JPS62194011A - Pressure control device - Google Patents

Pressure control device

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Publication number
JPS62194011A
JPS62194011A JP61035193A JP3519386A JPS62194011A JP S62194011 A JPS62194011 A JP S62194011A JP 61035193 A JP61035193 A JP 61035193A JP 3519386 A JP3519386 A JP 3519386A JP S62194011 A JPS62194011 A JP S62194011A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
signal
actuator
valve
fluid
Prior art date
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Pending
Application number
JP61035193A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Mukai
寛 向井
Motoo Uno
宇野 元雄
Yoshio Nakajima
吉男 中島
Ikuo Takeuchi
郁雄 竹内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP61035193A priority Critical patent/JPS62194011A/en
Publication of JPS62194011A publication Critical patent/JPS62194011A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To improve operation characteristic of an actuator by performing automatic measurement of dead band and correction of drive signals in the mounted condition. CONSTITUTION:One or more fluid control electromagnetic valves 107u, 107l are respectively placed on the fluid supply side and the fluid discharge side of an actuator to form a pressure control device for controlling fluid pressure to the actuator by operating the valve opening of the electromagnetic valves 107u, 107l respectively. A measurement means measuring the characteristics of the electromagnetic valves 107u, 107l by means of the supply fluid pressure to the actuator is provided on the pressure control device, and based on the characteristics of the electromagnetic valves 107u, 107l obtained, a means for correcting signals driving the electromagnetic valves 107u, 107l is provided. By this construction, electromagnetic valves can be used without considering fine characteristic, deterioration, etc. of individual valve, and operation characteristic of the actuator can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、流体圧力制御装置に係り、特に圧力流体によ
り作動するアクチュエータの流体供給側および排出側に
設けた電磁弁を操作してアクチュエータへの供給圧力を
制御する圧力制御装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a fluid pressure control device, and particularly to a fluid pressure control device that operates a solenoid valve provided on a fluid supply side and a fluid discharge side of an actuator operated by pressure fluid to operate an actuator. The present invention relates to a pressure control device for controlling the supply pressure of.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、m動形シリンダのようなアクチュエータを作動さ
せる圧力制御装置としては、例えば1983年11月7
日発行の11経メ力ニカル94頁〜99頁に記載のよう
に、電−空比例弁を、アクチュエータへの流体供給側お
よび排出側に配置し、その中間圧力を制御するものがあ
る。この装置は電気的な補償を適切に行うことにより、
高い精度で、空気圧の制御を行うことが可能である。
Conventionally, as a pressure control device for operating an actuator such as an m-type cylinder, for example,
As described in pages 94 to 99 of 11 Keiki Mekki Nical published by Japan, there is a method in which electro-pneumatic proportional valves are arranged on the fluid supply side and the discharge side to the actuator to control the intermediate pressure. By properly performing electrical compensation, this device
It is possible to control air pressure with high precision.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記従来技術では、弁のラップ量の調整について配慮が
されていないため、弁に対しOラップ特性を作るのが難
かしく、また電気的な補償により□Oラップ特性ができ
た場合であっても、弁の劣化あるいは交換により弁のラ
ップ特性がずれてしまい、作動特性が変化するという問
題があった。
In the above conventional technology, no consideration is given to adjusting the amount of wrap of the valve, so it is difficult to create O-wrap characteristics for the valve, and even if O-wrap characteristics can be created by electrical compensation, There was a problem in that the wrap characteristics of the valve were shifted due to deterioration or replacement of the valve, resulting in changes in the operating characteristics.

本発明は、弁のラップ特性を自動的に設定し、アクチュ
エータの作動特性を維持することができる圧力制御装置
を堤供することを目的とする。
The present invention aims to provide a pressure control device that can automatically set the wrap characteristics of the valve and maintain the operating characteristics of the actuator.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明の上記の目的は、単動形のシリンダのようなアク
チュエータへの流体供給側と流体排出側とにそれぞれ1
個ないし複数個の流体制御電磁弁を配置し、これらの電
磁弁の弁開度を各々操作して、アクチュエータへの流体
圧力の制御を行う圧力制御装置において、前記アクチュ
エータへの供給流体圧力によって電磁弁の特性を測定す
る測定手段と、前記測定手段により得られた電磁弁の特
性をもとに、電磁弁を駆動する信号を補正する手段を備
えることにより達成される。
The above object of the present invention is to provide one fluid supply side and one fluid discharge side to an actuator such as a single-acting cylinder.
In a pressure control device, one or more fluid control solenoid valves are arranged, and the valve opening of each of these solenoid valves is manipulated to control fluid pressure to an actuator. This is achieved by comprising a measuring means for measuring the characteristics of the valve, and a means for correcting a signal for driving the solenoid valve based on the characteristics of the solenoid valve obtained by the measuring means.

〔作用〕[Effect]

測定手段は、供給側あるいは排出側の電磁弁を一定の信
号で駆動あるいは信号を印加しない状態で、もう一方の
電磁弁の駆動信号を徐々に変化させた場合にアクチュエ
ータへの流体圧力にもとづいてこの圧力が駆動信号の大
きさに追従して変化する場所、しない場所を111潤し
、弁における供給側、排出側の不感帯の大きさを求める
。この不感帯の大きさにもとづいて補正手段は前記駆動
信号に一対して不感帯をなくすような補償を行い、弁を
ゼロラップ特性に維持する。
The measurement means is based on the fluid pressure to the actuator when the solenoid valve on the supply side or the discharge side is driven with a constant signal, or when the drive signal of the other solenoid valve is gradually changed while no signal is applied. The areas where this pressure changes in accordance with the magnitude of the drive signal and the areas where it does not are moistened, and the sizes of the dead zones on the supply side and discharge side of the valve are determined. Based on the size of this dead zone, the correcting means compensates the drive signal to eliminate the dead zone, thereby maintaining the valve with zero lap characteristics.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は1本発明の圧力制御装置の一実施例を備えたエ
アシリンダ装置を示すもので、この図において、101
は、位置目標値信号発生器で、位置目標値rを出力する
ものであり、例えばマイクロコンピュータである。10
2は増幅器であり、本実施例では位置目標値rを圧力目
標値r−に変換するものである。103は減算器であり
、圧力目標値rpおよび圧力帰還量すより圧力誤差信号
ap を演算し、出力する。104はオフセット信号設
定装置であり、切換え信号R6を出力し、切換スイッチ
111および切換スイッチ112を切り換える。また、
電磁弁試験信号rt1!stを出力し。
FIG. 1 shows an air cylinder device equipped with an embodiment of the pressure control device of the present invention, and in this figure, 101
is a position target value signal generator which outputs the position target value r, and is, for example, a microcomputer. 10
Reference numeral 2 denotes an amplifier, which in this embodiment converts the position target value r into the pressure target value r-. A subtracter 103 calculates and outputs a pressure error signal ap based on the pressure target value rp and the pressure feedback amount. 104 is an offset signal setting device which outputs a switching signal R6 to switch the changeover switch 111 and the changeover switch 112. Also,
Solenoid valve test signal rt1! Output st.

