JPS6221750A - Manufacture of ceramic sintered body - Google Patents

Manufacture of ceramic sintered body

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Publication number
JPS6221750A
JPS6221750A JP60156941A JP15694185A JPS6221750A JP S6221750 A JPS6221750 A JP S6221750A JP 60156941 A JP60156941 A JP 60156941A JP 15694185 A JP15694185 A JP 15694185A JP S6221750 A JPS6221750 A JP S6221750A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sintered body
zirconia
ceramic sintered
sintering aid
sintering
Prior art date
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Pending
Application number
JP60156941A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
武彦 鈴木
大坂 重美
規一 相川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Shokubai Co Ltd
Original Assignee
Nippon Shokubai Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、高密度セラミックス焼結体の製造方法に関す
る。さらに詳しく述べると本発明は高密度のセラミック
ス焼結体を製造するに際して、焼結助剤としてジルコニ
ア系の超微粒子を用いることを特徴とするセラミックス
焼結体の製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a method for manufacturing a high-density ceramic sintered body. More specifically, the present invention relates to a method for manufacturing a ceramic sintered body characterized by using zirconia-based ultrafine particles as a sintering aid when manufacturing a high-density ceramic sintered body.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、アルミナ、ジルコニア、シリコンカーバイド、窒
化ケイ素などのセラミックスに関する開発研究が進めら
れており、そのすぐれた熱的、機械的ないし化学的性質
のゆえに多くの分野への応用が実現しつつある。
In recent years, research and development on ceramics such as alumina, zirconia, silicon carbide, and silicon nitride has been progressing, and their excellent thermal, mechanical, and chemical properties are making their applications in many fields a reality.

これらのセラミックスはその機能を発揮させるため成形
され、高温下に焼結せしめられる必要があり、そのため
の技術が種々開発されている。
These ceramics must be molded and sintered at high temperatures in order to exhibit their functions, and various techniques have been developed for this purpose.

セラミックス焼結体の製造方法としては、ポットプレス
法(HP)、熱間静水圧焼結法(HIP)、常圧焼結法
があるが、複雑形状のものがえられやすい常圧焼結法が
注目されている。
Methods for producing ceramic sintered bodies include pot press method (HP), hot isostatic pressure sintering method (HIP), and pressureless sintering method, but pressureless sintering method is more likely to produce products with complex shapes. is attracting attention.

しかしながら常圧焼結法は焼成条件の選定が困難であり
、たとえば焼成温度が低いと低ど度の焼結体となり、強
度もえられないとか、また焼成温度を高くすると高密度
のものがえられるが焼成により焼結体の表面からセラミ
ックス原料によっては揮発成分が飛散し、強度的にバラ
ツキが生じるとい、う問題があった。
However, in the pressureless sintering method, it is difficult to select the firing conditions; for example, if the firing temperature is low, the result is a low-grade sintered body and no strength is obtained, and if the firing temperature is high, a high-density product is obtained. However, depending on the ceramic raw material, volatile components may be scattered from the surface of the sintered body during firing, resulting in variations in strength.

これらの問題に対処する目的で、たとえば難焼結性とさ
れるシリコンカーバイドでは焼結助剤としてホウ素また
はホウ素化合物、アルミニウムまたはアルミニウム化合
物、さらにこれらに炭素を添加することが提案されてお
り、同様に難焼結性の窒化ケイ素ではイツトリア(Y2
O2) 、7−’/ネジ7 (MQO) 、7)ttミ
ナ(Al120a )、ベリリア(Bed)、カルシア
(Cab) 、アルミナ−マグネシア(MOAi203
)イrどを加えて焼結せしめることが提案されている。
To deal with these problems, for example, it has been proposed to add boron or boron compounds, aluminum or aluminum compounds, and carbon to these as sintering aids for silicon carbide, which is said to be difficult to sinter. Among silicon nitrides that are difficult to sinter, itria (Y2
O2), 7-'/screw 7 (MQO), 7) tt Mina (Al120a), Beryllia (Bed), Calcia (Cab), Alumina-Magnesia (MOAi203)
) It has been proposed to add irradiation to cause sintering.

しかしながら、これらの焼結助剤を添加して焼結体を製
造しても強度、密度ともにいまだ十分とはいい雌いのが
現状である。
However, even if sintered bodies are produced by adding these sintering aids, the current situation is that both strength and density are still insufficient.

