JPS6219734U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6219734U JPS6219734U JP11229885U JP11229885U JPS6219734U JP S6219734 U JPS6219734 U JP S6219734U JP 11229885 U JP11229885 U JP 11229885U JP 11229885 U JP11229885 U JP 11229885U JP S6219734 U JPS6219734 U JP S6219734U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- jig
- outer diameter
- resist coating
- same
- Prior art date
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- Pending
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Description
第１図は本考案にかかるレジスト塗布用半導体
製造治具の一例をの図で、ａは平面図、ｂはａ図
のＡ―Ａ線矢視図であつて、第２図は半導体ウエ
ハの図で、ａは平面図、ｂは側面図、第３図はペ
レツトの図でａは平面図、ｂは側面図であり、第
４図は市敗されている自動レジスト塗布装置の側
面図である。 １，１′……ウエハキヤリア、２，２′……ベ
ルト、３……スライダ、４……チヤツク、５，５
′……ウエハ、６……タングステン円板、７……
真鍮円板、８……壁、９……ノズル、１０……ペ
レツト、１１……治具。
製造治具の一例をの図で、ａは平面図、ｂはａ図
のＡ―Ａ線矢視図であつて、第２図は半導体ウエ
ハの図で、ａは平面図、ｂは側面図、第３図はペ
レツトの図でａは平面図、ｂは側面図であり、第
４図は市敗されている自動レジスト塗布装置の側
面図である。 １，１′……ウエハキヤリア、２，２′……ベ
ルト、３……スライダ、４……チヤツク、５，５
′……ウエハ、６……タングステン円板、７……
真鍮円板、８……壁、９……ノズル、１０……ペ
レツト、１１……治具。
Claims (1)
- ウエハ専用自動レジスト塗布装置を用いてペレ
ツトへしレジスト塗布を行うための治具において
、該装置に対応したウエハと同じ外径の円板の一
方の面にペレツトの外径と同じ内径を有し且つペ
レツトの厚さよりは低く重心高さよりは高い同心
円状の壁を設けたことを特徴とする樹脂あるいは
金属からなるレジスト塗布用半導体構造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11229885U JPS6219734U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11229885U JPS6219734U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6219734U true JPS6219734U (ja) | 1987-02-05 |
Family
ID=30993039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11229885U Pending JPS6219734U (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6219734U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6414266U (ja) * | 1987-07-13 | 1989-01-25 | ||
| JPS6442367U (ja) * | 1987-09-03 | 1989-03-14 | ||
| JPH0284867U (ja) * | 1988-12-14 | 1990-07-02 |
-
1985
- 1985-07-22 JP JP11229885U patent/JPS6219734U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6414266U (ja) * | 1987-07-13 | 1989-01-25 | ||
| JPS6442367U (ja) * | 1987-09-03 | 1989-03-14 | ||
| JPH0284867U (ja) * | 1988-12-14 | 1990-07-02 |