この時の圧力帰還信号の挙OJを監視することにより、
流体供給側および流体排出側のオフセット信号Of u
およびOf Lを演算し、出力する。105Uは減算器
であり、供給側オフセット信号Of uより圧力誤差信
号e2を減じ供給側弁開度信号S。
By monitoring the behavior of the pressure feedback signal at this time,
Offset signal of fluid supply side and fluid discharge side Of u
and Of L are calculated and output. 105U is a subtracter that subtracts the pressure error signal e2 from the supply side offset signal Of u to obtain the supply side valve opening signal S.

を出力する。10512は加算器であって圧力誤差信号
Qpに対し、排出側オフセット信号Of露を加え、排出
側弁開度信号S1を出力する。106uおよび106Q
ばPWM信号発生器であり、本実施例においては、PW
Mで電磁弁107u。
Output. 10512 is an adder which adds a discharge side offset signal Of to the pressure error signal Qp and outputs a discharge side valve opening signal S1. 106u and 106Q
In this example, the PWM signal generator is a PWM signal generator.
M is a solenoid valve 107u.

107Qを駆動するため、信号SUおよびS、に比例し
たデユーティ−をもったPWM信号VuおよびVm を
出力する。107uおよびJ 07flは、if!磁弁
磁界り、rlWM信号VυおよびV、によって駆動され
る。尚、本電磁弁はデユーティ−100(%)時に完全
に閉じるノーマルオープン弁であるため、そのデユーテ
ィ−に対する弁開度は第3図に示すような特性を有する
。すなわち、デユーティ−〇(%)付近および100(
%)付近に不感帯を有するものである。108は圧力流
体供給源であり、本実施例では、Psなる空気圧を出力
するものである。109は圧力検出器であり、圧力Pを
検出し、これを圧力帰還信号すとして出力する。110
は単動形のアクチュエータであり、本実施例ではばねに
よる反力発生手段を有するエアシリンダであり、空気圧
力に比例した変位を得ることができる。1.11および
112は切換スイッチであり、切換信号Rnによりスイ
ッチの切換えが行われ、スイッチ111は位置目標値信
号rと電磁弁試験信号r tcxtとを切換え、またス
イッチ112は圧力帰還信号すを減算器103に導くか
またはオフセット(rt号数設定装置104導くかの選
択を行う。
In order to drive 107Q, PWM signals Vu and Vm having a duty proportional to signals SU and S are output. 107u and J 07fl are if! The magnetic valve field is driven by the rlWM signals Vυ and V. Since this electromagnetic valve is a normally open valve that is completely closed when the duty is 100 (%), the valve opening degree with respect to the duty has characteristics as shown in FIG. In other words, the duty is around 〇 (%) and 100 (
%) has a dead zone in the vicinity. Reference numeral 108 denotes a pressure fluid supply source, which in this embodiment outputs an air pressure Ps. A pressure detector 109 detects the pressure P and outputs it as a pressure feedback signal. 110
is a single-acting actuator, and in this embodiment, it is an air cylinder having a reaction force generating means using a spring, and can obtain a displacement proportional to air pressure. 1.11 and 112 are changeover switches, and the switches are changed over by the changeover signal Rn. The switch 111 changes over the position target value signal r and the solenoid valve test signal rtcxt, and the switch 112 changes over the pressure feedback signal. A selection is made whether to lead to the subtracter 103 or to the offset (rt number setting device 104).

第2図は本発明に用いるオフセット信号設定装置の詳細
を示したものである。この図において、201は演算制
御装置であり、本オフセット信号設定装置の制御演算を
行う、202はディジタル信号をアナログ信号に変換す
るD/A変換器であり、データバスによって与えられる
ディジタル信号をアドレスの情報に従って供給側オフセ
ット信号○fυ、排出側オフセット信号Ofa、電磁弁
試験信号rtestにそれぞれ変換し、出力する。
FIG. 2 shows details of the offset signal setting device used in the present invention. In this figure, 201 is an arithmetic and control device that performs control calculations for this offset signal setting device, and 202 is a D/A converter that converts digital signals into analog signals, converting digital signals given by a data bus into addresses. According to the information, the supply side offset signal ○fυ, the discharge side offset signal Ofa, and the solenoid valve test signal rtest are respectively converted and output.

203はアナログ信号をディジタル信号へ変換するA/
D変換器であり、圧力帰還信号すをディジタル信号へ変
換して、データバス上へ取り込む。
203 is an A/ that converts an analog signal into a digital signal.
This is a D converter that converts the pressure feedback signal into a digital signal and loads it onto the data bus.

204は記憶装置であり1例えばROM、RAMにより
構成されオフセット信号設定手段等が記憶されている。
A storage device 204 is composed of, for example, a ROM and a RAM, and stores offset signal setting means and the like.

205はリレー出力であり、切換信号Roにより、スイ
ッチ111およびスイッチ112を駆動する。206は
コンソールであり、例えばLED表示器と1個ないし複
数個のスイッチを備えており、マンマシンインターフェ
ースを構成している。
205 is a relay output, which drives the switch 111 and the switch 112 by the switching signal Ro. A console 206 includes, for example, an LED display and one or more switches, and constitutes a man-machine interface.

次に、上述した本発明の装置の一実施例の動作を説明す
る。
Next, the operation of one embodiment of the above-mentioned apparatus of the present invention will be explained.

通常動作時、スイッチ111は位置11標値発生器10
1側に、またスイッチ112は減算器103側に切換え
られている1位置目標値信号発生器101は位置目標値
信号・rを作り出す6位置目標値信号rは増幅器102
により圧力目標値信号t”pに変換され本発明の圧力制
御装置に対しての目標値となる。圧力I4標値信号rp
は減算器103により、圧力目標値rpから圧力帰還M
kbを減算するための演算がなされ、圧力帰還信号ep
となり、供給側における減算器105uと排出側におけ
る加算器105Qに各々供給される。減算器111はO
fυ−Opの演算、加算器112はOf a + e−
の演算をそれぞれ行い、供給側弁開度信号Suおよび下
流側弁開度信号S、を作成する。
During normal operation, switch 111 is in position 11 target value generator 10
1 side, and the switch 112 is switched to the subtracter 103 side. 1. The position target value signal generator 101 generates the position target value signal r. 6. The position target value signal r is switched to the amplifier 102.
is converted into a pressure target value signal t''p, which becomes a target value for the pressure control device of the present invention.Pressure I4 target value signal rp
is calculated by the subtractor 103 from the pressure target value rp to the pressure feedback M
An operation is performed to subtract kb, and the pressure feedback signal ep
and is supplied to the subtractor 105u on the supply side and the adder 105Q on the discharge side, respectively. The subtracter 111 is O
The operation of fυ-Op, the adder 112 is Of a + e-
These calculations are performed to generate a supply side valve opening signal Su and a downstream valve opening signal S.