(発明の目的〕 本発明は上記の従来技術の問題点を解消し、高密度かつ
高強度セラミックス焼結体をえる方法を提供するもので
あり、とくにそのための焼結助剤としてジルコニア系超
微粒子を用いることを提案するものである。
(Object of the invention) The present invention solves the problems of the above-mentioned conventional technology and provides a method for obtaining a high-density and high-strength ceramic sintered body. We propose to use .

〔手段と作用〕[Means and effects]

すなわち、本発明は以下の如く特定されてなる。 That is, the present invention is specified as follows.

(1)  セラミックスの焼結体を製造するに際し、該
セラミックス原料に焼結助剤として平均粒子径が0.1
ミクロン以下、とくに0.05ミクロン以下のジルコニ
ア系超微粒子を添加混合し、成形し、焼結せしめること
を特徴とするセラミック焼結体の製造方法。
(1) When producing a ceramic sintered body, an average particle size of 0.1 is added to the ceramic raw material as a sintering aid.
A method for producing a ceramic sintered body, which comprises adding and mixing ultrafine zirconia particles of micron or less, particularly 0.05 micron or less, shaping and sintering.

(2)  焼結助剤としてのジルコニア系超微粒子が安
定化剤としてイツトリア、マグネシアおよびカルシアよ
りなる群から選ばれた少くとも1種の酸化物をジルコニ
ア(ZrO2)に対し1〜20モル%の範囲含有してな
ることを特徴とする上記(1)記載の方法。
(2) Zirconia-based ultrafine particles as a sintering aid contain at least one oxide selected from the group consisting of ittria, magnesia, and calcia as a stabilizer in an amount of 1 to 20 mol % based on zirconia (ZrO2). The method according to (1) above, characterized in that the method comprises:

以下さらに具体的に本発明を説明する。The present invention will be explained in more detail below.

本発明において使用されるセラミックス原料としては、
アルミナ、チタニア、ジルコニアなどの酸化物系やシリ
コンカーバイド、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化チタン
など非酸化物系のいずれも採用でき、とくに難焼結性の
シリコンカーバイド、窒化ケイ素が材料として選ばれる
Ceramic raw materials used in the present invention include:
Any of oxides such as alumina, titania, and zirconia and non-oxides such as silicon carbide, silicon nitride, boron nitride, and titanium nitride can be used, and in particular silicon carbide and silicon nitride, which are difficult to sinter, are selected as materials.

これら原料は通常の粉体の形、すなわち0.1〜10ミ
クロンの粒子径のものが使用される。
These raw materials are used in the usual powder form, that is, with a particle size of 0.1 to 10 microns.

本発明が特定する焼結助剤は、焼結させるセラミックス
原料の平均粒子径よりも微細であることが必要である。
The sintering aid specified by the present invention needs to be finer than the average particle diameter of the ceramic raw material to be sintered.

焼結助剤の使用mは、セラミックス原料に対し30重吊
用以下とくに10重量%以下で均一に混合される。上記
の如く特定されてなるジルコニア系超微粒子は、いかな
る方法によって調製されたものでも使用可能であるが、
有利には以下の如き方法によって調製されたものが粒度
も揃ったものとしてえられ、すぐれた効果を発現する。
The sintering aid used is uniformly mixed in an amount of 30 times or less, particularly 10% by weight or less, based on the ceramic raw material. The zirconia-based ultrafine particles specified above can be prepared by any method, but
Advantageously, particles prepared by the following method can be obtained with uniform particle size and exhibit excellent effects.

すなわら、ジルコニウム塩の水溶液またはジルコニウム
塩とイツトリウム、カルシウムおよびマグネシウムのう
ちの少なくとも1種の金属を含む混合液にアンモニア水
を加えて沈澱を形成させる際に、該沈澱生成反応を流通
反応方式で反応中のPI−1を6713の範囲内の一定
PHに保らつつ連続的に行うことにより沈澱を形成させ
、得られる該沈澱物を分離、乾燥、焼成する方法である
That is, when aqueous ammonia is added to an aqueous solution of a zirconium salt or a mixed solution containing a zirconium salt and at least one metal selected from yttrium, calcium, and magnesium to form a precipitate, the precipitate formation reaction is performed using a flow reaction method. This is a method in which the PI-1 during reaction is continuously maintained at a constant pH within the range of 6713 to form a precipitate, and the resulting precipitate is separated, dried, and calcined.

