JPS62147454U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62147454U JPS62147454U JP1986035616U JP3561686U JPS62147454U JP S62147454 U JPS62147454 U JP S62147454U JP 1986035616 U JP1986035616 U JP 1986035616U JP 3561686 U JP3561686 U JP 3561686U JP S62147454 U JPS62147454 U JP S62147454U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- spherical seat
- workpiece
- tip
- high speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の研磨装置の一実施例の部分断
面を含む正面図、第２図及び第３図は従来の研磨
装置の一例を示す構成図およびその部分断面を含
む正面図である。 １…研磨盤、２…研磨布、３…ノズル、４…ウ
エハ、５…ホルダー、５′…ねじが形成されたホ
ルダー、６，６′…支持棒、１０…おもり、１８
…アーム、１９…基板、３１…研磨液、３２…タ
ンク、５１…球面座、６１…球棒、６３…ねじが
形成された球面座。
面を含む正面図、第２図及び第３図は従来の研磨
装置の一例を示す構成図およびその部分断面を含
む正面図である。 １…研磨盤、２…研磨布、３…ノズル、４…ウ
エハ、５…ホルダー、５′…ねじが形成されたホ
ルダー、６，６′…支持棒、１０…おもり、１８
…アーム、１９…基板、３１…研磨液、３２…タ
ンク、５１…球面座、６１…球棒、６３…ねじが
形成された球面座。
Claims (1)
- 表面に被加工物を保持し反対面に支持棒の先端
に球面座を介して取付けたホルダーと前記被加工
物を板面上に低圧力で押圧するように配置し研磨
液を供給しながら前記板面を高速回転させる研磨
盤とを含み、この研磨盤を高速回転することによ
つて前記被加工物を微小量浮上させて鏡面加工を
行う研磨装置において、前記ホルダーの中心部に
埋設された前記球面座の先端をねじ接合により着
脱可能とし、かつ前記球面座にこの球面座を回転
して着脱する取手を設けたことを特徴とする研磨
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986035616U JPS62147454U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986035616U JPS62147454U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147454U true JPS62147454U (ja) | 1987-09-17 |
Family
ID=30845266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986035616U Pending JPS62147454U (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62147454U (ja) |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP1986035616U patent/JPS62147454U/ja active Pending