JPS62199078A

JPS62199078A - ガスレ−ザ発振装置

Info

Publication number: JPS62199078A
Application number: JP4026986A
Authority: JP
Inventors: Shigeyuki Takagi; 茂行高木; Saburo Sato; 三郎佐藤
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-02-27
Filing date: 1986-02-27
Publication date: 1987-09-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は寿命を向上したガスレーザ発振装置に関する。

（従来の技術）一般に紫外光領域のレーザ光を発振する希ガスハライド
エキシマレーザ発振装置は、レーザガス媒質にＦ２．Ｈ
ＣＩなどのＩ・ロゲンガスを用いる。

例えば波長が３０８ｎｍのＸ　ｅ　Ｃｌエキシマレーザ
に用・いるガスはＨＣＩ　、Ｘｓ　、Ｈｅを混合したも
のである。

これらのハロゲンガスは、他の物質との反応性が強く、
またこの反応性は電極間の放電により発生するイオン、
電子、紫外線によって促進される。

これらの反応により、レーザガス中のハロゲンガス組成
比が低くなったり、ＣＣＩ　４などの不純物が生成され
て出力が不安定になったり、その他レーザ出力の低下、
さらには発振停止が起る。一方ノ・ロゲンとの反応性は
金属部材が一段と強く、レーザガスの長寿命化には・・
ロゲンとレーザ管および封入された放電用部材との反応
を低下させることが心安である。特に接触面の大きいレ
ーザ管の内面に対する反応抑制は重要である。これらの
反応を少なくするため、従来ニッケルメッキが用いられ
て来たが、ノ・ロゲンに対する耐食性は不十分であり、
レーザガスの寿命を伸ばすために、さらに強い耐食性が
必要とされていた。

また、主電極近傍では、強い紫外線、イオン、電子など
が多量に発生し、ハロゲンとの反応が強くなる。この付
近のピーキングコンデンサなどから発生する不純物もレ
ーザ出力の長寿命化には大きな障害となっていた。

（発明が解決しようとする問題点）上記したように、ガスレーザ発振装置においては、電極
付近は強いイオン、電子などが多量に発生するためレー
ザ管内壁を初め放電用部材は腐食し、不純物の発生、ガ
ス組成の変化が起り、レーザ装置の寿命を短くする不都
合があり、特にハロゲンを含むレーザガス媒体の場合に
著しい不都合があった。本発明は上述の不都合を解決す
るもので、封入ガスの劣化を防止した寿命を向上させた
ガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用）レーザ管と、こ
れに封入されたガスレーザ媒質と、上記レーザ管に封入
された放電用部材とを有するガスレーザ発振装置におい
て、レーザ管内壁面もしくは放電用部材の少なくとも一
部にハロゲン耐食性樹脂層をコーティングにより設けた
ガスレーザ発振装置である。そしてレーザ管や放電用部
材の腐食、ガスの劣化、不純物の生成などを防ぐことに
より寿命の向上を計ったものである。

なお、ハロゲン耐食性樹脂とはフッ素系樹脂およびこれ
と同等以上の耐食性を有する高分子樹脂である。

（実施例）以下、本発明の詳細を図示の実施例によシ説明する。な
お、本実施例は本発明を希ガス・・ライドエキシマレー
ザ発振装置に適用したものである。

第１図は第１の実施例の要部をＷｒ面して示したもので
、’（１）は金属からなるレーザ管で、詳細は後述する
が、ハロゲン耐食性樹脂層（２）が内面にコーティング
により設けられている。レーザ管（１）の内部には、金
ＲＨの一対の保持板（３）　、　（４１が取付けられて
いる。一方の保持板（３）には絶縁部材（５）　、　（
５）を介して、金属製の取付は板（６）が設けられてい
る。取付は板（６）罠はレーザ管（１）に旧って延びる
高電圧の陽極（７）が取付けられていて、これに対向し
て陰極（８）が保持板（４）に取付けられている。また
取付は板（６）および保持板（４）には予備放電のため
のピン１を極（９）・・・、αＱ・・・が、それぞれ対
になって陽極（７）、陰極（８）に宿って多数設けられ
ている。これらピン電極（９）にはピーキングコンデン
サσυ・・・が接続されている。これら陽電極（力、陰
電極（８）、予備電極（ピン電極）　（９）　、α１・
・・、ピーキングコンデンサａυ・・・、その他保持部
材で放電用部材（１ｚを構成している。

