、断面形
状がＶ状であるような溝（Ｖ溝）を切削加工により密接
状態で形成させる工程と、前記したＶ溝の形成面上に略
々Ｖ溝の存在が認められるような状態でフォトレジスト
膜を付着形成させる工程と、所定の回転数で回転されて
いる前記の基板のフォトレジスト膜におけるＶ溝の各斜
面に、前記の斜面の巾よりも小さな径となるように集光
され、かつ、記録の対象にされている情報信号によって
強度変調されている光スポットを照射する露光工程と、
露光されたフォトレジスト膜を現像処理してフォトレジ
スト膜における露光部分を除去する工程と、前記の現像
処理されたフォトレジスト膜をマスクパターンとして、
基板におけるＶ溝の斜面に再生時に使用される光の波長
の略々１／４の深さのピットを形成させるエッチング工
程と、フォトレジスト膜を除去して原盤を得る工程と、
原盤に基づいてスタンパを得る工程と、前記した原盤あ
るいはスタンパを用いて再生光に対して透明な材料を成
型する工程とからなる情報記録媒体円盤の製作法