更に、信号Sgおよび8皿は供給側および排出側のPW
M信号発生器106u、1.06Qによってfn号Sυ
g SRに比例したデユーティ−を有するPWMm号■
υ、Vaに変換され、供給側電磁弁107uおよび排出
側電磁弁10’llを駆動する。
Furthermore, the signal Sg and the 8th plate are PW on the supply side and the discharge side.
The fn signal Sυ is generated by the M signal generator 106u and 1.06Q.
g PWM m number with duty proportional to SR■
υ, Va, and drives the supply side solenoid valve 107u and the discharge side solenoid valve 10'll.

この2つの電磁弁により圧力Pを操作するものである。The pressure P is controlled by these two solenoid valves.

ここで、圧力誤差信号eに対する供給側および排出側の
電磁弁弁開度の関係は第7図における702に示すもの
とするのが望ましい、即ち圧力誤差信号e−が零である
場合、供給側および排出側の弁開度は0となり、e >
 Oの場合必ず供給側の電磁弁107uのみが開いてお
り、またC〈0の場合は必ず排出側の電磁弁107Qの
みが開いているといったゼロラップ特性を有することに
なり、この時、空気消費量、ヒステリシス共に最低とな
り理想的な状態である。第3図に示した特性の電磁弁に
よりこのゼロラップ特性を実現するには、第8図に示す
誤差信号に対するデユーティ−のPWM信シ)を各々供
給側および排出側電磁弁107u、107Ωへ与える必
要があり、供給側デユーティ−補正量euahe排出側
デユーティ−補正量8 ashさえ求まれば本電磁弁に
よる圧力制御装置がゼロラップ特性を有するものとなる
。この補正量f9ush * omshを自動的に求め
、自動的に補正を行うものが、本発明の圧力制御装置で
ある。
Here, it is desirable that the relationship between the opening degrees of the solenoid valves on the supply side and the discharge side with respect to the pressure error signal e is as shown in 702 in FIG. 7. That is, when the pressure error signal e- is zero, And the valve opening on the discharge side is 0, and e >
In the case of O, only the solenoid valve 107u on the supply side is always open, and in the case of C<0, only the solenoid valve 107Q on the discharge side is always open. At this time, the air consumption , hysteresis are both at their lowest, which is an ideal state. In order to achieve this zero-lap characteristic with the solenoid valve having the characteristics shown in Fig. 3, it is necessary to provide the duty PWM signal (in response to the error signal shown in Fig. 8) to the supply side and discharge side solenoid valves 107u and 107Ω, respectively. As long as the supply-side duty correction amount euahe and the discharge-side duty correction amount 8ash are determined, the pressure control device using this solenoid valve will have zero-lap characteristics. The pressure control device of the present invention automatically determines this correction amount f9ush*omsh and automatically performs the correction.

尚、ここで言う弁開度は1等価弁開度である。Note that the valve opening degree referred to here is 1 equivalent valve opening degree.

即ち、PWM信号で電磁弁を駆動しているため流量に着
目すると、弁開度が変化しているように見える。
That is, since the electromagnetic valve is driven by a PWM signal, when paying attention to the flow rate, it appears that the valve opening degree is changing.

以下、本発明の制御袋れにおけるデユーティ−anE址
e ush 、 e ashの訓定手段を第7図および
第4図〜第6図により説明する。
Hereinafter, the means for training the duty-anE ush and e ash in the control baggage according to the present invention will be explained with reference to FIG. 7 and FIGS. 4 to 6.

まず、オフセット信号設定装置i!104は、コンソー
ル206からの指令により供給側および排出側のオフセ
ット信号Ofu、Of Q’;texとする。
First, offset signal setting device i! Reference numeral 104 indicates supply side and discharge side offset signals Ofu, Of Q';tex in response to commands from the console 206.

PWM信号発生器LO6u、106ffiはS t+≧
al。
PWM signal generator LO6u, 106ffi is S t+≧
al.

S、≧e、で100%デユーティ−の信号を発生する為
、この場合、圧力誤差信号e−に対する供給側および排
出側のデユーティ−は第4図に示すものとなり、圧力誤
差信号θPに対する弁開度は第5図の挙動を示す。即ち
、誤差信号Q m5h−e ur、bの大きな不感イl
Fを有する3方弁特性を示すものとなる。以下、第7図
に示す流れ図に沿って演算制御装置201における処理
が行われる0手順600により、圧力誤差信号ePにQ
Qという(il(が代入される。このeoという値は、
eashより十分小さい即ち大きいマイナスの値であり
1例えば第5図、第6図中eoで示した位置である。次
に手順601により制御演算がなされ、供給側。
Since a 100% duty signal is generated when S, ≧e, in this case, the duty on the supply side and discharge side for the pressure error signal e- is as shown in Fig. 4, and the valve opening for the pressure error signal θP is as follows. The degree shows the behavior shown in Figure 5. That is, the large insensitivity of the error signal Q m5h-e ur,b
It exhibits a three-way valve characteristic with F. Hereinafter, the pressure error signal eP is changed to
Q (il() is assigned. This value of eo is
It is a negative value that is sufficiently smaller or larger than eash, and is 1, for example, at the position shown by eo in FIGS. 5 and 6. Next, in step 601, control calculations are performed on the supply side.

排出側電磁弁107uおよび107flが駆動される。The discharge side solenoid valves 107u and 107fl are driven.

この場合、第5図で示すように供給側弁開度はO(%)
で排出側弁開度は数(%)ないし100(%)であり、
供給側電磁弁のみ開いているため、制御圧力Pは大気圧
Poとなる。即ち手順602と手順601により、制御
圧力Pが大気圧Paとなるまで待つことになる。制御圧
力Pが大気圧pnとなると、手順603により圧力誤差
信号QPに対し、Δεが加えられ手順604によって制
御演算がなされる。このΔεは適当に定めた値であり、
Δεを小さくすると誤差信号Qi3h+Cいhの精度は
向上するが、反面時間がかかる。
In this case, as shown in Figure 5, the opening degree of the supply side valve is O (%).
The discharge side valve opening is from several (%) to 100 (%),
Since only the supply side solenoid valve is open, the control pressure P becomes atmospheric pressure Po. That is, according to steps 602 and 601, the process waits until the control pressure P becomes atmospheric pressure Pa. When the control pressure P becomes atmospheric pressure pn, Δε is added to the pressure error signal QP in step 603, and control calculation is performed in step 604. This Δε is an appropriately determined value,
Decreasing Δε improves the accuracy of the error signal Qi3h+Ch, but on the other hand, it takes time.