また、本発明において使用されるジルコニア系超微粒子
は、安定化剤としてイツトリア、マグネシアおよびカル
シアのうちの少くとも1種によって安定化されてなるも
のが好ましく、ジルコニア(ZrO2)に対し1〜20
モル%シ範囲含有されてなるものが好ましい結果を与ス
る。
Further, the zirconia-based ultrafine particles used in the present invention are preferably stabilized with at least one of itria, magnesia, and calcia as a stabilizer, and have a concentration of 1 to 20% relative to zirconia (ZrO2).
A mole % range of about 10% gives preferable results.

本発明で用いられる成形方法としては一般に用いられる
プレス法、泥漿鋳込法、押出成形〃射出成形法などの方
法が適宜採用される。
As the molding method used in the present invention, commonly used methods such as a press method, a slurry casting method, an extrusion molding method or an injection molding method are appropriately employed.

セラミック原料粉末と焼結助剤との混合は道常のボール
ミル法等の方法によって湿式で行うその際成形方法によ
っては有機物よりなる可気剤、バインダー、消泡剤など
が添加される。
The ceramic raw material powder and the sintering aid are wet-mixed by a common method such as a ball milling method.Depending on the molding method, an organic gasifier, a binder, an antifoaming agent, etc. may be added.

かくしてえられた成形体は0.1ミクロン以下の微細な
焼結助剤が添加されているため従来0粒径の大きい助剤
を用いた場合にくらべ焼結温度も100〜150℃も低
下する有利さが知完され、しかも焼結密度も理論値の9
5%以上のものであることが確認されている。
Since the thus obtained compact has a fine sintering aid of 0.1 micron or less added, the sintering temperature is also lowered by 100 to 150°C compared to the conventional case of using a large aid of zero particle size. The advantages have been fully realized, and the sintered density is also the theoretical value of 9.
It has been confirmed that the percentage is 5% or more.

以下に実施例を示し本発明の奏する効果を具体的に示す
Examples are given below to specifically demonstrate the effects of the present invention.

・ 〔焼結助剤Δの調製) Y203として8モル%を含有づるように塩化イツトリ
ウムおよびオキシ塩化ジルコニウムの混合水溶液を調製
した。液濃度はZrO+と、  して0.2モル/iと
した。撹拌器付種型反応器に水300dを入れさらにア
ンモニア水を加えてPHを9.0とした。これに上記混
合水溶液を。 波速毎分50mの割合で、またアンモニ
ア水(10重量%水溶液)を毎分的3IIII!の割合
で定温ポンプを用いそれぞれ撹拌上注入した。反応器内
の液ωがはイ一定となるように別の定量ポンプで反応液
を搬出しながら中和共沈反応を連続的に行った。反応中
PHが9±0,2となるようにアンモニア水の流速を微
調整しながら中和共沈反応を行った。搬出液中の水酸化
物を濾過により母液から分離し、次いで水洗することに
より塩化アンモニウムを除去した。
- [Preparation of sintering aid Δ] A mixed aqueous solution of yttrium chloride and zirconium oxychloride was prepared so as to contain 8 mol% of Y203. The liquid concentration was 0.2 mol/i of ZrO+. 300 d of water was placed in a seed reactor equipped with a stirrer, and aqueous ammonia was added to adjust the pH to 9.0. Add the above mixed aqueous solution to this. At a wave speed of 50 m/min, ammonia water (10% by weight aqueous solution) was added every minute! The mixture was injected with stirring using a constant temperature pump. The neutralization coprecipitation reaction was carried out continuously while carrying out the reaction liquid with another metering pump so that the liquid ω in the reactor remained constant. A neutralization coprecipitation reaction was carried out while finely adjusting the flow rate of ammonia water so that the pH during the reaction was 9±0.2. Hydroxide in the discharged liquid was separated from the mother liquor by filtration, and then ammonium chloride was removed by washing with water.