さらにまた、陽極（７）には高圧パルス電源（′Ｉ３が
接続されていて、これは一端が接地され、他端は陽極（
７）に接続されている。セしてレーザ管（１）にはＨＣ
ＪあるいはＨ２などのハロゲンを含んだガスレーザ媒質
が封入されている。

さてレーザｆｔ１）の内面にコーティングによシ設けら
れたハロゲン耐食性樹脂層（２）はハロゲンガスに対し
て耐食性の強いフッ素系樹脂、例えばテフロン、ダイフ
ロン、ネオフロン（いずれも商品名）などが用いられる
。またコーティングの厚さは厚い程よいが、本実施例に
おいては約１００μｍである。

さらにまた、コーティングはハロゲン耐食性樹脂材を粉
末状にし、電気的にレーザ管（１）内壁にば付着させた
後加熱溶融させるとか、溶剤に溶かしてコーティングし
加熱処理するなどの方法で行なわれる。

上述した第１の実施例のレーザ管（１）は内面がコーテ
ィングされているので、一般のガスレーザ媒質に対して
はもとよシ、また特にハロゲ／のガスレーザ媒質に対し
ても耐食性が極めて高い。またコーティングされた内面
は放電によシ発生した活性なイオン、電子、紫外線に対
しても強く、はとんど反応性をもたない。

第２図は第２の実施例を示すもので、この実施例では、
保持板（４）、ピン電極Ｃ１１％−極（８）のほぼ全面
にフッ素系樹脂からなるハロゲン耐食性樹脂層（ハ）が
コーティングによシ設けられている。その他の部分は第
１の実施例と同じである。この実施例のように、放電部
分における放電用部材の大部分の金属面がコーティング
されているものは、放電による腐食の激しい場合、特に
・・ロゲンガスを用いたものに対して顕著な防食効果を
有し、寿命が向上する。

第３図は第３の実施例を示すもので、ピーキングコンデ
ンサ（ＩＬ！に）・ロダン耐食性樹脂層α９をコーティ
ングにより設けたもので、ピーキングコンデンサαＩＩ
バ一般に樹脂モールドされているが、紫外線や・・ロゲ
ンガスで劣化し、不純物を生成する。

コンデンサ圓の位置が主電極（７）に近いため、そのテ
ィングを施したものは寿命の向上に対し、大なる効果を
奏する。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明のガスレーザ発振装置は、
レーザ管もしくは放電用部材の少なくとも一部にノ・ロ
ダン耐食性樹脂層をコーティングにより設けたので、レ
ーザ管や封入放電用部材の腐食が防止され、また封入ガ
スの劣化、不純物の発生も抑制されるので、長期にわた
り、出力が安定し、低下も少なく、寿命が著しく向上す
る。また塗布例よるので、作業性がよく、さらにまた形
状の複雑なものでも容易に実施できる効果もある。

なお本実施例はノ・ロゲンガスを含むガスレーザ装置に
つき記載したが、これに限定されず、一般のガスレーザ
装置においても同様の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の要部を示す横断面図、
第２図は同じく第２の実施例の要部を示す横断面図、第
３図は同じく第３の実施例の要部を示す断面図である。（１）・・・レーザ管、（２）　、　［１５・・・）・
ロダン耐食性樹脂層、（７）・・・陽極、　（８）・・
・陰極、（９）、α１・・・予備（ピン）電極、αＪ・
・・ピーキングコンデンサ、 α邊・・・放電用部材。代理人　弁理士　則　近　憲　佑同　　　　竹　花　喜久男

Claims

【特許請求の範囲】

（１）レーザ管と、これに封入されたガスレーザ媒質と
、上記レーザ管に封入された主電極および予備電極およ
びピーキングコンデンサをもった放電用部材とを有する
ガスレーザ発振装置において、上記レーザ管内壁面もし
くは上記放電用部材の少なくとも一部にハロゲン耐食性
樹脂層をコーティングにより設けたことを特徴とするガ
スレーザ発振装置。
（２）ガスレーザ媒質はハロゲンガスを含みハロゲン耐
食性樹脂層はフッ素系樹脂からなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振装置。