またΔεを大きくすると、その逆である。そのため、例
えば誤差信号6 u41hあるいはf5 tshの予想
値を数千ないし数千分割した適当な値を用いる。
The opposite is true when Δε is increased. Therefore, for example, an appropriate value obtained by dividing the predicted value of the error signal 6u41h or f5tsh into several thousand or thousands is used.

次に手順605により制御圧力Pと圧力Posとの比較
がなされろ6手順603により圧力誤差信号eを徐々に
正方向に掃引して行くと制御圧力Pは第6図の挙動を示
す、即ち第5図よりe=euxhを通過した時点で、供
給側電磁弁のみ開き、排出側電磁弁は閉じたままなので
、圧力は急激に立ちとがることになる。そこで制御圧力
Pが圧力POIより大となった時点をe ush と看
做し、手順605の判断を通過し、この時点のep を
Q ushとして、記憶装置204に記憶する。尚、手
順605の判断で制御圧力I)と比較した圧力POIは
、大気圧Poに近い値であり、例えば供給圧力Psの数
(%)の適当な値を用いる。次に手順607および60
8により制御圧力が一定圧力P&以上になるまで待たさ
れる。
Next, in step 605, a comparison is made between the control pressure P and the pressure Pos.6 When the pressure error signal e is gradually swept in the positive direction in step 603, the control pressure P exhibits the behavior shown in FIG. As shown in Fig. 5, when e=euxh is passed, only the supply side solenoid valve opens and the discharge side solenoid valve remains closed, so the pressure suddenly stops. Therefore, the point in time when the control pressure P becomes greater than the pressure POI is regarded as e ush , the determination in step 605 is passed, and ep at this point is stored as Q ush in the storage device 204 . Note that the pressure POI compared with the control pressure I) determined in step 605 is a value close to the atmospheric pressure Po, and for example, an appropriate value of the number (%) of the supply pressure Ps is used. Then steps 607 and 60
8, the process is forced to wait until the control pressure becomes equal to or higher than the constant pressure P&.

次に1手順609により圧力誤差信号ep=0として、
手@610により制御演算がなされ、供給側および排出
側電磁弁107u、107Qが駆動される。即ち供給側
および排出側の弁は双方とも閉じた状態となり、この時
点での圧力の変化は無くなる0次に手順611により圧
力Pa を現在の圧力Pとする。次に手M612により
、i%pからΔCだけ減じられ制御演算が手順613に
よりなされる。尚このΔεは1手順603におけるΔε
と同様に定めた値である。次に手順614により制御圧
力Pと圧力Pawとの比較がなされる。
Next, by step 609, the pressure error signal ep is set to 0,
Control calculations are performed by hand 610, and the supply side and discharge side solenoid valves 107u and 107Q are driven. That is, both the supply side and discharge side valves are closed, and there is no change in pressure at this point.The pressure Pa is set to the current pressure P in step 611. Next, by hand M612, ΔC is subtracted from i%p and a control calculation is performed in step 613. Note that this Δε is Δε in 1 step 603
This is the value determined in the same way as . Next, in step 614, the control pressure P and the pressure Paw are compared.

PがI’ai以上であれば、処理は、手順612に戻り
圧力目標値OFよりΔEが減じられ5手順613により
制御演算がなさせる。尚、このPasは例えば圧力Pa
よりPaの数(%)を減じた適当な値である。前記の手
順612,613,614より圧力誤差信号6Fは0か
ら負の方向に掃引される。圧力誤差信号epが6aib
を過ぎた時点において、排出側は開き始め、アクチュエ
ータ110内部の空気は急激に排出され、制御圧力Pも
急激に低下する。制御圧力Pが圧力Pa工以下になった
時点において処理は手順615へ移り現時点の圧力誤差
信号opが下流側デユーティ−補正量6 ashとして
、記憶装置i!204へ記憶されろ。更に処理は1手順
616,617と進み、供給側電磁弁107uは閉じた
状態、排出側電磁弁は開いた状態となり、アクチュエー
タ110の内圧は大気圧Paと等しくなる。更に手順6
18,619により供給側および排出側オフセット信号
Ofυ、Of1より各々供給側および排出側デユーティ
−補正量Qush 、 emshを減じ、供給側および
排出側のオフセット信号の設定は終了する。この時点で
の圧力誤差信号Opに対するデユーティ−2弁開度の挙
動は、第8図および第9図に示すものとなり。
If P is greater than or equal to I'ai, the process returns to step 612, ΔE is subtracted from the pressure target value OF, and control calculation is performed in step 5 613. Note that this Pas is, for example, the pressure Pa
This is an appropriate value obtained by subtracting the number (%) of Pa. Through the steps 612, 613, and 614 described above, the pressure error signal 6F is swept from 0 in the negative direction. Pressure error signal ep is 6aib
At the point in time, the discharge side begins to open, the air inside the actuator 110 is rapidly discharged, and the control pressure P also decreases rapidly. When the control pressure P becomes lower than the pressure Pa, the process moves to step 615, where the current pressure error signal op is set as the downstream duty correction amount 6ash, and the storage device i! Save it to 204. The process further proceeds to steps 616 and 617, the supply side solenoid valve 107u is in a closed state, the discharge side solenoid valve is in an open state, and the internal pressure of the actuator 110 becomes equal to the atmospheric pressure Pa. Further step 6
18, 619, the supply side and discharge side duty correction amounts Qush and emsh are respectively subtracted from the supply side and discharge side offset signals Ofυ and Of1, and the setting of the supply side and discharge side offset signals is completed. The behavior of the duty-2 valve opening degree with respect to the pressure error signal Op at this point is as shown in FIGS. 8 and 9.

結局、圧力誤差信号epに対する弁開度の不感帯は無く
なり、理想的な0ラツプ特性を得ることができる。
As a result, the dead zone of the valve opening with respect to the pressure error signal ep disappears, and ideal zero-lap characteristics can be obtained.

本発明の装置の第2の実施例を第10図〜第15図を用
いて説明する。
A second embodiment of the apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 to 15.