えられた水酸化物をn−ブタノール中に分散し、溶液温
度が105℃になるまで常圧蒸留を行うことにより脱水
を行った。次いで減圧下6O○℃で乾燥を行った後85
0℃で1時間焼成した。えられた粉体120Qとトルエ
ン750dとを21のボールミルに入れ6時間粉砕した
後乾燥することにより2次凝集が弱い微粉末かえられた
。えられた粉体のBE丁比表面積は96尻/Qであり、
その平均粒子径はo、oiミクロンであった。
The obtained hydroxide was dispersed in n-butanol and dehydrated by distillation at atmospheric pressure until the solution temperature reached 105°C. After drying at 60°C under reduced pressure,
It was baked at 0°C for 1 hour. The resulting powder 120Q and toluene 750d were placed in a No. 21 ball mill and ground for 6 hours, followed by drying to obtain a fine powder with weak secondary agglomeration. The specific surface area of the obtained powder is 96/Q,
The average particle size was o, oi microns.

〔焼結助剤Bの調製) Y203として3モル%を含有するように塩化イツトリ
ウムおよびオキシ塩化ジルコニウムの混合水溶液を調製
した。液濃度はZrO2として0.2モル/iとした。
[Preparation of Sintering Aid B] A mixed aqueous solution of yttrium chloride and zirconium oxychloride was prepared so as to contain 3 mol % of Y203. The liquid concentration was 0.2 mol/i as ZrO2.

撹拌器付種型反応器に水300−を入れさらにアンモニ
ア水を加えてPHを8.5とした。これに上記混合水溶
液を波速毎分50dの割合で、またアンモニア水(28
重量%水溶液)を毎時的50−の割合で定量ポンプを用
いそれぞれ撹拌下注加した。反応器内の液量/J−はぼ
一定となるように別の定温ポンプで反応液を搬出しなが
ら中和共沈反応を連続的に行った。反応中P l−1が
8.5±0.2となるように該混合水溶液およびアンモ
ニア水の流速を微調整しながら中和共沈反応を行った。
300 ml of water was placed in a seed reactor equipped with a stirrer, and aqueous ammonia was added to adjust the pH to 8.5. To this was added the above mixed aqueous solution at a wave speed of 50 d/min, and ammonia water (28
wt% aqueous solution) was added at a rate of 50% per hour with stirring using a metering pump. The neutralization coprecipitation reaction was carried out continuously while the reaction liquid was carried out using another constant temperature pump so that the liquid volume/J- in the reactor remained approximately constant. A neutralization coprecipitation reaction was carried out while finely adjusting the flow rates of the mixed aqueous solution and ammonia water so that P l-1 was 8.5±0.2 during the reaction.

搬出液中の水酸化物をか過により母液より分離し、次い
で水洗することにより塩化アンモニウムを除去した。
The hydroxide in the discharged liquid was separated from the mother liquor by filtration, and then ammonium chloride was removed by washing with water.

えられた水酸化物をn−ブタノール中に分散し、溶液温
度が105℃になるまで常圧蒸留を行うことにより脱水
を行い次いでこの脱水された酸化物を含むn−ブタノー
ル分散液を噴霧乾燥させ流動性のよい粉体をえた。この
粉体を850℃1時聞焼成することにより凝集塊の認め
られないイツトリア3モル%含有ジルコニア微粉末がえ
られた。この微粉体の平均粒子径は0603umであり
、0.02〜0.04μmのものが80%以上であり比
表面積は47Td/C1であった。
The obtained hydroxide is dispersed in n-butanol, dehydrated by distillation under atmospheric pressure until the solution temperature reaches 105°C, and then the n-butanol dispersion containing the dehydrated oxide is spray-dried. A powder with good fluidity was obtained. By calcining this powder at 850° C. for 1 hour, a fine zirconia powder containing 3 mol % of itria without any agglomerates was obtained. The average particle diameter of this fine powder was 0603 um, 80% or more of which was 0.02 to 0.04 um, and the specific surface area was 47 Td/C1.

実施例 1 1II!瓜98重ω%で平均粒径0.8μmの窒化ケイ
素粉末に、上記でえられた焼結助剤Aの安定化ジルコニ
アを5重量%、ポリビニルアルコール2重分%さらに少
量の水を加えてアルミナ質のボールミルにて10時時間
式混合を行なった。
Example 1 1II! To silicon nitride powder having a weight of 98% by weight and an average particle size of 0.8 μm, 5% by weight of the stabilized zirconia as the sintering aid A obtained above, 2% by weight of polyvinyl alcohol, and a small amount of water were added. Mixing was carried out at 10 o'clock in an alumina ball mill.

