JPS6222056U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6222056U JPS6222056U JP1985113866U JP11386685U JPS6222056U JP S6222056 U JPS6222056 U JP S6222056U JP 1985113866 U JP1985113866 U JP 1985113866U JP 11386685 U JP11386685 U JP 11386685U JP S6222056 U JPS6222056 U JP S6222056U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- workpiece
- liquid
- machine
- polishing apparatus
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
Description
第1図aおよびbは本考案の研摩装置の一実施
例の平面図および部分断面を含む正面透視図、第
2図は従来の研摩装置の一例を示す部分断面を含
む正面透視図である。 1……研摩盤、2……研摩布、3……ノズル、
4……ウエハ、5……ホルダー、6……支持棒、
7……円板、8……横軸、9……ローラー、10
……おもり、11……支柱、12……揺動板、1
3……案内軸、14……基板、15……偏心板、
16……ピン、17……連結板、18……アーム
、19……基板、31……研摩液、32……タン
ク、33……コツク。
例の平面図および部分断面を含む正面透視図、第
2図は従来の研摩装置の一例を示す部分断面を含
む正面透視図である。 1……研摩盤、2……研摩布、3……ノズル、
4……ウエハ、5……ホルダー、6……支持棒、
7……円板、8……横軸、9……ローラー、10
……おもり、11……支柱、12……揺動板、1
3……案内軸、14……基板、15……偏心板、
16……ピン、17……連結板、18……アーム
、19……基板、31……研摩液、32……タン
ク、33……コツク。
Claims (1)
- 被加工物を保持する手段と、研摩液を供給する
手段と、高速回転し前記研摩液を供給されつつ前
記被加工物を微小量浮上させて研摩加工する研摩
盤とを備える研摩装置において、前記被加工物を
前記研摩盤の研摩面と平行な少なくとも一方向に
揺動させる手段を備えることを特徴とする研摩装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985113866U JPS6222056U (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985113866U JPS6222056U (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6222056U true JPS6222056U (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=30996070
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985113866U Pending JPS6222056U (ja) | 1985-07-24 | 1985-07-24 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6222056U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004014706A (ja) * | 2002-06-05 | 2004-01-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 基板加工方法および基板加工装置 |
-
1985
- 1985-07-24 JP JP1985113866U patent/JPS6222056U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004014706A (ja) * | 2002-06-05 | 2004-01-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 基板加工方法および基板加工装置 |