第10図は本発明の圧力制御装置の他の例を有するアク
チュエータ装置を示したものであり第1図と同符号のも
のは同一部分である。801uおよび801QはPWM
信号発生器であり、オフセット信号設定装置802から
の増幅度信号GυおよびG1の大小により、その弁開度
信号に対するデユーティ−のゲインを増減させろ。80
2はオフセット信号設定装置で、この装置802は第1
図に示す装置104で示したものに加え更に各PWM信
号発生器106u、L−06Qに対して。
FIG. 10 shows an actuator device having another example of the pressure control device of the present invention, and the same reference numerals as in FIG. 1 indicate the same parts. 801u and 801Q are PWM
It is a signal generator, and increases or decreases the duty gain for the valve opening signal depending on the magnitude of the amplification signals Gυ and G1 from the offset signal setting device 802. 80
2 is an offset signal setting device, and this device 802 is the first
For each PWM signal generator 106u, L-06Q in addition to that shown in the illustrated device 104.

増幅度信号GυおよびGt を出力するため、D/A変
換器の出力線が、全部で5本となっている。
In order to output the amplification signals Gυ and Gt, the D/A converter has five output lines in total.

このオフセット信号設定装置802の構成は第15図に
示す。電磁弁の駆動方式は、第1番目の実施例と全く同
様であり、異なる点は不感帯の検出手段およびその補正
手段である。以下、それについて詳述する。本実施例に
おいては第3図におけるデユーティ−〇−およびShの
値を求めるため、第14図に示す手順を用いる。先づ手
順1101により圧力誤差信号epを零とする。更に手
順1102および手順1103によって増幅度信号Gυ
およびG、を1とする。この増幅度信号GUおよびG、
は、PWM信号発生$11106 u −106鳳に内
在する増幅器の増幅率であり、結果的に弁開度信号Sυ
およびS、は、Gυあるいは06倍されて、第1図中の
PWM信号塁に供給されているものと等価である。更に
手順1104により、ax/2が排出側オフセット信号
Oftに出力される。これは、圧力誤差信号13p を
零とした為、そのまま排出側PWM信号発生器106Q
に供給される。
The configuration of this offset signal setting device 802 is shown in FIG. The driving method of the electromagnetic valve is exactly the same as in the first embodiment, and the only difference is the dead zone detection means and its correction means. This will be explained in detail below. In this embodiment, the procedure shown in FIG. 14 is used to obtain the values of duty -0- and Sh in FIG. 3. First, in step 1101, the pressure error signal ep is set to zero. Furthermore, by steps 1102 and 1103, the amplification degree signal Gυ
and G are 1. These amplification signals GU and G,
is the amplification factor of the amplifier inherent in the PWM signal generation $11106u-106, and as a result, the valve opening signal Sυ
and S are multiplied by Gυ or 06 and are equivalent to those supplied to the PWM signal base in FIG. Furthermore, in step 1104, ax/2 is output as the discharge side offset signal Of. This is because the pressure error signal 13p is set to zero, so the discharge side PWM signal generator 106Q
supplied to

次に手順1105により、供給側オフセット信号Ofυ
に零が出力され、手順1106の制御演算によって、供
給および排出側番々の電磁弁107u。
Next, in step 1105, the supply side offset signal Ofυ
Zero is output to the supply and discharge side solenoid valves 107u by the control calculation in step 1106.

L O7m ニ対し、PWM信号Vu 、V處が供給さ
れ、この時点において、供給側電磁弁107uはデユー
ティ−〇で全開、排出側電磁弁107Qはデユーティ−
50(%)で駆動される。以下、供給側弁開度信号SO
をデユーティ−〇(%)から、デユーティ−100(%
)まで掃引してその圧力の挙動を調べることにより第1
1図におけるOpuおよびShuの位置での供給側弁開
度信号Suの値を求めるのであるが、その手順が第14
図の手順1107から手順1120により表わされてい
る。手順1107では変数SWに1を定義している。こ
の変数SWは、例えば、記憶装置!l!204上に構成
され、手順1113および手順1116の判断で使用さ
れるものであり1手順1108から1119のループ内
で、手順1118、1115をただ一度だけ実行し、2
回目以降を行わせないための目印として用いられている
0手順1【08は、現在の制御圧力値Pを前圧力値BP
に記憶すなわち、BPの更新を行うものである。手順1
109は供給側オフセット信号Ofυの値にΔEを加え
るものである。このΔ藪は1例えばe、の値を数千ない
し数千分割した適当な値であり、Δiが大きいとOpu
およびsbIの測定が短時間で行える反面精度が落ち、
逆にΔεが小さいと、測定に時間がかかるが精度が向上
する。
PWM signals Vu and V are supplied to L O7m, and at this point, the supply side solenoid valve 107u is fully open at duty ○, and the discharge side solenoid valve 107Q is at duty.
Driven at 50(%). Below, supply side valve opening signal SO
From duty-〇(%), duty-100(%)
) and investigate the behavior of the pressure.
The value of the supply side valve opening signal Su at the positions of Opu and Shu in Fig. 1 is determined, and the procedure is as follows in the 14th
This is represented by steps 1107 to 1120 in the figure. In step 1107, variable SW is defined as 1. This variable SW is, for example, a storage device! l! 204 and used in the judgments in steps 1113 and 1116. 1. In the loop of steps 1108 to 1119, steps 1118 and 1115 are executed only once, and 2.
0 step 1 08, which is used as a mark to prevent the operation from the first time onwards, converts the current control pressure value P to the previous pressure value BP.
In other words, the BP is updated. Step 1
109 is for adding ΔE to the value of the supply side offset signal Ofυ. This Δb is an appropriate value obtained by dividing the value of 1, for example e, into several thousand or thousands, and if Δi is large, Opu
Although the measurement of sbI and sbI can be done in a short time, the accuracy decreases.
Conversely, when Δε is small, measurement takes time but improves accuracy.

次に手順1110により制御演算がなされ、供給側およ
び排出側の電磁弁駆動信号Vu= vaが更新される。
Next, control calculations are performed in step 1110, and the supply side and discharge side electromagnetic valve drive signals Vu=va are updated.

ただし、排出側オフセット信号Of、は、操作していな
いので、排出側電磁弁107Qは、デユーティ−50(
%)のPWM信号Vtによって駆動されたままである0
次に手順1111により前圧力値BPより更新後の現在
圧力値Pが減じられ。
However, since the discharge side offset signal Of is not operated, the discharge side solenoid valve 107Q has a duty of -50 (
%) remains driven by the PWM signal Vt of 0
Next, in step 1111, the updated current pressure value P is subtracted from the previous pressure value BP.