かくしてえられたスラリーをスプレードライヤーにて顆
粒化し、これを1.000Kg/cIiの圧力でラバー
プレス形成し、直径101rIIRφ、長さ50III
I!Iの棒状の成形体をえた。
The slurry thus obtained was granulated using a spray dryer, and then formed into rubber presses at a pressure of 1.000 Kg/cIi to form granules with a diameter of 101rIIRφ and a length of 50III.
I! A rod-shaped molded article I was obtained.

この成形体を窒素気流中1.650℃で4時間焼成した
ところ、理論密度97%の焼結体をえた。
When this molded body was fired at 1.650° C. for 4 hours in a nitrogen stream, a sintered body with a theoretical density of 97% was obtained.

比較例 1 実施例1において、微粉末状の安定化ジルコニアとCて
平均粒子径が0.5μmのものを用い、焼成温度を変え
る以外は同様にして以下の成形体をえた。
Comparative Example 1 The following molded body was obtained in the same manner as in Example 1 except that fine powder stabilized zirconia and C having an average particle diameter of 0.5 μm were used and the firing temperature was changed.

焼成温度    理論密度 1、600℃    91% 1、750℃    95% 実施例 2 平均粒径0.5μmの部分安定化ジルコニア(Y203
3モル%含右)粉末に、上記でえられた焼結助剤Bの部
分安定化ジルコニアを5重層%、ポリビニルアルコール
1(iffi%、さらに少量の水を加えてアルミナ質ボ
ールミルにて10時時間式混合を行った。
Firing temperature Theoretical density 1, 600°C 91% 1, 750°C 95% Example 2 Partially stabilized zirconia (Y203) with an average particle size of 0.5 μm
To the powder (containing 3 mol%), 5% of the partially stabilized zirconia of the sintering aid B obtained above, 1% of polyvinyl alcohol (iffi%), and a small amount of water were added, and the mixture was heated in an alumina ball mill at 10 o'clock. Timed mixing was performed.

かくしてえられたスラリーを実施例1におけると同様に
して成形し、空気気流中、1,400℃で2時間焼成し
たところ理論密度99.5%の焼成体をえた。。
The slurry thus obtained was molded in the same manner as in Example 1 and fired at 1,400°C for 2 hours in a stream of air, yielding a fired body with a theoretical density of 99.5%. .

なお、比較のため上記でえられた焼結助剤Bの部分安定
化ジルコニア微粉末を加えずに同様の操作を行い焼成し
たところ理論密度90%の焼結体しかえられなかった。
For comparison, when the same operation was performed and fired without adding the partially stabilized zirconia fine powder of sintering aid B obtained above, only a sintered body with a theoretical density of 90% was obtained.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)セラミックスの焼結体を製造するに際し、該セラ
ミックス原料に焼結助剤として平均 粒子径が0.1ミクロン以下のジルコニア系超微粒子を
添加混合し、成形し、焼結せし めることを特徴とするセラミック焼結体の 製造方法。
(1) When producing a ceramic sintered body, ultrafine zirconia particles with an average particle size of 0.1 micron or less are added and mixed as a sintering aid to the ceramic raw material, and the mixture is shaped and sintered. A method for manufacturing a ceramic sintered body.
(2)焼結助剤としてのジルコニア系超微粒子が安定化
剤としてイットリア、マグネシア およびカルシアよりなる群から選ばれた少 くとも1種の酸化物をジルコニア(ZrO _2)に対し1〜20モル%の範囲含有していることを
特徴とする特許請求の範囲(1)記載の方法。
(2) Zirconia-based ultrafine particles as a sintering aid contain at least one oxide selected from the group consisting of yttria, magnesia, and calcia as a stabilizer in an amount of 1 to 20 mol% based on zirconia (ZrO_2). The method according to claim (1), characterized in that the method includes the following range.
JP60156941A 1985-07-18 1985-07-18 Manufacture of ceramic sintered body Pending JPS6221750A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63206347A (en) * 1987-02-20 1988-08-25 エヌオーケー株式会社 Manufacture of ceramic sintered body
JPH0227779A (en) * 1988-07-15 1990-01-30 Idemitsu Petrochem Co Ltd Manufacture of thermoelectric element
US6399528B1 (en) 2000-09-01 2002-06-04 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Porous aluminum oxide structures and processes for their production

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