圧力差分DPが求まる。第11図より、DP≧Oである
1手順1112は、前記圧力差分と定数Δ砿1との大小
比較である。Δεlは第11図の80間の傾きの絶対値
未満でOより大の値にΔCを掛けた値であり、例えば、
80間の傾きの絶対値の1/2の値にΔCを掛けた値で
ある。第11図の区間A Bにおいては、圧力の変傾が
無いため、DP=Oとなり、処理は手順1116へと進
む、手順1116では、変数SWのチェックがなされる
が1手順1107によってSW÷1となっているままな
ので処理は手順1119へと進みOf u< e pで
あるため、処理は1108へ進む6区間ARにおいては
1以上の処理がなされる6点Bに至った時点でDP>Δ
giとなるため、処理は手順1113へと進む、更にこ
の時点において、変数sw=iであるため、手順111
3を経て手順1114.手順tttsへ至る0手順11
14では、変数SWに0を再定義し、以後、処理は手M
1114.1115を通らなくする。更に手順1115
によって、現在の上流側オフセット信号Ofuの値を変
数OPυとして、記憶装TI!1204内に記憶される
The pressure difference DP is found. From FIG. 11, one procedure 1112 in which DP≧O is a comparison between the pressure difference and the constant ΔK1. Δεl is the value obtained by multiplying the value of the slope between 80 and 0 in FIG. 11 by ΔC, and for example,
It is a value obtained by multiplying 1/2 of the absolute value of the slope between 80 and ΔC. In the section A B of FIG. 11, there is no gradient of pressure change, so DP=O, and the process proceeds to step 1116. In step 1116, the variable SW is checked, but according to step 1107, SW ÷ 1 Therefore, the process proceeds to step 1119, and since Of u< e p, the process proceeds to step 1108. In the 6-section AR, DP>Δ is reached when 6 points B, where 1 or more processes are performed, are reached.
gi, so the process proceeds to step 1113.Furthermore, at this point, since the variable sw=i, step 111
3 to step 1114. 0 steps 11 leading to step ttts
In step 14, the variable SW is redefined to 0, and from then on, processing is done manually M
1114.1115 will not be passed through. Further step 1115
By setting the current value of the upstream offset signal Ofu as the variable OPυ, the storage device TI! 1204.

以後区間BCにおいて、処理は手順1112.1113
゜1119、 ttogと行われる0点Cに至った時点
では。
Thereafter, in section BC, the process is in steps 1112 and 1113.
゜1119, At the point when it reaches 0 point C which is done with ttog.

処理は1112においてDP<ΔE1である為、手順1
116へと進む。ここでは1手jlill14により5
W=Oとしたままであるため、手順は1117.111
8へと進む0手順1117では、変数SWに1が定義さ
れるため、以後手順1116の判断により1手順111
7゜tttaは通らなくなる。手順1118では、現在
の上流側オフセット信号Ofυの値を変数5hflとし
て、記憶装v1204に記憶する8以上によりsshn
並びにOPUが求まり、手順1120によって、Gυが
決定される。更に手順1121によって供給側オフセッ
ト信号Of uが決まる。尚、このGυおよびOf u
によって補正した図を第13図に示す。点線で示したも
のが補正後の弁開度信号Suに対するttt磁弁磁界信
号Vυのデユーティ−であり、実線が補正前である。尚
排出側電磁弁も供給側電磁弁を一定デューテイーで駆動
し、排出側の弁開度信号St を掃引することにより、
oPl、 Sbtが求まる。ただし、排出側デユーティ
−を操作した時の圧力の挙動は、第12図で示したもの
となる。
Since DP<ΔE1 in 1112, the process is performed in step 1.
Proceed to 116. Here 1 move is 5 by jlill14
Since W=O remains, the procedure is 1117.111
In the 0 step 1117 proceeding to step 8, 1 is defined in the variable SW.
7゜ttta will no longer pass. In step 1118, the current value of the upstream offset signal Ofυ is set as a variable 5hfl, and sshn is set by 8 or more stored in the storage device v1204.
and OPU are determined, and Gυ is determined by step 1120. Furthermore, the supply side offset signal Of u is determined by step 1121. Furthermore, this Gυ and Of u
The corrected figure is shown in FIG. The dotted line indicates the duty of the ttt magnetic field signal Vυ for the valve opening signal Su after correction, and the solid line indicates the duty before correction. The discharge side solenoid valve also drives the supply side solenoid valve with a constant duty, and by sweeping the discharge side valve opening signal St,
oPl and Sbt are found. However, the behavior of the pressure when the discharge side duty is operated is as shown in FIG. 12.

以上の結果から供給側および排出側のPWM信号発生に
対し、補正を行うことにより、0ラツプ特性を得ること
ができる。尚、第13図1301図に誤差信号に対する
弁開度の関係を、補正前、補正後とを比較して示す6図
中太線で示しである部分が補正後の値であり、前記第1
の実施例と異なり、不感帯の補正のみならず、圧力誤差
信号8pに対する弁開度の傾きの補正も行うことが可能
である。
From the above results, zero-lap characteristics can be obtained by correcting the PWM signal generation on the supply side and the discharge side. 1301 shows the relationship between the valve opening degree and the error signal before and after the correction. The part indicated by the thick line in FIG. 6 is the value after the correction, and
Unlike the embodiment, it is possible to correct not only the dead zone but also the slope of the valve opening with respect to the pressure error signal 8p.

更に、本発明の第3の実施例を第18図〜第20図を用
いて説明する。尚、第1図、第2図において説明したも
のは同一の記号を用い、説明は省略する。第18図中、
1401は第1図における設定装f?t104に対応す
るオフセット信号設定装置であるが、その設定装F;l
i l O4の機能に加えて、位置目標値信号発生器1
01に対し、停止E 4M ”jPauseを出力する
機能と、圧力誤差信号(3+−を監視する機能、更に、
’RkM弁1403を制御する弁制御信号Scを出すす
る機能を有する。1402は”IP制御信号Scを弁駆
動信号Vcまで増幅する増幅器。
Furthermore, a third embodiment of the present invention will be described using FIGS. 18 to 20. Note that the same symbols are used for those explained in FIG. 1 and FIG. 2, and the explanation will be omitted. In Figure 18,
1401 is the setting device f? in FIG. The offset signal setting device corresponding to t104 is the setting device F;
i l In addition to the functions of O4, position setpoint value signal generator 1
01, a function to output the stop E 4M "jPause, a function to monitor the pressure error signal (3+-), and a function to monitor the pressure error signal (3+-).
'It has a function of issuing a valve control signal Sc that controls the RkM valve 1403. 1402 is an amplifier that amplifies the IP control signal Sc to the valve drive signal Vc.

1403は電磁弁であり1例えばノーマルオープン型オ
ンオフ弁であり、オープン時流体は、どちら側へも流す
ことができろものである。
Reference numeral 1403 denotes a solenoid valve, for example a normally open type on-off valve, which allows fluid to flow to either side when opened.

第19図は第18図に示すオフセラI−M汗発生器+ 
4411の詳細を示したものである。この図においテ、
1501ハD/A変換器であり、アドレスバス。
Figure 19 shows the Offsera I-M sweat generator + shown in Figure 18.
4411 details. In this diagram,
1501 is a D/A converter and an address bus.

データバスの情報に従って、供給側+ lμ出側オフセ
ット信号Ofυ、Of、、電磁弁試瑣信号r’tlst
r停thx号Pnusn 、ブ)制御信号SCを出力す
るものである。 1502はA/D変換器であり、圧力
帰還信号す、圧力誤差信号ep を各々ディジタル信号
へと変換して、データバス上へと出力するものである。
According to the data bus information, supply side + lμ output side offset signal Ofυ, Of,, solenoid valve trial signal r'tlst
It outputs a control signal SC. 1502 is an A/D converter which converts the pressure feedback signal and the pressure error signal ep into digital signals and outputs them onto the data bus.

次に、上述した本発明の第3の実施例の動作について、
説明する。
Next, regarding the operation of the third embodiment of the present invention described above,
explain.

通常の位置制御動作は、第1の実施例と全く同等である
ため、ここでの説明は省略する。この実施例におけるオ
フセラ1−信号発生装置14旧は、パワーオン時に動作
を開始し、第20図の手順に従って処理を進める。即ち
手順1600により、圧力誤差信号e2の時間的な変化
率1Δsplの算出およびΔQPの値の判断が行われる
。すなわちしきい値ε40と変化率1Δθp1との比較
がなされ、もし、変化率1Δa、lがしきい値V。より
大きな場合、処理は再び手順+[iooをくり返す、1
Δeplがしきい値εdeより小さい場合、処理は、手
順]6o1へと進む。即ち、cpが定常偏差になったと
着像された時点で、処理は手順1601へと進む。次に
手順1601により圧力誤差jn ’) e p とし
きい値E6 との比較が行われる。尚、このreは例え
ば実測により適当に定められた値である。ここで圧力誤
差信号がEe未満の場合、処理は再び手JIJ1160
0へと進む。例えば、ttt磁弁磁界化による不感帯の
増大から圧力誤差信号OPがε0以上となった場合、手
順は1602へと進む、ここでは、位置目標値信号発生
器101に対し、停止信号Pause  を出力する。
The normal position control operation is completely the same as that in the first embodiment, so the explanation here will be omitted. The Offcella 1-signal generator 14 old in this embodiment starts its operation when the power is turned on, and proceeds with the processing according to the procedure shown in FIG. That is, in step 1600, the temporal rate of change 1Δspl of the pressure error signal e2 is calculated and the value of ΔQP is determined. That is, a comparison is made between the threshold value ε40 and the rate of change 1Δθp1, and if the rate of change 1Δa,l is the threshold value V. If larger, the process repeats steps + [ioo, 1
If Δepl is smaller than the threshold εde, the process proceeds to step ]6o1. That is, when it is determined that cp has reached a steady deviation, the process proceeds to step 1601. Next, in step 1601, the pressure error jn') e p is compared with the threshold value E6. Note that this re is a value appropriately determined, for example, by actual measurement. If the pressure error signal is less than Ee, the process is performed again using the JIJ1160
Proceed to 0. For example, if the pressure error signal OP becomes ε0 or more due to an increase in the dead zone due to the magnetic field of the ttt magnetic valve, the procedure proceeds to 1602. Here, a stop signal Pause is output to the position target value signal generator 101. .

この信号を受けることにより、例えばマイクロコンピュ
ータである位置目標値信号発生器101は異常処理を行
う。更に手順は1603へと進みSc をHIとする。
By receiving this signal, the position target value signal generator 101, which is a microcomputer, for example, performs abnormality processing. The procedure further advances to 1603 and sets Sc to HI.

通常ScはLOになっていて、電磁弁1403は開いて
おり、アクチュエータ110は駆動されるのであるが、
HIとなることにより、電磁弁1403は閉じ、アクチ
ュエータ110に対する空気の流入、排出は行われなく
なる。これにより、供給側、排出側電磁弁107u、1
07Q間の圧力変化により、アクチュエータ110が動
くことは無くなる。この状態で手順は1604へと進み
、第7図に示した手順に従って供給側、排出側オフセッ
ト信号Ofu、Of、の値が設定される。第7図に示す
流れ図の詳しい説明は面述したので、ここでは省略する
。次に手順は1605へと進みSc をLOとする。こ
れにより、電磁弁1403は開き、再び制御圧力Pの変
化によってアクチュエータ110は駆動されるようにな
る。更に手順1606により停止信号Pauseの出力
を止め、位置目標値信号発生器101は、オフセット信
号設定が終了したことを知る。この一連の動作により、
ラップ量を0ラツプに設定することができる。
Normally, Sc is LO, solenoid valve 1403 is open, and actuator 110 is driven.
When the state becomes HI, the solenoid valve 1403 closes, and air is no longer allowed to flow into or out of the actuator 110. As a result, the supply side and discharge side solenoid valves 107u, 1
Due to the pressure change between 07Q, the actuator 110 no longer moves. In this state, the procedure advances to 1604, and the values of the supply side and discharge side offset signals Ofu and Of are set according to the procedure shown in FIG. A detailed explanation of the flowchart shown in FIG. 7 has already been described, so it will not be repeated here. The procedure then proceeds to 1605 and sets Sc to LO. As a result, the solenoid valve 1403 opens, and the actuator 110 is driven again by a change in the control pressure P. Further, in step 1606, the output of the stop signal Pause is stopped, and the position target value signal generator 101 knows that the offset signal setting has been completed. With this series of actions,
The amount of laps can be set to 0 laps.

以上、圧力制御装置に対し弁の0ラツプ特性化の補正を
自動的に行う機能を備えることにより、従来、弁1個1
個の特性を測定し、その補正を行っていたものと比して
、実装している状態のまま短時間で、弁のラップ量を最
適に設定することが可能となる。
As described above, by providing the pressure control device with a function that automatically corrects the zero-lap characteristic of the valve, it is possible to
Compared to measuring the characteristics of individual valves and making corrections, it is possible to optimally set the amount of wrap of the valve in a short time while the valve is still mounted.

尚1本実施例においては、弁として、信号入力が無い場
合には、流体の流電が最大となるノーマルオープン型の
電磁弁を用い、使用流体は空気、弁駆動信号はPWM信
号と限定していたが、ノーマルクローズ型の電磁弁を用
いても、空気以外の流体の制御を行う場合であっても、
またPWM信号以外の信号で電磁弁の駆動を行う場合で
あっても本実施例の既念によって不感JfFの補正が可
能となり、更に、本実施例においては、ハードウェアに
よる構成となっていたが1例えば加算器等一連の制御演
算等の処理装置を、コンピュータのソフトウェアにより
実現することも可能である。また、アクチュエータとし
て、例えばゴム人工筋形のアクチュエータも用いること
ができる。
1. In this embodiment, a normally open type solenoid valve is used, in which the current of the fluid is maximum when there is no signal input, the fluid used is air, and the valve drive signal is limited to a PWM signal. However, even when using normally closed type solenoid valves, even when controlling fluids other than air,
Furthermore, even when the solenoid valve is driven by a signal other than the PWM signal, the insensible JfF can be corrected due to the concept of this embodiment. 1. For example, it is also possible to implement a processing device such as an adder and a series of control calculations using computer software. Further, as the actuator, for example, an actuator in the form of a rubber artificial muscle can also be used.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、従来、弁1個1個の特性を測定し、そ
の補正を行っていたものと比較して、実装した状態で自
動的に不感帯の測定および駆動信号の補正が行えるので
、弁個々の詳しい特性、劣化等を考慮せずに電磁弁を使
用することができる。
According to the present invention, compared to the conventional method of measuring the characteristics of each valve and correcting the characteristics, it is possible to automatically measure the dead zone and correct the drive signal in the installed state. Solenoid valves can be used without considering detailed characteristics, deterioration, etc. of each individual valve.

その結果、アクチュエータの作動特性を向上させること
ができる。
As a result, the operating characteristics of the actuator can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の装置の第1の実施例を備えたシリンダ
装置の構成を示す図、第2図は第1図に示す実施例に用
いるオフセット信号設定装置の構成を示す図、第3図〜
第5図は電磁弁の入力信号に対する弁開度の特性図、第
6図は圧力の誤差信号に対する圧力の挙動を示す特性図
、第7図は第1図に示す本発明の装置の動作フローチャ
ート図。 第8図、第9図は電磁弁の入力信号に対する弁開度の特
性図、第10図は本発明の装置の第2の実施例を備えた
シリンダ装置の構成を示す図、第11図、第12図は圧
力の誤差信号に対する圧力の挙動を示す特性図、第13
図は電磁弁の入力信号に対する弁開度特性図、第14図
は第10図に示す本発明の装置の動作フローチャート図
、第15図は第10図に示す実施例に用いるオフセット
信号設定装置の構成図、第16図、第17図は電磁弁の
入力信号に対する弁開度特性図、第18図は本発明の装
置の第:3の実施例を備えたシリンダ装置の構成を示す
図、第19図は第18図に用いるオフセット俳号設定装
置の(゛n構成図第20図はその動作フローチャート図
である。 101・・・位置目標値信号発生器、102・・・増幅
器、103・・・減算器、104・・・オフセット信号
設定装置、105u・・・加算器、105Q・・・減算
器、106 u 、 106 Q−増幅器、107u、
107M・・・電磁弁、108・・・圧力流体供給源、
109・・・圧力検出手段、110・・・アクチュエー
タ、111゜第 3 口 第 4− 口 茅5 図 −ef□す 鰻差イ言−ラ 茅 7 ロ 革 g 図 ′VI 9 図 −er” 第 11  図 ¥I +2  (2] 第  13  図 01  ′  :FIt1度イ古ザt(二Sa+、St
ラ   ’et¥I+4  の 不 76 図 ¥I ll 図 第 2θ 図
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a cylinder device equipped with a first embodiment of the device of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the configuration of an offset signal setting device used in the embodiment shown in FIG. 1, and FIG. figure~
Fig. 5 is a characteristic diagram of the valve opening degree with respect to the input signal of the solenoid valve, Fig. 6 is a characteristic diagram showing the behavior of pressure in response to the pressure error signal, and Fig. 7 is an operation flowchart of the device of the present invention shown in Fig. 1. figure. 8 and 9 are characteristic diagrams of the valve opening degree with respect to the input signal of the solenoid valve; FIG. 10 is a diagram showing the configuration of a cylinder device equipped with a second embodiment of the device of the present invention; FIG. 11; Fig. 12 is a characteristic diagram showing the behavior of pressure with respect to the pressure error signal;
14 is an operation flowchart of the device of the present invention shown in FIG. 10, and FIG. 15 is an offset signal setting device used in the embodiment shown in FIG. 10. 16 and 17 are valve opening characteristic diagrams for input signals of the solenoid valve, and FIG. 18 is a diagram showing the configuration of a cylinder device equipped with the third embodiment of the device of the present invention. FIG. 19 is a block diagram of the offset setting device used in FIG. 18, and FIG. 20 is an operation flowchart thereof. 101... Position target value signal generator, 102... Amplifier, 103... Subtractor, 104...Offset signal setting device, 105u...Adder, 105Q...Subtractor, 106u, 106Q-amplifier, 107u,
107M... Solenoid valve, 108... Pressure fluid supply source,
109...Pressure detection means, 110...Actuator, 111゜3rd mouth 4th mouth 5 Fig. ef 11 Figure\I +2 (2) 13th Figure 01': FIt1 degree Ikozat (2Sa+, St
La'et\I+4 no 76 Figure\I ll Figure 2θ Figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、単動形のシリンダのようなアクチュエータへの流体
供給側と流体排出側とにそれぞれ1個ないし複数個の流
体制御電磁弁を配置し、これらの流体制御電磁弁の弁開
度を各々操作して、アクチュエータへの流体圧力の制御
を行う圧力制御装置において、前記アクチュエータへの
供給流体圧力によって電磁弁の特性を測定する測定手段
と、前記測定手段により得られた電磁弁の特性をもとに
、電磁弁を駆動する信号を補正する手段とを備えたこと
を特徴とする圧力制御装置。
1. One or more fluid control solenoid valves are arranged on the fluid supply side and fluid discharge side of an actuator such as a single-acting cylinder, and the valve opening degree of these fluid control solenoid valves is individually controlled. In a pressure control device that controls fluid pressure to an actuator, there is provided a measuring means for measuring the characteristics of a solenoid valve based on the fluid pressure supplied to the actuator, and a measuring means for measuring the characteristics of the solenoid valve based on the characteristics of the solenoid valve obtained by the measuring means. A pressure control device comprising: means for correcting a signal for driving a solenoid valve.
JP61035193A 1986-02-21 1986-02-21 Pressure control device Pending JPS62194011A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05231404A (en) * 1992-02-18 1993-09-07 Toyota Autom Loom Works Ltd Cargo handling hydraulic control device for industrial vehicle
WO1995003492A1 (en) * 1993-07-21 1995-02-02 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Apparatus and method for automatically compensating for dead zone of a hydraulically driven machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05231404A (en) * 1992-02-18 1993-09-07 Toyota Autom Loom Works Ltd Cargo handling hydraulic control device for industrial vehicle
WO1995003492A1 (en) * 1993-07-21 1995-02-02 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Apparatus and method for automatically compensating for dead zone of a hydraulically driven machine

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